JP2013229493A - Iii族窒化物半導体積層基板およびiii族窒化物半導体電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【課題】電流コラプスのより一層の抑制を可能にすることができるIII族窒化物半導体積層基板を提供する。
【解決手段】このIII族窒化物半導体積層基板100では、AlGaN障壁層6は、表面からの深さが10nm以下の表層領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下である。このIII族窒化物半導体積層基板100を備えた窒化物半導体装置(GaN系HFET)によれば、コラプス値1.18を達成できた。
【選択図】図1
【解決手段】このIII族窒化物半導体積層基板100では、AlGaN障壁層6は、表面からの深さが10nm以下の表層領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下である。このIII族窒化物半導体積層基板100を備えた窒化物半導体装置(GaN系HFET)によれば、コラプス値1.18を達成できた。
【選択図】図1
Description
この発明は、例えば、GaN層上にAlGaN層が積層されたIII族窒化物半導体積層基板およびIII族窒化物半導体電界効果トランジスタに関する。
従来、III族窒化物半導体装置としては、特許文献1(特開2009−117712号公報)に示されるように、Si基板上にGaN層とAlGaN層とが順に積層され、上記GaN層とAlGaN層とのヘテロ界面近傍に2次元電子ガス層が形成されるようにしたものがある。
このIII族窒化物半導体装置は、上記AlGaN層上にSiO2膜やSiN膜で作製された絶縁膜を形成することで、電流コラプスの抑制を図っている。また、このIII族窒化物半導体装置は、上記AlGaN層とゲート電極との間に実質的に絶縁膜とみなせる有機半導体層を形成し、この有機半導体層でもって、上記AlGaN層の表面にトラップされたキャリアを相殺するようなキャリアを供給することで電流コラプスの抑制を図っている。
しかしながら、このように電流コラプスの抑制を図っても、未だ不十分で、電流コラプスのより一層の抑制が求められている。
そこで、この発明の課題は、電流コラプスのより一層の抑制を可能にすることができるIII族窒化物半導体積層基板およびIII族窒化物半導体電界効果トランジスタを提供することにある。
本発明者らは、III族窒化物半導体積層基板を製造する中で、III族窒化物半導体中にCu(銅)が検出されていることを発見し、このIII族窒化物半導体に混入するCu(銅)が電流コラプスに影響を及ぼしていることを発見した。このような本発明者らの発見に基づいて、本発明が創出されたのである。
すなわち、この発明のIII族窒化物半導体積層基板は、III族窒化物半導体であるチャネル層と、
上記チャネル層上に形成され、上記チャネル層とヘテロ界面を形成すると共にIII族窒化物半導体である障壁層と
を備え、
上記障壁層は、
表面からの深さが10nm以下の領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下であることを特徴としている。
上記チャネル層上に形成され、上記チャネル層とヘテロ界面を形成すると共にIII族窒化物半導体である障壁層と
を備え、
上記障壁層は、
表面からの深さが10nm以下の領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下であることを特徴としている。
この発明のIII族窒化物半導体積層基板によれば、上記III族窒化物半導体である障壁層の表面からの深さが10nm以下の領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下である構成によって、電流コラプスを抑制できる。
ここで、「電流コラプス」とは、低電圧動作でのトランジスタのオン抵抗と比べて高電圧動作でのトランジスタのオン抵抗が高くなってしまう現象である。
また、一実施形態では、上記チャネル層は、GaNからなり、
上記障壁層は、AlGaNからなる。
上記障壁層は、AlGaNからなる。
この実施形態によれば、高ドレイン電圧動作が可能な高周波高出力FET等に好適なIII族窒化物半導体積層基板を提供できる。
また、一実施形態では、上記チャネル層は、GaNからなり、
上記障壁層は、
上記チャネル層側のAlGaNからなる層と、
上記AlGaNからなる層上のGaNからなるキャップ層と
を有する。
上記障壁層は、
上記チャネル層側のAlGaNからなる層と、
上記AlGaNからなる層上のGaNからなるキャップ層と
を有する。
この実施形態によれば、上記GaNからなるキャップ層によって、窒化物半導体層(チャネルGaN層,AlGaN障壁層)の酸化を防いで、窒化物半導体層の酸化による特性劣化を抑制できる。
また、一実施形態のIII族窒化物半導体電界効果トランジスタでは、上記III族窒化物半導体積層基板を備え、
上記障壁層上にソース電極とドレイン電極とゲート電極とを設け、上記障壁層上において上記ソース電極とドレイン電極とゲート電極とが形成されてない領域に絶縁膜を設けた。
上記障壁層上にソース電極とドレイン電極とゲート電極とを設け、上記障壁層上において上記ソース電極とドレイン電極とゲート電極とが形成されてない領域に絶縁膜を設けた。
この実施形態のIII族窒化物半導体電界効果トランジスタによれば、電流コラプスを抑制することができる。
