JP2013257272A - 基板分析用ノズル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分析対象物を含む基板W上に分析液を吐出及び吸引するようにされたノズル本体10と、ノズル本体の外周に配された外管20とから構成された2重管ノズルからなり、ノズル本体先端に吐出した分析液で基板表面を掃引した後、分析液をノズル本体先端から吸引して分析対象物を回収する基板分析用ノズルTにおいて、ノズル本体は、先端に分析液を保持するための、外縁が先端方向に突出した凹状端面Fと、分析液を吐出及び吸引するための細管11とを備えており、細管はノズル本体の凹状端面中央に配置されており、細管の先端表面を細管断面の表面積より大きくした。
【選択図】図1
Description
減少した。
20、200 外管
11,101 細管
T ノズル
W 基板
F 凹状端面
Claims (2)
- 分析対象物を含む基板上に分析液を吐出及び吸引するようにされたノズル本体と、ノズル本体の外周に配された外管とから構成された2重管ノズルからなり、ノズル本体先端に吐出した分析液で基板表面を掃引した後、分析液をノズル本体先端から吸引して分析対象物を回収する基板分析用ノズルにおいて、
ノズル本体は、先端に分析液を保持するための、外縁が先端方向に突出した凹状端面と、分析液を吐出及び吸引するための細管とを備えており、
細管はノズル本体の凹状端面中央に配置されており、細管の先端表面を細管断面の表面積より大きくしたことを特徴とする基板分析用ノズル。 - 細管の先端がフランジ形状にされた請求項1に記載の基板分析用ノズル。
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