JP2013519091A - 容量型圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
[0001]本出願は、2010年2月2日にSteven D.Blankenshipの名で出願され、本譲受人(弁理士整理番号056231−0984(MKS−217PR))に譲渡された「Capacitive Pressure Sensor」という名称の米国特許仮出願第61/300,620号に基づき、同出願の優先券を主張するものであり、同出願は、参照よってその全体が組み込まれる。
C=ereoA/s
に基づくものであって、この式で、Cは2つの平行板間の静電容量であり、
eoは自由空間の誘電率であり、
erは、板の間の材料の比誘電率(真空についてはer=1)であり、
Aは板の間の共通面積であり、
sは板の間の間隔である。
[00011]米国特許第7757563号、米国特許第7706995号、米国特許第7624643号、米国特許第7451654号、米国特許第7389697号、米国特許第7316163号、米国特許第7284439号、米国特許第7201057号、米国特許第7155803号、米国特許第7137301号、米国特許第7000479号、米国特許第6993973号、米国特許第6909975号、米国特許第6735845号、米国特許第6672171号、米国特許第6568274号、米国特許第6105436号、米国特許第6029525号、米国特許第5965821号、米国特許第5942692号、米国特許第5932332号、米国特許第5911162号、米国特許第5808206号、米国特許第5625152号、米国特許第4785669号および米国特許第4,499,773号、ならびに米国特許出願公開第20090255342号、米国特許出願公開第20070023140号、米国特許出願公開第20060070447号、米国特許出願公開第20060000289号、米国特許出願公開第20050262946号、米国特許出願公開第20040211262号、米国特許出願公開第20040099061号が参照され、すべてが本譲受人に譲渡されている。
(a)共通電極と(b)中心電極およびリング電極を含む電極構造体とを含むダイアフラムであって、(i)ダイアフラムの両側の圧力が同一であるときのゼロ位置と(ii)ダイアフラムに対して測定可能な最大圧力差が与えられたときの最大の差動位置との間で移動可能なダイアフラムと、
ダイアフラムが電極構造体に対して拘束され、また、共通電極が、中心電極およびリング電極から間隔を置かれ、マノメータのアライメント軸に対して中心電極およびリング電極と軸方向に位置合わせされるようにダイアフラムを支持するように配置された支持構造体とを備え、
電極構造体が、ダイアフラムに対して、アライメント軸のまわりに角度間隔を置いて配置された少なくとも3つのクランプ位置で固定され、それぞれの適切な平面内に定義された角度がダイアフラムの拘束点を含み、また、ゼロ位置のダイアフラムの平面に対するそれぞれのクランプ位置の点が、電極ディスクの支持高さの変化を低減し、ダイアフラムと電極構造体の間に、より小さな間隙および改善された安定性を与えるように60°と90°の間にある。
(a)共通電極と(b)中心電極およびリング電極を含む電極構造体とを含むダイアフラムであって、(i)ダイアフラムの両側の圧力が同一であるときのゼロ位置と(ii)ダイアフラムに対して測定可能な最大圧力差が与えられたときの最大の差動位置との間で移動可能なダイアフラムと、
共通電極が、中心電極およびリング電極から間隔を置かれ、マノメータのアライメント軸に対して中心電極およびリング電極と軸方向に位置合わせされるようにダイアフラムを支持するように配置された支持構造体と、
複数のタブを含むスペーサリングと、
電極構造体をアライメント軸のまわりに等角度間隔に配置してクランプする複数の位置を定義するように、電極構造体をスペーサリングに対してタブのそれぞれの位置にクランプするように配置されたクランプとを備える。
