JP2013183160A - 太陽電池の製造方法、および太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【課題】太陽電池の製造方法および太陽電池を提供する。
【解決手段】半導体基板上に第1導電型ドーピング部を形成する段階と、前記半導体基板上に酸化物層を1次形成する段階と、前記酸化物層を1次パターン形成し、前記半導体基板上に複数のリセス部を形成する段階と、前記半導体基板上にさらに酸化物層を2次形成する段階と、前記酸化物層を2次パターン形成し、前記リセス部が形成された前記半導体基板上に第2導電型ドーピング部を形成する段階と、前記半導体基板上に前記第1導電型ドーピング部と連結される第1導電型電極と、前記第2導電型ドーピング部と連結される第2導電型電極を形成する段階と、を含み、前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層によって離隔される太陽電池の製造方法。
【選択図】図1K
【解決手段】半導体基板上に第1導電型ドーピング部を形成する段階と、前記半導体基板上に酸化物層を1次形成する段階と、前記酸化物層を1次パターン形成し、前記半導体基板上に複数のリセス部を形成する段階と、前記半導体基板上にさらに酸化物層を2次形成する段階と、前記酸化物層を2次パターン形成し、前記リセス部が形成された前記半導体基板上に第2導電型ドーピング部を形成する段階と、前記半導体基板上に前記第1導電型ドーピング部と連結される第1導電型電極と、前記第2導電型ドーピング部と連結される第2導電型電極を形成する段階と、を含み、前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層によって離隔される太陽電池の製造方法。
【選択図】図1K
Description
本発明は、太陽電池の製造方法、および太陽電池に関する。
一般的に、太陽などの光を電気エネルギーに変換する光電変換素子である太陽電池は、他のエネルギー源を用いる発電装置とは異なり、無限に利用でき、かつ環境にやさしいため、増々その価値が高まっている。太陽電池の最も基本的な構造は、pn接合で構成されたダイオードであり、さらに光吸収層の材料によって区分される。
一般的な太陽電池は、受光面である前面と、これと対向する背面とにそれぞれ電極が備えられた構造を有する。しかし、前面に電極が備えられた場合、電極の面積が大きいほど、受光面積が減少する。このような受光面積が減少する問題を解決するために、電極が背面のみに備えられた背面接合構造が知られている。
さらに、背面接合構造を取る太陽電池においても、より効率が高い太陽電池が求められていた。
そこで、本発明は、上記要求に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、より効率が高い、新規かつ改良された太陽電池の製造方法、および太陽電池を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、半導体基板上に第1導電型ドーピング部を形成する段階と、前記半導体基板上に酸化物層を第1次形成する段階と、前記酸化物層を第1次加工し、前記半導体基板上に複数のリセス部を形成する段階と、前記半導体基板上に酸化物層を第2次形成する段階と、前記酸化物層を第2次加工し、前記リセス部が形成された前記半導体基板上に第2導電型ドーピング部を形成する段階と、前記半導体基板上に前記第1導電型ドーピング部と連結される第1導電型電極と、前記第2導電型ドーピング部と連結される第2導電型電極を形成する段階と、を含み、前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層によって離隔される太陽電池の製造方法が提供される。
前記第1導電型ドーピング部は、光を受光する前記半導体基板の前面に対向する背面に、第1導電型不純物を前記半導体基板より高濃度でドーピングされて背面電界を形成してもよい。
前記複数のリセス部を形成する段階は、前記酸化物層が形成された半導体基板上にペーストを形成する段階と、前記ペーストが形成された部分以外の露出した前記酸化物層をエッチングする段階と、前記ペーストを剥離し、前記半導体基板上に形成される第1導電型ドーピング部及び前記酸化物層の積層構造以外の領域にリセス部を形成する段階と、を含んでもよい。
前記リセス部は、前記第1導電型ドーピング部及び酸化物層が積層された部分と、前記第1導電型ドーピング部が除去されて前記半導体基板の表面が露出した部分との厚さ差によって形成されてもよい。
前記半導体基板上に酸化物層を第2次形成する段階において、前記第1導電型ドーピング部及び酸化物層が積層された部分と、前記リセス部が形成された半導体基板の表面とは、共に前記酸化物層が第2次形成され、前記酸化物層の厚さが異なって形成されてもよい。
