CN109570931B - 一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法 - Google Patents

一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109570931B
CN109570931B CN201811499149.3A CN201811499149A CN109570931B CN 109570931 B CN109570931 B CN 109570931B CN 201811499149 A CN201811499149 A CN 201811499149A CN 109570931 B CN109570931 B CN 109570931B
Authority
CN
China
Prior art keywords
target
solder
target material
welded
welding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811499149.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109570931A (zh
Inventor
卢建栋
张小伟
张扬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dongcao Shanghai Electronic Materials Co ltd
Original Assignee
Dongcao Shanghai Electronic Materials Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dongcao Shanghai Electronic Materials Co ltd filed Critical Dongcao Shanghai Electronic Materials Co ltd
Priority to CN201811499149.3A priority Critical patent/CN109570931B/zh
Publication of CN109570931A publication Critical patent/CN109570931A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109570931B publication Critical patent/CN109570931B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K31/00—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups
    • B23K31/02—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups relating to soldering or welding
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明涉及溅射靶材生产技术领域，公开了一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，先清洁靶背，使靶背表面光滑平整，接着检查并清洁处理靶材待焊面，加热靶材至焊料熔点，向靶材待焊面添加焊料使其润湿，然后在靶背的待结合区域的四周设置围堰部，将焊料填满围堰部，最后将焊材的润湿面与靶背的待结合区域对准结合，无论是二次使用过的靶背还是新的靶背以及靶材，在与靶材焊接结合之前都需要清洁处理，并使表面平整，向加热至焊料熔点的靶材上将改善润湿性，避免氧化物聚集到侧边形成堵塞，防止焊料冷却过程由于收缩受阻而导致补充不足，避免了边缘缺陷的形成，降低了对靶背和平台平整度的要求，避免由于平整度不好而形成的缺陷。

Description

一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法
技术领域
本发明涉及溅射靶材生产技术领域，更具体地说，它涉及一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法。
背景技术
目前，在集成电路、信息储存、液晶显示、电器控制器件等一些电子设备上需要应用大量的溅射靶材进行生产，其中一些大尺寸的溅射靶材可用于加工4.5代线～6代线的显示器，此类溅射靶材对平整度的要求较高。
现有的溅射靶材大多包括靶材、焊料和靶背，在实际生产中，需要先润湿靶材，将焊料添加到靶背即将与靶材的结合面上，再将靶材与靶背则热结合后待其自然冷却成型。
然而在冷却的过程中，由于焊料四周的氧化物会堵塞在结合处的边缘，会造成焊料补充不足，而且有些经过二次利用的靶背因为长期使用的原因导致平整度变差，从而会导致在结合后焊接面边缘有缝隙产生，造成结合面高低不一，使溅射靶材固定的稳定性变差，存在缺陷。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的在于提供一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，其具有XXX优点。
本发明的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，包括如下步骤：
S1：清洁靶背，使靶背表面光滑平整；
S2：检查并清洁处理靶材待焊面，加热所述靶材至焊料熔点，向靶材待焊面添加焊料使其润湿；
S3：在所述靶背的待结合区域的四周设置围堰部，将焊料填满所述围堰部；
S4：将所述焊材的润湿面与所述靶背的待结合区域对准结合。
通过上述技术方案，无论是二次使用过的靶背还是新的靶背以及靶材，在与靶材焊接结合之前都需要清洁处理，并使表面平整，向加热至焊料熔点的靶材上将改善润湿性，在结合的过程中，避免了氧化物聚集到侧边形成堵塞，防止焊料冷却过程由于收缩受阻而导致补充不足，避免了边缘缺陷的形成。同时，围堰部的使用降低了对靶背和平台平整度的要求，避免由于平整度不好而形成的缺陷。
本发明进一步设置为：所述步骤S1具体包括：
S11：对靶背上的待结合区域以外的区域进行防护处理；
S12：对靶背上的待结合区域进行喷砂清洁处理。
通过上述技术方案，使用喷砂处理，在除去杂质并消除凹坑时，避免了对靶背的过度损伤，减少了损耗，延长了靶背的使用寿命。
本发明进一步设置为：所述步骤S2具体包括：
S21：检查靶材待焊面，去除油污；
S22：对靶材的待焊面进行喷砂处理，去除其表面杂质；
S23：对靶材的待焊面进行加热，并添加焊料，润湿其表面。
通过上述技术方案，通过喷砂的方式去除油污和杂质有利于焊接的稳定性，且摒弃了通常使用的电镀的方式，减少了环境的污染，而且焊料与加热的待焊面接触会紧密融化结合在靶材上。
本发明进一步设置为：所述步骤S23中采用超声波焊接的方式进行加热。
通过上述技术方案，超声波焊接清洁无污染，适合多次使用。
本发明进一步设置为：所述步骤S3具体包括：
S31：通过使用耐高温胶带将铝箔包覆围绕设置在所述靶背的焊接面四周，并使所述铝箔一侧垂直于所述靶背，形成所述围堰部；
S32：将所述焊料填满所述围堰部。
通过上述技术方案，在焊接面周围通过铝箔围城围堰部，在结合的过程中，避免了氧化物聚集到侧边形成堵塞，避免了边缘缺陷的形成，同时围堰部的使用降低了对靶背和平台平整度的要求，避免由于平整度不好而形成大缺陷。
本发明进一步设置为：所述步骤S4具体包括：
S41：在填设在所述围堰部内的所述焊料上间隔设置多个平行的软质焊线；
S42：将所述靶材的待焊面面朝所述软质焊线设置，使所述靶材在所述软质焊线上滚动，调节所述靶材的结合位置。
通过上述技术方案，靶材与靶背直接接触，在结合后，由于调整位置需要，两者接触部位相互摩擦，对于靶材会损伤润湿面，造成焊接缺陷，而软质焊线质地较软，将靶材将在焊线上滚动，减轻了焊接面损伤，且由于软质焊线的支撑作用，使焊接层厚度增加，抵抗变形能力强，不会产生裂纹。
本发明进一步设置为：所述靶材采用钼制成。
本发明进一步设置为：所述焊料采用低温焊料制成。
通过上述技术方案，低温焊料更容易融化，进而方便焊接。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
通过在所述靶背的待结合区域的四周设置围堰部，将焊料填满所述围堰部，结合的过程中，避免了氧化物聚集到侧边形成堵塞，防止焊料冷却过程由于收缩受阻而导致补充不足，大幅减少了边缘缺陷的形成，而且，围堰部的使用限制了融化焊料的随意运动，使焊料集中在围堰部中间，降低了对靶背和平台平整度的要求，避免由于平整度不好而形成的缺陷。
附图说明
图1为本发明中实施例的流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明进行详细描述。
一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，如图1所示，包括如下步骤：
在工作开始之前，需要进入步骤S1：清洁靶背，使靶背表面光滑平整，具体需要先进入步骤S11。
步骤S11：将靶背上的待结合区域以外的区域用喷砂胶带进行防护，进入步骤S12。