[00033]本開示は、装置の構造が、さらに小さな間隙およびより低い差圧の測定を可能にし、ダイアフラムと電極の間により優れた安定性をもたらす、容量型マノメータを説明する。このような構造体をもたらす際に、センサの電極ギャップの寸法安定性が改善され、特に正常動作条件下のダイアフラムに対する電極ディスクの位置決めが改善され、また、特に温度、気圧、過剰圧力、機械的な衝撃および振動などの外的影響に対して改善される。新規の構造体を用いて対処される主要なセンサパラメータは、電極ギャップ間隔、電極傾斜および電極撓みを含む。これらの改善は、同等のフルスケール圧力範囲を測定するための従来技術のセンサと比較して、それほど高い電気的利得を必要とせず、(電気的利得が低いことの結果として)それほど高い電気的雑音を示すことなく、より優れたゼロ安定性能を有する変換器(すなわちセンサおよび高レベル直流出力を供給することができる信号処理電子装置(図示せず))を可能にする改善された性能をもたらす。前述のように、このセンサは、(ゼロ圧力および圧力下における)低い気圧感度、小さい温度係数、および小さいゼロ点変動を含むがこれらに限定されない、小さい電気的雑音およびより優れた総合的ゼロ安定性能の低圧力範囲の測定器をもたらすことができる。
[00049]慣用句「〜の手段」は、請求項で用いられたとき、説明された対応する構造体および材料ならびにそれらの等価物を包含するように意図されており、そのように解釈されるべきである。同様に、慣用句「〜するステップ」は、請求項で用いられたとき、説明された対応する行為ならびにそれらと同等の行為を包含するように意図されており、そのように解釈されるべきである。請求項の中にこれらの慣用句がないときには、当該請求項が、対応する構造体、材料、もしくは行為のうちいずれか、またはそれらと等価のものに限定されないように意図されており、そのように解釈されるべきである。
Claims (6)
- (a)共通電極と(b)中心電極およびリング電極を含む電極構造体とを含むダイアフラムであって、(i)ダイアフラムの両側の圧力が同一であるときのゼロ位置と(ii)ダイアフラムに対して測定可能な最大圧力差が与えられたときの最大の差動位置との間で移動可能なダイアフラムと、
前記ダイアフラムが前記電極構造体に対して拘束され、前記共通電極が、前記中心電極および前記リング電極から間隔を置かれ、マノメータのアライメント軸に対して前記中心電極および前記リング電極と軸方向に位置合わせされるように前記ダイアフラムを支持するように配置された支持構造体とを備え、
前記電極構造体が、前記ダイアフラムに対して、前記アライメント軸のまわりに角度間隔を置いて配置された少なくとも3つのクランプ位置で固定され、それぞれの適切な平面内に定義された角度がダイアフラムの拘束点を含み、前記ゼロ位置における前記ダイアフラムの前記平面に対する前記それぞれのクランプ位置の点が、電極ディスクの支持高さの変化を低減し、前記ダイアフラムと電極構造体の間に、より小さな間隙および改善された安定性を与えるように60°と90°の間にある容量型マノメータ。 - 前記支持構造体が、前記電極構造体を支持するように構成された基板を含む請求項1に記載の容量型マノメータ。
- 前記支持構造体が、前記基板を前記ダイアフラムに対して前記少なくとも3つの位置で固定するように構成されたばねを含む請求項2に記載の容量型マノメータ。
- 前記ばねが、前記ゼロ位置における前記ダイアフラムの前記平面に対して、前記基板上に適切な角度で力を与えるように構成された波ばねである請求項3に記載の容量型マノメータ。
- (a)共通電極と(b)中心電極およびリング電極を含む電極構造体とを含むダイアフラムであって、(i)ダイアフラムの両側の圧力が同一であるときのゼロ位置と(ii)ダイアフラムに対して測定可能な最大圧力差が与えられたときの最大の差動位置との間で移動可能なダイアフラムと、
前記共通電極が、前記中心電極および前記リング電極から間隔を置かれ、マノメータのアライメント軸に対して前記中心電極および前記リング電極と軸方向に位置合わせされるように前記ダイアフラムを支持するように配置された支持構造体と、
複数のタブを含むスペーサリングと、
前記電極構造体を前記アライメント軸のまわりに等角度間隔に配置してクランプする複数の位置を定義するように、前記電極構造体を前記スペーサリングに対してタブのそれぞれの位置にクランプするように配置されたクランプとを備える容量型マノメータ。 - 前記電極構造体が、互いに120°の間隙を介した3つの位置で前記スペーサリングに対してクランプされ、前記スペーサリングが、互いに120°の等角度間隔で配置された3つのタブを含み、隣接したクランプ位置から60°に配置される請求項5に記載の容量型マノメータ。
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