JP2013191788A - 半導体モジュール及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型かつ放熱性の良好な半導体モジュールを提供する。
【解決手段】熱伝導性を有する中間プレート2と、中間プレート2の一対の主面にそれぞれ配されたパワー半導体素子と、該パワー半導体素子を中間プレート2との間に挟むように配された一対のヒートシンク4と、中間プレート2とパワー半導体素子とヒートシンク4とをモールド樹脂により封止するモールド部10とを有し、ヒートシンク4はパワー半導体素子と反対側の面をモールド部から露出しており、中間プレート2は、上記主面と平行な方向にモールド部10から突出した中間放熱部21を有する半導体モジュール1である。
【選択図】図1
【解決手段】熱伝導性を有する中間プレート2と、中間プレート2の一対の主面にそれぞれ配されたパワー半導体素子と、該パワー半導体素子を中間プレート2との間に挟むように配された一対のヒートシンク4と、中間プレート2とパワー半導体素子とヒートシンク4とをモールド樹脂により封止するモールド部10とを有し、ヒートシンク4はパワー半導体素子と反対側の面をモールド部から露出しており、中間プレート2は、上記主面と平行な方向にモールド部10から突出した中間放熱部21を有する半導体モジュール1である。
【選択図】図1
Description
本発明は、パワー半導体を内蔵した半導体モジュール及び、沸騰冷却装置により上記半導体モジュールを冷却できるよう構成した半導体装置に関する。
ハイブリッドカーや電気自動車等に搭載される電力変換装置には、パワー半導体素子を搭載した半導体モジュールが使用されている。半導体モジュールは、電力変換装置により駆動されるモータ等を高出力化するため、より大きな電流を流すことが望まれており、これに伴う発熱量の増大が問題となっている。
この問題に対し、放熱性を高めた半導体モジュールの例として、例えば特許文献1に開示された半導体モジュールが提案されている。特許文献1に開示された半導体モジュールは、一対のヒートシンクの間にパワー半導体素子を配しており、パワー半導体素子からの発熱を両面から放熱させることにより、放熱性の向上を図ったものである。
しかしながら、上記半導体モジュールを電力変換装置に用いる場合には、電力変換装置の小型化が困難であるという問題がある。つまり、上記半導体モジュールによりインバータ回路等の電力変換回路を構成する場合、複数個の半導体モジュールを使用する必要があるため、部品点数の増大を招く。
一方、複数のパワー半導体素子を半導体モジュールの内部に配することにより、半導体モジュールを一体化する構成が考えられる。ここで、複数のパワー半導体素子をヒートシンクの主面と平行な方向に並べて配置する場合には、ヒートシンクの面積増大を招くため、半導体モジュールの大型化が避けられない。
そこで、ヒートシンクの主面と垂直な方向に複数のパワー半導体素子を並べて配置することが考えられる。ところが、この場合には、ヒートシンクとパワー半導体素子とが接触する面積が小さくなるため、ヒートシンクとパワー半導体素子との間の熱抵抗が増大する。そのため、半導体モジュールの放熱性が低下するという問題が生じるおそれがある。
本発明は、上記の背景に鑑みてなされたもので、小型かつ放熱性の良好な半導体モジュールを提供しようとするものである。
本発明の第1の態様は、熱伝導性を有する中間プレートと、
該中間プレートの一対の主面にそれぞれ配されたパワー半導体素子と、
該パワー半導体素子を上記中間プレートとの間に挟むように配された一対のヒートシンクと、
上記中間プレートと上記パワー半導体素子と上記ヒートシンクとをモールド樹脂により封止するモールド部とを有し、
上記ヒートシンクは上記パワー半導体素子と反対側の面を上記モールド部から露出しており、
上記中間プレートは、上記主面と平行な方向に上記モールド部から突出した中間放熱部を有することを特徴とする半導体モジュールにある(請求項1)。
該中間プレートの一対の主面にそれぞれ配されたパワー半導体素子と、
該パワー半導体素子を上記中間プレートとの間に挟むように配された一対のヒートシンクと、
上記中間プレートと上記パワー半導体素子と上記ヒートシンクとをモールド樹脂により封止するモールド部とを有し、
上記ヒートシンクは上記パワー半導体素子と反対側の面を上記モールド部から露出しており、
上記中間プレートは、上記主面と平行な方向に上記モールド部から突出した中間放熱部を有することを特徴とする半導体モジュールにある(請求項1)。
上記半導体モジュールは、上記中間プレートの一対の主面にそれぞれ配されたパワー半導体素子と、該パワー半導体素子を上記中間プレートとの間に挟むように配された一対のヒートシンクとを有する。つまり、上記パワー半導体素子は、それぞれ中間プレートとヒートシンクとの間に配置されている。そのため、上記パワー半導体素子から発生する熱を、その両主面から上記中間プレートと上記ヒートシンクとの双方へ伝達できる。
また、上記ヒートシンクは上記パワー半導体素子と反対側の面を上記モールド部から露出しており、上記中間プレートは、主面と平行な方向に上記モールド部から突出した中間放熱部を有している。そのため、上記ヒートシンクは、上記パワー半導体素子から伝達された熱を、上述の露出部分を介して外部へ放熱することができる。同様に、上記中間プレートは、上記パワー半導体素子から伝達された熱を、上記中間放熱部を介して外部へ放熱することができる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性を向上させることができる。
また、上記パワー半導体素子は、上記中間プレートの一対の主面にそれぞれ配されているため、上記ヒートシンクの面積を低減することができる。その結果、上記半導体モジュールを容易に小型化することができる。
以上のごとく、上記態様によれば、小型かつ放熱性の良好な半導体モジュールを提供することができる。
上記半導体モジュールにおいて、上記中間プレートが熱伝導性を有するとは、例えば上記中間プレートの熱伝導率が上記モールド樹脂よりも高いことを意味する。
また、上記中間プレートは、熱伝導率の異方性を有し、上記中間放熱部の突出方向の熱伝導率が、上記中間放熱部の突出方向と厚み方向との双方に直交する幅方向の熱伝導率よりも高いことが好ましい(請求項2)。
この場合には、上記パワー半導体素子から発生する熱が、上記中間放熱部の方向へより伝達されやすくなる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
この場合には、上記パワー半導体素子から発生する熱が、上記中間放熱部の方向へより伝達されやすくなる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
また、上記中間プレートは、厚み方向の熱伝導率が上記幅方向の熱伝導率より高いことが好ましい(請求項3)。
この場合には、上記パワー半導体素子から発生する熱が、上記中間プレートの主面から上記厚み方向に拡散するとともに、上記突出方向に拡散しやすくなる。これにより、上記パワー半導体素子からの熱が上記中間放熱部の方向へより伝達されやすくなる。そして、上記中間放熱部へ伝わった熱が、厚み方向へさらに拡散することで、上記中間放熱部の外部へ熱を放出しやすくなる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
