JP2013542162A - 高次ヒドリドシラン化合物の製造方法 - Google Patents
高次ヒドリドシラン化合物の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013542162A JP2013542162A JP2013530697A JP2013530697A JP2013542162A JP 2013542162 A JP2013542162 A JP 2013542162A JP 2013530697 A JP2013530697 A JP 2013530697A JP 2013530697 A JP2013530697 A JP 2013530697A JP 2013542162 A JP2013542162 A JP 2013542162A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydridosilane
- compound
- hydridosilane compound
- alkyl group
- mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/60—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/04—Hydrides of silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/04—Polysiloxanes
- C08G77/12—Polysiloxanes containing silicon bound to hydrogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
- C23C18/1204—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
- C23C18/122—Inorganic polymers, e.g. silanes, polysilazanes, polysiloxanes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
Description
全ての実施例は、保護ガス雰囲気下で実施される。H2O、O2<1ppm。
シード添加(Animpfen)によるネオペンタシランSi(SiH3)4の熱処理:
0.5gのヒドリドシラン化合物(II)(比較例1によって製造)を、ガラス器具に入れ、且つ155℃に加熱する。次に、10gのネオペンタシランをそれに添加し、且つ、該反応混合物を200分、熱処理する。冷却後のGPC測定による質量平均分子量2130g/molを有する、高次ヒドリドシラン約7gが生じる。
ネオペンタシランSi(SiH3)4の熱処理:
約10gのネオペンタシランをガラス器具に入れ、且つ、480分、154℃に加熱する。冷却後のGPC測定による質量平均分子量2200g/molを有する、ヒドリドシランが生じる。
ネオペンタシランSi(SiH3)4のUV照射:
2gのネオペンタシランを、ガラス容器に入れ、且つ、840分、UV光で照射する。GPC測定による質量平均分子量930g/molを有する、わずかな量のヒドリドシランが生じる。
Claims (15)
- 低次ヒドリドシラン化合物から高次ヒドリドシラン化合物を製造するための方法であって、
・ 少なくとも1つの低次ヒドリドシラン化合物(I)を、
・ 少なくとも500g/molの質量平均分子量を有する少なくとも1つのヒドリドシラン化合物(II)の存在中で、
・ 熱的に反応させること
を特徴とする、前記方法。 - 少なくとも1つの低次ヒドリドシラン化合物(I)が、一般式SinH2n+2(前記n=3〜10)の直鎖または分枝鎖のヒドリドシランであることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つのヒドリドシランが、ネオペンタシランであることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- ヒドリドシラン化合物(II)が、500〜5000、好ましくは1000〜4000g/molの質量平均分子量を有することを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法。
- 少なくとも1つのヒドリドシラン化合物(II)が、低次ヒドリドシランの熱処理によって製造可能なヒドリドシラン化合物であることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法。
- 少なくとも1つのヒドリドシラン化合物(II)が、式SinH2n (前記n=3〜10)、SinH2n+2 (前記n=3〜10)、もしくはSinH2n-2 (前記n=6〜10)の低次ヒドリドシランの熱処理によって製造された、少なくとも500g/molの質量平均分子量を有するヒドリドシランであることを特徴とする、請求項5に記載の方法。
- 少なくとも1つのヒドリドシラン化合物(II)を、低次ヒドリドシラン化合物(I)およびヒドリドシラン化合物(II)の総質量に対して、0.01〜10質量%、好ましくは0.5〜5質量%の質量パーセント割合で用いることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項に記載の方法。
- 高次ヒドリドシラン化合物の製造方法を、液相法として実施することを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項に記載の方法。
- 少なくとも1つの溶剤の存在中で実施することを特徴とする、請求項8に記載の方法。
- 前記溶剤を、組成物の総質量に対して20〜80質量%の割合で用いることを特徴とする、請求項9に記載の方法。
- 反応を、30〜250℃、好ましくは90〜180℃、特に好ましくは110〜160℃の温度で実施することを特徴とする、請求項1から10までのいずれか1項に記載の方法。
- 反応時間が、0.1〜12時間の間、さらに好ましくは1〜8時間の間、とりわけ特に好ましくは2〜6時間の間であることを特徴とする、請求項1から11までのいずれか1項に記載の方法。
- 反応混合物に、反応の前または反応の間に、B2H6、BHxR3-x (前記x=0〜2、且つ前記R=C1〜C10−アルキル基、不飽和の環式C2〜C10−アルキル基)、エーテルまたはアミンが錯化されたBHxR3-x (前記x=0〜3、且つ前記R=C1〜C10−アルキル基、不飽和の環式C2〜C10−アルキル基)、Si5H9BR2 (前記R=H、Ph、C1〜C10−アルキル基)、Si4H9BR2 (前記R=H、Ph、C1〜C10−アルキル基)、赤リン、白リン(P4)、PHxR3-x (前記x=0〜3、且つ前記R=Ph、SiMe3、C1〜C10−アルキル基)、P7(SiR3)3 (前記R=H、Ph、C1〜C10−アルキル基)、Si5H9PR2 (前記R=H、Ph、C1〜C10−アルキル基)、およびSi4H9PR2 (前記R=H、Ph、C1〜C10−アルキル基)からなる群から選択される少なくとも1つのドープ物質を添加することを特徴とする、請求項1から12までのいずれか1項に記載の方法。
- 請求項1から13までのいずれか1項に記載の方法によって製造可能なヒドリドシラン化合物。
- 請求項14に記載のヒドリドシラン化合物を、光電子部品の層、電子部品の層、またはケイ素含有層を生成するために、好ましくは元素のケイ素層を製造するために用いる使用。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010041842.0 | 2010-10-01 | ||
DE102010041842A DE102010041842A1 (de) | 2010-10-01 | 2010-10-01 | Verfahren zur Herstellung höherer Hydridosilanverbindungen |
PCT/EP2011/066742 WO2012041837A2 (de) | 2010-10-01 | 2011-09-27 | Verfahren zur herstellung höherer hydridosilanverbindungen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013542162A true JP2013542162A (ja) | 2013-11-21 |
