JP2019027849A - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (7)
- 被測定媒体の圧力に応じて変形可能に構成されたダイアフラムと,このダイアフラムより肉厚に形成されて前記ダイアフラムの周縁部を変位不能に支持するダイアフラム支持部とを備えるダイアフラム構成部材と、
前記ダイアフラム支持部に接合され、前記ダイアフラム支持部および前記ダイアフラムと共に基準真空室を形成する台座と、
前記台座の前記基準真空室側の前記ダイアフラムと対向する面に形成された固定電極と、
前記ダイアフラム構成部材の前記固定電極と対向する面に形成された可動電極とを備え、
前記ダイアフラム構成部材は、
前記ダイアフラム支持部の前記基準真空室側に形成され、前記ダイアフラムの周縁部の外側まで前記基準真空室を拡張させる、前記ダイアフラムの前記基準真空室側の面と連続した拡張面を備え、
前記可動電極は、
前記ダイアフラムおよび前記拡張面に形成されている
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項1に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記ダイアフラム構成部材および前記可動電極の少なくとも1つは、
前記ダイアフラムの熱膨張係数と前記可動電極の前記ダイアフラムに形成されている部分の熱膨張係数との違いによって前記ダイアフラムに作用する第1の曲げモーメントと、前記ダイアフラム支持部の熱膨張係数と前記可動電極の前記拡張面に形成されている部分の熱膨張係数との違いによって前記ダイアフラムに作用する、前記第1の曲げモーメントは逆向きの第2の曲げモーメントとが、互いに打ち消されるように構成されている
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項2に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記ダイアフラムおよび前記可動電極は、
平面視で円形に形成され、
前記第1の曲げモーメントと前記第2の曲げモーメントとが互いに打ち消されるように前記可動電極の径が調整されている
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項2に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記第1の曲げモーメントと前記第2の曲げモーメントとが互いに打ち消されるように、前記ダイアフラムの厚みと前記ダイアフラム支持部の前記拡張面が形成されている部分の厚みが調整されている
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項2に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記ダイアフラムおよび前記可動電極は、
平面視で円形に形成され、
前記第1の曲げモーメントと前記第2の曲げモーメントとが互いに打ち消されるように前記ダイアフラムの径が調整されている
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項2に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記第1の曲げモーメントと前記第2の曲げモーメントとが互いに打ち消されるように、前記可動電極の前記ダイアフラムに形成されている部分の厚みと前記可動電極の前記拡張面に形成されている部分の厚みが調整されている
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項1に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記可動電極は、
前記ダイアフラムに形成された第1の可動電極と、
前記拡張面に形成された第2の可動電極とから構成されている
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
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