JP2013526770A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013526770A5 JP2013526770A5 JP2013509319A JP2013509319A JP2013526770A5 JP 2013526770 A5 JP2013526770 A5 JP 2013526770A5 JP 2013509319 A JP2013509319 A JP 2013509319A JP 2013509319 A JP2013509319 A JP 2013509319A JP 2013526770 A5 JP2013526770 A5 JP 2013526770A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- semiconductor die
- semiconductor
- semiconductor device
- die
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 82
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 54
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
Claims (17)
- 半導体デバイスであって、
その上に回路配路を備えた表面と、前記回路配路に電気的に接続される複数の導電性パッドを含む裏面とを含む第1の基板と、
前記複数の導電性パッドに電気的に接続され、前記第1の基板に取り付けられる第1の半導体ダイと、
その上に回路配路と複数の導電性パッドとを備えた表面を含む第2の基板であって、前記第2の基板の前記表面上の前記回路配路が、前記第2の基板の前記表面上の前記複数の導電性パッドに電気的に接続される、前記第2の基板と、
前記第2の基板に電気的に接続されかつ取り付けられ、その中に複数の基板貫通ビア(TSV)を含む、第2の半導体ダイと、
前記TSVを介して前記第2の半導体ダイに電気的に接続され、かつ前記第2の半導体ダイに取り付けられる、第3の半導体ダイと、
前記第1の基板の前記裏面上の前記複数の導電性パッドを、前記第2の基板の前記表面上の前記複数の導電性パッドに電気的に接続する複数の導体と、
前記第1の半導体ダイを前記第2の半導体ダイに電気的に接続する第1の接続タイプと、
前記第3の半導体ダイを前記第2の半導体ダイに電気的に接続する第2の接続タイプと、
を含み、
前記第1の接続タイプが前記第2のタイプとは異なる、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の半導体ダイが第1のメモリタイプを含む第1のメモリダイであり、前記第2の半導体ダイがロジックダイであり、前記第3の半導体ダイが、前記第1のメモリタイプとは異なる第2のメモリタイプを含む第2のメモリダイである、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の半導体ダイが、データ幅と速度とを含むシリアル入力/出力(I/O)データアーキテクチャを含む第1のメモリダイであり、前記第2の半導体ダイがマイクロプロセッサであり、前記第3の半導体ダイが、前記第1の半導体ダイより遅い速度と前記第1の半導体ダイより広いデータ幅とを含むデータアーキテクチャを含む第2のメモリダイである、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記第2の基板の裏面上のボールグリッドアレイ(BGA)を更に含み、前記BGAが、レシービング基板に接続されるように、データを前記第1の半導体ダイと前記第2の半導体ダイと前記第3の半導体ダイから前記レシービング基板に搬送するように、適合される、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の半導体ダイを前記第1の基板の前記表面上の前記回路配路に電気的に接続する複数のボンドワイヤを更に含む、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の基板の前記裏面上の前記複数の導電性パッドを前記第2の基板の前記表面上の前記複数の導電性パッドに電気的に接続する複数の導体が、複数のリフローされたボールグリッドアレイ(BGA)構造である、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の半導体ダイが、複数のボンドワイヤで前記第1の基板の前記表面上の前記回路配路に電気的に接続され、前記第2の半導体ダイが、複数の導電性ピラーで前記第2の基板の前記回路配路に電気的に接続される、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の接続タイプが、前記第1の基板上の前記回路配路と前記第1の基板の前記裏面上の前記複数の導電性パッドと前記第2の基板の前記表面上の前記導電性パッドと前記第2の基板の前記表面上の前記回路配路とを含み、かつ
前記第2の接続タイプが前記複数のTSVを含む、半導体デバイス。 - 半導体デバイスであって、
第1の基板の表面上の第1の回路配路に電気的に接続される第1の半導体ダイと、
第2の基板の表面上の第2の回路配路に電気的に接続される第2の半導体ダイと、
前記第2の半導体ダイの裏側で複数の基板貫通ビアを介して前記第2の半導体ダイに電気的に接続される第3の半導体ダイと、
を含み、
前記第1の半導体ダイが、前記第1の基板の前記表面上の前記第1の回路配路を介して延在するデータ経路を介して、前記第2の基板の前記表面上の前記第2の回路配路を介して、前記第2の半導体ダイに電気的に接続される、半導体デバイス。 - 請求項9に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の基板の裏面上の導電性パッドと、
前記第2の基板の前記表面上の導電性パッドと、
前記第1の基板の前記裏面上の前記導電性パッドを、前記第2の基板の前記表面上の前記導電性パッドに電気的に接続する電気的接続と、
を更に含み、
前記データ経路が、前記第1の基板の前記裏面上の前記導電性パッドを、前記第2の基板の前記表面上の前記導電性パッドに電気的に接続する電気的接続を介して更に延在する、半導体デバイス。 - 請求項10に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の半導体ダイと前記第2の半導体ダイと前記第3の半導体ダイとを、レシービング基板に電気的に接続するよう適合される、前記第2の基板の裏面上の複数のボールグリッドアレイ(BGA)接続を更に含む、半導体デバイス。 - 請求項11に記載の半導体デバイスであって、
前記第1の基板が印刷回路基板であり、前記第2の基板が印刷回路基板である、半導体デバイス。 - 半導体デバイスを形成するための方法であって、
第1の半導体ダイを第1の基板の表面に物理的に取り付けることと、
前記第1の半導体ダイを前記第1の基板の前記表面上の回路配路に電気的に接続することであって、前記回路配路が、前記第1の基板の裏面上の複数の導電性パッドと電気的に接続される、前記接続することと、
第2の半導体ダイを第2の基板の表面に物理的に取り付けることと、
前記第2の半導体ダイを前記第2の基板の前記表面上の回路配路に電気的に接続することであって、前記第2の基板の前記表面上の前記回路配路が、前記第2の基板の表面上の複数の導電性パッドと電気的に接続される、前記接続することと、
第3の半導体ダイを前記第2の半導体ダイに物理的に取り付けることと、
前記第2の半導体ダイ内の複数の基板貫通ビア(TSV)を介して前記第3の半導体ダイを前記第2の半導体ダイを電気的に取り付けることと、
前記第1の基板の前記裏面上の前記複数の導電性パッドを、前記第2の基板の前記表面上の前記複数の導電性パッドに電気的に接続することと、
を含む、方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