前記第1導電型ドーピング部及び酸化物層が積層された部分の前記酸化物層の第1厚さは、前記リセス部が形成された半導体基板上の酸化物層の第2厚さより厚く形成されてもよい。
前記リセス部が形成された半導体基板上の酸化物層は剥離されてもよい。
前記第2導電型ドーピング部を形成する段階は、前記リセス部が形成された半導体基板上に第2ドーパントを含む素材を注入し、前記半導体基板内に第2導電型不純物を拡散させてもよい。
前記第2導電型ドーピング部は、前記半導体基板の前記第1導電型ドーピング部と同じ面に形成されてもよい。
前記第2導電型ドーピング部が形成された半導体基板上にキャッピング層が形成され、前記半導体基板の前記第1導電型ドーピング部と異なる面に形成された第2導電型ドーピング部は、テクスチャリング工程により除去されてもよい。
前記第1導電型ドーピング部は酸化物層によりカバーされ、前記第2導電型ドーピング部は、前記第1導電型ドーピング部の間に形成され、前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層の厚さと対応する間隔を有してもよい。
前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層によって離隔されてもよい。
前記第1導電型ドーピング部は、前記半導体基板上で酸化物層によりカバーされ、前記酸化物層に形成されたコンタクトホールにより、前記第1導電型電極に連結されて抵抗接点を形成し、前記第2導電型ドーピング部は、前記半導体基板内に拡散して形成され、前記第2導電型電極に連結されて抵抗接点を形成してもよい。
光を受光する前記半導体基板の前面には、パッシベーション層および反射防止膜が順次形成されてもよい。
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、半導体基板の一面に形成された第1導電型ドーピング部及び第2導電型ドーピング部と、前記第1導電型ドーピング部をカバーする酸化物層と、前記第1導電型ドーピング部及び前記第2導電型ドーピング部とそれぞれ連結して抵抗接点を形成する第1導電型電極及び第2導電型電極と、を含み、前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層によって間隔が形成される太陽電池が提供される。
前記第2導電型ドーピング部は、前記第1導電型ドーピング部及び酸化物層が積層された領域間にある前記半導体基板内に形成されてもよい。
前記間隔は、前記第1導電型ドーピング部をカバーする前記酸化物層の厚さと対応する大きさであってもよい。
光を受光する半導体基板の面にはパッシベーション層及び反射層が形成されてもよい。
以上説明したように本発明によれば、より効率が高い太陽電池の製造方法、および太陽電池が提供される。
本発明は、多様な変更を加えることができ、かつ様々な実施形態で実現することができる。以下では、特定の実施形態を図面に例示し、発明の詳細な説明において、詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定するものではない。本発明は、本発明の思想及び技術範囲に含まれるすべての変更、均等物および代替物を含むと理解されねばならない。また、本発明を説明するにあたり、公知技術についての具体的な説明が本発明の趣旨を不明にすると判断する場合、係る公知技術の詳細な説明は省略する。
また、第1、第2などの用語は、多様な構成要素を説明するために用いられるが、各構成要素は第1、第2などの用語によって限定されない。第1、第2などの用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ用いられる。
本明細書で使用される用語は、単に特定の実施形態を説明するために使用されたものであり、本発明を限定するものではない。単数の表現は、文脈上明らかに矛盾しない限り、複数の表現を含む。本明細書において、「含む」または「持つ」などの用語は、明細書に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらの組み合わせが存在するということを意味する。したがって、係る用語は、一つまたはそれ以上の他の特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらの組み合わせの存在または付加の可能性を予め排除するものではないと理解されねばならない。
以下、添付した図面を参照して本発明に係る望ましい実施形態を詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
図1Kは、本発明の一実施形態に係る背面接合構造の太陽電池100を示したものである。
図1Kを参照すると、前記太陽電池100は半導体基板101を備える。前記半導体基板101は光吸収層であり、単結晶シリコン基板または多結晶シリコン基板を含んで構成される。また、前記半導体基板101は、n型不純物として、リン(P)、ヒ素(As)などの5族元素を含む。
本実施形態では、前記半導体基板101がn型不純物を含むシリコン基板を用いる場合を挙げて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、前記半導体基板101として、p型不純物を含む単結晶シリコン基板、またはp型不純物を含む多結晶シリコン基板を使用することができることはいうまでもない。ここで、p型不純物は、ホウ素(B)、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)などの3族元素を含む。
前記半導体基板101は、テクスチャー構造を有する。前記太陽電池100は、白抜き矢印で表示するように光が入射し、前記太陽電池100は、光を受光する半導体基板101の前面120に、ピラミッド状の断面を持つ。前記太陽電池100は、テクスチャー構造により入射光の反射率を低減させ、前記半導体基板101内での光の透過長さを長くすることができる。したがって、内部反射により吸収される光の量を増加させることができ、結果として前記太陽電池100の短絡電流を向上させることができる。
前記半導体基板101の前面120にはパッシベーション層117が形成される。前記パッシベーション層117は、不純物がドーピングされた非晶質シリコン(α−Si)または窒化ケイ素(SiNx)を含む。前記パッシベーション層117が不純物のドーピングされた非晶質シリコンを含む場合、前記不純物は、前記半導体基板101と同じ導電性不純物であり、前記パッシベーション層117は、半導体基板101より高濃度でドーピングされている。
前記パッシベーション層117は、前記半導体基板101で生成されたキャリアの表面再結合を防止してキャリアの収集効率を向上させる。具体的には、前記パッシベーション層117は、キャリアが半導体基板101の前面へ移動することを防止するので、前記半導体基板101の前面120近くで電子と正孔とが再結合して消滅することを防止する。
前記パッシベーション層117上には反射防止膜118が形成される。前記反射防止膜118は、太陽光が入射する際、光が反射して前記太陽電池100の光吸収に損失が発生することを防止し、前記太陽電池100の効率を向上させる。
前記反射防止膜118は透明な素材を含む。例えば、前記反射防止膜118は、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNx)、酸窒化ケイ素(SiOxNy)、酸化チタン(TiOx)、酸化亜鉛(ZnO)、および硫化亜鉛(ZnS)などを含む。前記反射防止膜118は、単一層または互いに屈折率の異なる複数の層を積層することで形成される。
本実施形態では、前記パッシベーション層117と反射防止膜118とがそれぞれ別個の層で形成される場合を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、窒化ケイ素(SiNx)を形成することでパッシベーション層117の機能及び反射防止膜118の機能を同時に実現することができる。
前記半導体基板101の背面130にはエミッタ層112が形成される。前記エミッタ層112は、半導体基板101とpn接合を形成する。前記半導体基板101がn型である場合、前記エミッタ層112はp型不純物を含み、前記半導体基板101がp型である場合、前記エミッタ層112はn型不純物を含む。前記エミッタ層112は、p型(またはn型)不純物がドーピングされて形成され、不純物の拡散領域は、ストライプ型、円形または卵円形のドット型の平面形状である。なお、本実施形態では、前記エミッタ層112はp+導電型ドーピング部に該当する。
前記半導体基板101の背面130にはベース層102が形成される。前記ベース層102は、前記半導体基板101と同じ導電型の不純物を含む。前記ベース層102は、前記半導体基板101より不純物が高濃度でドーピングされており、背面電界(back surface field、BSF)を形成する。
前記ベース層102は、n型(またはp型)不純物がドーピングされて形成され、不純物の拡散領域はストライプ型、円形または卵円形のドット型の平面形状である。前記エミッタ層112とベース層102とは、前記半導体基板101の背面130で互いにかみ合うように形成される。すなわち、前記エミッタ層112とベース層102とは、前記半導体基板101の背面130において、交互に互い違いで配置される。なお、本実施形態では、前記ベース層102はn+導電型ドーピング部に該当する。
前記ベース層102の上部には第1導電型電極113が形成される。この時、前記ベース層102と第1導電型電極113との間には絶縁層103が形成される。前記第1導電型電極113は、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)及びこれらの合金を含む。前記第1導電型電極113は、コンタクトホール115を通じて前記ベース層102に対して抵抗接点を形成している。
前記エミッタ層112の上部には第2導電型電極114が形成される。前記第2導電型電極114は、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)及びこれらの合金を含む。前記第2導電型電極114は、エミッタ層112に対して抵抗接点を形成している。
また、前記絶縁層103は、シリコンからなる半導体基板101を酸化させて形成した酸化物層である酸化ケイ素層を含む。
前記のような構造を持つ背面接合構造の太陽電池100を製造する過程を以下で説明する。
図1Aに示すように、半導体基板101を用意する。
前記半導体基板101は、単結晶シリコン基板、または多結晶シリコン基板を含む。具体的には、前記半導体基板101は、n型またはp型不純物が含まれた単結晶または多結晶のシリコン基板である。以下の本実施形態では、前記半導体基板101はn型不純物を含む場合について説明する。前記半導体基板101には、表面に付着した物理的、化学的不純物を除去するために酸やアルカリ溶液を用いた洗浄工程が行われる。
次いで、図1Bに示すように、前記半導体基板101の表面にn+導電型ドーピング部102が形成される。具体的には、前記半導体基板101の一面に背面電界BSFを形成するため、前記半導体基板101を拡散チャンバに装入し、n型ドーパントを含むガス、例えば、オキシ塩化リン(POCl3)を注入する。さらに、高温で熱処理しn+導電型ドーピング部102を形成する。
次いで、図1Cに示すように、前記半導体基板101は、ウェット酸化工程によってシリコンを酸化して成長させ、表面に酸化物層である二酸化ケイ素層103を形成する。この時、前記二酸化ケイ素層103の厚さは100nm以上である。一方、シリコンを成長させるチャンバ内雰囲気は、酸素(O2)と窒素(N2)との混合ガス雰囲気である。
前記二酸化ケイ素層103を形成した後に、図1Dに示すように、前記半導体基板101の背面に有機物からなるパターン化されたペースト104が形成される。前記有機物からなるペースト104は、例えばスクリーンプリント法によって形成される。この時、前記有機物からなるペースト104は、ストライプ型またはドット型の平面形状にパターン化される。
次いで、図1Eに示すように、バッファードオキサイドエッチャント(buffered oxide etchant、BOE)またはフッ素(HF)溶液を用いて前記二酸化ケイ素層103がエッチングされる。これによって、前記有機物からなるペースト104が形成された部分以外の露出した二酸化ケイ素層103が剥離される。
次いで、図1Fに示すように、有機物からなるペースト104が剥離される。前記有機物からなるペースト104は、低濃度の水酸化カリウム(KOH)溶液を用いたディッピング槽に浸漬することで剥離される。これによって、前記半導体基板101上に、パターン化された二酸化ケイ素層103が形成される。
パターン化された二酸化ケイ素層103を形成した後に、図1Gに示すように、高濃度の水酸化カリウム(KOH)溶液を用いたディッピング槽に浸漬することで、前記n+導電型ドーピング部102がエッチングされる。これによりパターン化された二酸化ケイ素層103が形成された部分以外の前記半導体基板101上の露出したn+導電型ドーピング部102が剥離される。
これによって、前記n+導電型ドーピング部102及び二酸化ケイ素層103が積層された部分以外のn+導電型ドーピング部102が除去されて、前記半導体基板101上にリセス部119が形成される。前記リセス部119は、前記n+導電型ドーピング部102及び二酸化ケイ素層103が積層された部分と、前記n+導電型ドーピング部102が除去されて半導体基板101の表面が露出した部分との厚さ差によって形成された領域である。
なお、前記水酸化カリウム溶液にイソプロピルアルコール(isopropyl−alcohol、IPA)を添加剤として混合した場合、前記半導体基板101の表面を平坦にすることができる。
次いで、図1Hに示すように、前記半導体基板101は、ウェット酸化工程によって酸化され成長した二酸化ケイ素層103がさらに厚く形成される。この時、ウェット酸化工程による成長は、ドーピング濃度、シリコン格子の方向性及び前記半導体基板101の表面粗度が重要であるが、図1Gの水酸化カリウム+イソプロピルアルコールの混合液(KOH+IPA)で前記リセス部119を形成した場合、シリコン格子に対して垂直な{010}面で平坦な表面を得ることが可能である。
前述の酸化、成長によって前記二酸化ケイ素層103はさらに厚く形成される。この時、図2に示すように、前記n+導電型ドーピング部102をカバーする二酸化ケイ素層103aの第1厚さd1は、前記n+導電型ドーピング部102が除去された領域、すなわち、前記リセス部119が形成された領域の半導体基板101の表面から成長した二酸化ケイ素層103bの第2厚さd2に比べて厚く形成される。換言すると、前記第1厚さd1は、前記第2厚さより2.5〜3倍ほど酸化物層の成長速度が速い。
前記シリコンにドーパント、すなわち、不純物が注入された場合、シリコン中に孔隙が生成される。このような不純物及び孔隙はシリコンの結合構造を劣化させるため、係る劣化により酸素は容易にシリコンと結合することができるようになる。したがって、ドーパントを多く注入するほど酸化物層の成長速度が速くなる。
ここで、シリコンを成長させるチャンバ内雰囲気は、酸素(O2)と窒素(N2)との混合ガス雰囲気である。
次いで、図1Iに示すように、バッファードオキサイドエッチャント(BOE)または、フッ素(HF)溶液を用いて前記二酸化ケイ素層103をエッチングする。これによって、前記n+導電型ドーピング部102が形成されていない領域の二酸化ケイ素層103b(図2)を剥離し、前記n+導電型ドーピング部102が形成された部分をカバーする二酸化ケイ素層103a(図2)は残るようにすることができる。
すなわち、前記n+導電型ドーピング部102が形成された部分をカバーする二酸化ケイ素層103aは、前記n+導電型ドーピング部102が形成されていない領域の二酸化ケイ素層103bより2.5倍〜3倍ほど厚く形成されているので、前記n+導電型ドーピング部102が形成されていない領域の二酸化ケイ素層103bのみを除去するようなエッチング時間でエッチング工程を行う。
次いで、図1Jに示すように、前記半導体基板101の背面にp+導電型ドーピング部112を形成する。具体的には、前記半導体基板101をチャンバ内に装入し、p型ドーパントを含むガス、例えば、三臭化ホウ素(Boron tribromide、BBr3)を注入した後、高温で熱処理を行う。
これによって、前記リセス部119は、p型ドーパントが前記半導体基板101の内部へ拡散し、p+導電型ドーピング部112が形成される。この時、前記p+導電型ドーピング部112の表面には、Br層(boron−rich layer)が形成される。Br層は、フッ素(HF)を用いて除去される。
一方、前記p+導電型ドーピング部112は、前記半導体基板101の背面130だけでなく、前記半導体基板101の前面及び側面にも同時に形成される。これを除去するために、前記半導体基板101の背面130にキャッピング層であるUSG(undoped silicon glass)膜を蒸着する。さらに、水酸化カリウム+イソプロピルアルコールの混合液(KOH+IPA)を用いるテクスチャリング工程を行い、前記半導体基板101の前面120及び側面に形成されたp+導電型導電部を除去する。
これによって、図3に示したように、n+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112とは、前記n+導電型ドーピング部102をカバーする前記二酸化ケイ素層103によって数十nmの間隔を有する。前記間隔gに当たる部分は、前記太陽電池100の作動時の効率に寄与しない領域であるので、間隔gに当たる領域が大きければ大きいほど太陽電池100の効率は低下する。よって、前記間隔gが形成される部分を最大限低減させなくてはならない。
本実施形態によれば、前記n+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112との間隔を従来の間隔より1/1000程度に狭めつつ、前記n+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112とのそれぞれの分離(isolation)を保証することができる。
さらに、前記n+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112との間隔を設けるために、別途、間隔を形成するためのパターン工程を行う必要がない。このように、前記n+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112とがセルフアライメントにより形成されるので、微細な幅で離隔されたn+導電型ドーピング部102及びp+導電型ドーピング部112の実現が可能である。
ここで、前記p+導電型ドーピング部112を形成する手段は、BBr3を用いることに限定されず、前記半導体基板101にp+導電型ドーピング部112を形成させることができるならば、いかなる手段であってもよい。
すなわち、前記半導体基板101上に大気圧高温化学気相蒸着(APCVD)法によってホウケイ酸ガラス(borosilicate glass、BSG)を蒸着し、これを高温で熱処理してもよい。これによって、前記リセス部119には、p型ドーパントが前記半導体基板101の内部へ拡散してp+導電型ドーピング部112が形成される。具体的には、ホウケイ酸ガラス(BSG)を、マスクなどを用いて前記半導体基板101の一面上に蒸着することで、前記p+導電型ドーピング部112を形成した後に、他の部分のホウケイ酸ガラスはフッ素(HF)を用いて除去してもよい。
また、前記p+導電型ドーピング部112は、レーザーによって形成されてもよい。
具体的には、図4Aに示すように、半導体基板401上に前述した方法でパターン化されたn+導電型ドーピング部402と、これをカバーする二酸化ケイ素層403とを形成する。その後、図4Bに示すように、前記半導体基板401上にボロン素材をコーティングし、ボロン素材に対してレーザーを照射することで、リセス部419を通じて半導体基板401の内部へp型ドーパントを拡散させ、p+導電型ドーピング部412を形成してもよい。
以上のように、半導体基板401の背面に、酸化物層によって狭い間隔を有するn+導電型ドーピング部402とp+導電型ドーピング部412とを互いにかみ合うように形成することができる。
再び図1Kを参照すれば、前記半導体基板101は、テクスチャリング工程を通じて前記半導体基板101の前面120にピラミッド面が形成される。具体的には、前記半導体基板101に、水酸化カリウム+イソプロピルアルコールの混合液(KOH+IPA)が使用される。
次いで、テクスチャリング工程によって形成されたピラミッド面を持つ前記半導体基板101の前面120には、パッシベーション層117と反射防止膜118とが順次に形成される。また、前記パッシベーション層117を形成する前に半導体基板101の洗浄が行われる。
前記パッシベーション層117は、不純物がドーピングされた非晶質シリコンを含む。例えば、前記パッシベーション層117は、n型半導体基板101の前面120に高濃度のn+層として形成される。このように形成されたパッシベーション層117は、正孔と電子との再結合による損失を低減させるための前面電界(front surface field、FSF)を形成する。
または、前記パッシベーション層117は窒化ケイ素(SiNx)を含んでもよい。係る場合、前記パッシベーション層117は、プラズマ気相蒸着法(PECVD)によって形成される。
前記パッシベーション層117は、前記半導体基板101の受光面である前面120側に形成されるので、前記パッシベーション層117の光吸収を低減させるためにバンドギャップを調節してもよい。例えば、添加物を追加することで、前記パッシベーション層117のバンドギャップを増大させて光吸収を低減させ、より入射光を半導体基板101の内部に導いてもよい。
前記反射防止膜118は、前記パッシベーション層117上に形成される。前記反射防止膜118は、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNx)、酸窒化ケイ素(SiOxNy)などを含み、CVD、スパッタリング、スピンコーティングなどの方法によって形成される。例えば、前記反射防止膜118は、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNx)、酸窒化ケイ素(SiOxNy)の単一膜、またはこれらの複合層で形成される。
本実施形態では、パッシベーション層117及び反射防止膜118をそれぞれ別個に形成する場合を説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、前記パッシベーション層117及び反射防止膜118は一つの層で形成されてもよい。すなわち、SiNxを含む層を形成することで、パッシベーションの効果及び反射防止の効果を得ることができる。
次いで、前記n+導電型ドーピング部102上には第1導電型電極113が形成され、前記p+導電型ドーピング部112上には第2導電型電極114が形成される。
また、前記二酸化ケイ素層103には、コンタクトホール115が形成される。前記コンタクトホール115は、前記n+導電型ドーピング部102と対応する領域に形成される。前記コンタクトホール115は、レーザー、またはエッチングペーストを用いるスクリーンプリンティングなどによって形成される。
次いで、前記半導体基板101の背面130上に銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)などの導電性ペーストがスクリーンプリンティングまたはメッキなどによってパターン印刷され、熱処理される。
これによって、n+導電型ドーピング部102に抵抗接点を形成する第1導電型電極113を連結することができ、またp+導電型ドーピング部112に抵抗接点を形成する第2導電型電極114を連結することができる。
前述のような過程によりn+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112との間隔を狭めた背面接合構造の太陽電池100を製造することができる。
本発明者の実験による太陽電池100のn+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112との間隔は、表1に示した通りである。
ここで、比較例は、従来のn+導電型ドーピング部とp+導電型ドーピング部との間隔を、スクリーンプリンティング法と、ウェット工程以後の別途の間隔パターン形成工程とにより形成したものである。また、実施例は、本発明の二酸化ケイ素層103によってn+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112との間隔を形成したものである。
表1を参照すれば、比較例の場合、p+導電型ドーピング部と対応するエミッタ領域の幅が1550μmであるのに対し、実施例の場合、エミッタ領域の幅が1750μmであり、200μmほど広くなる。
また比較例の場合、n+導電型ドーピング部とp+導電型ドーピング部との間隔が100μmであるのに対し、実施例の場合、n+導電型ドーピング部とp+導電型ドーピング部との間隔が0.1μmであり、間隔が1/1000ほど狭まっていることが分かる。
このように、本発明は、太陽電池の効率に寄与しないn+導電型ドーピング部102とp+導電型ドーピング部112との間隔を小さくすることで、太陽電池の効率を大きく向上させることができる。
前述したように、本発明の太陽電池の製造方法および太陽電池は、第1導電型及び第2導電型のドーピング濃度による酸化物層の成長速度差を用いることにより、背面接合構造の太陽電池の背面に形成される第1導電型ドーピング部と第2導電型ドーピング部との間隔を、狭くすることができる。したがって、本発明によれば、太陽電池の効率を向上させることが可能になる。
また、第1導電型ドーピング部と第2導電型ドーピング部との間隔を調節するための、別途のパターン工程が不要であるので、太陽電池の製造工程の時間を短縮し、コストダウンを行うことができる。
また、セルフアライメントが可能であるので、アライメントの誤差によるシャントパス(shunt path)が発生しない。
また、第1導電型ドーピング部のライン幅及び第2導電型ドーピング部のライン幅を大幅に縮めることができるため、半導体基板内にラインをより多く形成することができる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明は、太陽電池関連の技術分野に好適に用いられる。
100 太陽電池
101 半導体基板
102 ベース層
103 絶縁層
112 エミッタ層
113 第1導電型電極
114 第2導電型電極
115 コンタクトホール
117 パッシベーション層
118 反射防止膜
120 半導体基板の前面
130 半導体基板の背面
101 半導体基板
102 ベース層
103 絶縁層
112 エミッタ層
113 第1導電型電極
114 第2導電型電極
115 コンタクトホール
117 パッシベーション層
118 反射防止膜
120 半導体基板の前面
130 半導体基板の背面
Claims (18)
- 半導体基板上に第1導電型ドーピング部を形成する段階と、
前記半導体基板上に酸化物層を第1次形成する段階と、
前記酸化物層を第1次加工し、前記半導体基板上に複数のリセス部を形成する段階と、
前記半導体基板上に酸化物層を第2次形成する段階と、
前記酸化物層を第2次加工し、前記リセス部が形成された前記半導体基板上に第2導電型ドーピング部を形成する段階と、
前記半導体基板上に前記第1導電型ドーピング部と連結される第1導電型電極と、前記第2導電型ドーピング部と連結される第2導電型電極を形成する段階と、を含み、
前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層によって離隔される太陽電池の製造方法。 - 前記第1導電型ドーピング部は、光を受光する前記半導体基板の前面に対向する背面に、第1導電型不純物を前記半導体基板より高濃度でドーピングされて背面電界を形成する請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記複数のリセス部を形成する段階は、
前記酸化物層が形成された半導体基板上にペーストを形成する段階と、
前記ペーストが形成された部分以外の露出した前記酸化物層をエッチングする段階と、
前記ペーストを剥離し、前記半導体基板上に形成される第1導電型ドーピング部及び前記酸化物層の積層構造以外の領域にリセス部を形成する段階と、を含む請求項1または2に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記リセス部は、前記第1導電型ドーピング部及び酸化物層が積層された部分と、前記第1導電型ドーピング部が除去されて前記半導体基板の表面が露出した部分との厚さ差によって形成される請求項3に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記半導体基板上に酸化物層を第2次形成する段階において、前記第1導電型ドーピング部及び酸化物層が積層された部分と、前記リセス部が形成された半導体基板の表面とは、共に前記酸化物層が第2次形成され、前記酸化物層の厚さが異なって形成される請求項1〜4のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第1導電型ドーピング部及び酸化物層が積層された部分の前記酸化物層の第1厚さは、前記リセス部が形成された半導体基板上の酸化物層の第2厚さより厚く形成される請求項5に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記リセス部が形成された半導体基板上の酸化物層は剥離される請求項5または6に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第2導電型ドーピング部を形成する段階は、前記リセス部が形成された半導体基板上に第2ドーパントを含む素材を注入し、前記半導体基板内に第2導電型不純物を拡散させる請求項1〜7のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第2導電型ドーピング部は、前記半導体基板の前記第1導電型ドーピング部と同じ面に形成される請求項8に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第2導電型ドーピング部が形成された半導体基板上にキャッピング層が形成され、
前記半導体基板の前記第1導電型ドーピング部と異なる面に形成された前記第2導電型ドーピング部は、テクスチャリング工程により除去される請求項8に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記第1導電型ドーピング部は酸化物層によりカバーされ、
前記第2導電型ドーピング部は、前記第1導電型ドーピング部の間に形成され、
前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層の厚さと対応する間隔を有する請求項1〜10のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層によって離隔される請求項11に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第1導電型ドーピング部は、前記半導体基板上で酸化物層によりカバーされ、前記酸化物層に形成されたコンタクトホールにより前記第1導電型電極に連結されて抵抗接点を形成し、
前記第2導電型ドーピング部は、前記半導体基板内に拡散して形成され、前記第2導電型電極に連結されて抵抗接点を形成する請求項1〜12のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。 - 光を受光する前記半導体基板の前面には、パッシベーション層および反射防止膜が順次形成される請求項1〜13のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
- 半導体基板の一面に形成された第1導電型ドーピング部及び第2導電型ドーピング部と、
前記第1導電型ドーピング部をカバーする酸化物層と、
前記第1導電型ドーピング部及び前記第2導電型ドーピング部とそれぞれ連結して抵抗接点を形成する第1導電型電極及び第2導電型電極と、を含み、
前記第1導電型ドーピング部と前記第2導電型ドーピング部とは、前記酸化物層によって間隔が形成される太陽電池。 - 前記第2導電型ドーピング部は、前記第1導電型ドーピング部及び酸化物層が積層された領域間にある前記半導体基板内に形成される請求項15に記載の太陽電池。
- 前記間隔は、前記第1導電型ドーピング部をカバーする前記酸化物層の厚さと対応する大きさである請求項15または16に記載の太陽電池。
- 光を受光する前記半導体基板の面にはパッシベーション層及び反射層が形成される請求項15〜17のいずれか一項に記載の太陽電池。
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