JP5808412B2 JP5808412B2 (ja) | 2015-11-10 |
Family
ID=44735909
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013530697A Expired - Fee Related JP5808412B2 (ja) | 2010-10-01 | 2011-09-27 | 高次ヒドリドシラン化合物の製造方法 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8889092B2 (ja) |
EP (1) | EP2621856B1 (ja) |
JP (1) | JP5808412B2 (ja) |
KR (1) | KR20130138228A (ja) |
CN (2) | CN103118977B (ja) |
AU (1) | AU2011310638B2 (ja) |
DE (1) | DE102010041842A1 (ja) |
ES (1) | ES2679247T3 (ja) |
MY (1) | MY160722A (ja) |
TW (2) | TW201619056A (ja) |
WO (1) | WO2012041837A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016535721A (ja) * | 2013-09-05 | 2016-11-17 | ダウ コーニング コーポレーションDow Corning Corporation | 2,2,4,4−テトラシリルペンタシラン並びにその組成物、方法及び使用 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010040231A1 (de) | 2010-09-03 | 2012-03-08 | Evonik Degussa Gmbh | p-Dotierte Siliciumschichten |
DE102010041842A1 (de) | 2010-10-01 | 2012-04-05 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Hydridosilanverbindungen |
DE102010062984A1 (de) | 2010-12-14 | 2012-06-14 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Halogen- und Hydridosilane |
DE102010063823A1 (de) | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Hydridosilanen |
DE102012221669A1 (de) | 2012-11-27 | 2014-05-28 | Evonik Industries Ag | Verfahren zum Herstellen kohlenstoffhaltiger Hydridosilane |
DE102013010101A1 (de) * | 2013-06-18 | 2014-12-18 | Evonik Industries Ag | Formulierungen umfassend Hydridosilane und Hydridosilan-Oligomere, Verfahren zu ihrer Herstellung und ihrer Verwendung |
DE102013010102A1 (de) * | 2013-06-18 | 2014-12-18 | Evonik Industries Ag | Formulierungen umfassend Hydridosilane und Hydridosilan-Oligomere, Verfahren zu ihrer Herstellung und ihrer Verwendung |
US11091649B2 (en) | 2013-09-05 | 2021-08-17 | Jiangsu Nata Opto-Electronic Materials Co. Ltd. | 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane and its compositions, methods and uses |
DE102013020518A1 (de) | 2013-12-11 | 2015-06-11 | Forschungszentrum Jülich GmbH Fachbereich Patente | Verfahren und Vorrichtung zur Polymerisation einer Zusammensetzung enthaltend Hydridosilane und anschließenden Verwendung der Polymerisate zur Herstellung von siliziumhaltigen Schichten |
DE102014208054A1 (de) | 2014-04-29 | 2015-10-29 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Erzeugung unterschiedlich dotierter Halbleiter |
DE102014223465A1 (de) * | 2014-11-18 | 2016-05-19 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Erzeugung von dotierten, polykristallinen Halbleiterschichten |
US20200062602A1 (en) * | 2016-09-23 | 2020-02-27 | Showa Denko K.K. | Method for producing oligosilane |
EP3590889B1 (en) | 2018-07-05 | 2020-12-02 | Evonik Operations GmbH | Preparation of 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane in the presence of lewis acids |
US11230474B2 (en) * | 2018-10-11 | 2022-01-25 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Process for producing isomer enriched higher silanes |
EP3702397B1 (en) | 2019-02-26 | 2021-06-09 | Evonik Operations GmbH | Method for the preparation of hydridosilane oligomers |
CA3154917A1 (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | Benjamin BURCHER | Process for producing and regenerating hydrogen carrier compounds |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005022964A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-27 | Jsr Corp | シラン重合体およびシリコン膜の形成方法 |
JP2010506001A (ja) * | 2006-10-06 | 2010-02-25 | コヴィオ インコーポレイテッド | シリコンポリマー、シリコン化合物の重合方法、及びそのようなシリコンポリマーから薄膜を形成する方法 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5252766A (en) | 1990-09-14 | 1993-10-12 | Director-General Of Agency Of Industrial Science | Method for producing polysilanes |
