JP2013534569A - 回転式ターゲット裏当て管結合用組立 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結合材が回転式スパッタリングターゲットの端部に隣接してのみ適用されそしてまた回転式スパッタリングターゲットと裏当て管との間の間隙を形成するためにターゲットと裏当て管との間にあるように裏当て管に結合された回転式スパッタリングターゲット、および裏当て管に回転式スパッタリングターゲットを結合するための装置。
【選択図】図2
Description
101 末端つば
102 継ぎ目
103 穿孔
104 露出裏当て管
105 逃げ貯留層
110 ターゲット材料
111 ターゲットの第1末端
112 ターゲットの第2末端
113 間隙
114 ターゲット内面
115 シーリング環
116 加重
120 ターゲット結合材
200 結合用治具
201 加熱プラグ
202 発熱体
203 加熱プラグ先細面
204 加熱プラグ側壁
210 心立て土台
211 心立て土台上表面
212 心立て土台内径
213 心立て土台突起面
220 可変温度エネルギー帯
221 エネルギー帯冷却要素
222 エネルギー帯発熱体
223 エネルギー帯内側リング面
300 回転組立台
301 組立底部
302 組立垂直支持体
303 つば
304 つば棒
305 回転アーム
306 裏当て管補助物
400 シーリング装置
401 ねじ棒
402 最上部板材
403 底板材
901 裏当て管
902 接着剤突起部
903 接着剤
904 ターゲット
前記裏当て管の外径より大きいある内径にてある長さおよびある内面を有し前記裏当て管を覆って設置された管状スパッタリングターゲット材料、および
結合材又はシーリング材が裏当て管の外面に沿って不連続であって且つ前記裏当て管の外面と前記ターゲット材料との間に間隙を規定するように、前記ターゲット材料の端部又は端部の近傍でのみ前記スパッタリングターゲット材料および前記裏当て管と接着されている、結合材又はシーリング材、を含有し、
前記裏当て管が、さらに裏当て管の周辺で且つ前記間隙に隣接して1つ以上の穿孔を含有し、
前記間隙が、スパッタリングの間、冷却流体が前記間隙を通って、前記間隙と隣接していて且つ前記結合又はシーリングされた端部の間にあるターゲット材料の内面と直接的に接して流れることを可能にするために1つ以上の穿孔を通って裏当て管内と流体連通である、
回転式スパッタリングターゲット組立を含む。
前記支持土台上に位置していて且つ前記結合又はシーリングがなされる前記ターゲット材料の外面と接している可変温度エネルギー帯
を含有する、回転式スパッタリングターゲット組立を組立てるための結合又はシーリング用治具を含む。本発明の治具は結合材をそれぞれの端部での適用を可能にするために、裏当て管と回転式スパッタリングターゲットとを適所に保持している。
結合又はシーリングされるターゲット材料の端部の内面の周辺を覆う量でのみ前記裏当て管と前記ターゲット材料との間の間隙に、前記治具内でターゲット材料の1つの端部を設置する前又は設置後のいずれかで加えられる組成と形状に依存して、結合材又はシーリング材を加えること、および
前記結合材又はシーリング材を加熱することによって結合又はシーリングを形成するために前記治具にパワーを適用すること、
を含む、ターゲット材料を裏当て管に結合又はシーリングする方法を含む。
また、他の形態において、本発明は、底部、
前記底部に回転可能に取り付けられた垂直支持体、
回転式スパッタリングターゲット組立ての様々な長さを調整するために前記垂直支持体に1つの端部で取り付けられ且つ垂直支持体の長さに沿って垂直に移動可能な水平つば、
前記つばの他の端部に取り付けられた回転可能なアーム、および
前記裏当て管、前記結合材又はシーリング材およびターゲット材料を組立て用に保持するための回転可能なアーム上の手段
を含む延びた回転式スパッタリングターゲット組立を組立てるための裏当て管台を含む。
Claims (20)
- ターゲット材料を裏当て管に接着させる結合用治具であって、
上表面および内径を有する心立て土台、および
前記支持土台上に位置している可変温度エネルギー帯を含有し、前記可変温度エネルギー帯の内径が裏当て管に隣接したターゲット材料の外面と接していて、前記可変温度エネルギー帯が内部に第1の温度要素を含有する、前記結合用治具。 - さらに、前記可変温度エネルギー帯内に第1の温度要素を含有する請求項1に記載の結合用治具。
