JP2013525250A - 溶液中で亜鉛錯体を調製する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】なし
Description
(A)濃度c1の非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を得るために、ZnO及び/又はZn(OH)2を少なくとも1種の溶媒中のアンモニアと接触させる工程、
(B)Zn(OH)2を含む懸濁液を得るために、工程(A)で生じた溶液から溶媒の一部を除去する工程、
(C)工程(B)で生じた懸濁液から固体のZn(OH)2を除去する工程、
(D)濃度c2の非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を得るために、工程(C)で生じたZn(OH)2を少なくとも1種の溶媒中のアンモニアと接触させる工程、
を少なくとも含むことを特徴とする調製方法により達成される。
(E)本発明に係る方法(1)により、非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を調製する工程、
(F)工程(E)で生じた溶液を基材に施す工程、及び
(G)非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)を酸化亜鉛に転化させるために、工程(F)で生じた基材を20〜450℃の温度において熱処理する工程、
を少なくとも含むことを特徴とする形成方法(2)により達成される。
本発明に係る方法(1)の工程(A)は、濃度c1の非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を得るために、ZnO及び/又はZn(OH)2を少なくとも1種の溶媒中のアンモニアと接触させる工程を含む。
本発明に係る方法(1)の工程(B)は、Zn(OH)2を含む懸濁液を得るために、工程(A)で生じた溶液から溶媒を部分的に除去する工程を含む。
本発明に係る方法(1)の工程(C)は、工程(B)で生じた懸濁液から固体のZn(OH)2を除去する工程を含む。
本発明に係る方法(1)の工程(D)は、非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の濃度c2の溶液を得るために、工程(C)で生じたZn(OH)2を少なくとも1種の溶媒中のアンモニアと接触させる工程を含む。
(E)本発明に係る方法(1)により、非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を調製する工程、
(F)工程(E)で生じた溶液を基材に施す工程、及び
(G)非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)を酸化亜鉛に転化させるために、工程(F)で生じた基材を20〜450℃の温度において熱処理する工程、
を少なくとも含むことを特徴とする形成方法に関する。
本発明に係る方法の工程(E)は、非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を、本発明に係る方法(1)により調製する工程を含む。
(A)濃度c1の非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を得るために、少なくとも1種の溶媒中でZnO及び/又はZn(OH)2をアンモニアと接触させる工程、
(B)Zn(OH)2を含む懸濁液を得るために、工程(A)で生じた溶液から溶媒の一部を除去する工程、
(C)工程(B)で生じた懸濁液から固体のZn(OH)2を除去する工程、
(D)濃度c2の非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を得るために、少なくとも1種の溶媒中で工程(C)で生じたZn(OH)2をアンモニアと接触させる工程、
(F)工程(D)で生じた溶液を基材に施す工程、及び
(G)非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)を酸化亜鉛に転化させるために、工程(F)で生じた基材を20〜450℃の温度において熱処理する工程、
を少なくとも含む方法に関する。
本発明に係る方法(2)の工程(F)は、工程(E)又は(D)で生じた溶液を基材に施す工程を含む。
本発明に係る方法(2)の工程(G)は、非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)を酸化亜鉛に転化するために、20〜450℃の温度において、工程(F)で生じた基材の熱処理を含む。好ましい実施の形態では、本発明に係る工程(G)の温度は200℃未満である。