この発明のIII族窒化物半導体積層基板によれば、障壁層の表面からの深さが10nm以下の領域でのCu濃度が1.0×1010(原子数/cm2)以下である構成によって、電流コラプスを抑制できる。
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、この発明の第1実施形態のIII族窒化物半導体積層基板100を備えた窒化物半導体装置の断面図を示している。この窒化物半導体装置はGaN系HFET(Hetero-junction Field Effect Transistor;ヘテロ接合電界効果トランジスタ)である。
図1は、この発明の第1実施形態のIII族窒化物半導体積層基板100を備えた窒化物半導体装置の断面図を示している。この窒化物半導体装置はGaN系HFET(Hetero-junction Field Effect Transistor;ヘテロ接合電界効果トランジスタ)である。
上記窒化物半導体装置は、図1に示すように、Si基板1上に、AlNシード層2と、超格子層3と、カーボンドープGaN層4と、チャネル層の一例としてのチャネルGaN層5と、障壁層の一例としてのAlGaN障壁層6とが順に形成されている。上記AlNシード層2と超格子層3とカーボンドープGaN層4でバッファ層20を構成している。また、上記Si基板1とAlNシード層2と超格子層3とカーボンドープGaN層4とチャネルGaN層5とAlGaN障壁層6とがIII族窒化物半導体積層基板100を構成している。
上記AlGaN障壁層6上にソース電極7とドレイン電極8を予め定められた間隔をあけて形成している。このソース電極7とドレイン電極8はオーミック電極である。また、AlGaN障壁層6上かつソース電極7とドレイン電極8との間にゲート電極9を形成している。このゲート電極9はショットキー電極である。ソース電極7とドレイン電極8は、Hf/Al/Hf/AuやTi/Al/TiNなどからなる。また、ゲート電極9は、WN/W/Auなどからなる。
上記AlGaN障壁層6上かつソース電極7とドレイン電極8とゲート電極9を除く領域にSiNからなる絶縁膜10を形成している。
この実施形態では、一例として、上記バッファ層20の膜厚は、3μm以上7μm以下とし、AlGaN障壁層6の膜厚は、30nmとしている。また、チャネルGaN層5の膜厚を500nm以上としている。
この第1実施形態のIII族窒化物半導体積層基板100では、上記AlGaN障壁層6は、表面からの深さが10nm以下の表層領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下である。
このAlGaN障壁層6の表層領域でのCu濃度は、TXRF法(Total Reflection X-ray Fluorescence Method:全反射蛍光X線分析法)によって測定した。このTXRF法は、XRF法(X-ray Fluorescence Method)に比べて、低角度(例えば0.1°)で励起X線をAlGaN障壁層6の表面に照射することによって、基板側から発生する蛍光X線および検出器に入射する散乱線を低減し、基板表面に存在する金属汚染物からの蛍光X線を効率よく検出できる。
上記構成の窒化物半導体装置において、チャネルGaN層5とAlGaN障壁層6との界面に2次元電子ガス(2DEG)が発生してチャネルが形成される。このチャネルをゲート電極9に電圧を印加することにより制御して、ソース電極7とドレイン電極8とゲート電極9を有するHFETをオンオフさせる。このHFETは、ゲート電極9に負電圧が印加されているときにゲート電極9下のチャネルGaN層5に空乏層が形成されてオフ状態となる一方、ゲート電極9の電圧がゼロのときにゲート電極9下のチャネルGaN層5に空乏層がなくなってオン状態となるノーマリーオンタイプのトランジスタである。
次に、図5および図6A〜図6Dを参照して、上記III族窒化物半導体積層基板100の製造に用いるMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属気相成長)装置を説明する。
上記MOCVD装置は、チャンバー101とチャンバー101内に設置された反応部102を備える。上記チャンバー101と反応部102は、少なくとも原料ガスに接触する部分が、例えばステンレス鋼等の銅を含有していない非銅系材料で作製されている。上記非銅系材料とは、銅を含有していない材料である。
上記チャンバー101には、上記反応部102よりも下流側に排気部111が設けられている。また、上記チャンバー101には、上記反応部102よりも上流側にガス導入部112が設けられている。
上記排気部111は、チャンバー101に連通している排気管113と排気配管114を有し、この排気管113のフランジ113Aと、上記排気配管114のフランジ114Aとは、ボルト等の締結部材(図示せず)によって締結されている。
また、上記ガス導入部112は、上記チャンバー101に連通しているガス導入筒117と、このガス導入筒117のフランジ117Aに締結される蓋部材118を有する。上記ガス導入筒117のフランジ117Aと蓋部材118とは、ボルト等の締結部材(図示せず)によって締結されている。また、上記ガス導入筒117および蓋部材118は、少なくとも原料ガスに接触する部分が、例えばステンレス鋼等の非銅系材料で作製されている。