データ幅と速度とを含むシリアル入力/出力(I/O)データアーキテクチャを含む第1のメモリダイである前記第1の半導体ダイを提供することと、
マイクロプロセッサである前記第2の半導体ダイを提供することと、
前記第1の半導体ダイよりも遅い速度と前記第1の半導体ダイよりも広いデータ幅とを含むデータアーキテクチャを含む第2のメモリダイである前記第3の半導体ダイを提供することと、
を更に含む、方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
前記第2の基板の裏面上のボールグリッドアレイ(BGA)をレシービング基板に取り付けて前記第1の半導体ダイと前記第2の半導体ダイと前記第3の半導体ダイとを前記レシービング基板に電気的に接続することを更に含む、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
複数のボンドワイヤを前記第1の半導体ダイと前記第1の基板の表面上の前記回路配路とに取り付けて前記第1の半導体ダイを前記第1の基板の裏面上のパッドに電気的に接続することを更に含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1の半導体ダイを前記第1の基板の表面に物理的に取り付けることが、前記第1の半導体ダイを第1の印刷回路基板の前記表面に物理的に取り付けることを含み、
前記第2の半導体ダイを前記第2の基板の表面に物理的に取り付けることが、前記第2の半導体ダイを第2の印刷回路基板の前記表面に物理的に取り付けることを含む、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/776,302 | 2010-05-07 | ||
US12/776,302 US8288849B2 (en) | 2010-05-07 | 2010-05-07 | Method for attaching wide bus memory and serial memory to a processor within a chip scale package footprint |
PCT/US2011/035753 WO2011140552A2 (en) | 2010-05-07 | 2011-05-09 | Method for attaching wide bus memory and serial memory to a processor within a chip scale package footprint |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013526770A JP2013526770A (ja) | 2013-06-24 |
JP2013526770A5 true JP2013526770A5 (ja) | 2014-05-29 |
Family
ID=44901410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013509319A Pending JP2013526770A (ja) | 2010-05-07 | 2011-05-09 | ワイドバスメモリ及びシリアルメモリをチップ・スケール・パッケージフットプリント内のプロセッサに取り付けるための方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8288849B2 (ja) |
JP (1) | JP2013526770A (ja) |
CN (1) | CN102859686B (ja) |
WO (1) | WO2011140552A2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8227295B2 (en) * | 2008-10-16 | 2012-07-24 | Texas Instruments Incorporated | IC die having TSV and wafer level underfill and stacked IC devices comprising a workpiece solder connected to the TSV |
US8288849B2 (en) * | 2010-05-07 | 2012-10-16 | Texas Instruments Incorporated | Method for attaching wide bus memory and serial memory to a processor within a chip scale package footprint |
US8384430B2 (en) * | 2010-08-16 | 2013-02-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | RC delay detectors with high sensitivity for through substrate vias |
KR101818507B1 (ko) * | 2012-01-11 | 2018-01-15 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 패키지 |
US9230932B2 (en) * | 2012-02-09 | 2016-01-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Interconnect crack arrestor structure and methods |
US9515036B2 (en) | 2012-04-20 | 2016-12-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Methods and apparatus for solder connections |
US9847284B2 (en) * | 2013-01-29 | 2017-12-19 | Apple Inc. | Stacked wafer DDR package |
US9721852B2 (en) * | 2014-01-21 | 2017-08-01 | International Business Machines Corporation | Semiconductor TSV device package to which other semiconductor device package can be later attached |
US10128205B2 (en) * | 2014-03-06 | 2018-11-13 | Intel Corporation | Embedded die flip-chip package assembly |
KR102108608B1 (ko) * | 2014-07-11 | 2020-05-07 | 인텔 코포레이션 | 스케일링가능한 패키지 아키텍처 및 연관된 기법과 구성 |
JPWO2016203967A1 (ja) * | 2015-06-15 | 2018-03-29 | ソニー株式会社 | 半導体装置、電子機器、並びに製造方法 |
US11152333B2 (en) * | 2018-10-19 | 2021-10-19 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device packages with enhanced heat management and related systems |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7217994B2 (en) * | 2004-12-01 | 2007-05-15 | Kyocera Wireless Corp. | Stack package for high density integrated circuits |
