CN209532325U - 一种溅射靶材加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种溅射靶材加工装置，涉及靶材热处理技术领域，其包括基板以及围挡，围挡可拆卸安装于基板上并沿基板的边沿周向设置，围挡与基板形成一槽体，槽体的一内侧壁固定有第一卡块，槽体相对于第一卡块的内侧壁可拆卸安装有第二卡块，第一卡块和第二卡块夹持于靶材的两侧，围挡的顶部开设有与背板配合卡接的卡槽，且卡槽与槽体相通设置。本实用新型具有焊合率高、操作简单、安全系数高的优点。

Description

一种溅射靶材加工装置

技术领域

本实用新型涉及靶材热处理技术领域，尤其是涉及一种溅射靶材加工装置。

背景技术

平板显示溅射靶材需要将靶材和背板通过钎焊的方式结合起来，结合层需要相对均匀且尽量减少空洞、未填满等缺陷，并且需要保证靶材在背板上的相对位置尺寸。

目前的钎焊方法有两种：

一、是将靶材的焊接面先涂上焊料，在高温状态下，通过人力或者机械翻转过来，将靶材的焊接面朝下，放在支撑面上，靠近背板，然后从背板的长边方向滑动到背板上。这种方法产生的问题是：滑动的过程中容易导致焊接面上涂抹的焊料被背板边缘或者支撑面刮开，以及靶材在背板上滑动时会将原本在背板上的焊料挤出，最终导致焊接面与焊料的接触不均匀，且钎焊层中有空洞的缺陷，而导致焊合率低下。

二、是将靶材的焊接面先涂上焊料，在高温状态下，通过人力或者机械翻转过来，将靶材的焊接面朝下，然后直接放到背板上。这种方法产生的问题是：靶材均比背板尺寸小，在放下的过程中只能夹住靶材的侧边，易导致滑落等不安全事故。

综上所述，需要一种能使背板与靶材的焊合率高、操作简单且安全系数高的加工装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种溅射靶材加工装置，其具有焊合率高、操作简单、安全系数高的优点。

本实用新型的目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种溅射靶材加工装置，包括基板以及围挡，围挡可拆卸安装于基板上并沿基板的边沿周向设置，围挡与基板形成一槽体，槽体的一内侧壁固定有第一卡块，槽体相对于第一卡块的内侧壁可拆卸安装有第二卡块，第一卡块和第二卡块夹持于靶材的两侧，围挡的顶部开设有与背板配合卡接的卡槽，且卡槽与槽体相通设置。

采用上述技术方案，在对靶材和背板进行钎焊时，将围挡安装于基板上，形成一槽体，将靶材放入槽体内，并使靶材与第一卡块抵接，然后将第二卡块安装于基板上，即靶材夹持于第一卡块和第二卡块之间，然后向槽体内通焊液至淹没靶材以及卡槽的内底面，然后将背板卡入卡槽内，从而挤压焊液，部分焊液溢出槽体，待焊液冷却后，背板与靶材之间形成一焊接层。即通过槽体放入足够多的焊料，避免焊料流失，确保焊接层的厚度，通过卡槽、第一卡块、第二卡块，可以控制靶材和背板的相对位置，避免人力进行调节。

本实用新型进一步设置为：围挡至少包括四根横板，各横板上分别设置有第一螺栓，第一螺栓穿过对应的横板并与基板螺纹连接。

采用上述技术方案，在安装该加工工具时，先将各横板分别放置于基板的对应位置处，然后将第一螺栓穿过对应的横板并与基板螺纹连接，从而实现对横板的安装，以及在加工完成后，先将第一螺栓取出，然后拆卸各横板，便于清理槽体内的剩余焊液。

本实用新型进一步设置为：第一卡块、第二卡块的顶面同步与卡槽的内底面平齐。

采用上述技术方案，第一卡块、第二卡块的顶面同步与卡槽的内底面平齐，从而在背板卡入卡槽时，第一卡块、第二卡块的顶面可以与背板的底面抵接，从而提高背板安装的稳定性。

本实用新型进一步设置为：第二卡块朝向槽体的一侧至少呈二阶的阶梯状设置，第二卡块上设置有第二螺栓，第二卡块开设有第二贯穿口，第二贯穿口低于第二卡块的顶面，第二螺栓穿过第二贯穿口并螺纹连接于基板。