図6Aに示すように、上記ガス導入部112のフランジ117Aと蓋部材118との間には、シーリング部材としてのOリング120が挟まれている。このOリング120は、上記フランジ117Aの端面に形成された環状溝119に配置されている。また、上記Oリング120は、バイトン(商品名)等のフッ素系のゴムで作製されている。尚、図6Aでは、上記締結部材(ボルト等)を省略しているが、この締結部材は、上記Oリング120よりも径方向外側で蓋部材118とフランジ117Aとを締結している。
上記フランジ117Aと蓋部材118と上記Oリング120と上記締結部材(図示せず)がシーリング部を構成している。このシーリング部は、上記チャンバー101内の真空を保持するため、もしくは、上記チャンバー101内に上記原料ガスを閉じ込めるためのものである。尚、シーリング部材として上記Oリング120に替えて、後述するテフロン系材料で作製されたパッキンやインジウムワイヤを用いてもよい。上記インジウムワイヤは、チャンバー101内を高真空に排気する場合のシーリング部材として有効であるが、高真空が必要でない場合は、上記OリングやPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のテフロン(商品名)系の材料で作製されパッキンを用いることができる。
図5に示すように、上記蓋部材118には、原料ガス導入配管125と原料ガス導入配管126とが貫通している。上記原料ガス導入配管125,126は、少なくとも原料ガスに接触する部分が、例えばステンレス鋼等の非銅系材料で作製されている。また、この原料ガス導入配管125および原料ガス導入配管126は、溶接によって上記蓋部材118との間の気密が維持されている。この原料ガス導入配管125,126の先端部125A,126Aは、上記反応部102の上流側開口部102Aに位置している。また、上記原料ガス導入配管125は、管継手(図示せず)やパイプ153,流量調節バルブ129を経由してNH3供給源133に接続されている。また、上記原料ガス導入配管126は、管継手(図示せず)やパイプ151,流量調節バルブ127を経由してTMG(トリメチルガリウム)供給源131に接続されている。また、上記原料ガス導入配管126は、管継手(図示せず)やパイプ152,流量調節バルブ128を経由してTMA(トリメチルアルミニウム)供給源132に接続されている。尚、上記各管継手とパイプ151,152,153および流量調節バルブ127,128,129は、少なくとも原料ガスに接触する部分が、例えばステンレス鋼等の非銅系材料で作製されている。
一方、図6Dに示すように、上記排気部111の排気管113のフランジ113Aと排気配管114のフランジ114Aとの間には、シーリング部材としての銅ガスケット115が挟まれている。この銅ガスケット115は、例えば、ICFあるいはCFといった規格を有する銅のリングである。上記銅ガスケット115は、上記フランジ113Aの端面に形成された環状突起175とフランジ114Aの裏面に形成された環状突起176との間に挟まれている。この銅ガスケット115は、チャンバー101内を高真空に排気する場合のシーリング部材として有効である。また、上記フランジ113Aとフランジ114Aとは、ボルト等の締結部材(図示せず)によって締結されている。上記フランジ113A,114Aと銅ガスケット115と上記締結部材(図示せず)とがシーリング部を構成している。上記排気部111の排気配管114に排気ポンプ(図示せず)が接続され、この排気ポンプによって、上記チャンバー101内が排気されて減圧される。この実施形態では、上記排気部111の排気管113と排気配管114を、例えばステンレス鋼等の銅を含んでいない非銅系材料で作製したが、銅を含んだ銅系材料で作製してもよい。
また、上記反応部102内には、載置プレート122が設けられ、この載置プレート122に基板130が載置される。この反応部102の上流側開口部102Aには、原料ガス導入配管125,126の先端部125A,126Aが配置されている。この原料ガス導入配管125,126は、ガス導入筒117を貫通している。上記反応部102および載置プレート122は、少なくとも原料ガスに接触する部分が、例えばステンレス鋼等の非銅系材料で作製されている。
また、上記反応部102には、上記載置プレート122を加熱するヒータ135が取り付けられ、このヒータ135は、電流供給配線136,138で電流導入端子137,139に接続されている。上記電流供給配線136,138および電流導入端子137,139は、非銅系材料としてのニッケルで作製した。
上記電流導入端子137,139は、上記チャンバー101に連通している端子挿入管140内に挿入されている。この端子挿入管140は、フランジ140Aを有し、このフランジ140Aは、ボルト等の締結部材(図示せず)によって密封蓋141に締結されている。上記端子挿入管140と密封蓋141は、少なくとも原料ガスに接触する部分が、例えばステンレス鋼等の非銅系材料で作製されている。上記電流供給配線136,138と電流導入端子137,139と端子挿入管140と密封蓋141とが電流導入部145を構成している。
図6Bに示すように、上記フランジ140Aと密封蓋141との間には、シーリング部材としての環状のパッキン150が挟まれている。このパッキン150は、例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のテフロン(商品名)系の材料で作製されている。上記パッキン150は、上記フランジ140Aの端面に形成された環状突起155と密封蓋141の裏面に形成された環状突起156との間に挟まれている。また、上記フランジ140Aと密封蓋141とは、上記パッキン150よりも径方向外側でボルト等の締結部材(図示せず)によって締結されている。また、上記電流導入端子137,139は、絶縁セラミック147に挿入されて銀ロウ付け等で密封蓋141に固定され気密に嵌合されている。上記絶縁セラミック147は、高い気密封止性と高い電気絶縁性を有する。上記フランジ140Aと密封蓋141と上記パッキン150と上記締結部材(図示せず)がシーリング部を構成している。このシーリング部は、上記チャンバー101内の真空を保持するため、もしくは、上記チャンバー101内に上記原料ガスを閉じ込めるためのものである。尚、図6Bに示すパッキン150を用いたシーリング部に替えて、図6Aに示すOリングを用いたシーリング部や図6Cに示すインジウムリングを用いたシーリング部を採用してもよい。
また、図5に示すように、上記チャンバー101には、上記反応部102の上方に位置しているビューポート部160が設けられている。このビューポート部160は、チャンバー101に連通している筒部161とこの筒部161のフランジ161Aに締結される窓部162とを有する。上記筒部161は、少なくとも原料ガスに接触する部分が、例えばステンレス鋼等の非銅系材料で作製されている。
図6Cに示すように、上記筒部161のフランジ161Aと窓部162の窓枠部162Aとの間には、シーリング部材としてのインジウムで作製されたインジウムワイヤ163が挟まれている。上記窓枠部162Aには、石英ガラス等の耐熱性ガラス162Bが嵌め込まれている。上記耐熱性ガラス162Bは非銅系材料で作製された接着剤で上記窓部162に固定されている。上記窓枠部162Aは、少なくとも原料ガスに接触する部分が、例えばステンレス鋼等の非銅系材料で作製されている。上記非銅系材料は銅を含有していない材料である。
上記フランジ161Aと窓部162とは、ボルト等の締結部材(図示せず)によって締結されている。また、上記フランジ161Aと窓部162と上記インジウムワイヤ163と上記締結部材(図示せず)がシーリング部を構成している。このシーリング部は、上記チャンバー101内の真空を保持するため、もしくは、上記チャンバー101内に上記原料ガスを閉じ込めるためのものである。尚、図6Cに示すインジウムワイヤ163を用いたシーリング部に替えて、図6Aに示すOリングを用いたシーリング部や図6Bに示すテフロン系材料で作製されたパッキンを用いたシーリング部を採用してもよい。
このように、上記MOCVD装置は、原料ガスの流れに関して、一点鎖線Yで示される反応部102の下流端102Bから矢印Bで示される上流側の領域において、上記原料ガスが接する部分が、銅を含有していない非銅系材料で作製されている。
なお、上記MOCVD装置では、一点鎖線Yで示される反応部102の下流端102Bから矢印Aで示される下流側の領域において、排気部111のシーリング部材として銅ガスケット115を使用したが、ガス導入部112,電流導入部145,ビューポート部160と同様に、シーリング部材として、フッ素系のゴムで作製されたOリング,PTFE製のパッキン,インジウムリングを採用してもよい。もっとも、上記反応部102よりも下流側で銅ガスケット115を使用して原料ガスと銅が反応しても、ウェハに銅が取込まれることなく排気されるので、銅ガスケット115を使用しても問題とはならない。また、上記フッ素系のゴムで作製されたOリング,PTFE製のパッキン,インジウムリングによるシーリング部材は、銅ガスケットに比べて熱耐性が低いので、これらOリング,パッキン,インジウムリングを装着したシーリング部(フランジ,蓋部材等)に図示しない冷却ジャケット等を取り付けて上記冷却ジャケット内に冷却媒体(冷却水等)を流通させてシーリング部を冷却することが望ましい。
次に、上記実施形態のMOCVD装置を用いて、図1に示す窒化物半導体装置を製造する工程を説明する。
まず、Si基板1を10%HF(フッ酸)溶液で洗浄した後、上記MOCVD(有機金属気相成長)装置に導入する。
上記Si基板1は、流量が10slm(Standard Liter per Minute:L/分)の水素雰囲気中で基板温度1100℃に加熱されて表面のクリーニングが行われる。より厳密には、水素は、有機金属,アンモニアのガスライン以外の図5に記載されていないガスラインを通じてチャンバー1へ導入される。
そして、Si基板1の上に、バッファ層20とチャネルGaN層5とAlGaN障壁層6を順に積層する。
このとき、AlNシード層2は、成長圧力を13.3kPaとし、基板温度を1100℃で成膜した。ここで、AlNシード層2であるAlNの原料として、流量を100μmol/分としたTMA(トリメチルアルミニウム)と、流量を12.5slmとしたNH3(アンモニア)とを供給した。上記TMAは、TMA供給源132からガス導入部112を通してチャンバー1内へ導入され、上記NH3は、NH3供給源133から、ガス導入部112を通してチャンバー1内へ導入される。また、上記基板温度は、上記ヒータ135の出力を制御することで制御される。
また、超格子層3は、AlNシード層2と同様にして、成長圧力を13.3kPaとし、基板温度を1100℃で成膜した。超格子層3を形成するときは、供給する原料を交互に切り替えて、AlNとAl0.1Ga0.9Nとを積層する。一例として、層厚3nmのAlNと層厚20nmのAl0.1Ga0.9Nからなる超格子層を120回繰り返し積層して上記超格子層3を形成する。Al0.1Ga0.9Nの原料として、流量を80μmol/分としたTMAと、流量を720μmol/分としたTMG(トリメチルガリウム)と、流量を12.5slmとしたNH3とを供給する。なお、超格子層3のAlNの原料は、AlNシード層2と同様にして供給した。
また、カーボンドープGaN層4は、AlNシード層2と同様にして、成長圧力を13.3kPaとし、基板温度を1100℃で成膜した。ここで、カーボンドープ層4であるGaNの原料として、流量を720μmol/分としたTMGと、流量を12.5slmとしたNH3とを供給する。
また、チャネルGaN層5は、成長圧力を100kPaとし、基板温度を1100℃で成膜した。ここで、チャネルGaN層5であるGaNの原料として、流量を100μmol/分としたTMGと、流量を12.5slmとしたNH3とを供給する。上記チャネルGaN層5の層厚は、一例として、1μmとした。上記TMGは、TMG供給源131からガス導入部112を通してチャンバー101内へ導入される。
また、AlGaN障壁層6は、AlNシード層2と同様にして、成長圧力を13.3kPaとし、基板温度を1100℃で成膜する。ここで、AlGaN障壁層6であるAl0.17Ga0.83Nの原料として、流量を8μmol/分としたTMAと、流量を50μmol/分としたTMGと、流量を12.5slmとしたNH3とを供給する。
次に、このようにして作製したエピタキシャルウェハを用い、上記AlGaN障壁層6上にソース電極7とドレイン電極8とゲート電極9を形成する。このソース電極7とドレイン電極8とゲート電極9の製造方法は、特に限定されず、例えば蒸着等の公知の方法を使用する。
例えば、ソース/ドレイン領域をパターニングしてオーミック電極を堆積し、リフトオフの後、熱処理によってオーミック化を図り、ソース電極7とドレイン電極8を形成する。この熱処理の条件は、金属の膜厚によっても異なるが、本実施形態では、窒素雰囲気中で、800℃で1分間とした。この熱処理によって、AlGaN障壁層6とソース電極7とのオーミック接触およびAlGaN障壁層6とドレイン電極8とのオーミック接触が得られる。また、上記ソース電極7とドレイン電極8との間隔は、電界効果トランジスタの所望する性能に応じて調整する。
次に、ゲート電極9を堆積する領域をパターニングしてゲート電極9を形成する。ゲート電極9としては、Pt,Ni,Pd,WNなどを用いることができるが、本実施形態ではWNを用いた。その後、AlGaN障壁層6上に、プラズマCVD等の公知の方法でSiNからなる絶縁膜10を形成する。
なお、ソース電極7、ドレイン電極8、ゲート電極9および絶縁膜10を形成する順番は、特に限定されず、絶縁膜10を先に形成してもよい。また、オーミック電極金属としては、Hf/Al/Hf/AuやTi/Al/Mo/Auを用いることができる。
図2は、上記窒化物半導体装置の上記AlGaN障壁層6の表面からの深さが10nm以下の表層領域でのCu濃度(原子数/cm2)と、コラプス値との関係を示している。図2の横軸のE+09,E+10は、それぞれ、109,1010を表している。
上記コラプス値は、ソース電極7とドレイン電極8との間に1Vの電圧を印加したときのオン抵抗R1と、ゲート電極9に負電圧が加えられたオフ状態のときにソース電極7とドレイン電極8との間に500Vの電圧を印加した後、ゲート電極9の電圧をゼロとしてオン状態のときにソース電極7とドレイン電極8との間に1Vの電圧を印加した状態において、オフ状態からオン状態に切り替わってから5マイクロ秒後のオン抵抗R2との比(R2/R1)で表される値である。なお、オン抵抗は、素子のサイズ(例えば、ソース電極7とドレイン電極8との間の距離、電極の面積)によって規定される。
前述の図5を参照して説明したMOCVD装置を用いて作製したIII族窒化物半導体積層基板100の一例では、上記AlGaN障壁層6の上記表層領域でのCu濃度(原子数/cm2)は、〇印のプロットで示されるように、1.0×1010(原子数/cm2)以下の6.1×109(原子数/cm2)であった。また、上記MOCVD装置を用いて上述と同様の工程で作製したIII族窒化物半導体積層基板の他の一例では、上記AlGaN障壁層6の上記表層領域でのCu濃度(原子数/cm2)は、TXRF法による検出限界である3×109(原子数/cm2)以下であった。
一方、前述の図5を参照して説明したMOCVD装置とは異なり、上記ガス導入部,電流導入部,ビューポート部のシーリング部材および電流導入端子等の部分に銅が使用された従来からあるMOCVD装置を用いて作製された比較例の窒化物半導体積層基板では、AlGaN障壁層の上記表層領域でのCu濃度(原子数/cm2)は、図2において、△印のプロットで示されるように、1.44×1010(原子数/cm2)、もしくは、2.18×1010(原子数/cm2),2.74×1010(原子数/cm2),3.13×1010(原子数/cm2)であり、いずれも、1.0×1010(原子数/cm2)を越えていた。
図2から分かるように、これらの表層領域でのCu濃度(原子数/cm2)が、1.0×1010(原子数/cm2)を越えたAlGaN障壁層を有する比較例によるGaN系HFETでは、コラプス値が1.44〜1.54となり、いずれもコラプス値が1.3を越えていた。
これに対して、上記実施形態のIII族窒化物半導体積層基板100を備えた窒化物半導体装置(GaN系HFET)の一例によれば、コラプス値1.18を達成できた。また、上記Cu濃度(原子数/cm2)がTXRF法による検出限界以下であった他の一例では、コラプス値1.10を達成できた。
窒化物半導体装置(GaN系HFET)では、コラプス値を1.3以下にすることが、商業的に商品として成立するためには、重要になる。すなわち、このコラプス値が1.3以下であるGaN系HFETは、シリコン素子よりも大電流駆動が可能でかつ高温動作に適した製品として性能面およびコスト面で商業的価値を有する。
図3Aに模式的に示すように、ドレイン電極Dとソース電極Sとの間にドレインDが高電位となる電圧を印加し、ゲート電極Gの電圧を零とすると、AlGaN障壁層とチャネルGaN層との間に形成される2DEG(2次元電子ガス)層を電子がソースからドレインに向かって走行する。ここで、図3Bに模式的に示すように、AlGaN障壁層にCu(銅)が含有されているとCuの深い準位に電子がトラップされて、ドレイン電流が減少し、オン抵抗が増加してコラプス値が増加すると考えられる。これに対し、本実施形態のIII族窒化物半導体積層基板100によれば、上記AlGaN障壁層6の表層領域でのCu濃度(原子数/cm2)を、1.0×1010(原子数/cm2)以下に低減したことで、図3Cに模式的に示すように、Cuにトラップされる電子を減少させて、ドレイン電流を増加させることができるので、オン抵抗が低下し、コラプス値を抑制できると考えられる。
(第2の実施の形態)
図4Aは、この発明の第2実施形態のIII族窒化物半導体積層基板200の断面図を示している。
図4Aは、この発明の第2実施形態のIII族窒化物半導体積層基板200の断面図を示している。
この第2実施形態のIII族窒化物半導体積層基板200は、Si基板201上に、AlNシード層202と、超格子バッファ層203と、耐圧用のカーボンドープGaN層204と、チャネル層の一例としてのチャネルGaN層205と、障壁層206とが順に形成されている。
上記Si基板201とAlNシード層202と超格子層203とカーボンドープGaN層204とチャネルGaN層205と障壁層206とがIII族窒化物半導体積層基板200を構成している。
このIII族窒化物半導体積層基板200の上記障壁層206上には、図示してないが、前述の第1実施形態で説明したのと同様に、ソース電極、ドレイン電極、ゲート電極、および絶縁膜が形成される。このソース電極、ドレイン電極、ゲート電極、および絶縁膜については、前述の第1実施形態で説明したのと同様にして作製される。これにより、窒化物半導体装置としてのGaN系HFETが作製される。
この第2実施形態では、一例として、上記AlNシード層202の層厚を120nmとし、上記超格子バッファ層203の層厚を2300nmとし、上記耐圧用のカーボンドープGaN層204の層厚を840nmとした。
また、この第2実施形態では、図4Bに示すように、上記障壁層206は、上記チャネルGaN層205上に、層厚1nmのAlNヘテロ特性改善層211と層厚34nmのAlGaN障壁層212と層厚1nmのGaNキャップ層213が順に形成されて構成されている。
上記AlNヘテロ特性改善層211を形成するAlNのエネルギーバンドギャップは6.2eVという極めて大きなバンドギャップを有しているので、膜厚が厚くなり過ぎるとヘテロ接合として機能しなくなる。このため、チャネルGaN層5とAlGaN障壁層212との界面急峻性を維持しつつ、トンネル効果によって十分なキャリア輸送ができる厚さにしている。このため、AlNヘテロ特性改善層211の膜厚は、1分子層〜4分子層にすることが好ましい。
この第2実施形態によれば、チャネルGaN層205とAlGaN障壁層212との間にAlNヘテロ特性改善層211を形成することによって、チャネルGaN層205とAlGaN障壁層212との界面急峻性が改善されるので、ヘテロ界面に生じる2次元電子ガスのキャリア濃度を大きくでき、電気的特性を向上できる。
また、チャネルGaN層205とAlGaN障壁層212との間にAlNヘテロ特性改善層211を介在させることによって、リーク電流を低減することが可能になる。例えば、AlNヘテロ特性改善層211の膜厚を10Å〜30Åにすることで、リーク電流を低減できた。
また、この第2実施形態によれば、上記AlGaN障壁層212上に形成したGaNキャップ層213によって、窒化物半導体層(チャネルGaN層205,AlGaN障壁層212)の酸化を防いで、窒化物半導体層の酸化による特性劣化を抑制できる。
尚、上記障壁層206は、AlNヘテロ特性改善層211とGaNキャップ層213のうちのいずれか一方を備えてもよい。
この第2実施形態のIII族窒化物半導体積層基板200では、上記障壁層206は、表面からの深さが10nm以下の表層領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下である。この障壁層206の表層領域でのCu濃度は、TXRF法によって測定した。
上記構成の窒化物半導体装置において、チャネルGaN層205と障壁層206との界面に2次元電子ガス(2DEG)が発生してチャネルが形成される。このチャネルを上記ゲート電極(図示せず)に電圧を印加することにより制御して、図示しないソース電極とドレイン電極とゲート電極を有するHFETをオンオフさせる。このHFETは、上記ゲート電極(図示せず)に負電圧が印加されているときに上記ゲート電極下のチャネルGaN層205に空乏層が形成されてオフ状態となる一方、上記ゲート電極の電圧がゼロのときにゲート電極下のチャネルGaN層205に空乏層がなくなってオン状態となるノーマリーオンタイプのトランジスタである。
この第2実施形態のIII族窒化物半導体積層基板200は、前述の第1実施形態のIII族窒化物半導体積層基板100と同様、図5,図6A〜図6Dを参照して説明したMOCVD装置を用いて作製した。
すなわち、Si基板201を10%HF(フッ酸)溶液で洗浄した後、上記MOCVD装置に導入する。上記Si基板201は、流量が10slmの水素雰囲気中で基板温度1100℃に加熱されて表面のクリーニングが行われる。そして、上記Si基板201の上に、AlNシード層202と超格子バッファ層203と耐圧用カーボンドープGaN層204とチャネルGaN層205とAlGaN障壁層206を順に積層する。
このとき、AlNシード層202は、成長圧力を13.3kPaとし、基板温度を1100℃で成膜した。ここで、AlNシード層2であるAlNの原料として、流量を100μmol/分としたTMA(トリメチルアルミニウム)と、流量を12.5slmとしたNH3(アンモニア)とを供給した。
また、超格子バッファ層203は、AlNシード層202と同様にして、成長圧力を13.3kPaとし、基板温度を1100℃で成膜した。超格子バッファ層203を形成するときは、供給する原料を交互に切り替えて、AlNとAl0.1Ga0.9Nとを積層する。一例として、層厚3nmのAlNと層厚20nmのAl0.1Ga0.9Nからなる超格子層を100回繰り返し積層して上記超格子バッファ層203を形成する。Al0.1Ga0.9Nの原料として、流量を80μmol/分としたTMAと、流量を720μmol/分としたTMG(トリメチルガリウム)と、流量を12.5slmとしたNH3とを供給する。なお、超格子バッファ層203のAlNの原料は、AlNシード層2と同様にして供給した。
また、カーボンドープGaN層204は、AlNシード層202と同様にして、成長圧力を13.3kPaとし、基板温度を1100℃で成膜した。ここで、カーボンドープGaN層204であるGaNの原料として、流量を720μmol/分としたTMGと、流量を12.5slmとしたNH3とを供給する。
また、チャネルGaN層205は、成長圧力を100kPaとし、基板温度を1100℃で成膜した。ここで、チャネルGaN層205であるGaNの原料として、流量を100μmol/分としたTMGと、流量を12.5slmとしたNH3とを供給する。上記チャネルGaN層205の層厚は、一例として、800nmとした。
また、上記障壁層206は、AlNシード層202と同様にして、成長圧力を13.3kPaとし、基板温度を1100℃で成膜する。ここで、上記障壁層206を構成するAlNヘテロ特性改善層211の原料として、流量を100μmol/分としたTMA(トリメチルアルミニウム)と、流量を12.5slmとしたNH3(アンモニア)とを供給した。また、上記障壁層206を構成するAl0.17Ga0.83N障壁層212の原料として、流量を8μmol/分としたTMAと、流量を50μmol/分としたTMGと、流量を12.5slmとしたNH3とを供給した。また、上記障壁層206を構成するGaN層213は、流量を100μmol/分としたTMGと、流量を12.5slmとしたNH3とを供給する。
次に、このようにして作製したエピタキシャルウェハを用い、上記障壁層206上に図示しないソース電極とドレイン電極とゲート電極を形成する。このソース電極とドレイン電極とゲート電極の製造方法は、前述の第1実施形態と同様であり、特に限定されず、例えば蒸着等の公知の方法を使用する。また、上記絶縁膜についても、前述の第1実施形態と同様、上記障壁層206上に、プラズマCVD等の公知の方法でSiNからなる絶縁膜を形成する。
また、前述の第1実施形態と同様、上記ソース電極、ドレイン電極、ゲート電極および絶縁膜を形成する順番は、特に限定されず、上記絶縁膜を先に形成してもよい。また、オーミック電極金属としては、Hf/Al/Hf/AuやTi/Al/Mo/Auを用いることができる。
この第2実施形態のIII族窒化物半導体積層基板200においても、前述の第1実施形態と同様、上記障壁層206は、表面からの深さが10nm以下の表層領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下であり、6.8×109(原子数/cm2)である。この障壁層206の表層領域でのCu濃度は、TXRF法によって測定した。
図2に示すように、上記障壁層206の表面からの深さが10nm以下の表層領域でのCu濃度を、1.0×1010(原子数/cm2)以下の6.8×109(原子数/cm2)にしたことで、この実施形態のIII族窒化物半導体積層基板200を備えた窒化物半導体装置(GaN系HFET)のコラプス値を1.3以下の1.20にできる。このコラプス値が1.3以下であるGaN系HFETは、シリコン素子よりも大電流駆動が可能でかつ高温動作に適した製品として性能面およびコスト面で商業的価値を有する。
例えば、GaN系FETとSi系MOSFETとを直列に接続したカスコード接続回路においてコラプス値が1.3以下のGaN系HFETを用いることで抵抗値の変動を抑えて低抵抗化することが回路動作の安定化のために重要となる。
上記第1,第2実施形態では、Si基板を用いたIII族窒化物半導体積層基板について説明したが、Si基板に限らず、サファイヤ基板やSiC基板を用いてもよく、サファイヤ基板やSiC基板上に窒化物半導体層を成長させてもよいし、GaN基板にAlGaN層を成長させる等のように、窒化物半導体からなる基板上に窒化物半導体層を成長させてもよい。また、基板と窒化物半導体層との間にバッファ層はなくともよい。
また、上記第1,第2実施形態では、ノーマリーオンタイプのHFETについて説明したが、ノーマリーオフタイプの窒化物半導体装置にこの発明を適用してもよい。また、ゲート電極がショットキー電極の窒化物半導体装置に限らず、絶縁ゲート構造の電界効果トランジスタにこの発明を適用してもよい。
また、この発明のIII族窒化物半導体積層基板を用いて作製される窒化物半導体装置は、2DEGを利用するHFETに限らず、他の構成の電界効果トランジスタであっても同様の効果が得られる。
また、この発明のIII族窒化物半導体積層基板の窒化物半導体は、AlxInyGa1−x−yN(x≦0、y≦0、0≦x+y≦1)で表されるものであればよい。
この発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は上記実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。
1,201 Si基板
2,202 AlNシード層
3 超格子層
4 カーボンドープGaN層
5,205 チャネルGaN層
6 AlGaN障壁層
7 ソース電極
8 ドレイン電極
9 ゲート電極
10 絶縁膜
20 バッファ層
100,200 III族窒化物半導体積層基板
101 チャンバー
102 反応部
102A 上流側開口部
102B 下流端
111 排気部
112 ガス導入部
113 排気管
113A,114A,117A,118A,140A,161A フランジ
114 排気配管
115 銅ガスケット
117 ガス導入筒
118 蓋部材
120 Oリング
122 載置プレート
125 原料ガス導入配管
127,128,129 流量調節バルブ
130 基板
131 TMG供給源
132 TMA供給源
133 NH3供給源
135 ヒータ
136,138 電流供給配線
137,139 電流導入端子
140 端子挿入管
141 密封蓋
147 絶縁セラミック
150 パッキン
151,152,153 配管
160 ビューポート部
161 筒部
162 窓部
162A 窓枠部
162B 耐熱性ガラス
163 インジウムワイヤ
203 超格子バッファ層
204 耐圧用のカーボンドープGaN層
206 障壁層
211 AlNヘテロ特性改善層
212 AlGaN障壁層
213 GaNキャップ層
2,202 AlNシード層
3 超格子層
4 カーボンドープGaN層
5,205 チャネルGaN層
6 AlGaN障壁層
7 ソース電極
8 ドレイン電極
9 ゲート電極
10 絶縁膜
20 バッファ層
100,200 III族窒化物半導体積層基板
101 チャンバー
102 反応部
102A 上流側開口部
102B 下流端
111 排気部
112 ガス導入部
113 排気管
113A,114A,117A,118A,140A,161A フランジ
114 排気配管
115 銅ガスケット
117 ガス導入筒
118 蓋部材
120 Oリング
122 載置プレート
125 原料ガス導入配管
127,128,129 流量調節バルブ
130 基板
131 TMG供給源
132 TMA供給源
133 NH3供給源
135 ヒータ
136,138 電流供給配線
137,139 電流導入端子
140 端子挿入管
141 密封蓋
147 絶縁セラミック
150 パッキン
151,152,153 配管
160 ビューポート部
161 筒部
162 窓部
162A 窓枠部
162B 耐熱性ガラス
163 インジウムワイヤ
203 超格子バッファ層
204 耐圧用のカーボンドープGaN層
206 障壁層
211 AlNヘテロ特性改善層
212 AlGaN障壁層
213 GaNキャップ層
Claims (4)
- III族窒化物半導体であるチャネル層と、
上記チャネル層上に形成され、上記チャネル層とヘテロ界面を形成すると共にIII族窒化物半導体である障壁層と
を備え、
上記障壁層は、
表面からの深さが10nm以下の領域でのCu濃度が、1.0×1010(原子数/cm2)以下であることを特徴とするIII族窒化物半導体積層基板。 - 請求項1に記載のIII族窒化物半導体積層基板において、
上記チャネル層は、GaNからなり、
上記障壁層は、AlGaNからなることを特徴とするIII族窒化物半導体積層基板。 - 請求項1に記載のIII族窒化物半導体積層基板において、
上記チャネル層は、GaNからなり、
上記障壁層は、
上記チャネル層側のAlGaNからなる層と、
上記AlGaNからなる層上のGaNからなるキャップ層と
を有することを特徴とするIII族窒化物半導体積層基板。 - 請求項1から3のいずれか1つに記載のIII族窒化物半導体積層基板を備え、
上記障壁層上にソース電極とドレイン電極とゲート電極とを設け、
上記障壁層上において上記ソース電極とドレイン電極とゲート電極とが形成されてない領域に絶縁膜を設けたことを特徴とするIII族窒化物半導体電界効果トランジスタ。
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