JP2013250235A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る検査装置は、絶縁基板10に固定された本体部16と、該本体部16の一端に接続され該絶縁基板10の裏面側に配置された先端部20と、該本体部16の他端に接続され該絶縁基板10の表面側に配置された接続部22と、を有するプローブピン14と、該接続部22と接触する放熱端子24とを備える。そして、該放熱端子24及び該プローブピン14を介して被測定物へ電流を流し、該放熱端子24は該プローブピン14からの熱を放熱する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る検査装置を示す正面図である。検査装置は例えばセラミックやガラスエポキシで形成された絶縁基板10を備えている。絶縁基板10には例えばかしめなどの手段でソケット12が固定されている。ソケット12には絶縁基板10を貫通するようにプローブピン14が嵌合している。
本発明の実施の形態2に係る検査装置及び検査方法は、実施の形態1に係る検査装置及び検査方法と共通点が多いので、実施の形態1との相違点を中心に説明する。本発明の実施の形態2に係る検査装置及び検査方法は、放熱端子を交換することを特徴とする。
本発明の実施の形態3に係る検査装置及び検査方法は、実施の形態1に係る検査装置及び検査方法と共通点が多いので、実施の形態1との相違点を中心に説明する。本発明の実施の形態3に係る検査装置は、プローブピンを複数有し、プローブピン毎に放熱端子を備えたことを特徴とする。
Claims (12)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板に固定された本体部と、前記本体部の一端に接続され前記絶縁基板の裏面側に配置された先端部と、前記本体部の他端に接続され前記絶縁基板の表面側に配置された接続部と、を有するプローブピンと、
前記接続部と接触する放熱端子と、を備え、
前記放熱端子及び前記プローブピンを介して被測定物へ電流を流し、
前記放熱端子は、前記プローブピンからの熱を放熱することを特徴とする検査装置。 - 前記放熱端子の体積は前記プローブピンの体積より大きいことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記放熱端子は金属材料で形成され、凹部又は放熱フィンを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記先端部の前記被測定物と接触する部分は、丸みを帯びていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記放熱端子は上面と下面を有し、
前記上面の中央から前記下面の中央へ電流が流れることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記放熱端子には凹部が形成され、
前記接続部は前記凹部に差し込み可能な形状であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記放熱端子を移動可能に保持するアームと、
前記アームを介して前記放熱端子に電流を流し、前記アームを制御して前記放熱端子と前記接続部を接触又は離間させる制御部と、を備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記制御部は、前記アームを制御して前記放熱端子を予備放熱端子に交換することを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
- 前記プローブピンと前記放熱端子をそれぞれ複数有し、
複数の前記放熱端子を冷却する送風ファンを備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の検査装置。 - 絶縁基板に固定された本体部と、前記本体部の一端に接続され前記絶縁基板の裏面側に配置された先端部と、前記本体部の他端に接続され前記絶縁基板の表面側に配置された接続部と、を有するプローブピンの前記先端部を第1被測定物に接触させ、放熱端子を前記接続部に接触させる第1準備工程と、
前記第1準備工程の後に、前記第1被測定物を加熱しつつ、前記プローブピン及び前記放熱端子を介して前記第1被測定物に電流を流して前記第1被測定物の電気特性を検査する第1検査工程と、
前記検査工程の後に、前記先端部を前記第1被測定物から離すとともに、前記放熱端子を前記接続部から離して前記放熱端子を冷却する離間工程と、
前記離間工程の後に、前記先端部を前記第1被測定物又は第2被測定物に接触させて、前記接続部に前記放熱端子を接触させる第2準備工程と、
前記第2準備工程の後に、前記第1被測定物又は前記第2被測定物を加熱しつつ、前記プローブピン及び前記放熱端子を介して前記第1被測定物又は前記第2被測定物に電流を流して前記第1被測定物又は前記第2被測定物の電気特性を検査する第2検査工程と、を備えたことを特徴とする検査方法。 - 絶縁基板に固定された本体部と、前記本体部の一端に接続され前記絶縁基板の裏面側に配置された先端部と、前記本体部の他端に接続され前記絶縁基板の表面側に配置された接続部と、を有するプローブピンの前記先端部を第1被測定物に接触させ、放熱端子を前記接続部に接触させる準備工程と、
前記準備工程の後に、前記第1被測定物を加熱しつつ、前記プローブピン及び前記放熱端子を介して前記第1被測定物に電流を流して前記第1被測定物の電気特性を検査する第1検査工程と、
前記第1検査工程の後に、前記放熱端子を予備放熱端子に交換する交換工程と、
前記交換工程の後に、前記第1被測定物又は第2被測定物を加熱しつつ、前記プローブピン及び前記予備放熱端子を介して前記第1被測定物又は前記第2被測定物に電流を流し前記第1被測定物又は前記第2被測定物の電気特性を検査する第2検査工程と、を備えたことを特徴とする検査方法。 - 前記放熱端子に取り付けられた温度センサの温度が所定温度に達したときに、前記第1検査工程から前記交換工程へ進むことを特徴とする請求項11に記載の検査方法。
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