- さらに、前記可変温度エネルッギー帯内に第2の温度要素を含有する請求項2に記載の結合用治具。
- 少なくとも1つの温度要素が専用の発熱体でありそして少なくとも1つの温度要素が専用の冷却体である請求項3に記載の結合用治具。
- 前記心立て土台がさらに前記内径に沿って平行に且つ前記上表面上に延びる突起面を含有している請求項1に記載の結合用治具。
- さらに、外面と内部に含有される流体通路とを有する加熱プラグを含有し、前記加熱プラグの外径が裏当て管の内面と接している請求項1に記載の結合用治具。
- 前記加熱プラグが取り外し可能である請求項6に記載の結合用治具。
- ターゲット材料を裏当て管に結合させる方法であって、
1つの外面と2つの端部とを有する裏当て管を提供すること、
第1の端部と第2の端部、内面および外面を有するターゲット材料を提供し、前記内面が前記裏当て管の外面の周囲に位置し、前記裏当て管の2つの端部が露出するように前記ターゲット材料が位置付けられること、
前記裏当て管を結合用治具に設置すること、
前記結合用治具が、前記ターゲット材料の内面と裏当て管の外面との間に間隙を生じさせるために、前記裏当て管の外面と連通している内径を有する心立て土台、前記ターゲット材料の第1の端部と第2の端部の下に位置している上表面および前記内径に沿って且つ前記上表面を越えて延びる突起面を有すること、および
前記間隙に接着剤を適用して前記ターゲット材料の第1の端部に隣接した内面と前記裏当て管の外面とを結合させ、前記接着剤が前記ターゲット材料の前記第1の端部に隣接して始まり且つ前記ターゲット材料の全長さの1/3未満まで延びること、
を含む、前記方法。 - さらに、前記裏当て管およびターゲット材料を反転させること、および
前記間隙に接着剤を適用して前記ターゲット材料の第2の端部に隣接した内面と前記裏当て管の外面とを結合させ、前記接着剤が前記ターゲット材料の前記第2の端部に隣接して始まり且つ前記ターゲット材料の全長さの1/3未満まで延びること、
を含む、請求項8に記載の方法。 - 前記接着剤が前記ターゲット材料の全長さの1/5未満まで延びる請求項9に記載の方法。
- さらに、加熱プラグを位置付ける工程を含有し、前記加熱プラグが、外面が前記裏当て管の内面と接しているように加熱プラグ内に含有される外面と発熱体とを有する請求項9に記載の方法。
- さらに、前記ターゲット材料の外面の周囲に可変温度エネルギー帯を設置する工程を含み、前記可変温度ベルトが少なくとも1つの温度要素を含有する請求項9に記載の方法。
- 前記可変温度エネルギー帯が少なくとも2つの流体通路を含有し、少なくとも1つの流体通路が専用の冷却要素であり、そして少なくとも1つの流体通路が専用の発熱体である請求項12に記載の方法。
- 前記可変温度エネルギー帯が前記ターゲット材料の第1の端部に隣接して設置されている請求項12に記載の方法。
- さらに、前記接着剤を加熱する工程を含む請求項9に記載の方法。
- さらに、熱を前記可変温度エネルギー帯から前記接着剤に移す工程を含む請求項12に記載の方法。
- さらに、前記裏当て管を回転組立台に取り付ける工程を含む請求項9に記載の方法。
- 底部、
前記底部に取り付けられた回転可能な垂直支持体、
前記垂直支持体に沿って移動可能な、前記垂直支持体に可動式に取り付けられたつば、および
前記つばによって規定される軸に沿って回転可能であって、前記つばとつながっている回転アーム
を含む裏当て管台。 - ある長さおよびある外径を有する裏当て管、
前記裏当て管の長さより短い長さおよびある内径を有する回転式スパッタリングターゲット材料、
結合材が前記裏当て管の外面と前記ターゲット材料の内面との間に間隙を生じさせる裏当て管の外面に沿って不連続であるように、前記回転式スパッタリングターゲット材料の内径と前記裏当て管の外径に接着されている、前記結合材
を含む回転式スパッタリングターゲット。 - さらに、前記裏当て管の外径又は前記回転式スパッタリング材料の内径のいずれかの少なくとも1つの端部に逃げ貯留層を含む請求項19に記載の回転式スパッタリングターゲット。
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