采用上述技术方案，通过设置第二贯穿口以及第二螺栓，第二螺栓穿过第二贯穿口并与基板螺纹连接，从而实现第二卡块的可拆卸，便于快速取出靶材与背板的结合体。

本实用新型进一步设置为：第一卡块朝向槽体的一侧呈与第二卡块配合的阶梯状设置。

采用上述技术方案，第二卡块朝向槽体的一侧与第一卡块配合设置，即第二卡块和第一卡块的相对面呈配合的阶梯状设置，从而适应多种规格的背板与靶材的结合体。

本实用新型进一步设置为：槽体内固定有固定块，当靶材卡入槽体内时，固定块、第一卡块、第二卡块同步与靶材的三个侧面抵接。

采用上述技术方案，通过设置固定块，在靶材卡入槽体内时，固定块、第一卡块、第二卡块同步与靶材的三个侧面抵接，从而实现了对靶材的精准定位，从而减少钎焊的误差。

本实用新型进一步设置为：槽体相对固定块的内侧面固定有定位块，定位块和固定块之间放置有限位块，在靶材卡入卡槽时，限位块和靶材夹持于定位块和固定块之间。

采用上述技术方案，通过设置定位块，当靶材卡入槽体内时，第一卡块、第二卡块、固定块、限位块分别与靶材的四个侧面抵接，提高靶材加工的精确度，且限位块卡紧与于定位块和靶材之间，定位块固定于槽体上，限位块还可以根据靶材的长度选择对应的规格。

本实用新型进一步设置为：还包括耐高温膜，耐高温膜铺设于槽体内壁上。

采用上述技术方案，通过设置耐高温膜，从而减少焊液温度过高造成对围挡、基板的伤害。

本实用新型进一步设置为：基板、围挡、第一卡块以及第二卡块上分别涂有防滑涂层。

采用上述技术方案，通过设置防滑涂层，减少基板、围挡、第一卡块以及第二卡块上附着的焊液。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

（1）通过设置卡槽、第一卡块、第二卡块，可以精确控制靶材和背板的相对位置，确保焊接层的厚度，常温下完成靶材和槽体的组装，避免高温下的操作，操作简便安全；

（2）第一卡块、第二卡块的顶面与卡槽的内底面平齐，从而可以与背板的底面抵接，提高背板安装的稳定性；

（3）通过设置定位块，当靶材卡入槽体内时，第一卡块、第二卡块、固定块、限位块分别与靶材的四个侧面抵接，提高靶材加工的精确度。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是图1的局部剖视图；

图3是图1中打开背板后的结构示意图；

图4是图3中A部的放大图。

附图标记：1、基板；2、围挡；3、卡槽；4、第一卡块；5、第二卡块；6、第一螺栓；7、第二螺栓；8、定位块；9、限位块；10、固定块；11、靶材；12、背板；13、槽体。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1和图3，一种溅射靶材加工装置，包括基板1、围挡2。围挡2包括四块横板，各横板依次相接并呈长方形状，各横板等高设置，其横板上分别设置有第一螺栓6，横板对应开设有供第一螺栓6穿过的第一贯穿口，基板1的顶面开设有与第一贯穿口对应的螺纹口，第一螺栓6的远离螺帽的一端穿过第一贯穿口并螺纹连接于螺纹口内，从而实现各横板的可拆卸安装，同时横板与基板1形成一呈长方体的槽体13。

参照图2和图4，各横板朝向槽体13的面分别开设有卡槽3，卡槽3与横板的顶面相通设置，从而在横板形成的围挡2顶面构成了一可以与背板12边沿抵接的环形的槽，从而实现了对背板12的安装。

参照图2和图3，槽体13内可以置有2组第一卡接组件，第一卡接组件沿槽体13的长度方向均匀分布，卡接组件包括第一卡块4和第二卡块5，第一卡块4和第二卡块5沿槽体13的宽度方向分布并用于卡接靶材11。

参照图2和图4，第一卡块4的固定于基板1上，第一卡块4与基板1一体设置；第二卡块5可拆卸安装于基板1上，第二卡块5朝向槽体13的面可以呈二阶的阶梯状设置，第二卡块5的第一层阶梯开设有第二贯穿口，第二螺栓7远离其螺母的一端穿过第二贯穿口并螺纹连接于基板1上，从而实现了对靶材11的夹持。

参照图2和图3，第一卡块4朝向槽体13的一侧与第二卡块5朝向槽体13的一侧呈对称设置。且第一卡块4和第二卡块5的顶面同步与卡槽3的内底面平齐，从而背板12卡入卡槽3内时，背板12的底部同步与第一卡块4和第二卡块5的顶面抵接，且当靶材11卡入第一卡块4和第二卡块5内，以及背板12卡入卡槽3内时，背板12的底面与靶材11的顶面间隙设置，从而在槽体13内灌注焊液并冷却后，背板12和靶材11之间形成一焊接层。

参照图3，该加工装置还包括第二卡接组件，第二卡接组件可以设置有1组并用于夹持靶材11，第二卡接组件包括固定块10、定位块8以及限位块9，且固定块10、定位块8、限位块9的厚度大于靶材11的厚度。固定块10和定位块8分别固定于基板1上并沿槽体13的长度方向分布于靶材11的两侧，当靶材11同步与第一卡块4、第二卡块5、固定块10抵接时，将限位块9卡入定位块8和靶材11之间，从而实现对靶材11的限位。

参照图2和图3，基板1、围挡2、第一卡块4、第二卡块5、定位块8、限位块9以及固定块10上分别涂有防滑涂层，减少附着的焊液。且槽体13内壁上铺设有耐高温膜，耐高温膜可以为耐高温胶带，从而减少对围挡2以及基板1的影响。

本实施例的实施原理为：先对基板1、横板、第一卡块4、第二卡块5、定位块8、限位块9以及固定块10上分别涂有防滑涂层，然后将各横板安装于基板1上，并将耐高温膜粘贴于槽体13内壁，使靶材11与第一卡块4以及固定块10抵接，然后将第二卡块5安装于基板1上，以及限位块9卡入定位块8和靶材11之间，实现对靶材11的定位，然后向槽体13内通焊液至淹没靶材11以及卡槽3的内底面，将背板12卡入卡槽3内，从而挤压焊液，部分焊液溢出槽体13，待焊液冷却后，背板12与靶材11之间形成一焊接层，继而拆除挡围挡2以及限位块9、第二卡块5并取出背板12与靶材11的结合体。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种溅射靶材加工装置，其特征在于，包括基板(1)以及围挡(2)，围挡(2)可拆卸安装于基板(1)上并沿基板(1)的边沿周向设置，围挡(2)与基板(1)形成一槽体(13)，槽体(13)的一内侧壁固定有第一卡块(4)，槽体(13)相对于第一卡块(4)的内侧壁可拆卸安装有第二卡块(5)，第一卡块(4)和第二卡块(5)夹持于靶材(11)的两侧，围挡(2)的顶部开设有与背板(12)配合卡接的卡槽(3)，且卡槽(3)与槽体(13)相通设置。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，围挡(2)至少包括四根横板，各横板上分别设置有第一螺栓(6)，第一螺栓(6)穿过对应的横板并与基板(1)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，第一卡块(4)、第二卡块(5)的顶面同步与卡槽(3)的内底面平齐。

4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，第二卡块(5)朝向槽体(13)的一侧至少呈二阶的阶梯状设置，第二卡块(5)上设置有第二螺栓(7)，第二卡块(5)开设有第二贯穿口，第二贯穿口低于第二卡块(5)的顶面，第二螺栓(7)穿过第二贯穿口并螺纹连接于基板(1)。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，第一卡块(4)朝向槽体(13)的一侧呈与第二卡块(5)配合的阶梯状设置。

6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，槽体(13)内固定有固定块(10)，当靶材(11)卡入槽体(13)内时，固定块(10)、第一卡块(4)、第二卡块(5)同步与靶材(11)的三个侧面抵接。

7.根据权利要求6所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，槽体(13)相对固定块(10)的内侧面固定有定位块(8)，定位块(8)和固定块(10)之间放置有限位块(9)，在靶材(11)卡入卡槽(3)时，限位块(9)和靶材(11)夹持于定位块(8)和固定块(10)之间。

8.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，还包括耐高温膜，耐高温膜铺设于槽体(13)内壁上。

9.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，基板(1)、围挡(2)、第一卡块(4)以及第二卡块(5)上分别涂有防滑涂层。