JP2013214939A5 - - Google Patents

Description

そこで、本発明の一側面としての電磁波を放射または受信するための装置は、くぼみを有する基板と、前記電磁波を放射または受信するための金属部と、前記金属部と接続する電子素子とを有し、前記金属部は、前記くぼみ上に配置されている部分と、前記基板上に配置されている部分と、を有し、前記金属部の前記基板上に配置されている前記部分と前記電子素子とが接続しており、前記電子素子は、前記基板上に配置されており、前記くぼみは、前記電磁波を反射する底部を有することを特徴とする。

Claims (21)

1. 電磁波を放射または受信するための装置であって、
   くぼみを有する基板と、
   前記電磁波を放射または受信するための金属部と、
   前記金属部と接続する電子素子とを有し、
   前記金属部は、前記くぼみ上に配置されている部分と、前記基板上に配置されている部分と、を有し、
   前記金属部の前記基板上に配置されている前記部分と前記電子素子とが接続しており、
   前記電子素子は、前記基板上に配置されており、
   前記くぼみは、前記電磁波を反射する底部を有することを特徴とする装置。
2. 前記基板と前記金属部の前記基板状に配置されている前記部分との間に配置されている金属層と、
   前記金属層と前記金属部の前記基板状に配置されている前記部分の間に配置されている絶縁層と、を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記凸部は、前記くぼみの端から延びる腕木形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
4. 前記凸部は、前記くぼみの底部から延びるピラー形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
5. 前記基板内の前記くぼみの前記底部は、金属層を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の装置。
6. 前記くぼみは、前記電磁波を反射する側面を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の装置。
7. 前記くぼみが、前記基板を構成する材料の比誘電率より低い比誘電率を有する固体の誘電材料で充填されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の装置。
8. 前記くぼみの底面と側面との接合部分が湾曲していることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の装置。
9. 前記くぼみの内部に前記基板の凸部を有し、前記凸部上に前記電子素子が配置されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の装置。
10. 前記電子素子が整流素子であることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の装置。
11. 前記電磁波の周波数が３０ＧＨｚから３０ＴＨｚの領域であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項記載の装置。
12. 前記金属部に分布する電磁界の節に対し、外部回路と接続するための接続部が設けられていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の装置。
13. 前記接続部は、分布定数フィルタを有していることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
14. 前記分布定数フィルタは前記接続部に設けられたスタブで構成することを特徴とする請求項１３に記載の装置。
15. 前記スタブはＬ型スタブであり、前記Ｌ型スタブの端部は、前記金属部に対向していることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
16. 前記分布定数フィルタは前記接続部に沿って配置された前記基板と同じ材料の周期構造で構成することを特徴とする請求項１３に記載の装置。
17. 前記金属部に分布する電磁界の節に対し、前記金属部を支持する支持部が配置され、前記支持部は前記基板と同じ材料で構成されていることを特徴とする請求項１から１６のいずれか１項に記載の装置。
18. 前記金属部は、電磁波の指向性を調整するためのスリットを有することを特徴とする請求項１から１７のいずれか１項に記載の装置。
19. 前記金属部に分布する電磁界の節は、動作波長に対し少なくとも二つ以上存在することを特徴とする請求項１から１８のいずれか１項に記載の装置。
20. 複数の請求項１から１９のいずれか１項に記載の装置を有し、
    前記複数の装置は、アレイ状に配置されており、
    前記複数の装置のそれぞれからの信号をもとに画像を形成することを特徴とする画像センサ。
21. 電磁波を放射または受信するための装置の製造方法であって、
    基板上に前記電磁波を放射または受信するための金属部を形成する工程と、
    前記金属部がくぼみの開口部上に設けられる部分と前記基板上にあり電子素子と接続している部分とを有するように、前記基板に前記電磁波を反射する壁で覆われている前記くぼみを形成する工程とを有することを特徴とする電磁波を放射または受信するための装置の製造方法。