この場合には、上記パワー半導体素子から発生する熱が、上記中間プレートの主面から上記厚み方向に拡散するとともに、上記突出方向に拡散しやすくなる。これにより、上記パワー半導体素子からの熱が上記中間放熱部の方向へより伝達されやすくなる。そして、上記中間放熱部へ伝わった熱が、厚み方向へさらに拡散することで、上記中間放熱部の外部へ熱を放出しやすくなる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
また、対を成す上記パワー半導体素子は上記中間プレートの厚み方向から見て同一の位置に配置されていてもよい(請求項4)。
この場合には、上記中間プレートの一方の主面側に配された上記パワー半導体素子と、他方の主面側に配された上記パワー半導体素子とが、上記突出方向及び上記幅方向において互いに重なる位置に配置される。これにより、上記中間プレートにおける上記パワー半導体素子の搭載に必要な面積を低減することができる。その結果、上記中間プレートを小型化することができるため、上記半導体モジュールを容易に小型化することができる。
この場合には、上記中間プレートの一方の主面側に配された上記パワー半導体素子と、他方の主面側に配された上記パワー半導体素子とが、上記突出方向及び上記幅方向において互いに重なる位置に配置される。これにより、上記中間プレートにおける上記パワー半導体素子の搭載に必要な面積を低減することができる。その結果、上記中間プレートを小型化することができるため、上記半導体モジュールを容易に小型化することができる。
また、上記パワー半導体素子の制御信号を入出力する制御端子と上記パワー半導体素子とがフレキシブル基板を介して接続されていてもよい(請求項5)。
この場合には、上記フレキシブル基板と上記パワー半導体素子及び上記制御端子との接続にはんだを用いることができる。これにより、上記パワー半導体素子のはんだ付けによる接合と上記フレキシブル基板の接合とを同時に行うことが可能となる。その結果、上記半導体モジュールの組み立て性が向上し、該半導体モジュールを容易に製造することができる。
この場合には、上記フレキシブル基板と上記パワー半導体素子及び上記制御端子との接続にはんだを用いることができる。これにより、上記パワー半導体素子のはんだ付けによる接合と上記フレキシブル基板の接合とを同時に行うことが可能となる。その結果、上記半導体モジュールの組み立て性が向上し、該半導体モジュールを容易に製造することができる。
また、上記中間プレートの一方の主面側に配された上記パワー半導体素子は、上記中間プレートの厚み方向から見て該中間プレートの外側に突出している突出領域を有し、該突出領域に形成されたボンディングパッドにおいて、ボンディングワイヤにより上記制御端子と接続されていてもよい(請求項6)。
この場合には、上記パワー半導体素子と上記制御端子との接続を低コストで行うことができる。
この場合には、上記パワー半導体素子と上記制御端子との接続を低コストで行うことができる。
また、上記中間プレートの他方の主面側に配された上記ヒートシンクは、上記中間プレートの厚み方向から見て上記ボンディングワイヤが配置されている領域を避けて配置されていてもよい(請求項7)。
この場合には、上記ボンディングワイヤと上記制御端子との接続を、上記中間プレート、上記パワー半導体素子及び上記一対のヒートシンクの組み立て後にも行うことができる。その結果、上記半導体モジュールの組み立て工程の自由度が大きくなり、容易に生産することができる。
この場合には、上記ボンディングワイヤと上記制御端子との接続を、上記中間プレート、上記パワー半導体素子及び上記一対のヒートシンクの組み立て後にも行うことができる。その結果、上記半導体モジュールの組み立て工程の自由度が大きくなり、容易に生産することができる。
また、上記中間プレートの一方の主面に配された3個の上記パワー半導体素子と、上記中間プレートの他方の主面に配された3個の上記パワー半導体素子とを備え、これらが互いに接続されてインバータ回路を形成しており、上記中間プレートの一方の主面に配置された3枚の上記パワー半導体素子に制御信号を入出力する第1制御端子と、上記中間プレートの他方の主面に配置された3枚の上記パワー半導体素子に制御信号を入出力する第2制御端子とが、上記中間プレートの主面と平行な方向であって互いに反対方向に、上記モールド部から突出していてもよい(請求項8)。
この場合には、上記第1制御端子と上記第2制御端子とが互いに反対方向に突出しているため、上記モールド部の体積を低減することができる。その結果、上記半導体モジュールをより小型化することができる。
この場合には、上記第1制御端子と上記第2制御端子とが互いに反対方向に突出しているため、上記モールド部の体積を低減することができる。その結果、上記半導体モジュールをより小型化することができる。
また、上記半導体モジュールと、該半導体モジュールを冷却するための沸騰冷却装置とを備える半導体装置であって、上記沸騰冷却装置は、上記半導体モジュールと冷媒液とを封入するとともに、上記半導体モジュールにおける上記中間プレートの上記中間放熱部が上記冷媒液に浸漬されるように構成された沸騰部と、該沸騰部の上方に配設されるとともに上記半導体モジュールの発熱により発生する上記冷媒液の蒸気を凝縮させる凝縮器とを備えていることを特徴とする半導体装置を構成することができる(請求項9)。
この場合には、上記パワー半導体素子から上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部に伝達された熱が、上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部と接触する冷媒液に伝達される。そして、この冷媒液の少なくとも一部が蒸発することにより、上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部に伝達された熱を、冷媒液の気化熱として効率よく除去することができる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性を格段に向上させることができる。
この場合には、上記パワー半導体素子から上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部に伝達された熱が、上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部と接触する冷媒液に伝達される。そして、この冷媒液の少なくとも一部が蒸発することにより、上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部に伝達された熱を、冷媒液の気化熱として効率よく除去することができる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性を格段に向上させることができる。
また、上記半導体モジュールに電力を入出力する複数のパワー端子及び上記半導体モジュールに制御信号を入出力する複数の制御端子は、上記中間放熱部とは異なる方向に向けて上記モールド部から突出していてもよい(請求項10)。
上記半導体装置においては、上記中間放熱部と上記冷媒液とが接する部分において、冷媒液の気泡が発生する。そのため、上述のごとく上記複数のパワー端子と上記複数の制御端子とを上記中間放熱部とは異なる方向に突出させることにより、これらの端子が冷媒液の気泡の上昇を阻害することがなくなる。その結果、上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部に滞りなく冷媒液を供給することができ、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
上記半導体装置においては、上記中間放熱部と上記冷媒液とが接する部分において、冷媒液の気泡が発生する。そのため、上述のごとく上記複数のパワー端子と上記複数の制御端子とを上記中間放熱部とは異なる方向に突出させることにより、これらの端子が冷媒液の気泡の上昇を阻害することがなくなる。その結果、上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部に滞りなく冷媒液を供給することができ、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
また、上記半導体モジュールは上記中間放熱部を上方に向けて配置されていてもよい(請求項11)。
この場合には、上記中間放熱部から発生する冷媒液の気泡が、上記半導体モジュールに阻害されることなく上昇できる。そのため、上述のごとく、上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部に滞りなく冷媒液を供給することができ、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
この場合には、上記中間放熱部から発生する冷媒液の気泡が、上記半導体モジュールに阻害されることなく上昇できる。そのため、上述のごとく、上記一対のヒートシンク及び上記中間放熱部に滞りなく冷媒液を供給することができ、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
また、上記中間放熱部は突出方向に垂直な断面の形状が一様であるとともに、上記断面の形状が櫛歯部を有していてもよい(請求項12)。
この場合には、断面が一様な上記中間放熱部に発生した冷媒液の気泡が、上記中間放熱部自身に阻害されることなく上昇することができる。また、上記櫛歯部により上記中間放熱部の表面積が増大するため、上記中間放熱部と上記冷媒液との熱交換を効率よく行うことができる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
この場合には、断面が一様な上記中間放熱部に発生した冷媒液の気泡が、上記中間放熱部自身に阻害されることなく上昇することができる。また、上記櫛歯部により上記中間放熱部の表面積が増大するため、上記中間放熱部と上記冷媒液との熱交換を効率よく行うことができる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
また、上記半導体モジュールは上記中間放熱部を水平方向に向けて配置されていてもよい(請求項13)。
この場合には、上記中間放熱部に発生した冷媒液の気泡が、上記半導体モジュールに阻害されることなく上昇することができ、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
この場合には、上記中間放熱部に発生した冷媒液の気泡が、上記半導体モジュールに阻害されることなく上昇することができ、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
また、上記パワー端子及び上記制御端子は、上方から見た時に上記中間放熱部と重ならない位置に配設されていてもよい(請求項14)。
この場合には、上述のごとく上記複数のパワー端子と上記複数の制御端子とが冷媒液の気泡の上昇を阻害することがなくなる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
この場合には、上述のごとく上記複数のパワー端子と上記複数の制御端子とが冷媒液の気泡の上昇を阻害することがなくなる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
また、上記中間放熱部の表面に多孔質層が形成されていてもよい(請求項15)。
この場合には、上記冷媒液が上記多孔質層の内部まで浸透することができるため、上記冷媒液と上記中間放熱部とが接触する面積が増大し、熱交換を効率よく行うことができる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
この場合には、上記冷媒液が上記多孔質層の内部まで浸透することができるため、上記冷媒液と上記中間放熱部とが接触する面積が増大し、熱交換を効率よく行うことができる。その結果、上記半導体モジュールの放熱性をより向上させることができる。
(実施例1)
上記半導体モジュールの実施例につき、図1〜図7を用いて説明する。半導体モジュール1は、図2に示すごとく、熱伝導性を有する中間プレート2と、中間プレート2の一対の主面にそれぞれ配されたパワー半導体素子としてのRC−IGBT(Reverse Conducting−Insulated Gate Blpolar Transistor)素子3(3a、3b)とを有する。また、RC−IGBT素子3を中間プレート2との間に挟むように配された一対のヒートシンク4と、中間プレート2とRC−IGBT素子3とヒートシンク4とをモールド樹脂により封止するモールド部10とを有する。ヒートシンク4は、図2に示すごとく、RC−IGBT素子3と反対側の面をモールド部10から露出している。中間プレート2は、図2に示す一対の主面20(20a、20b)と平行な方向にモールド部10から突出した、図1に示す中間放熱部21を有する。
上記半導体モジュールの実施例につき、図1〜図7を用いて説明する。半導体モジュール1は、図2に示すごとく、熱伝導性を有する中間プレート2と、中間プレート2の一対の主面にそれぞれ配されたパワー半導体素子としてのRC−IGBT(Reverse Conducting−Insulated Gate Blpolar Transistor)素子3(3a、3b)とを有する。また、RC−IGBT素子3を中間プレート2との間に挟むように配された一対のヒートシンク4と、中間プレート2とRC−IGBT素子3とヒートシンク4とをモールド樹脂により封止するモールド部10とを有する。ヒートシンク4は、図2に示すごとく、RC−IGBT素子3と反対側の面をモールド部10から露出している。中間プレート2は、図2に示す一対の主面20(20a、20b)と平行な方向にモールド部10から突出した、図1に示す中間放熱部21を有する。
