JP2013209928A5 - - Google Patents
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本発明の好ましい態様によれば、前記第二の真空ポンプはドライ真空ポンプからなり、前記ドライ真空ポンプにおける一対のポンプロータの回転軸に一対のマグネットロータを取り付け、前記マグネットロータの磁極数は互いに同一であり、前記マグネットロータを異磁極同士が引き合うように配置し、前記マグネットロータの少なくとも１つの径方向外側に配置した鉄心と巻線とからなる複数相の電機子への通電の切り替えにより前記マグネットロータの少なくとも１つを駆動し、前記一対のポンプロータを同期反転させることを特徴とする。
Claims (17)
- 高真空以下まで真空排気できる第一の真空ポンプと、大気圧から中真空又は低真空まで真空排気できる第二の真空ポンプを備え、大気圧から高真空以下まで排気する真空排気装置であって、前記第一の真空ポンプと前記第二の真空ポンプとを連結して一体化したことを特徴とする真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプの回転軸の軸心と前記第二の真空ポンプの回転軸の軸心とは、互いに直交して配置されていることを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプの回転軸および前記第二の真空ポンプの回転軸を支持する軸受は、自己潤滑性がある軸受、半固体潤滑剤または固体潤滑剤を内包した軸受、気体軸受、および磁気軸受のいずれかであり、前記第一の真空ポンプおよび前記第二の真空ポンプの設置方向がいずれの方向であっても前記回転軸の回転を維持することが可能なことを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプの底面部品と、前記第二の真空ポンプのケーシングとを一体化することにより、前記第一の真空ポンプと前記第二の真空ポンプとを一体化したことを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプと前記第二の真空ポンプの連結部に断熱部材を設けるか、前記連結部の接触面積を小さくしたことを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプと前記第二の真空ポンプの連結部に防振機構を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプの排気口と第二の真空ポンプの吸気口を接続する排気通路部品は、防振材料からなることを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプの吸気口と前記第二の真空ポンプの吸気口とを接続して前記第一の真空ポンプをバイパスさせるバイパス流路を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプの排気口と前記第二の真空ポンプの吸気口を接続する排気通路部品に、前記第一の真空ポンプ運転中に前記第二の真空ポンプから前記第一の真空ポンプへの逆流を防止するための逆流防止弁を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプおよび前記第二の真空ポンプを制御する制御装置を前記第一の真空ポンプに連結して一体化するか又は別置することを特徴とする請求項１記載の真空排気装置。
- 前記制御装置は、前記第一の真空ポンプおよび第二の真空ポンプのそれぞれが定格回転速度に達し、排気対象の真空容器に外部からのガス導入が無い場合、少なくとも一方の真空ポンプのモータ印加電圧を低下させ、モータ最大効率点で運転継続するよう制御することが可能であることを特徴とする請求項１０記載の真空排気装置。
- 前記制御装置は、前記第一の真空ポンプおよび前記第二の真空ポンプのそれぞれについて、排気ガス流量によってポンプ回転速度を個別に変化させつつ、排気対象のチャンバ内圧力を目標とした圧力条件に維持するように制御することが可能であることを特徴とする請求項１０記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプはターボ分子ポンプであり、前記第二の真空ポンプはドライ真空ポンプであることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の真空排気装置。
- 前記第二の真空ポンプはドライ真空ポンプからなり、前記ドライ真空ポンプにおける一対のポンプロータの回転軸に一対のマグネットロータを取り付け、前記マグネットロータの磁極数は互いに同一であり、前記マグネットロータを異磁極同士が引き合うように配置し、前記マグネットロータの少なくとも１つの径方向外側に配置した鉄心と巻線とからなる複数相の電機子への通電の切り替えにより前記マグネットロータの少なくとも１つを駆動し、前記一対のポンプロータを同期反転させることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプと前記第二の真空ポンプとは、それぞれ１台ずつの組合せまたは１台に対して複数台の組合せで構成されていることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプと前記第二の真空ポンプとは、吸排気経路で連結され一体化していることを特徴とする請求項１５に記載の真空排気装置。
- 前記第一の真空ポンプと前記第二の真空ポンプとは、第一の真空ポンプを１とした場合の第二の真空ポンプの軸方向寸法比が１〜０．６であり、第一の真空ポンプを１とした場合の第二の真空ポンプの容積比が０．３〜０．５であることを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の真空排気装置。
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