JP2013171930A - 電子部品パッケージ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本電子部品パッケージは、第1の基板と、前記第1の基板に対向配置された第2の基板と、前記第2の基板の前記第1の基板側に実装された電子部品と、前記第1の基板及び前記第2の基板の各々の対向面間に、前記電子部品の外側を囲むように形成された接着剤と、前記接着剤の内側面を被覆する第1の金属膜と、を有し、前記電子部品は、前記第1の基板及び前記第2の基板の各々の対向面、並びに前記第1の金属膜により封止されている。
【選択図】図1
Description
[第1の実施の形態に係る電子部品パッケージの構造]
まず、第1の実施の形態に係る電子部品パッケージの構造について説明する。図1は、第1の実施の形態に係る電子部品パッケージを例示する図であり、(b)は平面図、(a)は(b)のA−A線に沿う断面図である。図2は、図1(a)の一部を拡大して例示する断面図である。なお、図1(b)において、第2の基板30、電子部品40、及び突起電極41は図示が省略されている。
次に、第1の実施の形態に係る電子部品パッケージの製造方法について説明する。図3〜図7は、第1の実施の形態に係る電子部品パッケージの製造工程を例示する図である。なお、各図において、Cは、最終的に個片化して複数の電子部品パッケージ10を作製する際の切断位置を示している。つまり、切断位置Cに囲まれた各領域が、最終的に個片化されて複数の電子部品パッケージ10となる。なお、実際には、所定幅のスクライブ領域(図示せず)が存在し、スクライブ領域(図示せず)の略中央部が切断位置Cとなる。
第1の実施の形態の変形例1では、第1の実施の形態よりも更に気密性を向上する例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第1の実施の形態の変形例2では、第1の実施の形態とは異なる位置に接着剤50及び無機膜51を形成する例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第1の実施の形態では接着剤の内側面を被覆するように無機膜を形成する例を示したが、第2の実施の形態では接着剤の内側面を被覆するように無機膜を形成すると共に、接着剤の外側面を被覆するように他の無機膜を形成する例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第2の実施の形態の変形例1では、第2の実施の形態とは形状の異なる開口部を有する接着剤を形成する例を示す。なお、第2の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第2の実施の形態の変形例2では、各導電接合部60の内側に枠状に形成した接着剤の内側面及び外側面に各々無機膜を形成する例を示す。なお、第2の実施の形態の変形例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第3の実施の形態では、ウェハレベルの電子部品をシリコンウェハに搭載後、個片化する例を示す。なお、第3の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
20、20A 第1の基板
21、31 基板本体
21a 基板本体21の一方の面
21b 基板本体21の他方の面
21x 貫通孔
21y、31y 凹部
22、23、32、33 パッド
24 貫通配線
25 配線パターン
30、30A、30B 第2の基板
31a 基板本体31の一方の面
34、51、53、55 無機膜
40 電子部品
41 突起電極
45 電子部品形成基板
50、52、54 接着剤
52x、54x 開口部
60 導電接合部
61 金属接合材
210、310、400 シリコンウェハ
210a シリコンウェハ210の一方の面
210b シリコンウェハ210の他方の面
310a シリコンウェハ310の一方の面
Claims (12)
- 第1の基板と、
前記第1の基板に対向配置された第2の基板と、
前記第2の基板の前記第1の基板側に実装された電子部品と、
前記第1の基板及び前記第2の基板の各々の対向面間に、前記電子部品の外側を囲むように形成された接着剤と、
前記接着剤の内側面を被覆する第1の金属膜と、を有し、
前記電子部品は、前記第1の基板及び前記第2の基板の各々の対向面、並びに前記第1の金属膜により封止されている電子部品パッケージ。 - 前記接着剤と前記第2の基板との間に前記第1の金属膜の一部が延在して形成されている請求項1記載の電子部品パッケージ。
- 前記接着剤の外側面を被覆する第2の金属膜を有し、
前記第2の金属膜は、前記接着剤の外側面から前記第1の基板の側面及び前記第2の基板の側面に延在している請求項1又は2記載の電子部品パッケージ。 - 前記第1の基板と前記第2の基板とは、導電接合部を介して電気的に接続されており、
前記導電接合部は、前記接着剤に形成された開口部内に配置されている請求項1乃至3の何れか一項記載の電子部品パッケージ。 - 前記第1の基板と前記第2の基板とは、導電接合部を介して電気的に接続されており、
前記導電接合部は、前記接着剤の外側面よりも外側に配置されている請求項1又は2記載の電子部品パッケージ。 - 前記接着剤の前記導電接合部側の面を被覆する第3の金属膜を有する請求項4又は5記載の電子部品パッケージ。
- 電子部品が形成された電子部品形成基板と、
前記電子部品形成基板の一方の側に対向配置された第1の基板と、
前記電子部品形成基板の他方の側に対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板又は前記第2の基板のうち一方の基板、及び前記電子部品形成基板の各々の対向面間に、前記電子部品の外側を囲むように形成された接着剤と、
前記接着剤の内側面を被覆する第1の金属膜と、を有し、
前記電子部品の前記一方の基板側は、前記一方の基板及び前記電子部品形成基板の各々の対向面、並びに前記第1の金属膜により封止されている電子部品パッケージ。 - 前記接着剤と前記一方の基板との間に前記第1の金属膜の一部が延在して形成されている請求項7記載の電子部品パッケージ。
- 前記接着剤の外側面を被覆する第2の金属膜を有し、
前記第2の金属膜は、前記接着剤の外側面から前記一方の基板の側面及び前記電子部品形成基板の側面に延在している請求項7又は8記載の電子部品パッケージ。 - 前記接着剤を介して対向する基板の各々の対向面のうち何れか一方の対向面には、前記電子部品の外側を囲むように第4の金属膜が形成されており、
前記第4の金属膜は、前記第1の金属膜と接している請求項1乃至9の何れか一項記載の電子部品パッケージ。 - 電子部品パッケージとなる複数の領域を備えた第1のウェハの各領域に枠状の接着剤を形成する工程と、
前記第1のウェハの各領域に形成された前記接着剤の内側面を第1の金属膜で被覆する工程と、
前記電子部品パッケージとなる複数の領域を備えた第2のウェハの各領域に電子部品を実装する工程と、
各々の前記電子部品が各々の前記接着剤の内側に配置されるように、前記第1のウェハと前記第2のウェハとを前記接着剤を介して接合し、各々の前記電子部品を前記第1のウェハ及び前記第2のウェハの各々の対向面、並びに前記第1の金属膜により封止する工程と、を有する電子部品パッケージの製造方法。 - 複数の電子部品が形成された電子部品形成ウェハを作製する工程と、
前記電子部品形成ウェハの一方の面又は他方の面の何れか一の面に、各々の前記電子部品の外側を囲むように接着剤を形成する工程と、
各々の前記接着剤の内側面を第1の金属膜で被覆する工程と、
前記電子部品形成ウェハの前記一の面の反対面に、電子部品パッケージとなる複数の領域を備えた第1のウェハを接合する工程と、
各々の前記電子部品が各々の前記接着剤の内側に配置されるように、前記電子部品形成ウェハの前記一の面に、前記電子部品パッケージとなる複数の領域を備えた第2のウェハを前記接着剤を介して接合し、各々の前記電子部品の前記第2のウェハ側を、前記第2のウェハ及び前記電子部品形成ウェハの各々の対向面、並びに前記第1の金属膜により封止する工程と、を有する電子部品パッケージの製造方法。
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