半導体モジュール1は、図1に示すごとく、略直方体形状を呈しており、その一面から中間放熱部21が突出している(以下、中間放熱部21の突出方向を「突出方向X」という。)。中間放熱部21が突出している面とは反対側の面には、半導体モジュール1に電力を入出力する複数のパワー端子15(15a、15b)が配設されている。また、図2に示すごとく、突出方向Xと直交する中間プレート2の厚み方向(以下、この方向を「厚み方向Z」という。)における一対の面には、ヒートシンク4の一部がモールド部10から露出して配されている。そして、突出方向Xと厚み方向Zとの双方に直交する方向(以下、この方向を「幅方向Y」という。)における一対の面には、図1及び図2に示すごとく、RC−IGBT素子3に制御信号を入出力する第1制御端子120及び第2制御端子121がそれぞれ中間プレート2の一対の主面20と平行な方向(幅方向Y)に向けて互いに反対方向に配設されている。
半導体モジュール1には、図2に示すごとく、6枚のRC−IGBT素子3が内蔵されている。これらのRC−IGBT素子3が互いに電気的に接続され、図6に示すインバータ回路を形成している。すなわち、半導体モジュール1の内部におけるRC−IGBT素子3は、一対のRC−IGBT素子3a、3bを互いに直列に接続した直列体34が3対形成され、この3対の直列体34が互いに並列になるよう接続されている。なお、本例では、図6に示すごとく、パワー端子15aには昇圧コンバータ6が接続され、パワー端子15bには回転電機7が接続される。
半導体モジュール1の中間プレート2は、図4に示すごとく、3枚の中間プレート2が幅方向Yに互いに並んで配設されている。中間プレート2は、略長方形状の銅板であり、厚み方向Zから見て同一の位置に予めニッケルめっきが施されている。そして、このニッケルめっきが施された領域において、図2に示すごとく一対のRC−IGBT素子3a、3bがはんだ11により接合されている。これにより、対を成すRC−IGBT素子3a、3bは中間プレート2の厚み方向から見て同一の位置に配置されている。そして、一対のRC−IGBT素子3a、3bが互いに直列に接続され、図6に示す直列体34を形成している。
また、中間プレート2における突出方向Xの一端は、図4に示すごとく、モールド部10から突出して中間放熱部21を構成している。一方、中間プレート2における突出方向Xの他端は、図4に示すごとく、中間放熱部21と反対側へ延伸されるとともに、モールド部10から突出したパワー端子15bを構成している。つまり、パワー端子15bは、中間プレート2における幅方向Yの一部を延伸させて形成されている。
一対のヒートシンク4は、図3に示すごとく、略長方形状の銅板であり、中間プレート2と同様にRC−IGBT素子3が配される領域に予めニッケルめっきが施されている。そして、このニッケルめっきが施された領域において、図2に示すごとくRC−IGBT素子3とはんだ11により接合されている。これにより、一対のRC−IGBT素子3a、3bと中間プレート2とから構成される3対の上述した直列体34が、図6に示すごとく、互いに並列に接続されている。
また、一対のヒートシンク4における突出方向Xの一端は、図4に示すごとく、中間放熱部21と反対側へ延伸されるとともにモールド部10から突出したパワー端子15aを構成している。つまり、パワー端子15aは、一対のヒートシンク4における幅方向Yの一部を延伸させて形成されている。
RC−IGBT素子3は、図7に示す一方の主面にエミッタ電極32と複数の制御電極33とを有し、他方の主面にはコレクタ電極(図示略)を有している。エミッタ電極32及びコレクタ電極は、図2に示すごとく、ヒートシンク4や中間プレート2とはんだ11により接合され、図6に示すごとくインバータ回路を構成している。
制御電極33は、図3及び図4に示すごとく、フレキシブル基板13を介して第1制御端子120または第2制御端子121と接続されている。これにより、第1制御端子120及び第2制御端子121に入出力される制御信号によりRC−IGBT素子3の動作を制御できるよう構成されている。なお、制御電極33は、RC−IGBT素子3のゲートを制御するゲート電極を少なくとも備えており、該ゲート電極の他に、電流や温度等を検知するセンサ等の電極を必要に応じて設けてもよい。本例では、5個の制御電極を設けた例を示す。
フレキシブル基板13は、図5に示すごとく、可撓性の樹脂132に導電体130を埋設してなり、その両端において導電体130を樹脂から露出させて電極部131を形成している。そして、その一端に形成された電極部131とRC−IGBT素子3の制御電極33とがはんだ11により接合され、他端に形成された電極部131と第1制御端子120または第2制御端子121とがはんだ11により接合されている。これにより、中間プレート2の図2に示す一方の主面20aに配置された3枚のRC−IGBT素子3aと第1制御端子120とが図3に示すごとく接続されている。そして、図2に示す中間プレート2の他方の主面20bに配置された3枚のRC−IGBT素子3bと第2制御端子121とが図4に示すごとく接続されている。なお、図3及び図4においては、便宜上、はんだの記載を省略している。
次に、本例の作用効果を説明する。半導体モジュール1においては、RC−IGBT素子3は、それぞれ中間プレート2とヒートシンク4との間に配置されている。そのため、RC−IGBT素子3から発生する熱を、その両主面20から中間プレート2とヒートシンク4との双方へ伝達できる。
また、ヒートシンク4はRC−IGBT素子3と反対側の面をモールド部10から露出しており、中間プレート2は、主面20と平行な方向にモールド部10から突出した中間放熱部21を有している。そのため、ヒートシンク4は、RC−IGBT素子3から伝達された熱を、上述の露出部分を介して外部へ放熱することができる。同様に、中間プレート2は、RC−IGBT素子3から伝達された熱を、中間放熱部21を介して外部へ放熱することができる。その結果、半導体モジュール1の放熱性を向上させることができる。
また、RC−IGBT素子3は、中間プレート2の一対の主面20にそれぞれ配されているため、ヒートシンク4の面積を低減することができる。また、対を成すRC−IGBT素子3は中間プレート2の厚み方向から見て同一の位置に配置されている。そのため、中間プレート2の一方の主面20a側に配されたRC−IGBT素子3aと、他方の主面20b側に配されたRC−IGBT素子3bとが、突出方向X及び幅方向Yにおいて互いに重なる位置に配置される。これにより、中間プレート2におけるRC−IGBT素子3の搭載に必要な面積を低減することができ、中間プレート2を小型化することができる。
また、中間プレート2の一方の主面20aに配された3個のRC−IGBT素子3と、中間プレート2の他方の主面20bに配された3個のRC−IGBT素子3とを備え、これらが互いに接続されてインバータ回路を形成している。そして、第1制御端子120と第2制御端子121とが中間プレート2の一対の主面20と平行な方向であって互いに反対方向(幅方向Y)に向けてモールド部10から突出している。そのため、上記モールド部10の体積を低減することができる。以上の結果、上記半導体モジュール1をより小型化することができる。
また、RC−IGBT素子3の制御信号を入出力する第1制御端子120及び第2制御端子121とRC−IGBT素子3とがフレキシブル基板13を介して接続されている。そのため、フレキシブル基板13とRC−IGBT素子3、第1制御端子120及び第2制御端子121との接続にはんだを用いることができる。これにより、RC−IGBT素子3のはんだ付けによる接合とフレキシブル基板13の接合とを同時に行うことが可能となる。その結果、半導体モジュール1の組み立て性が向上し、半導体モジュール1を容易に製造することができる。
以上のごとく、本例によれば、小型かつ放熱性の良好な半導体モジュール1を提供することができる。
(実施例2)
本例は、実施例1における中間プレート2の材質を熱伝導率の異方性を有するものに変更した例である。本例においては、グラファイトを板状に成形し、この表面にニッケルめっきを施したものを中間プレート2として用いた。その他は実施例1と同様である。
本例は、実施例1における中間プレート2の材質を熱伝導率の異方性を有するものに変更した例である。本例においては、グラファイトを板状に成形し、この表面にニッケルめっきを施したものを中間プレート2として用いた。その他は実施例1と同様である。
グラファイトは、炭素原子から構成される平面状のグラフェンシートが多数積層して構成されている。グラファイトの熱伝導率は、グラフェンシートが積層している方向に比べて、グラフェンシートに平行な方向の方が高く、それぞれ3W/m・K及び1700W/m・Kという値が典型的な値として知られている。
図8及び表1に、突出方向X、幅方向Y及び厚み方向Zの各々の方向における熱伝導率を表1に示すごとく変更した場合の中間放熱部の放熱性に関するシミュレーションの結果を示す。なお、図8の縦軸には、下記条件により計算を行った場合の、RC−IGBT素子3の定常状態の温度を示した。
シミュレーションは、図2に示した3対のRC−IGBT素子3のうち1対について、以下の条件により実施した。一対のRC−IGBT素子3は、それぞれ通常動作時に相当する熱量を発生する熱源として中間プレート2上に配置した。そして、中間放熱部21から一定の熱量で放熱させた時の、RC−IGBT素子3の定常状態における表面温度を解析した。
また、試験体1〜試験体3は、熱伝導率の低い方向をそれぞれ幅方向Y、厚み方向Z及び突出方向Xとしたグラファイトのモデルとして、各方向の熱伝導率を表1に示すごとく設定した。代表例として、試験体1に相当する中間プレートにおける各方向の熱伝導率を図9に示す。試験体4は、銅のモデルとして、各方向の熱伝導率を400W/m・Kに設定した。試験体5は、中間プレートをモールド部から突出させず、中間放熱部を設けない場合のモデルとして、各方向の熱伝導率を0W/m・Kに設定した。
試験体1及び試験体2にかかる中間プレート2は、熱伝導率の異方性を有し、表1より知られるごとく、突出方向Xの熱伝導率が幅方向Yの熱伝導率よりも高い。そのため、図8より知られるごとく、RC−IGBT素子3から発生する熱が、中間放熱部21の方向へより伝達されやすくなる。その結果、半導体モジュール1の放熱性をより向上させることができる。
さらに、試験体1にかかる中間プレート2は、表1より知られるごとく、厚み方向Zの熱伝導率が幅方向Yの熱伝導率より高い。そのため、RC−IGBT素子3から発生する熱が、中間プレート2の主面から厚み方向Zに拡散するとともに、中間プレート2の突出方向Xに拡散しやすくなる。これにより、図8より知られるごとく、RC−IGBT素子3からの熱が中間放熱部21の方向へより伝達されやすくなる。そして、中間放熱部21へ伝わった熱が、厚み方向Zへさらに拡散することで、中間放熱部21の外部へ熱を放出しやすくなる。その結果、半導体モジュール1の放熱性をより向上させることができる。その他、実施例1と同様の作用効果を奏することができる。
(実施例3)
本例は、実施例1におけるRC−IGBT素子3と制御端子との接続をワイヤボンディングにより行った例である。本例の半導体モジュール1は、図10に示すごとく、制御端子12を中間放熱部21と反対側の面に配している。そして、複数のパワー端子15を幅方向Yにおける一方の面に配している。
本例は、実施例1におけるRC−IGBT素子3と制御端子との接続をワイヤボンディングにより行った例である。本例の半導体モジュール1は、図10に示すごとく、制御端子12を中間放熱部21と反対側の面に配している。そして、複数のパワー端子15を幅方向Yにおける一方の面に配している。
半導体モジュール1の内部において、中間プレート2は、図11に示すごとく、中間放熱部21と反対側の端面を基端として、幅方向Yにおける一方の端部が中間放熱部21とは反対方向に延伸されている。この延伸された部分は、モールド部10内において互いに接触しないように幅方向Yに屈曲され、幅方向Yへ向けてさらに延伸されている。そして、幅方向Yにおける一方の面からモールド部10の外部へ突出し、パワー端子15bを形成している。なお、便宜上、図11においてはモールド部10の表示を省略している。
また、一対のヒートシンク4は、図11に示すごとく、幅方向Yにおける一方の端面を基端として、3本のパワー端子15bよりも中間放熱部21側の一部分が各々幅方向Yに向けて延伸されている。そして、この延伸された部分がモールド部10から突出して図10に示すパワー端子15aを構成している。
中間プレート2の一方の主面20a側に配されたRC−IGBT素子3aは、図11に示すごとく、厚み方向Zから見て、中間プレート2に対して制御端子12側に突出した突出領域を有するように配置されている。この突出領域にはボンディングパッドとしての制御電極33が形成されており、制御電極33と制御端子12とがボンディングワイヤ14により接続されている。なお、本例では、RC−IGBT素子3にそれぞれ2個の制御電極33を設けている。
ここで、ボンディングワイヤ14は、図12に示すごとく、幅方向Yから見て、中間プレート2から延伸されるパワー端子15bをまたぐように配線されている。つまりボンディングワイヤ14は、中間プレート2の他方の主面20b側に頂点を有する略円弧状に配線され、中間プレート2の一方の主面20a側のヒートシンク4とボンディングワイヤ14との間をパワー端子15bが通過するように配置されている。
また、中間プレート2の他方の主面20b側に配されたRC−IGBT素子3bは、図11に示すごとく、厚み方向Zから見て、中間プレート2の他方の主面20b側に配されたヒートシンク4に対して制御端子12側に突出した突出領域を有するように配置されている。この突出領域には、上述と同様にボンディングパッドとしての制御電極33が形成されており、制御電極33と制御端子12とがボンディングワイヤ14により接続されている。その他は実施例1と同様である。なお、図10、図11及び図12において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例1と同様の構成要素等を表すものとする。
次に、本例の作用効果を説明する。本例においては、中間プレート2の一方の主面側に配されたRC−IGBT素子3は、中間プレート2の厚み方向Zから見て中間プレート2の外側に突出している突出領域を有している。そして、突出領域に形成されたボンディングパッドとしての制御電極33において、ボンディングワイヤ14により制御端子12と接続されている。そのため、RC−IGBT素子3と制御端子12との接続を低コストで行うことができる。その他、実施例1と同様の作用効果を奏することができる。
(実施例4)
本例は、実施例3における、中間プレート2の他方の主面20b側に配されたヒートシンク4の形状を変形した例である。本例におけるヒートシンク4は、図13及び図14に示すごとく、中間プレート2の厚み方向Zから見てボンディングワイヤ14が配置されている領域を避けて配置されている。つまり、ヒートシンク4は、中間プレート2における中間放熱部21とは反対側の端面を基端として突出方向Xに延伸される部分が、厚み方向Zから見てボンディングワイヤ14が配置されている領域を避けるように形成されている。その他は実施例3と同様である。なお、図13、図14において用いた符号のうち、実施例3において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例3と同様の構成要素等を表すものとする。
本例は、実施例3における、中間プレート2の他方の主面20b側に配されたヒートシンク4の形状を変形した例である。本例におけるヒートシンク4は、図13及び図14に示すごとく、中間プレート2の厚み方向Zから見てボンディングワイヤ14が配置されている領域を避けて配置されている。つまり、ヒートシンク4は、中間プレート2における中間放熱部21とは反対側の端面を基端として突出方向Xに延伸される部分が、厚み方向Zから見てボンディングワイヤ14が配置されている領域を避けるように形成されている。その他は実施例3と同様である。なお、図13、図14において用いた符号のうち、実施例3において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例3と同様の構成要素等を表すものとする。
本例では、上述のように、ヒートシンク4がボンディングワイヤ14の配置されている領域を避けて配置されていることにより、ボンディングワイヤ14と制御端子12との接続を、中間プレート2、RC−IGBT素子3及び上記一対のヒートシンク4の組み立て後にも行うことができる。その結果、半導体モジュール1の組み立て工程の自由度が大きくなり、容易に生産することができる。また、実施例3よりもヒートシンク4の面積が大きくなっているため、放熱性を向上させることができる。その他、実施例3と同様の作用効果を奏することができる。
(実施例5)
本例は、実施例1における半導体モジュール1に配されるRC−IGBT素子3及び中間プレート2の数を変更した例である。本例の半導体モジュール1は、図15及び図16に示すごとく、1枚の中間プレート2における一対の主面20に、各々1枚ずつのRC−IGBT素子3を配している。その他は実施例1と同様である。なお、図15、図16において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例1と同様の構成要素等を表すものとする。
本例は、実施例1における半導体モジュール1に配されるRC−IGBT素子3及び中間プレート2の数を変更した例である。本例の半導体モジュール1は、図15及び図16に示すごとく、1枚の中間プレート2における一対の主面20に、各々1枚ずつのRC−IGBT素子3を配している。その他は実施例1と同様である。なお、図15、図16において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例1と同様の構成要素等を表すものとする。
実施例1〜4においては、6枚のRC−IGBT素子3を配した半導体モジュール1の例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば本例の半導体モジュール1を用いることで、ハーフブリッジ型やフルブリッジ型のコンバータ回路を構成することもできる。その他、実施例1と同様の作用効果を奏することができる。
(実施例6)
本例は、パワー半導体素子としてIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)素子を用いた例である。本例の半導体モジュール1は、図17に示すごとく、中間プレート2の一対の主面に、それぞれIGBT素子30とFWD(Free Wheeling Diode)素子31と一組ずつ配している。その他は、実施例1と同様である。なお、図17において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例1と同様の構成要素等を表すものとする。
本例は、パワー半導体素子としてIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)素子を用いた例である。本例の半導体モジュール1は、図17に示すごとく、中間プレート2の一対の主面に、それぞれIGBT素子30とFWD(Free Wheeling Diode)素子31と一組ずつ配している。その他は、実施例1と同様である。なお、図17において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例1と同様の構成要素等を表すものとする。
実施例1〜4においては、パワー半導体素子としてRC−IGBT素子3を配した半導体モジュール1の例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば本例のごとく、IGBT素子30とFWD素子31とを組み合わせて用いることもできる。本例の場合には、実施例1と同様の作用効果を奏することができる。
なお、パワー半導体素子としては、そのほかにMOSFET(Metal−Oxide Semiconductor Field−Effect Transistor)素子等を採用することもできる。
なお、パワー半導体素子としては、そのほかにMOSFET(Metal−Oxide Semiconductor Field−Effect Transistor)素子等を採用することもできる。
(実施例7)
本例は、図18に示すごとく、実施例1における半導体モジュール1と沸騰冷却装置50とを有する半導体装置5の例である。半導体装置5は、略直方体状の沸騰冷却装置50の内部に半導体モジュール1を配設している。そして、複数のパワー端子15と第1制御端子120と第2制御端子121とが沸騰冷却装置50の外部に引き出されている。
本例は、図18に示すごとく、実施例1における半導体モジュール1と沸騰冷却装置50とを有する半導体装置5の例である。半導体装置5は、略直方体状の沸騰冷却装置50の内部に半導体モジュール1を配設している。そして、複数のパワー端子15と第1制御端子120と第2制御端子121とが沸騰冷却装置50の外部に引き出されている。
沸騰冷却装置50は、図18に示すごとく、半導体モジュール1と冷媒液51とを接触させ、半導体モジュール1から発生する熱により冷媒液51を蒸発させる沸騰部52と、沸騰部52において発生した冷媒液51の蒸気を凝縮させる凝縮器53とを備えている。
沸騰部52は、図18に示すごとく、半導体モジュール1と冷媒液51とを封入している。また、半導体モジュール1は、中間放熱部21が上方、すなわち沸騰部52の方向を向くように配置されている。そして、半導体モジュール1における中間プレート2の中間放熱部21が冷媒液51に浸漬されるまで冷媒液51が充填されている。なお、冷媒液51としては、例えばフロリナートやHFC等の電気絶縁性を示す液体を使用することができる。
また、沸騰部52から沸騰冷却装置50の外部に引き出される複数のパワー端子15、第1制御端子120及び第2制御端子121は、中間放熱部21とは異なる方向に向けて上記半導体モジュール1から突出している。つまり、半導体装置5において、複数のパワー端子15は下方に向けて突出し、第1制御端子120と第2制御端子121とは、互いに反対方向を向くように水平方向に突出している。また、複数のパワー端子15、第1制御端子120及び第2制御端子121と沸騰部52の壁面54とが接触する部分は、冷媒液51が漏出しないよう気密端子を用いる等により密封されている。
また、本例の半導体モジュール1は、中間放熱部21の表面に、図19に示すごとく多孔質層210が形成されている。多孔質層210は、例えば、ヒートシンク4の上記露出した部分に銅等の金属の微細な粒子を溶射する等の方法を用いて形成することができる。その他は実施例1と同様である。なお、図18、図19において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例1と同様の構成要素等を表すものとする。
次に、本例の作用効果を説明する。本例のごとく半導体モジュール1を沸騰冷却装置50の内部に配すると、RC−IGBT素子3から一対のヒートシンク4及び中間放熱部21に伝達された熱が、一対のヒートシンク4及び中間放熱部21と接触する冷媒液51に伝達される。そして、この冷媒液51の少なくとも一部が蒸発することにより、一対のヒートシンク4及び中間放熱部21に伝達された熱を、冷媒液51の気化熱として効率よく除去することができる。
また、パワー端子15、第1制御端子120及び第2制御端子121は、中間放熱部21とは異なる方向に向けてモールド部10から突出している。そして、半導体モジュール1は中間放熱部21を上方に向けて配置されている。そのため、一対のヒートシンク4及び中間放熱部21と冷媒液51とが接する部分において発生する冷媒液51の気泡が、半導体モジュール1自身、あるいは複数のパワー端子や複数の制御端子により上昇を阻害されることがなくなる。その結果、一対のヒートシンク4及び中間放熱部21に滞りなく冷媒液51を供給することができる。その結果、半導体モジュール1の放熱性をより向上させることができる。
また、中間放熱部21の表面に多孔質層210が形成されている。そのため、冷媒液51が多孔質層210の内部まで浸透することができるため、冷媒液51と中間放熱部21とが接触する面積が増大し、熱交換を効率よく行うことができる。その結果、半導体モジュール1の放熱性をより向上させることができる。
このように、本例の半導体装置5によれば、半導体モジュール1の放熱性を格段に向上させることができる。
(実施例8)
本例は、実施例7における半導体モジュール1の中間放熱部21の形状を変更することにより、中間放熱部21と冷媒液51とが接触する面積を増大させた例である。本例の中間放熱部21は、図20及び図21に示すごとく、突出方向に垂直な断面の形状が一様であるとともに、上記断面の形状が櫛歯部211を有している。つまり、中間放熱部21は、モールド部10に埋設された中間プレート2から突出方向Xに延設された基体部と、基体部から厚み方向Zに向けて立設された櫛歯部211とから構成されている。その他は実施例7と同様である。なお、図20、図21において用いた符号のうち、実施例7において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例7と同様の構成要素等を表すものとする。
本例は、実施例7における半導体モジュール1の中間放熱部21の形状を変更することにより、中間放熱部21と冷媒液51とが接触する面積を増大させた例である。本例の中間放熱部21は、図20及び図21に示すごとく、突出方向に垂直な断面の形状が一様であるとともに、上記断面の形状が櫛歯部211を有している。つまり、中間放熱部21は、モールド部10に埋設された中間プレート2から突出方向Xに延設された基体部と、基体部から厚み方向Zに向けて立設された櫛歯部211とから構成されている。その他は実施例7と同様である。なお、図20、図21において用いた符号のうち、実施例7において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例7と同様の構成要素等を表すものとする。
これにより、断面が一様な中間放熱部21に発生した冷媒液51の気泡が、中間放熱部21自身に阻害されることなく上昇することができる。また、櫛歯部により中間放熱部21の表面積が増大するため、中間放熱部21と冷媒液51との熱交換を効率よく行うことができる。その結果、半導体モジュール1の放熱性をより向上させることができる。その他、実施例7と同様の作用効果を奏することができる。
なお、櫛歯部211の他に、例えば、図22及び図23に示すごとく、中間プレート2の一対の主面20の間に、該主面20と平行に形成した切り込み部212を設ける構成をとることもできる。これにより、中間放熱部21と冷媒液51とが接触する面積を増大させることができ、半導体モジュール1の放熱性を向上させることができる。
(実施例9)
本例は、実施例7における半導体モジュール1の配置を変更した例である。本例の半導体装置5においては、半導体モジュール1は、図24に示すごとく、中間放熱部21が水平方向を向くように半導体モジュール1を配置されている。つまり、半導体モジュール1における幅方向Yを上方に、突出方向Xと厚み方向Zとの双方を水平方向に向けて配置されている。また、モールド部10から上方に向けて突出している第2制御端子121が、水平方向において中間放熱部21とは反対方向に屈曲されている。これにより、複数のパワー端子15、第1制御端子120及び第2制御端子121が、上方から見て中間放熱部21と重ならない位置に配設されている。その他は実施例7と同様である。なお、図24において用いた符号のうち、実施例7において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例7と同様の構成要素等を表すものとする。
本例は、実施例7における半導体モジュール1の配置を変更した例である。本例の半導体装置5においては、半導体モジュール1は、図24に示すごとく、中間放熱部21が水平方向を向くように半導体モジュール1を配置されている。つまり、半導体モジュール1における幅方向Yを上方に、突出方向Xと厚み方向Zとの双方を水平方向に向けて配置されている。また、モールド部10から上方に向けて突出している第2制御端子121が、水平方向において中間放熱部21とは反対方向に屈曲されている。これにより、複数のパワー端子15、第1制御端子120及び第2制御端子121が、上方から見て中間放熱部21と重ならない位置に配設されている。その他は実施例7と同様である。なお、図24において用いた符号のうち、実施例7において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り実施例7と同様の構成要素等を表すものとする。
このように、半導体モジュール1の中間放熱部21を水平方向に向けて配置する場合にも、中間放熱部21に発生した冷媒液51の気泡が、半導体モジュール1に阻害されることなく上昇することができる。そして、複数のパワー端子及び複数の制御端子が、上方から見た時に中間放熱部21と重ならない位置に配設されているため、これらの端子が冷媒液51の気泡の上昇を阻害することがなくなる。その結果、半導体モジュール1の放熱性をより向上させることができる。その他、実施例7と同様の作用効果を奏することができる。
(実施例10)
本例は、図25に示すごとく、複数の半導体モジュール1を沸騰冷却装置50に配設した半導体装置5の例である。本例の半導体装置5は、実施例5に記載の半導体モジュール1を、互いにヒートシンク4が隣り合うようにして3個並べて配置している。その他は実施例7と同様である。なお、半導体モジュール1間の配線は便宜上省略している。
本例は、図25に示すごとく、複数の半導体モジュール1を沸騰冷却装置50に配設した半導体装置5の例である。本例の半導体装置5は、実施例5に記載の半導体モジュール1を、互いにヒートシンク4が隣り合うようにして3個並べて配置している。その他は実施例7と同様である。なお、半導体モジュール1間の配線は便宜上省略している。
1 半導体モジュール
10 モールド部
120 第1制御端子
121 第2制御端子
15 パワー端子
2 中間プレート
21 中間放熱部
4 ヒートシンク
10 モールド部
120 第1制御端子
121 第2制御端子
15 パワー端子
2 中間プレート
21 中間放熱部
4 ヒートシンク
Claims (15)
- 熱伝導性を有する中間プレート(2)と、
該中間プレートの一対の主面(20)にそれぞれ配されたパワー半導体素子(3、30)と、
該パワー半導体素子を上記中間プレートとの間に挟むように配された一対のヒートシンク(4)と、
上記中間プレートと上記パワー半導体素子と上記ヒートシンクとをモールド樹脂により封止するモールド部(10)とを有し、
上記ヒートシンクは上記パワー半導体素子と反対側の面を上記モールド部から露出しており、
上記中間プレートは、上記主面と平行な方向に上記モールド部から突出した中間放熱部(21)を有することを特徴とする半導体モジュール(1)。 - 請求項1に記載の半導体モジュールにおいて、上記中間プレートは、熱伝導率の異方性を有し、上記中間放熱部の突出方向の熱伝導率が、上記中間放熱部の突出方向と厚み方向との双方に直交する幅方向の熱伝導率よりも高いことを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項2に記載の半導体モジュールにおいて、上記中間プレートは、厚み方向の熱伝導率が上記幅方向の熱伝導率より高いことを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜3に記載の半導体モジュールにおいて、対を成す上記パワー半導体素子は上記中間プレートの厚み方向から見て同一の位置に配置されていることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体モジュールにおいて、上記パワー半導体素子の制御信号を入出力する制御端子(12、120、121)と上記パワー半導体素子とがフレキシブル基板(13)を介して接続されていることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体モジュールにおいて、上記中間プレートの一方の主面(20a)側に配された上記パワー半導体素子は、上記中間プレートの厚み方向から見て該中間プレートの外側に突出している突出領域を有し、該突出領域に形成されたボンディングパッド(33)において、ボンディングワイヤ(14)により上記制御端子と接続されていることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項6に記載の半導体モジュールにおいて、上記中間プレートの他方の主面(20b)側に配された上記ヒートシンクは、上記中間プレートの厚み方向から見て上記ボンディングワイヤが配置されている領域を避けて配置されていることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体モジュールにおいて、上記中間プレートの一方の主面に配された3個の上記パワー半導体素子(3a)と、上記中間プレートの他方の主面に配された3個の上記パワー半導体素子(3b)とを備え、これらが互いに接続されてインバータ回路を形成しており、上記中間プレートの一方の主面に配置された3枚の上記パワー半導体素子に制御信号を入出力する第1制御端子(120)と、上記中間プレートの他方の主面に配置された3枚の上記パワー半導体素子に制御信号を入出力する第2制御端子(121)とが、上記中間プレートの主面と平行な方向であって互いに反対方向に、上記モールド部から突出していることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体モジュールと、
該半導体モジュールを冷却するための沸騰冷却装置(5)とを備える半導体装置であって、
上記沸騰冷却装置は、上記半導体モジュールと冷媒液(51)とを封入するとともに、上記半導体モジュールにおける上記中間プレートの上記中間放熱部が上記冷媒液に浸漬されるように構成された沸騰部(52)と、該沸騰部の上方に配設されるとともに上記半導体モジュールの発熱により発生する上記冷媒液の蒸気を凝縮させる凝縮器(53)とを備えていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、上記半導体モジュールに電力を入出力する複数のパワー端子(15)及び上記半導体モジュールに制御信号を入出力する複数の制御端子は、上記中間放熱部とは異なる方向に向けて上記モールド部から突出していることを特徴とする半導体装置。
- 請求項9または10に記載の半導体装置において、上記半導体モジュールは上記中間放熱部を上方に向けて配置されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項11に記載の半導体装置において、上記中間放熱部は突出方向に垂直な断面の形状が一様であるとともに、上記断面の形状が櫛歯部(211)を有することを特徴とする半導体装置。
- 請求項9または10の記載の半導体装置において、上記半導体モジュールは上記中間放熱部を水平方向に向けて配置されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項13に記載の半導体装置において、上記パワー端子及び上記制御端子は、上方から見た時に上記中間放熱部と重ならない位置に配設されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項9〜14のいずれか1項に記載の半導体装置において、上記中間放熱部の表面に多孔質層(210)が形成されていることを特徴とする半導体装置。
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