JP2013181177A - コバルトめっき銅微粉及びコバルトめっき銅微粉を用いて製造した導電ペースト並びにコバルトめっき銅微粉の製造方法 - Google Patents
コバルトめっき銅微粉及びコバルトめっき銅微粉を用いて製造した導電ペースト並びにコバルトめっき銅微粉の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013181177A JP2013181177A JP2012043508A JP2012043508A JP2013181177A JP 2013181177 A JP2013181177 A JP 2013181177A JP 2012043508 A JP2012043508 A JP 2012043508A JP 2012043508 A JP2012043508 A JP 2012043508A JP 2013181177 A JP2013181177 A JP 2013181177A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine powder
- copper fine
- cobalt
- plating
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 142
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims abstract description 134
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 130
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 66
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 65
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 title claims abstract description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 18
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 127
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 83
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 72
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 59
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 238000007323 disproportionation reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 17
- BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N copper(I) oxide Inorganic materials [Cu]O[Cu] BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229940112669 cuprous oxide Drugs 0.000 claims abstract description 13
- KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N cuprous oxide Chemical compound [O-2].[Cu+].[Cu+] KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 11
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 abstract description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 abstract description 5
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 48
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 24
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 21
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 15
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 11
- IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N hydrazine hydrate Chemical compound O.NN IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 7
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 7
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 7
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 6
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 6
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 5
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 5
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- VZOPRCCTKLAGPN-ZFJVMAEJSA-L potassium;sodium;(2r,3r)-2,3-dihydroxybutanedioate;tetrahydrate Chemical compound O.O.O.O.[Na+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O VZOPRCCTKLAGPN-ZFJVMAEJSA-L 0.000 description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 229940074446 sodium potassium tartrate tetrahydrate Drugs 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 150000001868 cobalt Chemical class 0.000 description 3
- GVPFVAHMJGGAJG-UHFFFAOYSA-L cobalt dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Co+2] GVPFVAHMJGGAJG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910001429 cobalt ion Inorganic materials 0.000 description 3
- XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N cobalt(2+) Chemical compound [Co+2] XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010908 decantation Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 3
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 3
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 organic acid salts Chemical class 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 150000002940 palladium Chemical class 0.000 description 3
- LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L potassium sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical group 0.000 description 3
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 3
- 235000011006 sodium potassium tartrate Nutrition 0.000 description 3
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 3
- 244000215068 Acacia senegal Species 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021503 Cobalt(II) hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 description 2
- 229920000084 Gum arabic Polymers 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000205 acacia gum Substances 0.000 description 2
- 235000010489 acacia gum Nutrition 0.000 description 2
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- GFHNAMRJFCEERV-UHFFFAOYSA-L cobalt chloride hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[Cl-].[Cl-].[Co+2] GFHNAMRJFCEERV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- ASKVAEGIVYSGNY-UHFFFAOYSA-L cobalt(ii) hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Co+2] ASKVAEGIVYSGNY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N n'-hydroxy-2-propan-2-ylsulfonylethanimidamide Chemical compound CC(C)S(=O)(=O)CC(N)=NO LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000007086 side reaction Methods 0.000 description 2
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001476 sodium potassium tartrate Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000035404 Autolysis Diseases 0.000 description 1
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 206010057248 Cell death Diseases 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004375 Dextrin Substances 0.000 description 1
- 229920001353 Dextrin Polymers 0.000 description 1
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 101150003085 Pdcl gene Proteins 0.000 description 1
- 235000008331 Pinus X rigitaeda Nutrition 0.000 description 1
- 235000011613 Pinus brutia Nutrition 0.000 description 1
- 241000018646 Pinus brutia Species 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- QAGIIGBOEWRNTO-UHFFFAOYSA-N aminoazanium;3-carboxy-3,5-dihydroxy-5-oxopentanoate Chemical compound NN.OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O QAGIIGBOEWRNTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- 238000003287 bathing Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- RJTANRZEWTUVMA-UHFFFAOYSA-N boron;n-methylmethanamine Chemical compound [B].CNC RJTANRZEWTUVMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 1
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000010344 co-firing Methods 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- QGUAJWGNOXCYJF-UHFFFAOYSA-N cobalt dinitrate hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[Co+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O QGUAJWGNOXCYJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- MEYVLGVRTYSQHI-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+) sulfate heptahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.O.[Co+2].[O-]S([O-])(=O)=O MEYVLGVRTYSQHI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 229940045803 cuprous chloride Drugs 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 235000019425 dextrin Nutrition 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 1
- 150000004676 glycans Chemical class 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N h2o hydrate Chemical compound O.O JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000025 natural resin Substances 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 description 1
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 description 1
- 229940074439 potassium sodium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 230000028043 self proteolysis Effects 0.000 description 1
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- XNRABACJWNCNEQ-UHFFFAOYSA-N silver;azane;nitrate Chemical compound N.[Ag+].[O-][N+]([O-])=O XNRABACJWNCNEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012279 sodium borohydride Substances 0.000 description 1
- 229910000033 sodium borohydride Inorganic materials 0.000 description 1
- SIGUVTURIMRFDD-UHFFFAOYSA-M sodium dioxidophosphanium Chemical compound [Na+].[O-][PH2]=O SIGUVTURIMRFDD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
- NQXGLOVMOABDLI-UHFFFAOYSA-N sodium oxido(oxo)phosphanium Chemical compound [Na+].[O-][PH+]=O NQXGLOVMOABDLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 1
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- XOOUIPVCVHRTMJ-UHFFFAOYSA-L zinc stearate Chemical compound [Zn+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O XOOUIPVCVHRTMJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
【解決手段】不均化反応により形成された銅微粉の表面にコバルト層を備えることを特徴とするコバルト被覆銅微粉。コバルト被覆銅微粉の製造方法であって、亜酸化銅の不均化反応により銅微粉を形成し、この銅微粉に無電解置換めっきにより、パラジウム(Pd)をめっきし、その上に無電解めっきによりコバルトを被覆することを特徴とするコバルト被覆銅微粉の製造方法。
【選択図】なし
Description
このため、内部電極を構成するための焼結用ペースト中の導電体粒子の粒子径は、積層された電極間での短絡を防止するために0.1μm〜1μmφオーダーであることが要求される。
銅粉の耐熱性改善に関する技術としては、下記特許文献を挙げることができる。しかしながら、この文献1は、銅粒子へのニッケルめっきが発明の内容であり、ニッケル合金めっきとして、副次的にCoを合金元素として含有させることが記載されているのみである。
1)不均化反応により形成された銅微粉の表面にコバルト層を備えることを特徴とするコバルト被覆銅微粉、を提供する。
3)コバルト層が無電解コバルトめっき層であることを特徴とする上記1)〜2)のいずれか一項に記載のコバルト被覆銅微粉
4)焼結開始温度(TMA値)が400°C以上であることを特徴とする上記1)〜3)のいずれか一項に記載のコバルト被覆銅微粉、を提供する。
不均化反応により銅微粉を製造する場合には、通常亜酸化銅粒子を使用する。不均化反応で銅の微粉を製造する方法は、既に特許第4868329号公報として公知であるが、概略を下記に説明する。
亜酸化銅粒子は、銅塩水溶液から塩化第一銅を経由するなどの公知の方法で製造されたものを使用することができる。酸は、通常硫酸を使用するが、硝酸、りん酸、酢酸を用いることもできる。特に酸の種類を特定する必要はない。硫酸を使用した場合、不均化反応は次の反応式により、硫酸銅水溶液と金属銅粒子が生成する。 Cu2O+H2SO4=Cu↓+CuSO4+H2O
特に、アラビアゴムを使用した場合は、平均粒径を1μm程度の微粉化が可能であり、凝集抑制効果を有する。また、にかわ、ゼラチンは、やや凝集の問題はあるが、平均粒径0.5μm以下の微粉化が可能である。
特に、微細化を図るためには、不均化反応開始温度を10°C以下とすることが望ましい。この反応温度を低下させることにより、粒子成長を効果的に抑制することができ、より微粉化が可能となる。この10°C以下の温度は、可能ならば反応終了まで持続させると、より効果的である。
いずれの場合も、得られる金属銅粒子は高純度であり、かつ表面活性に富んでいる。
パラジウム(Pd)めっきは、コバルトめっきの均一性を高める効果を有する。パラジウム処理しない場合には、特に粒径の小さな粒子にはコバルトめっきがされ難く、均一性が劣る傾向がある。
いずれにしても、コバルト層を含めコバルト被覆銅微粉の平均粒径を0.01〜1.0μm、好ましくは0.1〜0.5μmの微細な銅粉を得ることが、本願の目的を達成する上では、より望ましいと言える。
(1)無電解コバルトめっき液組成(銅微粉20g当たり)
1)めっき液:
酒石酸ナトリウムカリウム・四水和物:0.2M
塩化コバルト・六水和物:0.05M
液量:450mL
温度60°C以上(望ましくは70°C以上)
2)還元剤溶液:
ヒドラジン・一水和物:0.0135mol
純水:80mL
(2)処理方法
銅微粉スラリー中にめっき液を添加し、加温・撹拌する。めっき液中に銅粒子が充分に分散した後、ヒドラジン溶液を噴霧により添加していく。
めっき浴中に初めからヒドラジン溶液を添加しておいて加温したところにスラリーを添加するのは、めっき開始のタイミングを同一にする添加方法が難しく、結果として均一なめっき厚みが得られない。
具体的には、噴霧によってめっき液+スラリーの液中に還元剤溶液を添加する場合に、粒子同士の結合による凝集を発生させず、且つ均一なコバルトめっき層を銅微粉の表面に施すことが可能となることを見出した。
そして、液滴の大きさが充分に小さい場合は、2つの液の混合がより速やかに進むため、銅粒子は2次元ではなく3次元の液中でめっき反応が進行することから、粒子同士の凝集が発生しにくいものと推察される。
またコバルトの原料としては、アルカリ性の水溶液中で溶解する塩であれば、硫酸塩や硝酸塩でも良い。水酸化コバルトや酸化コバルトなど、酸性で溶解するがアルカリ性では溶解しない塩は、一度塩酸等の酸で液を酸性にした状態で塩を溶解し、その後アルカリ性に調整する必要があり、処理の手順が増えるため適さない。
しかしながら、これらホウ素(B)やリン(P)を含む還元剤を用いた場合、リンやホウ素といった第2元素が必然的に取り込まれることでコバルト層の熔融温度が低下するため、結果として粉末の焼結温度が低下することから、純コバルトのめっき層を形成することが可能なヒドラジンを用いることが望ましい。
めっき終了後、洗浄・濾過・乾燥してコバルトめっき銅微粉を得る。
還元液(B液)の添加方法によっては、粒子同士の凝集が進行し、特に0.5μm以下の微細粉表面に処理をした場合、添加方法に配慮しないと得られる粉末は平均粒径数μmの凝集粉となる虞がある。
測定条件:装置:TMA−50(島津製作所製)
昇温速度:5°C/分
測定雰囲気:2vol%H2−N2(300cc/分)
荷重:−98.0mN
圧粉体サイズ:7mmΦ×5mm高さ
成型圧力:1Ton/cm2
(潤滑剤として0.5wt%のステアリン酸亜鉛を添加)
測定方式:レーザー回折式粒度分布測定
装置:SALD−2100(島津製作所製)
装置:DTG−50/50H(島津製作所製)
昇温速度:10°C/分
測定雰囲気:大気下
サンプル:粉末試料(0.01g)
不均化反応による銅微細粉の製造は、前記段落[0015]〜[0022]に示す方法で実施した。
次に、置換反応により、次の条件で、パラジウムをめっきした。
パラジウム処理条件(特許第4669982号より)
PdCl2 0.001M
スルファミン酸(37%) 0.01M
液量 150 mL
銅微粉スラリー量 20 g/150mL
銅微粉スラリーの入った容器にパラジウム液を添加し撹拌しながらウォーターバスで90℃に昇温し30分間保持する。処理後静置して沈降するのを待ち、上澄みを除去し、得たスラリーを次工程の無電解めっきへ供する。
めっき液:
酒石酸ナトリウムカリウム・四水和物:0.2M
塩化コバルト・六水和物:0.05M
液量:0.45L
pH:12.1(水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムで調整)
温度:70°C
ヒドラジン・一水和物:0.0135 mol
液量:純水で80mLに溶解
銅微粉スラリーを容器に取り、そこにめっき液を添加する。15分程度撹拌して容器の底のスラリーが無くなり、銅微粉が溶液内に充分に分散した後、還元剤液をビーカー内の溶液に噴霧する。
ノズル:スプレーイングシステムズジャパン(株)製2流体エアアトマイジングノズルB1/8JJ−SS+SUJ1A−SS
噴霧方式:サイフォン/重力給水式
スプレーパターン・角度:円形・18°
ガス成分、供給圧力:窒素ガス、0.02MPa以下
還元剤流量:約5mL/分
その後、容器を室温に置きおよそ30分程度静置して、容器底に粉末が沈降するのを待つ。粉末沈降後デカンテーションして上澄みを除去して、500mL・pH=11の水酸化ナトリウム水溶液を加えて30分間撹拌・洗浄する。
以上の結果を、表1に示す。
実施例1と同様の条件で銅微粉を作製・パラジウムを付与した後、めっき液量および添加還元剤液量を2倍としてコバルトめっき銅微粉を作製した。
以上の結果を、同様に表1に示す。
実施例1と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与し、実施例2と同一の条件で、無電解めっきをしたのち、静置して銅微粉を沈降させた。銅微粉沈降後、上澄みを除去してこれをスラリーとしてめっき液を添加して無電解めっきを再度行った。これを4回繰り返して、合計5回の無電解コバルトめっきを実施した。めっき厚みは5.8nmである。
以上の結果を、同様に表1に示す。
実施例1と同様の方法で銅微粉を作製する際、添加剤量を増加した。得られた銅微粉の平均粒径は0.09μmとなった。この銅微粉に実施例1と同様の方法でパラジウム付与後、実施例2に対してめっき液中の錯化剤濃度・コバルト塩濃度および還元剤量をいずれも2倍とした。めっき厚みは1.0nmである。
以上の結果を、同様に表1に示す。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与した。このパラジウム付与銅微粉に無電解コバルトめっきをする際、コバルトの塩として塩化コバルトに変えて、当量の硫酸コバルト七水和物を用いた。めっき厚みは0.8nmである。
以上の結果を、同様に表2に示す。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与した。このパラジウム付与銅微粉に無電解コバルトめっきをする際、コバルトの塩として塩化コバルトに変えて、当量の硝酸コバルト六水和物を用いた。めっき厚みは1.0nmである。
以上の結果を、同様に表2に示す。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与した。このパラジウム付与銅微粉に無電解コバルトめっきをする際、錯化剤として酒石酸ナトリウムカリウム四水和物に変えて、当量の2倍のグリシンを用いた。めっき厚みは0.6nmである。
以上の結果を、同様に表2に示す。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与した。このパラジウム付与銅微粉に無電解コバルトめっきをする際、錯化剤として酒石酸ナトリウムカリウム四水和物に変えて、当量のクエン酸を用いた。めっき厚みは0.7nmである。
以上の結果を、同様に表2に示す。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与した。このパラジウパラジウム付与銅微粉に無電解コバルトめっきをする際、還元剤としてヒドラジン一水和物に変えて、当量のフォスフィン酸ナトリウムを用いた。めっき厚みは0.7nmである。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与した。このパラジウパラジウム付与銅微粉に無電解コバルトめっきをする際、還元剤としてヒドラジン一水和物に変えて、当量の水素化ホウ素ナトリウムを用いた。めっき厚みは0.7nmである。
以上の結果を表3に示す。
不均化反応による銅微細粉は実施例1と同様の方法で作製した。本比較例においては、パラジウム及びコバルトめっきを実施していない。
粒子径(D50)は、0.22μmとなった。この銅微粉を使用してTMA値とTG値を評価した。この結果、TMA値は385°Cとなり、TG値は168°Cとなった。上記に示す実施例に比べ、TMA値とTG値は低い値であった。以上の結果を、表1に示す。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与した。このパラジウム付与銅微粉に無電解コバルトめっきをする際、還元剤液の添加を2流体アトマイズノズルによらず、内径1.6mmのPVCチューブを用いて、液滴として滴下した。このとき、液滴の大きさはおよそ約4mm3(直径約2mm)であった。還元剤液を液滴として滴下する以外は実施例3と同一の条件とした。めっき厚みは5.8nmである。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製、パラジウムを付与した。このパラジウム付与銅微粉に無電解コバルトめっきをする際、還元剤液の添加を2流体アトマイズノズルによらず、内径1.6mmのPVCチューブを用いて、液滴として滴下した。このとき、液滴の大きさはおよそ約4mm3(直径約2mm)であった。還元剤液を液滴として滴下する以外は実施例2と同一の条件とした。めっき厚みは0.6nmである。
実施例2と同様の条件で銅微粉を作製した。銅微粉の平均粒径は0.22μmであった。この銅微粉にコバルトめっきの代わりに、置換銀めっきを施した。
その後、吸引ろ過して銀めっき銅微粉と洗浄水とを濾別し、得られた銀めっき銅微粉を90°Cの温度で2時間の乾燥を行った。この銀めっき銅微粉のICP発光分光分析装置で測定した銀の重量比から、めっき厚みは約0.8nmであった。
Claims (6)
- 不均化反応により形成された銅微粉の表面にコバルト層を備えることを特徴とするコバルト被覆銅微粉。
- 平均粒径が0.01〜1.0μmであることを特徴とする請求項1記載のコバルト被覆銅微粉。
- コバルト層が無電解コバルトめっき層であることを特徴とする請求項1〜2のいずれか一項に記載のコバルト被覆銅微粉。
- 焼結開始温度(TMA値)が400°C以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のコバルト被覆銅微粉。
- コバルト被覆銅微粉の製造方法であって、亜酸化銅の不均化反応により銅微粉を形成し、この銅微粉に無電解置換めっきにより、パラジウム(Pd)をめっきし、その上に無電解めっきによりコバルトを被覆することを特徴とするコバルト被覆銅微粉の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のコバルトめっき銅微粉を用いて製造した導電ペースト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012043508A JP5912663B2 (ja) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | コバルトめっき銅微粉及びコバルトめっき銅微粉を用いて製造した導電ペースト並びにコバルトめっき銅微粉の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012043508A JP5912663B2 (ja) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | コバルトめっき銅微粉及びコバルトめっき銅微粉を用いて製造した導電ペースト並びにコバルトめっき銅微粉の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013181177A true JP2013181177A (ja) | 2013-09-12 |
JP2013181177A5 JP2013181177A5 (ja) | 2014-11-27 |
JP5912663B2 JP5912663B2 (ja) | 2016-04-27 |
Family
ID=49272058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012043508A Active JP5912663B2 (ja) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | コバルトめっき銅微粉及びコバルトめっき銅微粉を用いて製造した導電ペースト並びにコバルトめっき銅微粉の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5912663B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015079788A1 (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 学校法人東京理科大学 | 金属ナノ粒子の調製方法及び金属ナノ粒子 |
US11152160B1 (en) | 2020-09-15 | 2021-10-19 | United Arab Emirates University | High-rate hybrid supercapacitor |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109908961A (zh) * | 2019-03-04 | 2019-06-21 | 合肥学院 | 一种光催化用氧化亚铜/聚合物复合粉体的方法 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64718A (en) * | 1987-06-23 | 1989-01-05 | Toshiba Corp | Base metal powder for ceramic capacitor electrode |
JP2000106035A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-11 | Kyocera Corp | 導電性ペースト組成物及びそれを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法、並びに積層セラミックコンデンサ |
JP2002275511A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Murata Mfg Co Ltd | 金属粉末の製造方法、金属粉末、導電性ペーストならびに積層セラミック電子部品 |
JP2003013103A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-15 | Murata Mfg Co Ltd | 導電粉末の製造方法、導電粉末、導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品 |
JP2004162164A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-06-10 | Dowa Mining Co Ltd | 導電ペースト用銅粉およびその製造方法 |
JP2004323962A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 導電性無電解めっき粉体及びその製造方法 |
JP2006028630A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-02 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | ニッケルコート銅粉及びニッケルコート銅粉製造方法 |
JP2008024969A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ニッケル被覆銅微粒子とその製造方法、それを用いた分散液とその製造方法、及びそれを用いたペースト |
JP2009293126A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Xerox Corp | コア−シェル金属ナノ粒子を形成する方法 |
JP2010065277A (ja) * | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Nippon Handa Kk | 金属製部材接合体の製造方法および金属製部材接合体 |
JP2010100899A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Japan Science & Technology Agency | 銀−ロジウム合金微粒子およびその製造方法 |
JP2011094236A (ja) * | 2010-12-07 | 2011-05-12 | Dowa Holdings Co Ltd | 低温焼成用銅粉または導電ペースト用銅粉 |
WO2011115214A1 (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | 新日鐵化学株式会社 | ニッケル-コバルトナノ粒子およびその製造方法 |
JP2011214080A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 銀メッキ銅微粉及びその製造方法 |
JP2012039008A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Toshiba Corp | 半導体素子 |
-
2012
- 2012-02-29 JP JP2012043508A patent/JP5912663B2/ja active Active
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64718A (en) * | 1987-06-23 | 1989-01-05 | Toshiba Corp | Base metal powder for ceramic capacitor electrode |
JP2000106035A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-11 | Kyocera Corp | 導電性ペースト組成物及びそれを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法、並びに積層セラミックコンデンサ |
JP2002275511A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Murata Mfg Co Ltd | 金属粉末の製造方法、金属粉末、導電性ペーストならびに積層セラミック電子部品 |
JP2003013103A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-15 | Murata Mfg Co Ltd | 導電粉末の製造方法、導電粉末、導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品 |
JP2004162164A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-06-10 | Dowa Mining Co Ltd | 導電ペースト用銅粉およびその製造方法 |
JP2004323962A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 導電性無電解めっき粉体及びその製造方法 |
JP2006028630A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-02 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | ニッケルコート銅粉及びニッケルコート銅粉製造方法 |
JP2008024969A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ニッケル被覆銅微粒子とその製造方法、それを用いた分散液とその製造方法、及びそれを用いたペースト |
JP2009293126A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Xerox Corp | コア−シェル金属ナノ粒子を形成する方法 |
JP2010065277A (ja) * | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Nippon Handa Kk | 金属製部材接合体の製造方法および金属製部材接合体 |
JP2010100899A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Japan Science & Technology Agency | 銀−ロジウム合金微粒子およびその製造方法 |
WO2011115214A1 (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | 新日鐵化学株式会社 | ニッケル-コバルトナノ粒子およびその製造方法 |
JP2011214080A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 銀メッキ銅微粉及びその製造方法 |
JP2012039008A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Toshiba Corp | 半導体素子 |
JP2011094236A (ja) * | 2010-12-07 | 2011-05-12 | Dowa Holdings Co Ltd | 低温焼成用銅粉または導電ペースト用銅粉 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015079788A1 (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 学校法人東京理科大学 | 金属ナノ粒子の調製方法及び金属ナノ粒子 |
JP2015105420A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 学校法人東京理科大学 | 金属ナノ粒子の調製方法及び金属ナノ粒子 |
US11152160B1 (en) | 2020-09-15 | 2021-10-19 | United Arab Emirates University | High-rate hybrid supercapacitor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5912663B2 (ja) | 2016-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9248504B2 (en) | Copper powder for conductive paste and method for producing same | |
KR100954425B1 (ko) | 연속식 용액환원에 의해 은 분말을 제조하는 방법 | |
JP5571435B2 (ja) | 銀メッキ銅微粉の製造方法 | |
JP5080731B2 (ja) | 微粒銀粒子付着銀銅複合粉及びその微粒銀粒子付着銀銅複合粉製造方法 | |
KR20080100365A (ko) | 미립 은 입자 제조 방법 및 그 제조 방법으로 얻어진 미립 은 입자 | |
JP2005314755A (ja) | フレーク銅粉及びその製造方法並びに導電性ペースト | |
JPWO2008059789A1 (ja) | 銀メッキ銅微粉及び銀メッキ銅微粉を用いて製造した導電ペースト並びに銀メッキ銅微粉の製造方法 | |
JP2012526191A (ja) | 銀粒子およびその製造方法 | |
JP2010018880A (ja) | 導電性ペースト用銅粉およびその製造方法 | |
JP2013541640A (ja) | 銀粒子およびその製造方法 | |
KR20130004064A (ko) | 소결형 도전성 페이스트용 은분 | |
JP5912663B2 (ja) | コバルトめっき銅微粉及びコバルトめっき銅微粉を用いて製造した導電ペースト並びにコバルトめっき銅微粉の製造方法 | |
JP5764294B2 (ja) | 銀被覆ニッケル粉末およびその製造方法 | |
JP2004162164A (ja) | 導電ペースト用銅粉およびその製造方法 | |
KR20110047911A (ko) | 은 전착용 구리 분말의 제조방법 및 은 전착용 구리 분말 | |
JP5255580B2 (ja) | フレーク銅粉の製造方法 | |
KR101599104B1 (ko) | 코어-쉘 금속 입자의 제조방법 | |
TWI544977B (zh) | 導電性糊用銅粉及其製造方法 | |
JP6407640B2 (ja) | 鎖状金属粒子およびその製造方法 | |
JP6459293B2 (ja) | はんだ被覆ボールおよびその製造方法 | |
JP2018131665A (ja) | ニッケルコート銅粉とその製造方法、および導電性ペースト | |
JP6179423B2 (ja) | 硫黄含有ニッケル粉末の製造方法 | |
JP5945608B2 (ja) | 導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液およびその製造方法、およびその分散液を含む導電性塗料組成物 | |
JP2018141180A (ja) | ニッケルコート銅粉とその製造方法、及び導電性ペースト | |
JP2015161025A (ja) | ニッケル粉末の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20130823 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141008 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150710 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20151222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160115 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20160222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5912663 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |