JP5945608B2 - 導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液およびその製造方法、およびその分散液を含む導電性塗料組成物 - Google Patents
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Description
本発明は、導電性金ナノ粒子分散液およびその製造方法、およびその分散液を含む導電性塗料組成物に関する。
高集積化された高機能で小型・薄型のデバイス開発には、高度な微細配線・接続技術が不可欠である。その要素技術として、貴金属微粒子の製造技術とそれらのペースト化技術、さらに、インクジェット等の印刷技術との組み合わせが注目されている。
貴金属微粒子を用いたペーストにおいて、粒子径がナノサイズまで小さくなった貴金属ナノ粒子は、表面エネルギーが増大するため粒子表面での融点降下が生じ、金属ナノ粒子同士の融着が起こりやすくなることが知られている。そのため、従来のミクロンサイズの貴金属粒子では溶融できない低温で溶融が可能であるため、配線を容易に形成することが可能となる。また、ナノレベルの貴金属微粒子を用いることによって、より微細な配線を形成することができるため、デバイスの高集積化が可能である。しかし、逆に、表面エネルギーが増大するため、微粒子同士の凝集が発生しやすく、貴金属濃度を増加させにくいという欠点が生じる。それを解消するため、微粒子の表面に保護剤を吸着させ、分散状態を維持させる処理が一般的に行われている。貴金属微粒子のナノペーストを製造するためには、ナノレベルに粒子径を制御する技術と、保護剤吸着による分散技術が必要である。
このようなナノサイズの金属微粒子を製造する方法としては、大きく気相合成法と溶液合成法の2種類の製法が知られているが、一般的には、溶液合成法が利用されている。溶液合成法とは、分散液中に分散させた金属イオンを還元することにより金属等の微粒子を析出させる方法である。分散液中に保護剤となる物質を添加することで、ナノレベルの金属微粒子が高濃度で分散した分散液を調製することが可能となる。
例えば、特許文献1には窒素、酸素、またはイオウ原子を含む基を有する化合物であって、150℃〜300℃の範囲に沸点を有し、20℃以下の融点を有する化合物(モノアルキルアミン等)を被覆層分子とし、金属ナノ粒子の平均粒径が2〜10nmである、金等の金属ナノ粒子およびそれを含んでなる導電性ナノ粒子ペーストが開示されている。そしてこの導電性ナノ粒子ペーストは、例えば、250℃以下の加熱処理によって、体積固有抵抗率が10×10−6Ω・cm以下の導電体層を形成することが記載されている。
また特許文献2には、平均粒径が20nm以下かつ平均粒径の分散が平均粒径の1/3より小さい金属微粒子と、その金属微粒子を被覆するタンパク質よりなる保護剤とタンパク質分解酵素を含む金属インクとが開示されている。そして、この金属インクを、例えば40℃から60℃程度で一定時間保持して、タンパク質分解酵素によりタンパク質よりなる保護剤を分解して金属微粒子を露出させた後に、例えばより高い温度(100〜200℃)で焼結させることにより、1Ω/□以下の低抵抗の導電性被膜が得られることが記載されている。
また特許文献3には、硝酸銀とイソプロピルアルコールおよび(1−ビニルピロリドン)−アクリル酸共重合体を水に溶解し、容器を窒素パージした後に30KGyの線量のガンマ線を放射して、粒径が微細かつ均一な銀ナノ粒子を含むコロイド溶液を製造する方法が開示されている。そしてこのコロイド溶液に含まれる銀ナノ粒子の粒径は、透過電子顕微鏡観察の結果、平均で3.0±0.9nmであったことが記載されている。
一方、より大きな範囲の粒径において、導電性ペーストを塗布等したときに導電性微粒子をより稠密に配列させ、焼成後に空隙がなるべく残らない導電被膜を形成することを目的として、大小の平均粒径を有する導電性微粒子を含む導電性ペーストが提案されている。
例えば、特許文献4には、平均粒子径が0.1〜0.6μmの範囲にある貴金属等の導電性微粒子と平均粒子径が0.5〜1.0μmの範囲にある貴金属等の導電性微粒子とを、粒子の質量比で20:80乃至80:20の範囲の比にて混合してなる導電性粒子混合物を含有する導電ペーストが開示されている。そして実施例1として、パラジウム/銀二重層粒子に白金を被覆してなる粒径が0.4μmの導電性微粒子と、同じくパラジウム/銀二重層粒子に白金を被覆してなる粒径が0.6μmの導電性微粒子とを、粒子の質量比7:3で混合してなる導電性粒子混合物を含有する導電ペーストを用いて形成した導電性被膜は、21.63μΩ/cmの比抵抗値を示すことが記載されている。この値は、平均粒径0.4μmのパラジウム/銀二重層粒子に白金を被覆してなる導電性粒子のみを含む導電性ペーストを用いて形成した導電性被膜の比抵抗値(24.58μΩ/cm)や平均粒径0.6μmのパラジウム/銀二重層粒子に白金を被覆してなる導電性粒子のみを含む導電性ペーストを用いて形成した導電性被膜の比抵抗値(33.59μΩ/cm)より低い値であったことが記載されている。
また特許文献5には、ニッケルと貴金属との合金を主成分とし、平均粒子径が200nm以上、400nm以下である第1導電性粒子と、ニッケルと貴金属との合金を主成分とし、平均粒子径が40nm以上、80nm以下である第2導電性粒子と、を含有する導電性ペーストであって、前記導電性ペースト中の全導電性成分に対する前記貴金属の含有量が、0.3モル%超、13モル%以下であり、前記第1導電性粒子における前記貴金属の含有割合が、0.3モル%以上、1.5モル%以下であり、前記第2導電性粒子における前記貴金属の含有割合が、3.3モル%以上、10モル%以下であることを特徴とする導電性ペーストが開示されている。そして実施例1として、それぞれCVD法により得られたNi−Re合金からなる第1導電性粒子の平均粒径が300nm、同じくNi−Re合金からなる第2導電性粒子の平均粒径が60nmであり、それぞれのCV値(粒径の標準偏差/対数化した平均粒径)は0.3と狭小な粒径分布を示すこと、および第1導電性粒子と第2導電性粒子を重量比85:15で混合してなる導電性粒子を含む導電性ペーストが記載されている。
粒径が5nm程度未満のごく微小な金ナノ粒子の使用は、低い焼成温度で低い比抵抗値を有する導電性被膜を形成する上で有利である。ところが、この程度に粒径が小さい金ナノ粒子は、凝集する傾向が強く、保護剤を分解する触媒作用も強い。粒径が5nm未満の金ナノ粒子の比率が個数基準で90%程度以上になると、その金ナノ粒子を含む分散液の実用性は著しく低下する。
そこで、本発明は、粒径が5nm未満の金ナノ粒子の比率が個数基準で90%未満に抑えられていながらも、低い焼成温度における焼成処理によって比抵抗値の小さな導電性被膜の形成が可能である、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を提供することを目的とする。また、本発明は、少なくともその好ましい実施形態において、低い焼成温度における焼成処理、具体的には120℃程度の焼成処理によって、従来よりも低い比抵抗値を有する導電性被膜を形成することができる、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を提供することを目的とする。
すなわち、本発明は、個数平均粒径が3.98〜5.24nmの範囲にあり、全個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比が64〜83%の範囲にある金ナノ粒子を含む、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を提供する。
本発明においては、前記金ナノ粒子における全個数に対する粒径5nm以上13nm未満の粒子の個数の比が16〜32%の範囲にあることが好ましく、21〜30%の範囲にあることがより好ましい。
本発明においては、前記個数平均粒径が4.41〜5.10nmの範囲にあり、前記個数の比が67〜77%の範囲にあることが好ましい。この好ましい形態によれば、120℃程度の低温焼成を適用した場合に、金ナノ粒子の個数平均粒径がより小さい従来型の金ナノ粒子の分散液を用いた時よりも比抵抗値が低い導電性被膜を形成することが可能となる。
また、本発明は、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液の製造方法であって、
(i)個数平均粒径が5nm以下の金ナノ粒子を含む第1の分散液と、個数平均粒径が9〜20nmの金ナノ粒子を含む第2の分散液と、をそれぞれ調整する工程と、
(ii)個数平均粒径が3.98〜5.24nmの範囲にあり、全個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比が64〜83%の範囲にある金ナノ粒子を含む金ナノ粒子分散液が得られるように、前記第1の分散液と前記第2の分散液とを混合する工程と、
を含む、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液の製造方法、である。
(i)個数平均粒径が5nm以下の金ナノ粒子を含む第1の分散液と、個数平均粒径が9〜20nmの金ナノ粒子を含む第2の分散液と、をそれぞれ調整する工程と、
(ii)個数平均粒径が3.98〜5.24nmの範囲にあり、全個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比が64〜83%の範囲にある金ナノ粒子を含む金ナノ粒子分散液が得られるように、前記第1の分散液と前記第2の分散液とを混合する工程と、
を含む、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液の製造方法、である。
さらに本発明は、個数平均粒径が3.98〜5.24nmの範囲にあり、全個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比が64〜83%の範囲にある金ナノ粒子を含む、導電性塗料組成物を提供する。
本発明の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液は、粒径が5nm未満の金ナノ粒子の比率が個数基準で90%未満に抑えられていながらも、比抵抗値の小さな導電性被膜を形成できる。本発明の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液は、少なくともその好ましい実施形態において、低い焼成温度における焼成処理、具体的には120℃程度の焼成処理によって、特に低い比抵抗値を有する導電性被膜を形成することができる。
本発明の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液は、個数平均粒径が3.98〜5.24nmの範囲にあり、好ましくは4.41〜5.10nmの範囲にあり、より好ましくは4.60〜4.94mの範囲にある。金ナノ粒子の粒径および個数、さらに所定範囲の粒径を有する粒子の比率は、後述する実施例において記載しているように、透過型電子顕微鏡を用いて測定することができる。金ナノ粒子の個数平均粒径は、金ナノ粒子の粒径と金ナノ粒子の個数に基づいて算出することができる。
導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液中に含まれる全金ナノ粒子の個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比は、64〜83%の範囲にあり、好ましくは67〜77%の範囲にあり、より好ましくは69〜74%の範囲にある。
導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液中に含まれる全金ナノ粒子の個数に対する粒径5nm以上13nm未満の粒子の個数の比は、好ましくは16〜32%の範囲にあり、より好ましくは21〜30%の範囲にあり、さらに好ましくは24〜28%の範囲にある。
本実施形態の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液は、平均粒径が5nm以下である金ナノ粒子(以下、第1の金ナノ粒子と言うことがある)と、平均粒径が9nm〜20nmの範囲にある金ナノ粒子(以下、第2の金ナノ粒子と言うことがある)とを混合することにより得ることができる。
本実施形態の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液は、公知の気相合成法や溶液合成法を用いて、平均粒径が5nm以下である金ナノ粒子が分散した第1の分散液および平均粒径が9nm〜20nmの範囲にある金ナノ粒子が分散した第2の分散液を作製して、それらを所定の比率で混合することにより作製した、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液であってもよい。所定の比率は、本発明の金ナノ粒子分散液が得られるように定める。
具体的には、1−ブタンチオール等の低分子量チオールを保護剤として用い、平均粒径が5nm以下である第1の金ナノ粒子が分散した第1の分散液および平均粒径が9nm〜20nmの範囲にある第2の金ナノ粒子が分散した第2の分散液を作製し、これらの分散液を所定の比率で混合する方法が挙げられる。この方法によれば、第1の分散液および第2の分散液に含まれる金ナノ粒子の粒径分布が比較的狭小なものとなるので、粒径分布の制御が容易になって好ましい。
本実施形態の金ナノ粒子分散液を、所定の膜厚で塗布等して塗布膜を形成し、この塗布膜を焼成することにより導電性被膜が得られる。焼成温度が低い場合であっても、抵抗値の小さい導電性被膜が得られる理由は明らかではないが、平均粒径の小さい第1の金ナノ粒子が平均粒径の大きい第2の金ナノ粒子の間に介在する形になって、より稠密な内部構造が形成されるためではないかと考えられる。塗布膜の内部で金ナノ粒子が稠密に配列することにより、金ナノ粒子の融着温度が低いことと相まって、低い焼成温度における焼成処理でも稠密な導電性被膜が形成されると考えられる。
好ましい保護剤である1−ブタンチオール等の低分子量チオールは焼成の際に容易に除去されるため、導電性被膜の空隙が少なくなり、さらに被膜に残留する不純物が少なくなると考えられる。
第1の分散液に含まれる金ナノ粒子(第1の金ナノ粒子)の平均粒径は5nm以下であることが好ましい。第1の金ナノ粒子の平均粒径が大きくなりすぎると、導電性被膜の形成時の焼成温度を高くすることが必要となることがある。より好ましい平均粒径は4nm以下であると考えられる。一方、第1の金ナノ粒子の平均粒径が1nm未満であると、第1の金ナノ粒子の表面積が増大して、焼成前の導電性被膜に含まれる保護剤の量が多くなるため、焼成温度を低下できなくなることがある。また、第1の金ナノ粒子が小さくなりすぎると稠密な導電性被膜が得られないことがある。
第2の分散液に含まれる金ナノ粒子(第2の金ナノ粒子)の平均粒径は、20nm以下であることが好ましい。第2の金ナノ粒子の平均粒径が大きくなりすぎると、導電性被膜の形成時の焼成温度を高くすることが必要になることがある。また、焼成前の導電性被膜において第1の金ナノ粒子が第2の金ナノ粒子の間に介在するためには、第2の金ナノ粒子の平均粒径は第1の金ナノ粒子の平均粒径よりある程度大きいことが必要である。一方で、第2の金ナノ粒子の平均粒径が大きくなりすぎると、第2の金ナノ粒子間の空隙が大きくなり稠密な被膜を得ることが困難になる。したがって、第2の金ナノ粒子の平均粒径は、9〜20nmであることが好ましい。
保護剤としては、1−ブタンチオール等の低分子量チオールが好ましい。ここで、低分子量チオールとは、分子量が146以下のチオール化合物を意味する。これらのチオールは、低分子量であるため焼成時に容易に除去される。さらに、分散液中でチオール基に含まれる硫黄原子が特異的に金粒子と結合するため、粒径分布が狭小な金ナノ粒子を得ることが容易になる。1−ブタンチオール以外に、1−プロパンチオール、1−エタンチオール等も保護剤として好ましく用いることができる。
本実施形態の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液は、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子とを、これらの粒子の重量の比において1:9〜1:4の割合で混合して得られることが好ましく、1:9〜1:5の割合で混合して得られることがより好ましい。このような金ナノ粒子分散液を用いて塗布膜を形成すると、塗布膜全体での稠密性を高く保つことができる。
第1の金ナノ粒子および第2の金ナノ粒子は、溶液合成法、好ましくは保護剤の存在下で金イオンを還元する方法、を用いて得ることができる。以下、金ナノ粒子の溶液合成法に関して説明する。具体的な方法としては、後述する実施例で適用した方法を用いることができる。なお、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液について説明した事項は以下の製造方法に適用できるため、重複する説明を省略する場合がある。
第1の分散液および第2の分散液に用いる溶媒は、特に溶液合成法を用いる場合には、金塩、還元剤および反応促進剤を溶解できるものであれば、特には限定されない。例えば、水、アルコール類、ケトン類およびエーテル類を溶媒として用いることができる。金塩を溶解するという観点から、水およびアルコールが特に好ましく用いられる。なお、還元剤を加える前に、溶媒を煮沸する、溶媒に窒素等の不活性ガスを吹き込む等して、溶媒中に存在する酸素を除去しておくことが望ましい。酸素が存在している溶媒を用いると、金イオンの還元反応が進みにくく、金ナノ粒子が形成されにくい。
還元剤は、溶媒に溶解し、金塩を還元するものであればよく、特には限定されない。例えば、水素化ホウ素ナトリウム、ジメチルアミンボラン、クエン酸類、アルコール類、カルボン酸類、ケトン類、エーテル類、アルデヒド類およびエステル類等を還元剤として用いることができる。これらを二種類以上組み合わせて用いてもよい。クエン酸類としては、クエン酸や、クエン酸ナトリウム、クエン酸カリウムおよびクエン酸アンモニウム等のクエン酸塩が例示される。アルコール類としては、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、エチレングリコール、グリセリン等が例示される。カルボン酸類としては、ぎ酸、酢酸、フマル酸、リンゴ酸、コハク酸、アスパラギン酸、没食子酸、アスコルビン酸およびそれらのカルボン酸塩等が例示される。また、没食子酸と糖の脱水体であるタンニン酸も好適に用いられる。ケトン類としては、アセトン、メチルエチルケトン等が例示される。エーテル類としては、ジエチルエーテル等が例示される。アルデヒド類としては、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド等が例示される。エステル類としては、ぎ酸メチル、酢酸メチル、酢酸エチル等が例示される。これらの中でも、還元性が高く、取り扱いも容易な、水素化ホウ素ナトリウム、ジメチルアミンボラン、クエン酸ナトリウム、タンニン酸、没食子酸、アスコルビン酸およびその塩が特に好ましい。
必要に応じて、反応促進剤を溶媒に加えてもよい。例えば、炭酸カリウム等のアルカリ金属の炭酸塩類、炭酸水素ナトリウム等のアルカリ金属の炭酸水素塩類、水酸化リチウム等のアルカリ金属の水酸化塩類を用いてもよい。
以上のような方法によって、第1の金ナノ粒子および第2の金ナノ粒子がそれぞれ分散した分散液を調整し、その後、金が所定の重量比となるようにそれぞれの分散液を秤量して混合すれば、本実施形態の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を得ることができる。
本発明による導電性塗料組成物は、塗料としての使用に適している限りその形態に特に制限はなく、例えばペースト状、液状の組成物とするとよい。この組成物は、具体的には、導電性インク、導電性接着剤、等として使用できる。
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお以降の記載においては、体積の単位「リットル」を記号「L」で表すこととする。
(実施例1)
(1)第1の金ナノ粒子が分散した分散液の調製
0.4Mのテトラクロロ金(III)酸水素四水和物水溶液(三津和化学薬品株式会社製)0.96mLに超純水10mLを加え、室温で5分間撹拌した。そこに、トルエン(和光純薬工業株式会社製)24mLを加え10分間撹拌した。次に1−ブタンチオール(東京化成工業株式会社製)360mgとトルエン18mLの混合溶液を2.44mL加え10分間撹拌した。そこに、水素化ホウ素ナトリウム(キシダ化学株式会社製)0.1gと超純水14mLを混合した還元剤溶液を添加し、10分間撹拌した。最後に1−ブタンチオール360mgとトルエン18mLを混合した溶液を4.88mL加え30分間撹拌し、反応系上部の金ナノ粒子分散液のみを採取した。得られた金ナノ粒子分散液31mLにソルミックスAP7(日本アルコール販売株式会社製)79mLを添加した後、12時間保管して凝集させた。その後、凝集物を回収し、ソルミックスAP7で洗浄し、トルエン4mLを添加して、精製した金ナノ粒子分散液を得た。
(1)第1の金ナノ粒子が分散した分散液の調製
0.4Mのテトラクロロ金(III)酸水素四水和物水溶液(三津和化学薬品株式会社製)0.96mLに超純水10mLを加え、室温で5分間撹拌した。そこに、トルエン(和光純薬工業株式会社製)24mLを加え10分間撹拌した。次に1−ブタンチオール(東京化成工業株式会社製)360mgとトルエン18mLの混合溶液を2.44mL加え10分間撹拌した。そこに、水素化ホウ素ナトリウム(キシダ化学株式会社製)0.1gと超純水14mLを混合した還元剤溶液を添加し、10分間撹拌した。最後に1−ブタンチオール360mgとトルエン18mLを混合した溶液を4.88mL加え30分間撹拌し、反応系上部の金ナノ粒子分散液のみを採取した。得られた金ナノ粒子分散液31mLにソルミックスAP7(日本アルコール販売株式会社製)79mLを添加した後、12時間保管して凝集させた。その後、凝集物を回収し、ソルミックスAP7で洗浄し、トルエン4mLを添加して、精製した金ナノ粒子分散液を得た。
(2)第2の金ナノ粒子が分散した分散液の調製
0.4Mのテトラクロロ金(III)酸水素四水和物水溶液(三津和化学薬品株式会社製)0.96mLに超純水10mLを加え、室温で5分間撹拌した。そこに、トルエン(和光純薬工業株式会社製)24mLを加え10分間撹拌した。次に1−ブタンチオール(東京化成工業株式会社製)360mgとトルエン18mLの混合溶液を2.44mL加え10分間撹拌した。撹拌後、トルエン相のみを回収し、水素化ホウ素ナトリウム(キシダ化学株式会社製)0.1gを還元剤として添加し10分間撹拌した。最後に1−ブタンチオール360mgとトルエン18mLの混合溶液を4.88mL加え30分間撹拌し、反応系上部の金ナノ粒子分散液のみを採取した。
得られた金ナノ粒子分散液31mLにソルミックスAP7(日本アルコール販売株式会社製)79mLを添加した後、12時間保管して凝集させた。その後、凝集物を回収し、ソルミックスAP7で洗浄し、トルエン4mLを添加して、精製した金ナノ粒子分散液を得た。
0.4Mのテトラクロロ金(III)酸水素四水和物水溶液(三津和化学薬品株式会社製)0.96mLに超純水10mLを加え、室温で5分間撹拌した。そこに、トルエン(和光純薬工業株式会社製)24mLを加え10分間撹拌した。次に1−ブタンチオール(東京化成工業株式会社製)360mgとトルエン18mLの混合溶液を2.44mL加え10分間撹拌した。撹拌後、トルエン相のみを回収し、水素化ホウ素ナトリウム(キシダ化学株式会社製)0.1gを還元剤として添加し10分間撹拌した。最後に1−ブタンチオール360mgとトルエン18mLの混合溶液を4.88mL加え30分間撹拌し、反応系上部の金ナノ粒子分散液のみを採取した。
得られた金ナノ粒子分散液31mLにソルミックスAP7(日本アルコール販売株式会社製)79mLを添加した後、12時間保管して凝集させた。その後、凝集物を回収し、ソルミックスAP7で洗浄し、トルエン4mLを添加して、精製した金ナノ粒子分散液を得た。
(3)金ナノ粒子の粒径評価
透過型電子顕微鏡によって金ナノ粒子の粒径および個数を評価した。第1の金ナノ粒子の平均粒径が3.2nm、第2の金ナノ粒子の平均粒径が9.5nmであるという結果を得た。本実施例の第1の金ナノ粒子および第2の金ナノ粒子の粒径分布を表1および表2に示す。
透過型電子顕微鏡によって金ナノ粒子の粒径および個数を評価した。第1の金ナノ粒子の平均粒径が3.2nm、第2の金ナノ粒子の平均粒径が9.5nmであるという結果を得た。本実施例の第1の金ナノ粒子および第2の金ナノ粒子の粒径分布を表1および表2に示す。
(4)導電性被膜の作製と比抵抗の評価
第1の金ナノ粒子が分散した分散液(第1の分散液)と、第2の金ナノ粒子が分散した分散液(第2の分散液)とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:10になるようにそれぞれ秤量し、混合して導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を得た。これをガラスプレートの上に滴下し、室温で乾燥した後に焼成温度120℃、焼成時間1時間の条件で焼成して金の被膜を得た。三菱化学製ロレスタ抵抗率計を用いてこの被膜の面抵抗を測定した。また、キーエンス製簡易SEMを用いてこの被膜の断面を観察して膜厚を求めた。これらの数値を用いて導出した比抵抗(体積抵抗率)の値は11.7μΩ・cmであった。同様にして焼成温度190℃、240℃の場合の被膜についても比抵抗を評価した結果、焼成温度190℃、240℃の場合の比抵抗の値はそれぞれ10.1μΩ・cm、9.1μΩ・cmであった。
第1の金ナノ粒子が分散した分散液(第1の分散液)と、第2の金ナノ粒子が分散した分散液(第2の分散液)とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:10になるようにそれぞれ秤量し、混合して導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を得た。これをガラスプレートの上に滴下し、室温で乾燥した後に焼成温度120℃、焼成時間1時間の条件で焼成して金の被膜を得た。三菱化学製ロレスタ抵抗率計を用いてこの被膜の面抵抗を測定した。また、キーエンス製簡易SEMを用いてこの被膜の断面を観察して膜厚を求めた。これらの数値を用いて導出した比抵抗(体積抵抗率)の値は11.7μΩ・cmであった。同様にして焼成温度190℃、240℃の場合の被膜についても比抵抗を評価した結果、焼成温度190℃、240℃の場合の比抵抗の値はそれぞれ10.1μΩ・cm、9.1μΩ・cmであった。
(実施例2)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:9となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ8.8μΩ・cm、8.0μΩ・cm、7.1μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:9となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ8.8μΩ・cm、8.0μΩ・cm、7.1μΩ・cmであった。
(実施例3)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:8となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ7.3μΩ・cm、6.7μΩ・cm、6.1μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:8となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ7.3μΩ・cm、6.7μΩ・cm、6.1μΩ・cmであった。
(実施例4)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:7となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ8.2μΩ・cm、7.5μΩ・cm、6.7μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:7となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ8.2μΩ・cm、7.5μΩ・cm、6.7μΩ・cmであった。
(実施例5)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:6となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ8.5μΩ・cm、7.8μΩ・cm、6.7μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:6となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ8.5μΩ・cm、7.8μΩ・cm、6.7μΩ・cmであった。
(実施例6)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:5となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ8.7μΩ・cm、8.1μΩ・cm、7.2μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:5となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ8.7μΩ・cm、8.1μΩ・cm、7.2μΩ・cmであった。
(実施例7)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:4となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ9.4μΩ・cm、8.7μΩ・cm、7.8μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:4となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ9.4μΩ・cm、8.7μΩ・cm、7.8μΩ・cmであった。
(実施例8)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:3となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ12.6μΩ・cm、11.3μΩ・cm、9.9μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第2の金ナノ粒子との重量の比が1:3となるように混合した以外は実施例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製し、被膜の比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ12.6μΩ・cm、11.3μΩ・cm、9.9μΩ・cmであった。
(比較例1)
実施例1で用いた第1の金のナノ粒子が分散した分散液と、次に述べる手順で作製した第3の金ナノ粒子が分散した分散液とを用い、実施例1と同様に導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製した。
0.4Mのテトラクロロ金(III)酸水素四水和物水溶液(三津和化学薬品株式会社製)0.96mLに超純水10mLを加え、室温で5分間撹拌した。そこに、トルエン(和光純薬工業株式会社製)24mLを加え10分間撹拌した。次に1−ブタンチオール(東京化成工業株式会社製)360mgとトルエン18mLを混合した溶液を2.44mL加え10分間撹拌した。撹拌後、トルエン相のみを回収し、水素化ホウ素ナトリウム(キシダ化学株式会社製)0.1gを還元剤として添加して10分間撹拌した。最後に1−ブタンチオール360mgとトルエン18mLを混合した溶液を4.88mL加えて30分間撹拌し、反応系上部の金ナノ粒子分散液のみを採取した。
得られた金ナノ粒子分散液31mLにソルミックスAP7(日本アルコール販売株式会社製)79mLを添加した後、12時間保管し凝集させる。その後、凝集物を回収し、ソルミックスAP7で洗浄し、トルエン4mLを添加して精製した金ナノ粒子分散液を作製した。この分散液を第3の金ナノ粒子が分散した分散液とした。
実施例1で用いた第1の金のナノ粒子が分散した分散液と、次に述べる手順で作製した第3の金ナノ粒子が分散した分散液とを用い、実施例1と同様に導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製した。
0.4Mのテトラクロロ金(III)酸水素四水和物水溶液(三津和化学薬品株式会社製)0.96mLに超純水10mLを加え、室温で5分間撹拌した。そこに、トルエン(和光純薬工業株式会社製)24mLを加え10分間撹拌した。次に1−ブタンチオール(東京化成工業株式会社製)360mgとトルエン18mLを混合した溶液を2.44mL加え10分間撹拌した。撹拌後、トルエン相のみを回収し、水素化ホウ素ナトリウム(キシダ化学株式会社製)0.1gを還元剤として添加して10分間撹拌した。最後に1−ブタンチオール360mgとトルエン18mLを混合した溶液を4.88mL加えて30分間撹拌し、反応系上部の金ナノ粒子分散液のみを採取した。
得られた金ナノ粒子分散液31mLにソルミックスAP7(日本アルコール販売株式会社製)79mLを添加した後、12時間保管し凝集させる。その後、凝集物を回収し、ソルミックスAP7で洗浄し、トルエン4mLを添加して精製した金ナノ粒子分散液を作製した。この分散液を第3の金ナノ粒子が分散した分散液とした。
(粒径の評価)
実施例1と同様に金ナノ粒子の粒径を評価したところ、第3の金ナノ粒子は粒径範囲が7.5nm〜42.5nmで平均粒径19.5nmであるという結果を得た。この第3の金ナノ粒子の粒径分布を表3に示す。
実施例1と同様に金ナノ粒子の粒径を評価したところ、第3の金ナノ粒子は粒径範囲が7.5nm〜42.5nmで平均粒径19.5nmであるという結果を得た。この第3の金ナノ粒子の粒径分布を表3に示す。
(比抵抗の評価)
第1の金ナノ粒子が分散した分散液(第1の分散液)と、第3の金ナノ粒子が分散した分散液(第2の分散液)とを、第1の金ナノ粒子と第3の金ナノ粒子との重量の比が1:5になるようにそれぞれ秤量し、混合して導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製した。実施例1と同様にして被膜を作製し、焼成温度120℃の場合の比抵抗を評価した。焼成温度120℃の場合の比抵抗の値は16.4μΩ・cmであった。
第1の金ナノ粒子が分散した分散液(第1の分散液)と、第3の金ナノ粒子が分散した分散液(第2の分散液)とを、第1の金ナノ粒子と第3の金ナノ粒子との重量の比が1:5になるようにそれぞれ秤量し、混合して導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製した。実施例1と同様にして被膜を作製し、焼成温度120℃の場合の比抵抗を評価した。焼成温度120℃の場合の比抵抗の値は16.4μΩ・cmであった。
(比較例2)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第3の金ナノ粒子との重量の比が1:4となるように混合した以外は比較例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製した。比較例1と同様にして被膜を作製し、焼成温度120℃の場合の比抵抗を評価した。焼成温度120℃の場合の比抵抗の値は17.1μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第3の金ナノ粒子との重量の比が1:4となるように混合した以外は比較例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製した。比較例1と同様にして被膜を作製し、焼成温度120℃の場合の比抵抗を評価した。焼成温度120℃の場合の比抵抗の値は17.1μΩ・cmであった。
(比較例3)
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第3の金ナノ粒子との重量の比が1:3となるように混合した以外は比較例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製した。比較例1と同様にして被膜を作製し、焼成温度120℃の場合の比抵抗を評価した。焼成温度120℃の場合の比抵抗の値は18.4μΩ・cmであった。
第1の分散液と第2の分散液とを、第1の金ナノ粒子と第3の金ナノ粒子との重量の比が1:3となるように混合した以外は比較例1と同様にして、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液を作製した。比較例1と同様にして被膜を作製し、焼成温度120℃の場合の比抵抗を評価した。焼成温度120℃の場合の比抵抗の値は18.4μΩ・cmであった。
実施例1〜実施例8の比抵抗評価結果を表4に、比較例1〜3の比抵抗評価結果を表5にそれぞれまとめて示す。
(比較例4)
実施例1で作製した第1の金ナノ粒子が分散した分散液を用いて、実施例1と同様に被膜を作製して比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ9.4μΩ・cm、7.3μΩ・cm、6.5μΩ・cmであった。
実施例1で作製した第1の金ナノ粒子が分散した分散液を用いて、実施例1と同様に被膜を作製して比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ9.4μΩ・cm、7.3μΩ・cm、6.5μΩ・cmであった。
(比較例5)
実施例1で作製した第2の金ナノ粒子が分散した分散液を用いて、実施例1と同様に被膜を作製して比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ14.9μΩ・cm、11.8μΩ・cm、10.3μΩ・cmであった。
実施例1で作製した第2の金ナノ粒子が分散した分散液を用いて、実施例1と同様に被膜を作製して比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ14.9μΩ・cm、11.8μΩ・cm、10.3μΩ・cmであった。
(比較例6)
比較例1で作製した第3の金ナノ粒子が分散した分散液を用いて、比較例1と同様に被膜を作製して比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ20.2μΩ・cm、16.4μΩ・cm、15.2μΩ・cmであった。
比較例1で作製した第3の金ナノ粒子が分散した分散液を用いて、比較例1と同様に被膜を作製して比抵抗を評価した。焼成温度120℃、190℃、240℃の場合について、比抵抗の値はそれぞれ20.2μΩ・cm、16.4μΩ・cm、15.2μΩ・cmであった。
比較例4〜6の結果を、表6に示す。
比較例4で得られた分散液は、含まれる5nm未満の金ナノ粒子の比率は個数基準で95%と5nm未満の金ナノ粒子の比率が極めて高い、従来型の金ナノ粒子の分散液である。表6に示すように、この分散液を用いて作製した被膜の抵抗値は小さな値となった。しかし、比較例4のように、5nm未満の金ナノ粒子の比率が極めて高い分散液は、金ナノ粒子が凝集しやすく、実用性の観点からは問題がある。一方で、比較例5および6で得られた平均粒径の大きな分散液を用いると、比抵抗値の大きな被膜しか形成できない。
平均粒径3.2nmの第1の金ナノ粒子と平均粒径9.5nmの第2の金ナノ粒子とを含む導電性被膜用金ナノ粒子分散液を用いて作製した被膜(実施例1〜8)の比抵抗値は、比較例5の平均粒径9.5nmの分散液を用いて作製した被膜の比抵抗値より小さくなった。第1および第2の金ナノ粒子の混合比率によらずに、大小導電性粒子の混合の効果が表れたことが見て取れる。
実施例2〜6で得られた分散液中の粒径5nm未満の粒子の比率は個数基準で67〜77%であり、これらの分散液を120℃で焼成処理すると、比抵抗値の低い被膜が形成された。実施例2〜6の金ナノ粒子の平均粒径は、比較例4の平均粒径よりも大きいにもかかわらず、比較例4よりも小さな比抵抗値の被膜が得られたが、これは粒径が小さくなると比抵抗値が小さくなるという一般的な傾向からは想像できない効果である。さらに、実施例3では、低い焼成温度(120℃)における焼成処理のみならず、より高い温度(190℃、240℃)での焼成処理によっても、比較例4より比抵抗値の小さな被膜が得られた。
比較例1〜3において得られた分散液からは、比抵抗が小さい被膜が得られなかった。
本発明の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液は、低い焼成温度における焼成処理によって比抵抗の小さい導電性被膜を形成するために好ましく使用することができる。
Claims (4)
- 個数平均粒径が3.98〜5.24nmの範囲にあり、全個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比が65〜83%の範囲に、粒径5nm以上13nm未満の粒子の個数の比が16〜32%の範囲に、及び粒径13nm以上の粒子の個数の比が1〜3%の範囲にあり、粒径17nm以上の粒子を含まない、金ナノ粒子を含み、
保護剤として分子量146以下のチオール化合物を含む、
導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液。 - 前記個数平均粒径が4.41〜5.10nmの範囲にあり、前記金ナノ粒子における全個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比が67〜77%の範囲にあり、前記全個数に対する粒径5nm以上13nm未満の粒子の個数の比が21〜30%の範囲にある、請求項1に記載の導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液。
- 導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液の製造方法であって、
(i)個数平均粒径が5nm以下の金ナノ粒子を含む第1の分散液と、個数平均粒径が9〜20nmの金ナノ粒子を含む第2の分散液と、をそれぞれ調整する工程と、
(ii)個数平均粒径が3.98〜5.24nmの範囲にあり、全個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比が65〜83%の範囲に、粒径5nm以上13nm未満の粒子の個数の比が16〜32%の範囲に、及び粒径13nm以上の粒子の個数の比が1〜3%の範囲にある金ナノ粒子と、分子量146以下のチオール化合物である保護剤とを含む金ナノ粒子分散液が得られるように、前記第1の分散液と前記第2の分散液とを混合する工程と、
を含む、導電性被膜形成用金ナノ粒子分散液の製造方法。 - 個数平均粒径が3.98〜5.24nmの範囲にあり、全個数に対する粒径5nm未満の粒子の個数の比が65〜83%の範囲に、粒径5nm以上13nm未満の粒子の個数の比が16〜32%の範囲に、及び粒径13nm以上の粒子の個数の比が1〜3%の範囲にあり、粒径17nm以上の粒子を含まない、金ナノ粒子を含み、
保護剤として分子量146以下のチオール化合物を含む、
導電性塗料組成物。
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