步骤S12：将放入喷砂机，使用24~36号碳化硅颗粒喷砂1~2次，进行喷砂清洁处理。在除去杂质并消除凹坑时，避免了对靶背的过度损伤，减少了损耗，延长了靶背的使用寿命。
在焊接前，准备好低温焊料作为焊接用焊料，进入步骤S2。
步骤S2：检查并清洁处理靶材待焊面，靶材采用钼制成，加热靶材至焊料熔点，向靶材待焊面添加焊料使其润湿，步骤S2具体包括：
步骤S21：检查靶材待焊面，去除油污。接下来进行步骤S22：对靶材的待焊面进行喷砂处理，去除其表面杂质，再进行步骤S23：采用超声波焊接的方式对靶材的待焊面进行加热，并添加焊料，润湿其表面。
通过喷砂的方式去除油污和杂质有利于焊接的稳定性，且摒弃了通常使用的电镀的方式，减少了环境的污染，而且超声波焊接清洁无污染，适合多次使用，可使焊料与加热的待焊面接触会紧密融化结合在靶材上，更加稳定。
步骤S3：在靶背的待结合区域的四周设置围堰部，其中包括步骤S31：通过使用耐高温胶带将铝箔包覆围绕设置在靶背的焊接面四周，并使铝箔靠近焊接面的一侧垂直于靶背，形成具有中部空间的中部空间与焊接重合的围堰部，再进入步骤S32：将焊料填满围堰部。
无论是二次使用过的靶背还是新的靶背以及靶材，在与靶材焊接结合之前都需要清洁处理，并使表面平整，向加热至焊料熔点的靶材上将改善润湿性，再通过结合的过程中，避免了氧化物聚集到侧边形成堵塞，防止焊料冷却过程由于收缩受阻而导致补充不足，避免了边缘缺陷的形成。同时，围堰部的使用限制了融化的焊料的运动，降低了对靶背和平台平整度的要求，避免了由于平整度不好而形成的缺陷。
而且，在焊接面周围通过铝箔围城围堰部，在结合的过程中，避免了氧化物聚集到侧边形成堵塞，避免了边缘缺陷的形成，同时围堰部的使用降低了对靶背和平台平整度的要求，避免由于平整度不好而形成大缺陷。
步骤S4具体包括：将所述焊材的润湿面与所述靶背的待结合区域对准结合。
步骤S41：在填设在围堰部内的焊料上间隔设置多个平行的软质焊线；
步骤S42：将靶材的待焊面面朝软质焊线设置，使靶材在软质焊线上滚动，调节靶材的结合位置。
靶材与靶背直接接触，在结合后，由于调整位置需要，两者接触部位相互摩擦，对于靶材会损伤润湿面，造成焊接缺陷，而软质焊线质地较软，将靶材将在焊线上滚动，减轻了焊接面损伤，且由于软质焊线的支撑作用，使焊接层厚度增加，抵抗变形能力强，不会产生裂纹。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1：清洁靶背，使靶背表面光滑平整；
S2：检查并清洁处理靶材待焊面，加热所述靶材至焊料熔点，向靶材待焊面添加焊料使其润湿；
S3：在所述靶背的待结合区域的四周设置围堰部，将焊料填满所述围堰部；
所述步骤S3具体包括：
S31：通过使用耐高温胶带将铝箔包覆围绕设置在所述靶背的焊接面四周，并使所述铝箔一侧垂直于所述靶背，形成所述围堰部；
S32：将所述焊料填满所述围堰部；
S4：将所述焊材的润湿面与所述靶背的待结合区域对准结合。
所述步骤S4具体包括：
S41：在填设在所述围堰部内的所述焊料上间隔设置多个平行的软质焊线；
S42：将所述靶材的待焊面面朝所述软质焊线设置，使所述靶材在所述软质焊线上滚动，调节所述靶材的结合位置。
2.根据权利要求1所述的大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括：
S11：对靶背上的待结合区域以外的区域进行防护处理；
S12：对靶背上的待结合区域进行喷砂清洁处理。
3.根据权利要求1所述的大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括：
S21：检查靶材待焊面，去除油污；
S22：对靶材的待焊面进行喷砂处理，去除其表面杂质；
S23：对靶材的待焊面进行加热，并添加焊料，润湿其表面。
4.根据权利要求3所述的大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，其特征在于，所述步骤S23中采用超声波焊接的方式进行加热。
5.根据权利要求1所述的大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，其特征在于，所述靶材采用钼制成。
6.根据权利要求1所述的大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法，其特征在于，所述焊料采用低温焊料制成。
CN201811499149.3A 2018-12-08 2018-12-08 一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法 Active CN109570931B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811499149.3A CN109570931B (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811499149.3A CN109570931B (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109570931A CN109570931A (zh) 2019-04-05
CN109570931B true CN109570931B (zh) 2020-11-10