US7390700B2 (en) | 2006-04-07 | 2008-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Packaged system of semiconductor chips having a semiconductor interposer |
US7569918B2 (en) | 2006-05-01 | 2009-08-04 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor package-on-package system including integrated passive components |
US20080258286A1 (en) | 2007-04-23 | 2008-10-23 | Texas Instruments Incorporated | High Input/Output, Low Profile Package-On-Package Semiconductor System |
US20080258285A1 (en) | 2007-04-23 | 2008-10-23 | Texas Instruments Incorporated | Simplified Substrates for Semiconductor Devices in Package-on-Package Products |
JP5222509B2 (ja) * | 2007-09-12 | 2013-06-26 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US7547630B2 (en) | 2007-09-26 | 2009-06-16 | Texas Instruments Incorporated | Method for stacking semiconductor chips |
US8049320B2 (en) | 2008-02-19 | 2011-11-01 | Texas Instruments Incorporated | Integrated circuit stacked package precursors and stacked packaged devices and systems therefrom |
US7851346B2 (en) * | 2008-07-21 | 2010-12-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Bonding metallurgy for three-dimensional interconnect |
JP2010056139A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Toshiba Corp | 積層型半導体装置 |
KR101479509B1 (ko) * | 2008-08-29 | 2015-01-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 |
US8227295B2 (en) | 2008-10-16 | 2012-07-24 | Texas Instruments Incorporated | IC die having TSV and wafer level underfill and stacked IC devices comprising a workpiece solder connected to the TSV |
US8183579B2 (en) * | 2010-03-02 | 2012-05-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | LED flip-chip package structure with dummy bumps |
US8218334B2 (en) * | 2010-03-09 | 2012-07-10 | Oracle America, Inc. | Multi-chip module with multi-level interposer |
US8288849B2 (en) * | 2010-05-07 | 2012-10-16 | Texas Instruments Incorporated | Method for attaching wide bus memory and serial memory to a processor within a chip scale package footprint |
-
2010
- 2010-05-07 US US12/776,302 patent/US8288849B2/en active Active
-
2011
- 2011-05-09 JP JP2013509319A patent/JP2013526770A/ja active Pending
- 2011-05-09 WO PCT/US2011/035753 patent/WO2011140552A2/en active Application Filing
- 2011-05-09 CN CN201180021433.XA patent/CN102859686B/zh active Active
-
2012
- 2012-05-17 US US13/473,822 patent/US8597978B2/en active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013526770A5 (ja) | ||
JP2012069984A5 (ja) | ||
TWI457764B (zh) | 處理器/快取裝配件 | |
JP2009239318A5 (ja) | ||
JP2008193097A5 (ja) | ||
IN2012DN00452A (ja) | ||
CN102859686B (zh) | 用于在芯片级封装占用面积内将宽总线存储器及串行存储器附接到处理器的方法 | |
JP2017539090A5 (ja) | ||
JP6275670B2 (ja) | 高密度チップ間接続 | |
TW201130102A (en) | Semiconductor device and method for forming the same | |
JP2010278318A5 (ja) | ||
TW200625570A (en) | Die down ball grid array packages and method for making same | |
TWI456811B (zh) | 在一互連結構中具有僅上側連接之封裝光子建置組塊 | |
JP2014517545A (ja) | マイクロエレクトロニクスダイ、当該ダイを含む積層ダイ及びコンピュータシステム、当該ダイ内に多チャネル通信路を製造する方法、並びに、積層ダイパッケージの部品間での電気通信を可能にする方法 | |
JP2014505909A5 (ja) | ||
JP2009110983A5 (ja) | ||
JP2012069618A5 (ja) | ||
JP2012028429A5 (ja) | 半導体装置 | |
JP2016513872A (ja) | ビア使用パッケージオンパッケージ | |
JP2012015504A5 (ja) | ||
TW201705133A (zh) | 減少負載的記憶體模組 | |
JP2013251303A5 (ja) | 半導体パッケージ、積層型半導体パッケージ及びプリント回路板 | |
JP2009223854A5 (ja) | ||
WO2007100572A3 (en) | System and method of using a compliant lead interposer | |
KR20120096754A (ko) | 인터포저를 이용한 웨이퍼 칩의 3차원 스택 구조 |