JP5997771B2 - 改良された電極構造体を有する静電容量型圧力センサ - Google Patents
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Description
本願は、2011年9月29日に出願された米国特許出願第13/248521号の権利を主張するものである。米国特許出願第13/248521号は、スティーヴン・ディー・ブランケンシップ(Steven D.Blankenship)名義で2011年2月1日に出願された、「静電容量型圧力センサ(Capacitive Pressure Sensor)」(代理人整理番号086400−0056(MKS−217))という名称の米国特許出願第13/018,941号の一部継続出願であり、同様にこの特許出願は、スティーヴン・ディー・ブランケンシップ(Steven D.Blankenship)名義で2010年2月2日に出願され現譲受人に譲渡された、「静電容量型圧力センサ(Capacitive Pressure Sensor)」(代理人整理番号056231−0984(MKS−217PR))という名称の米国特許仮出願第61/300,620号に基づき、また、これに対する優先権を主張している。前述の特許出願は、参照として全体が本明細書に組み入れられる。
C=ereoA/s
式中、Cは2つの平行板の間の静電容量であり、
eoは自由空間の誘電率であり、
erは平行板の間の物質の比誘電率(真空では、er=1)であり、
Aは平行板の間の共通面積であり、
sは平行板の間の間隔である。
(a)共通電極を有するダイヤフラムと、(b)中心電極およびリング電極を有する電極構造体と、
前記ダイヤフラムが前記電極構造体に対して拘束され、前記共通電極が、前記中心電極および前記リング電極から間隔を空けて配置されるとともに、前記圧力計の整列軸に対して前記中心電極および前記リング電極と軸方向に整列されるように、前記ダイヤフラムを支持するように配置されるダイヤフラム支持構造体と、
前記電極構造体を支持するように配置され、前記整列軸の周りに角度間隔を空けて配置される少なくとも3つの湾曲部が一体的に形成される適合リングを有する電極支持構造体と、
を備え、
前記ダイヤフラムは、(i)前記ダイヤフラムの両側にかかる圧力が同じ場合のゼロ位置と、(ii)前記ダイヤフラムに最大測定可能差圧が加えられた場合の最大差動位置との間で、電極構造体に対して可動であり、
前記固定電極構造体は、前記適合リングの湾曲部の位置で前記ダイヤフラムに対して所定の位置に軸方向に固定され、有効な測定静電容量を形成する。
Claims (9)
- (a)共通電極を有するダイヤフラムと、
(b)中心電極およびリング電極を有する電極構造体と、
前記ダイヤフラムが前記電極構造体に対して拘束され、前記共通電極が、前記中心電極および前記リング電極から間隔を空けて配置されるとともに、前記圧力計の整列軸に対して前記中心電極および前記リング電極と軸方向に整列されるように、前記ダイヤフラムを支持するように配置されるダイヤフラム支持構造体と、
前記電極構造体を支持するように配置され、前記整列軸の周りに角度間隔を空けて配置される少なくとも3つの湾曲部が一体的に形成される適合リングを有する電極支持構造体と、
を備え、
前記ダイヤフラムは、(i)前記ダイヤフラムの両側にかかる圧力が同じ場合のゼロ位置と、(ii)前記ダイヤフラムに最大測定可能差圧が加えられた場合の最大差動位置との間で、前記電極構造体に対して可動であり、
前記電極支持体は、前記適合リングの前記湾曲部の位置で前記ダイヤフラムに対して所定の位置に固定されることを特徴とする静電容量型圧力計。 - 前記湾曲部は、前記適合リングの周りに等角に間隔を空けて配置されていることを特徴とする請求項1に記載の静電容量型圧力計。
- 前記適合リングには、複数のスロットが形成され、隣接する2つのスロット間に前記湾曲部が形成されることを特徴とする請求項2に記載の静電容量型圧力計。
- 前記複数のスロットは、等しい長さを有することを特徴とする請求項3に記載の静電容量型圧力計。
- 前記電極支持構造体は、前記湾曲部各々の位置で前記適合リングに軸方向の力を加えるように構成されたばねを有することを特徴とする請求項1に記載の静電容量型圧力計。
- 前記ばねは波形ばねであることを特徴とする請求項5に記載の静電容量型圧力計。
- 前記波形ばねは、前記湾曲部各々の位置で前記電極構造体を通じて軸方向の力を加えるように構成されていることを特徴とする請求項6に記載の静電容量型圧力計。
- 前記電極支持構造体は、前記電極支持構造体内に前記電極支持体を支持する1対の支持パッドをさらに有し、前記波形ばねは、前記湾曲部各々の位置で前記支持パッドおよび前記電極構造体を通じて軸方向の力を加えることを特徴とする請求項7に記載の静電容量型圧力計。
- 前記電極支持構造体は、前記リング電極および前記中心電極を支持するように配置された支持基板を有することを特徴とする請求項6に記載の静電容量型圧力計。
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