図1は、実施例3に係る電界効果トランジスタの代表的な出力曲線(OC)を示している。この図において:
VD ソースとドレイン間の電圧
ID ソースとドレイン間の電流
図2は、実施例3に係る電解効果トランジスタの代表的な伝達曲線(TC)を示している。この図において:
VG ソースとゲート間の電圧
ID ソースとドレイン間の電流
原料:
ZnO(Umicore Pharma)12.2g
25%NH3水溶液500g
脱ミネラル水511g
25%NH3水溶液200g
手順:
工程1:
まず、約7モルのNH3溶液を、25%NH3溶液500gと水511gから調製した。最初にZnOを1000mlのDuranガラスビンに入れ、次いで調製したNH3溶液1000mlを加え、この全てをマグネチックスターラーで一晩撹拌した。これにより、無色透明のZn(OH)2(NH3)4溶液が生成し、その濃度は溶液100g当たりZnが1gであった。濃度は、原子発光分光による元素分析により測定した。
この溶液をロータリーエバポレーターで約500mlの体積まで濃縮し、白色の懸濁液を形成した。この懸濁液をP4吸引フィルターで吸引ろ過し、得られた白色粉末を真空乾燥キャビネット内で一晩、室温・500mbarで乾燥させた。乾燥した粉末をまず250mlのDuranガラスビンに入れ、200gのNH3(25%溶液)を加え、この混合物を再度一晩撹拌した。依然として存在する固形物を沈殿させた。サンプルを透明な上澄み溶液から取り出し、ミリポアフィルターを押し通し、分析した。
実施例1の工程1で調製した、濃度が溶液100g当たりZn1gのZn(OH)2(NH3)4水溶液を、二酸化ケイ素層を有する洗浄されたシリコンウエハにスピンコーティング(3000rps、30s)で塗布し(施し)、ホットプレート上で150℃で1時間加熱した。得られた層厚は12nmであった(原子間力顕微鏡法で測定)。
乳酸エチル中のメチル−及びフェニルシルセスキオキサン単位からなるGR150ガラス樹脂(Techneglass,Inc.)の25質量%溶液を、75nmのアルミニウムゲート(熱蒸着により施したもの)を有する洗浄されたPENフィルム基材(Teonex,DuPont Teijin Films)上に回転させ、次いで80℃において1分間及び150℃において1時間加熱した。酸素プラズマ処理(30s)の後、実施例1の工程2によって調製された、溶液100g当たりZn3gの濃度を有するZn(OH)2(NH3)4水溶液を(30s、3000rpm)回転させ、150℃において1時間加熱した(加熱勾配30分間)。ソース/ドレイン接触(チャンネル幅/長さ比:20)は、アルミニウムの熱蒸着により得た。次の平均パラメータを測定した。
オン/オフ比:104
VT閾値電圧:1V
実施例4:高度に濃縮されたZn(OH)2(NH3)4の溶液の製造
原料:
ZnO(Umicore Pharma)12.2g
25%NH3水溶液600g
脱ミネラル水613.4g
手順:
工程1:
まず、約7モルのNH3溶液を、25%NH3溶液600gと水613.4gから調製した。最初にZnOを1000mlのDuranガラスビンに入れ、次いで調製したNH3溶液1000mlを加え、この全てをマグネチックスターラーで一晩撹拌した。これにより、無色透明のZn(OH)2(NH3)4溶液が生成し、その濃度は溶液100g当たりZnが1.0gであった。濃度は、原子発光分光による元素分析により測定した。
この溶液をロータリーエバポレーターで約500mlの体積まで濃縮し、白色の懸濁液を形成した。この懸濁液をP4吸引フィルターで吸引ろ過し、得られた白色粉末を真空乾燥キャビネット内で一晩、室温・500mbarで乾燥させた。乾燥した粉末をまず250mlのDuranガラスビンに入れ、200mlの約7モルのNH3溶液を加え、この混合物を再度一晩撹拌した。透明な溶液をミリポアフィルターを押し通し、分析した。Zn(OH)x(NH3)y錯体の溶液は、原子発光分光による元素分析により測定して、溶液100g当たりZnの含有量が2.9gであった。
原料:
ZnO(Sigma Aldrich ZnO99.99%)12.2g
25%NH3水溶液500g
脱ミネラル水511g
25%NH3水溶液200g
手順:
工程1:
まず、約7モルのNH3溶液を、25%のNH3溶液500g及び水511gから調製した。最初にZnOを1000mlのDuranガラスビンに入れ、次いで調製したNH3溶液1000mlを加え、全てをマグネチックスターラーで一晩撹拌した。これにより、無色透明のZn(OH)2(NH3)4溶液が生成し、その濃度は溶液100g当たりZn0.94gであった。この濃度は、原子発光分光により元素分析することにより測定した。
この溶液をロータリーエバポレーターで約500mlの体積まで濃縮し、白色の懸濁液を形成した。この懸濁液をP4吸引フィルターで吸引ろ過し、得られた白色粉末を真空乾燥キャビネット内で一晩、室温・500mbarで乾燥させた。乾燥した粉末をまず250mlのDuranガラスビンに入れ、200gのNH3(25%溶液)を加え、この混合物を再度一晩撹拌した。依然として存在する固形物を沈殿させた。サンプルを透明な上澄み溶液から取り出し、ミリポアフィルターを押し通し、分析した。
原料:
ZnO(Umicore Pharma)12.2g
25%NH3水溶液500g
脱ミネラル水511g
手順:
工程1:
まず、約7モルのNH3溶液を、25%NH3溶液500gと水511gから調製した。最初にZnO12.2gを1000mlのDuranガラスビンに入れ、次いで調製したNH3溶液1000mlを加え、この全てをマグネチックスターラーで一晩撹拌した。これにより、無色透明のZn(OH)2(NH3)4溶液が生成し、その濃度は溶液100g当たりZnが0.99gであった。濃度は、原子発光分光による元素分析により測定した。
原料:
ZnO(Umicore Pharma)10g
25%NH3水溶液180ml
手順:
工程1:
25%のNH3水溶液及び10gのZnOをオートクレーブに導入した。この混合物をオートクレーブ内で80℃の温度20barの圧力で16h撹拌した。冷却後、依然として存在する固形物を沈殿させた。サンプルを透明な上澄み溶液から取り出し、ミリポアフィルターを押し通し、分析した。Zn(OH)x(NH3)y錯体の溶液は、原子発光分光による元素分析により測定して、溶液100g当たりのZn含有量がたった1.0gであった。
Claims (13)
- 非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を調製する方法であって、
(A)濃度c1の非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を得るために、ZnO及び/又はZn(OH)2を少なくとも1種の溶媒中のアンモニアと接触させる工程、
(B)Zn(OH)2を含む懸濁液を得るために、工程(A)で生じた溶液から溶媒の一部を除去する工程、
(C)工程(B)で生じた懸濁液から固体のZn(OH)2を除去する工程、
(D)濃度c2の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を得るために、工程(C)で生じたZn(OH)2を少なくとも1種の溶媒中のアンモニアと接触させる工程、
を少なくとも含むことを特徴とする調製方法。 - 濃度c2が濃度c1よりも高い、請求項1に記載の方法。
- x、y及びzはそれぞれ独立して1〜6である、請求項1又は2に記載の方法。
- 工程(A)及び(D)における溶媒は水性溶液又は水である、請求項1〜3の何れか1項に記載の方法。
- 工程(B)において、前記溶媒を昇温及び/又は減圧下で除去する、請求項1〜4の何れか1項に記載の方法。
- 請求項1〜5の何れか1項に記載の方法によって調製することができる、非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液。
- 溶液100g当たりZnが1.6〜5.0gの濃度の、非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液。
- 基材上に少なくとも酸化亜鉛を含む層を形成する方法であって、
(E)請求項1〜5の何れか1項に記載の方法により、非荷電の[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)の溶液を調製する工程、
(F)工程(E)で生じた溶液を基材に施す工程、及び
(G)[(OH)x(NH3)yZn]z(但し、x、y及びzはそれぞれ独立して0.01〜10である。)を酸化亜鉛に転化させるために、工程(F)で生じた基材を20〜450℃の温度において熱処理する工程、
を少なくとも含むことを特徴とする形成方法。 - 前記基材が機械的にフレキシブルであり、少なくとも1種のポリマーを含む請求項8に記載の方法。
- ZnOに、Al3+、In3+、Sn4+、Ga3+及びこれらの混合物からなる群から選択される金属カチオンをドープする請求項8又は9に記載の方法。
- 工程(F)において、工程(E)で生じた溶液を、スピンコーティング、スプレーコーティング、ディップコーティング、ドロップキャスティング及び/又は印刷により施す、請求項8〜10の何れか1項に記載の方法。
- 工程(G)における温度が200℃未満である、請求項8〜11の何れか1項に記載の方法。
- 請求項8〜12の何れか1項に記載の方法により製造可能である、少なくとも酸化亜鉛を含む、基材上の層。
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