Family

ID=65929440

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811499149.3A Active CN109570931B (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109570931B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115572955B (zh) * 2020-12-14 2024-04-26 上海超导科技股份有限公司 靶材凹坑测试装置及其反馈控制走靶方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1541282A (zh) * 2001-08-13 2004-10-27 �����ʩ���عɷݹ�˾ 溅射靶

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1330999A (zh) * 2000-06-22 2002-01-16 杨建昌 焊接导焊板
KR20100006830U (ko) * 2008-12-26 2010-07-06 정무수 알루미늄 테이프 부착방법을 개선한 용접지지구
KR101294329B1 (ko) * 2009-03-30 2013-08-07 삼성코닝정밀소재 주식회사 대형 스퍼터링 타겟재 제조방법
CN201596830U (zh) * 2009-12-18 2010-10-06 北京有色金属研究总院 靶材与背板实现精确定位的钎焊装置
US9011652B2 (en) * 2010-07-12 2015-04-21 Materion Advanced Material Technologies And Services Inc. Rotary target backing tube bonding assembly
JP5846072B2 (ja) * 2012-08-06 2016-01-20 新日鐵住金株式会社 高強度鋼管用溶接継手、高強度鋼管用溶接継手の製造方法、高強度鋼管の接合方法および高強度鋼管の接合構造
CN104551309B (zh) * 2013-10-14 2018-02-09 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶材焊接夹具和靶材焊接方法
CN108213855A (zh) * 2016-12-15 2018-06-29 宁波江丰电子材料股份有限公司 铜靶材组件及其制造方法
CN108620813A (zh) * 2017-03-17 2018-10-09 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶坯及其加工方法
CN109423614A (zh) * 2017-08-22 2019-03-05 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶材组件制造方法
CN209532325U (zh) * 2018-12-08 2019-10-25 东曹(上海)电子材料有限公司 一种溅射靶材加工装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1541282A (zh) * 2001-08-13 2004-10-27 �����ʩ���عɷݹ�˾ 溅射靶

Also Published As

Publication number Publication date
CN109570931A (zh) 2019-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107755837B (zh) 靶材组件的制造方法
JP6231428B2 (ja) Ｌｉ含有酸化物ターゲット接合体およびその製造方法
JP6286088B2 (ja) バッキングプレート、スパッタリングターゲットおよびそれらの製造方法
CN109570931B (zh) 一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法
JP5228245B2 (ja) スパッタリングターゲット
CN102677047A (zh) 铝箔轧辊裂纹的激光修复工艺
CN109108431A (zh) 一种超厚铸钢件的焊接方法
CN103917056A (zh) 一种焊接工艺和电路板
TWI564105B (zh) Flux accumulation device
CN103658898B (zh) 靶材组件焊接方法
US20140209284A1 (en) Manufacturing process and heat dissipating device for forming interface for electronic component
CN111534775A (zh) 一种捞渣机器人捞渣路径规划方法
KR20150013876A (ko) 타겟 접합체
TW201925505A (zh) 靶材貼合製作方法
CN107866617B (zh) 一种大间隙钎焊用金属粉末填充方法
JP2007329160A (ja) パワー素子搭載用ユニットおよびパワー素子搭載用ユニットの製造方法並びにパワーモジュール
JP2012076948A (ja) シートガラスの製造方法
JP4882596B2 (ja) パワー素子搭載用基板およびパワー素子搭載用基板の製造方法並びにパワーモジュール
CN102510584B (zh) 一种粘合型加热片的制造方法
KR101909797B1 (ko) 유리 기판의 제조 방법
JP2012076945A (ja) シートガラスの製造方法及びガラス板
TWI760689B (zh) 濺鍍靶、將靶材與背板接合的方法及濺鍍靶的製造方法
CN107346747A (zh) 一种芯片焊接方法
CN114211077A (zh) 一种钎焊料镶嵌技术
JP2022132865A (ja) 絶縁回路基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant