JP2014027280A - 集積回路およびこれを含む表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】集積回路は、基板と、前記基板上に配置された半導体層と、前記半導体層の上部に配置され、上部面にバンプを含む絶縁層を含み、前記半導体層は、メイン半導体領域および前記メイン半導体領域と離隔したp型半導体を含むアラインマーク領域を含み、前記アラインマーク領域には内部アラインマークが配置される。
【選択図】図1
Description
20,120 第1絶縁層
30,130 半導体層
31,131 アラインマーク領域
32,132 メイン半導体層
33,33a、33b、33c、133,133a 陰刻アラインマーク
40,140 配線層
50,150 第2絶縁層
51,151 バンプ
52,52a、52b、52c、152 外部のアラインマーク
61 第1p型半導体
62 n型半導体
63 第2p型半導体
63a 第1ドーピング領域
63b 第2ドーピング領域
64 絶縁膜
65 ゲート電極
100,200,500 集積回路
310 ゲート駆動部
320 タイミング制御部
330 データ制御部
400 表示パネル
PX 画素
DCS データ制御信号
GCS ゲート制御信号
D1,D2,・・・、Dm データ信号
G1,G2,・・・、Gn ゲート信号
AMP1,AMP2,AMP3,AMP4,AMP5,AMP6 位置整列アラインマーク
AMD1,AMD2,AMD3,AMD4,AMD5,AMD6 方向整列アラインマーク
AMA1,AMA2,AMA3,AMA4 領域定義アラインマーク
Claims (52)
- 基板と、
前記基板上に配置された半導体層と、
前記半導体層の上部に配置され、上部面にバンプを含む絶縁層を含み、
前記半導体層は、メイン半導体領域および前記メイン半導体領域と離隔したp型半導体を含むアラインマーク領域を含み、
前記アラインマーク領域は、内部アラインマークを含む集積回路。 - 前記基板は、シリコン基板である請求項1に記載の集積回路。
- 前記絶縁層は、上部面に外部のアラインマークをさらに含み、
前記内部アラインマークは、前記外部のアラインマークと重なるように配置される請求項1に記載の集積回路。 - 前記内部アラインマークの形状は、前記アラインマーク領域で前記p型半導体が配置された形状によって定義される請求項1に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、位置整列アラインマークを含む請求項4に記載の集積回路。
- 前記位置整列アラインマークは、第1軸および前記第1軸と直交する第2軸に各々対称の形状である請求項5に記載の集積回路。
- 前記位置整列アラインマークは、NMOSトランジスタを含む請求項6に記載の集積回路。
- 前記p型半導体は、第1p型半導体および前記第1p型半導体上に離隔して配置された第2p型半導体を含み、
前記NMOSトランジスタは、
前記第1p型半導体と、
前記第2p型半導体と、
前記第1p型半導体と前記第2p型半導体との間に配置されたn型半導体と、を含む請求項7に記載の集積回路。 - 前記第2p型半導体は、n+ドーピングされ、相互離隔した第1ドーピング領域および第2ドーピング領域を含み、
前記NMOSトランジスタは、前記第1ドーピング領域と前記第2ドーピング領域との間に配置されたゲート電極をさらに含む請求項8に記載の集積回路。 - 前記位置整列アラインマークは、複数のNMOSトランジスタを含む請求項6に記載の集積回路。
- 前記位置整列アラインマークは、十字形である請求項6に記載の集積回路。
- 前記位置整列アラインマークは、ひし形である請求項6に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、方向整列アラインマークをさらに含む請求項6に記載の集積回路。
- 前記方向整列アラインマークは、前記第1軸および前記第2軸に非対称形状である請求項13に記載の集積回路。
- 前記方向整列アラインマークは、前記位置整列アラインマークと離隔して配置される請求項14に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、前記アラインマーク領域を定義する領域定義アラインマークをさらに含む請求項15に記載の集積回路。
- 前記領域定義アラインマークは、前記アラインマーク領域の周囲を囲み、
前記位置整列アラインマークと前記方向整列アラインマークは、前記アラインマーク領域の内部に配置される請求項16に記載の集積回路。 - 前記アラインマークの形状は、前記アラインマーク領域で前記p型半導体が配置されない領域の形状によって定義される請求項1に記載の集積回路。
- 前記アラインマーク領域は、NOMSトランジスタを含む請求項18に記載の集積回路。
- 前記アラインマークは、位置整列アラインマークを含む請求項18に記載の集積回路。
- 前記位置整列アラインマークは、第1軸および前記第1軸と直交する第2軸に各々対称の形状である請求項20に記載の集積回路。
- 前記位置整列アラインマークは、十字形である請求項21に記載の集積回路。
- 前記位置整列アラインマークは、ひし形である請求項21に記載の集積回路。
- 前記アラインマークは、方向整列アラインマークをさらに含む請求項21に記載の集積回路。
- 前記方向整列アラインマークは、前記第1軸および前記第2軸に非対称形状である請求項24に記載の集積回路。
- 前記方向整列アラインマークは、前記位置整列アラインマークと離隔して配置される請求項24に記載の集積回路。
- 基板と、
前記基板上に配置された半導体層と、
前記半導体層の上部に配置され、上部面にバンプを含む絶縁層を含み、
前記半導体層は、メイン半導体領域および前記メイン半導体領域と連結されたp型半導体を含む内部アラインマークを含む集積回路。 - 前記基板は、シリコン基板である請求項27に記載の集積回路。
- 前記絶縁層は、上部面に外部のアラインマークをさらに含み、
前記内部アラインマークは、前記外部のアラインマークと重なるように配置される請求項27に記載の集積回路。 - 前記内部アラインマークの形状は、前記アラインマーク領域で前記p型半導体が配置された形状によって定義される請求項27に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、位置整列アラインマークを含む請求項30に記載の集積回路。
- 前記位置整列アラインマークは、前記メイン半導体層と連結される請求項31に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、方向整列アラインマークをさらに含む請求項31に記載の集積回路。
- 前記方向整列アラインマークは、前記メイン半導体層と連結される請求項33に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、アラインマーク領域を定義する領域定義アラインマークをさらに含む請求項33に記載の集積回路。
- 前記領域定義アラインマークは、前記メイン半導体領域と連結された請求項35に記載の集積回路。
- 基板と、
前記基板上に配置された半導体層と、
前記半導体層の上部に配置され、上部面にバンプを含む絶縁層を含み、
前記半導体層は、メイン半導体層および前記メイン半導体層と連結されるp型半導体を含む陰刻アラインマークを含み、
内部アラインマークは、前記陰刻アラインマークが配置されない領域によって定義される集積回路。 - 前記基板は、シリコン基板である請求項37に記載の集積回路。
- 前記絶縁層は、上部面に外部のアラインマークをさらに含み、
前記内部アラインマークは、前記外部のアラインマークと重なるように配置される請求項37に記載の集積回路。 - 前記内部アラインマークは、位置整列アラインマークを含む請求項37に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、方向整列アラインマークをさらに含む請求項40に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、アラインマーク領域を定義する領域定義アラインマークをさらに含み、
前記位置整列アラインマークおよび方向整列アラインマークは、前記アラインマーク領域内に配置された請求項41に記載の集積回路。 - 表示パネルと、
前記表示パネルを駆動する駆動部を含み、
前記駆動部は、集積回路で形成され、
前記集積回路は、
基板と、
前記基板上に配置された半導体層と、
前記半導体層の上部に配置され、上部面にバンプを含む絶縁層を含み、
前記半導体層は、p型半導体を含むアラインマーク領域を含み、
前記アラインマーク領域は、内部アラインマークを含む集積回路。 - 前記基板は、シリコン基板である請求項43に記載の集積回路。
- 前記絶縁層は、上部面に外部のアラインマークをさらに含み、
前記内部アラインマークは、前記外部のアラインマークと重なるように配置される請求項43に記載の集積回路。 - 前記内部アラインマークの形状は、前記アラインマーク領域で前記p型半導体が配置された形状によって定義される請求項43に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、位置整列アラインマークを含む請求項46に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、方向整列アラインマークをさらに含む請求項47に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、前記アラインマーク領域を定義する領域定義アラインマークをさらに含む請求項48に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークの形状は、前記アラインマーク領域で前記p型半導体が配置されない領域の形状によって定義される請求項43に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、位置整列アラインマークを含む請求項50に記載の集積回路。
- 前記内部アラインマークは、方向整列アラインマークをさらに含む請求項51に記載の集積回路。
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