JPH06128381A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-10 | Tonen Corp | 高分子量ポリシランの製造法 |
DE69417805T2 (de) | 1993-06-15 | 1999-08-12 | Nippon Oil Co Ltd | Verfahren zur Herstellung eines Halbleitermaterials |
US5700400A (en) * | 1993-06-15 | 1997-12-23 | Nippon Oil Co., Ltd. | Method for producing a semiconducting material |
US5866471A (en) * | 1995-12-26 | 1999-02-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of forming semiconductor thin film and method of fabricating solar cell |
US6027705A (en) | 1998-01-08 | 2000-02-22 | Showa Denko K.K. | Method for producing a higher silane |
JP2003313299A (ja) | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Seiko Epson Corp | 高次シラン組成物及び該組成物を用いたシリコン膜の形成方法 |
CN100471991C (zh) * | 2002-10-18 | 2009-03-25 | 应用材料有限公司 | 采用硅化合物进行的含硅层沉积 |
US8163261B2 (en) * | 2005-04-05 | 2012-04-24 | Voltaix, Llc | System and method for making Si2H6 and higher silanes |
DE102007007874A1 (de) * | 2007-02-14 | 2008-08-21 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Silane |
EP2135844A1 (de) | 2008-06-17 | 2009-12-23 | Evonik Degussa GmbH | Verfahren zur Herstellung höherer Hydridosilane |
DE102008043422B3 (de) | 2008-11-03 | 2010-01-07 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Aufreinigung niedermolekularer Hydridosilane |
JP5604044B2 (ja) | 2009-01-09 | 2014-10-08 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 高次シラン組成物および膜付基板の製造方法 |
JP2010206161A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-09-16 | Sony Corp | 成膜方法および半導体装置の製造方法 |
DE102009048087A1 (de) | 2009-10-02 | 2011-04-07 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Hydridosilane |
DE102009053805A1 (de) | 2009-11-18 | 2011-05-26 | Evonik Degussa Gmbh | Siliziumschichten aus polymermodifizierten Flüssigsilan-Formulierungen |
DE102009053804B3 (de) | 2009-11-18 | 2011-03-17 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Hydridosilanen |
DE102009053806A1 (de) | 2009-11-18 | 2011-05-19 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Siliciumschichten |
DE102010002405A1 (de) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Oligomerisierung von Hydridosilanen, die mit dem Verfahren herstellbaren Oligomerisate und ihre Verwendung |
DE102010040231A1 (de) | 2010-09-03 | 2012-03-08 | Evonik Degussa Gmbh | p-Dotierte Siliciumschichten |
DE102010041230A1 (de) | 2010-09-23 | 2012-03-29 | Evonik Degussa Gmbh | Verwendung von Diamond Like Carbon Schichten bei der Aufbringung metallionenfreier Halbleitertinten |
DE102010041842A1 (de) | 2010-10-01 | 2012-04-05 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Hydridosilanverbindungen |
DE102010049587A1 (de) | 2010-10-26 | 2012-04-26 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur elektrochemischen Wasserstoffpassivierung von Halbleiterschichten |
DE102010062383A1 (de) | 2010-12-03 | 2012-06-06 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zum Konvertieren von Halbleiterschichten |
DE102010053214A1 (de) | 2010-12-03 | 2012-06-06 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Wasserstoffpassivierung von Halbleiterschichten |
DE102010062386B4 (de) | 2010-12-03 | 2014-10-09 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zum Konvertieren von Halbleiterschichten, derartig hergestellte Halbleiterschichten sowie derartige Halbleiterschichten umfassende elektronische und optoelektronische Erzeugnisse |
DE102010062984A1 (de) | 2010-12-14 | 2012-06-14 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Halogen- und Hydridosilane |
DE102010063823A1 (de) | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Hydridosilanen |
DE102011006307A1 (de) | 2011-03-29 | 2012-10-04 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zum Herstellen von amorphen Halbleiterschichten |
-
2010
- 2010-10-01 DE DE102010041842A patent/DE102010041842A1/de not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-09-27 AU AU2011310638A patent/AU2011310638B2/en not_active Ceased
- 2011-09-27 CN CN201180046933.9A patent/CN103118977B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-09-27 ES ES11764156.3T patent/ES2679247T3/es active Active
- 2011-09-27 CN CN201610464590.2A patent/CN106046381B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-09-27 KR KR1020137008054A patent/KR20130138228A/ko active IP Right Grant
- 2011-09-27 MY MYPI2013001038A patent/MY160722A/en unknown
- 2011-09-27 EP EP11764156.3A patent/EP2621856B1/de not_active Not-in-force
- 2011-09-27 WO PCT/EP2011/066742 patent/WO2012041837A2/de active Application Filing
- 2011-09-27 US US13/824,641 patent/US8889092B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-09-27 JP JP2013530697A patent/JP5808412B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-09-28 TW TW105104929A patent/TW201619056A/zh unknown
- 2011-09-28 TW TW100134994A patent/TWI606013B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005022964A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-27 | Jsr Corp | シラン重合体およびシリコン膜の形成方法 |
JP2010506001A (ja) * | 2006-10-06 | 2010-02-25 | コヴィオ インコーポレイテッド | シリコンポリマー、シリコン化合物の重合方法、及びそのようなシリコンポリマーから薄膜を形成する方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016535721A (ja) * | 2013-09-05 | 2016-11-17 | ダウ コーニング コーポレーションDow Corning Corporation | 2,2,4,4−テトラシリルペンタシラン並びにその組成物、方法及び使用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012041837A2 (de) | 2012-04-05 |
CN103118977A (zh) | 2013-05-22 |
TW201231393A (en) | 2012-08-01 |
DE102010041842A1 (de) | 2012-04-05 |
TWI606013B (zh) | 2017-11-21 |
ES2679247T3 (es) | 2018-08-23 |
MY160722A (en) | 2017-03-15 |
KR20130138228A (ko) | 2013-12-18 |
JP5808412B2 (ja) | 2015-11-10 |
CN103118977B (zh) | 2016-08-03 |
CN106046381A (zh) | 2016-10-26 |
EP2621856A2 (de) | 2013-08-07 |
AU2011310638B2 (en) | 2014-09-11 |
US8889092B2 (en) | 2014-11-18 |
EP2621856B1 (de) | 2018-06-06 |
AU2011310638A1 (en) | 2013-04-11 |
CN106046381B (zh) | 2020-04-07 |
TW201619056A (zh) | 2016-06-01 |
WO2012041837A3 (de) | 2012-06-14 |
US20130183223A1 (en) | 2013-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5808412B2 (ja) | 高次ヒドリドシラン化合物の製造方法 | |
JP5520602B2 (ja) | ハロゲン化ポリシランの混合物の製造方法およびその処理方法 | |
US8969610B2 (en) | Method for oligomerizing hydridosilanes, the oligomers that can be produced by means of the method, and the use thereof | |
KR101569594B1 (ko) | 중간 사슬 길이의 폴리실란 및 그 제조방법 | |
JP2022522440A (ja) | ヒドリドシランオリゴマーの製造方法 | |
CN105542172A (zh) | 主链含碳硼烷的硼硅炔聚合物及其制备方法 | |
KR20170030563A (ko) | 농축법을 이용한 고리형 실란의 제조방법 | |
CN109851784B (zh) | 一种钌配合物催化制备1,4-立构规整聚三唑的方法 | |
Gencer et al. | Synthesis and characterization of novel SiBOC ceramics: comparison of microwave and ultrasonic application on gelation time | |
JP2016508119A (ja) | 炭素含有ヒドリドシランの製造方法 | |
Liu et al. | Synthesis, structural characterization and properties of a cubic octa-n-propylsilsesquioxane inorganic–organic hybrid material | |
JP6673845B2 (ja) | シランの重合禁止剤 | |
US9428618B2 (en) | Method for producing halogenated oligomers and/or halogenated polymers of elements of the third to fifth main group | |
JP2001089572A (ja) | リン変性ケイ素ポリマー、その製法、それを含有する組成物ならびにリン変性シリコンの製法 | |
WO2016009897A1 (ja) | 加熱重合によるポリシランの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140331 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150216 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150817 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5808412 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |