JP2013167019A - めっき浴および方法 - Google Patents
めっき浴および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013167019A JP2013167019A JP2013024017A JP2013024017A JP2013167019A JP 2013167019 A JP2013167019 A JP 2013167019A JP 2013024017 A JP2013024017 A JP 2013024017A JP 2013024017 A JP2013024017 A JP 2013024017A JP 2013167019 A JP2013167019 A JP 2013167019A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tin
- silver
- substituted
- composition
- mercapto
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/56—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
- C25D3/60—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys containing more than 50% by weight of tin
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/56—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/56—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
- C25D3/64—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys containing more than 50% by weight of silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
- C25D7/12—Semiconductors
- C25D7/123—Semiconductors first coated with a seed layer or a conductive layer
Abstract
【解決手段】水溶性二価スズイオン源、水溶性銀イオン源、水、酸電解質、およびアルコキシ化アミンオキシド界面活性剤を含む電気めっき浴。この浴は、低減された空隙形成および改良されたダイ内均一性を有するスズ−銀はんだ析出物を形成する。
【選択図】なし
Description
従来のスズ−銀電気めっき浴(比較1)が、米国特許第7,968,444号の実施例5に基づいて、メタンスルホン酸スズからの75g/Lのスズ、メタンスルホン酸銀からの0.4g/Lの銀、275mL/Lの70%メタンスルホン酸、2.7g/Lの3,6−ジチア−1,8−オクタンジオール、1g/Lのエチルマルトール、界面活性剤として4g/Lのエトキシ化ビスフェノールA(13エチレンオキシド単位)、50mg/Lのペンタヒドロキシフラボン、1g/Lのヒドロキノンモノスルホン酸カリウム塩、およびDI水(残部)を一緒にすることによって調製された。
NeXXめっきツールにおいて、比較1、比較2およびサンプル1の電気めっき浴をそれぞれ用いて、200mmのパターン形成されたシリコンウェハ上にSnAgはんだバンプが電気めっきされた。このパターン形成されたウェハは75μm直径のバイアおよび3つの異なるピッチサイズ(150、225および375μm)、3〜20%のめっき可能面積、75μmのネガティブドライフィルムレジスト高さ、および1kÅ Ti/3kÅ Cuのシードを有していた。5μmの高さの銅スタッドがUBM層として使用され、SnAgはんだバンプとウェハとの間の接着を増強させた。このウェハは素早い振動を伴って垂直めっきされた。白金めっきチタンが不溶性アノードとして使用され、12〜20Å/dm2の電流密度が使用された。
によって、ダイ内(within−die;WID)均一性(または、共平面性)を得た。共平面性の値(すなわち、ダイ内均一性)が小さくなるほど、SnAgはんだバンプがより均一になる。はんだバンプの均一性はウェハの部品の適切な取り付けを確実にするのに重要である。
75g/Lのメタンスルホン酸スズ、275mL/Lのメタンスルホン酸、0.7g/Lのメタンスルホン酸銀、1.5g/Lの4−メチル−1,2,4−トリアゾール−3−チオール(メルカプト置換窒素含有複素環化合物)、5g/Lの界面活性剤、10mL/Lのペンタヒドロキシフラボン、1g/Lの2,5−ジヒドロキシベンゼンスルホン酸カリウム塩(酸化防止剤)および水(残部)を一緒にすることによって、一連の電気めっき浴が調製された。それぞれの電気めっき浴に使用された界面活性剤は以下に報告される。
75g/Lのメタンスルホン酸スズ、275mL/Lのメタンスルホン酸、0.7g/Lのメタンスルホン酸銀、1.5g/Lの1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプト−1,2,3,4−テトラゾール(メルカプト置換窒素含有複素環化合物)、20g/Lの(実施例1からの)サンプル1で使用されたアルコキシ化アミンオキシド界面活性剤、10mL/Lのペンタヒドロキシフラボン、1g/Lの2,5−ジヒドロキシベンゼンスルホン酸カリウム塩(酸化防止剤)および水(残部)を一緒にすることによって、電気めっき浴(サンプル3)が調製された。
以下の電気めっき浴(サンプル4)を用いて実施例3の手順が繰り返される:70g/Lのメタンスルホン酸スズ、255mL/Lのメタンスルホン酸、0.8g/Lのメタンスルホン酸銀、1.2g/Lの1H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール(メルカプト置換窒素含有複素環化合物)、10g/Lの(実施例1からの)サンプル1で使用されたアルコキシ化アミンオキシド界面活性剤、10mL/Lのペンタヒドロキシフラボン、1g/Lの2,5−ジヒドロキシベンゼンスルホン酸カリウム塩(酸化防止剤)および水(残部)。
以下の電気めっき浴(サンプル5)を用いて実施例3の手順が繰り返される:75g/Lのメタンスルホン酸スズ、275mL/Lのメタンスルホン酸、0.65g/Lのメタンスルホン酸銀、2.5g/Lの1H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール(メルカプト置換窒素含有複素環化合物)、15g/Lのビス−(2−ヒドロキシエチル)−イソデシルオキシプロピルアミンオキシド界面活性剤(トマミンAO−14−2)、12mL/Lのペンタヒドロキシフラボン、1g/Lの2,5−ジヒドロキシベンゼンスルホン酸カリウム塩(酸化防止剤)および水(残部)。
以下の電気めっき浴(サンプル6)を用いて実施例3の手順が繰り返される:75g/Lのメタンスルホン酸スズ、325mL/Lのメタンスルホン酸、0.6g/Lのメタンスルホン酸銀、3.0g/Lの5−フェニル−1H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール(メルカプト置換窒素含有複素環化合物)、10g/Lのアルコキシ化アミンオキシド界面活性剤(トマミンAO−405)、5mL/Lの没食子酸、1g/Lの2,5−ジヒドロキシベンゼンスルホン酸カリウム塩(酸化防止剤)および水(残部)。
75g/Lのメタンスルホン酸スズ、125mL/Lのメタンスルホン酸、0.7g/Lのメタンスルホン酸銀、2.2g/Lの4−メチル−1,2,4−トリアゾール−3−チオール(メルカプト置換窒素含有複素環化合物)、20g/Lの(実施例1からの)サンプル1で使用されたアルコキシ化アミンオキシド界面活性剤、10mL/Lのペンタヒドロキシフラボン、1g/Lの2,5−ジヒドロキシベンゼンスルホン酸カリウム塩(酸化防止剤)および水(残部)を一緒にすることによって、電気めっき浴(サンプル7)が調製された。
75g/Lのメタンスルホン酸スズ、125mL/Lのメタンスルホン酸、0.6g/Lのメタンスルホン酸銀、5g/Lの(実施例1からの)サンプル1で使用されたアルコキシ化アミンオキシド界面活性剤、12mL/Lのペンタヒドロキシフラボン、1g/Lの2,5−ジヒドロキシベンゼンスルホン酸カリウム塩(酸化防止剤)および水(残部)を一緒にすることによって、一連のスズ−銀電気めっき浴が調製された。それぞれの電気めっき浴は銀に対するモル比に基づいて様々な量の4−メチル−1,2,4−トリアゾール−3−チオール(MTT)(メルカプト置換窒素含有複素環化合物)も含んでいた。サンプル8〜12のそれぞれのAg:MTTのモル比は以下に報告される。
Claims (10)
- 水溶性二価スズイオン源、水溶性銀イオン源、水、酸電解質、およびアルコキシ化アミンオキシド界面活性剤を含む電気めっき組成物。
- 前記アルコキシ化単位がエチレンオキシ、プロピレンオキシ、ブチレンオキシおよびこれらの混合から選択される請求項2に記載の組成物。
- RcおよびRdがそれぞれエチレンオキシ単位、プロピレンオキシ単位およびこれらの混合から選択される請求項2に記載の組成物。
- m=0である請求項2に記載の組成物。
- メルカプト置換窒素含有複素環化合物をさらに含む請求項1に記載の組成物。
- 前記メルカプト置換窒素含有複素環化合物が、ピリジン、ピロール、イミダゾール、ベンゾイミダゾール、プリン、チアゾリン、テトラゾール、トリアゾール、チアジアゾールおよびピリミジンから選択される窒素含有複素環を含む請求項6に記載の組成物。
- 前記メルカプト置換窒素含有複素環化合物が下記構造(I)
を有する、請求項6に記載の組成物。 - Aがテトラゾールまたはトリアゾール環を形成する部分を表す請求項8に記載の組成物。
- 請求項1の組成物を基体と接触させ:
一定時間電位を適用して、前記基体上にスズ−銀含有層を析出させる;
ことを含む、スズ−銀層を析出させる方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/370,181 US8888984B2 (en) | 2012-02-09 | 2012-02-09 | Plating bath and method |
US13/370,181 | 2012-02-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013167019A true JP2013167019A (ja) | 2013-08-29 |
JP6175245B2 JP6175245B2 (ja) | 2017-08-02 |
Family
ID=47681781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013024017A Active JP6175245B2 (ja) | 2012-02-09 | 2013-02-12 | めっき浴および方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8888984B2 (ja) |
EP (1) | EP2626449B1 (ja) |
JP (1) | JP6175245B2 (ja) |
KR (1) | KR102078045B1 (ja) |
CN (1) | CN103361685B (ja) |
TW (1) | TWI467066B (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150051927A (ko) * | 2013-11-05 | 2015-05-13 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 도금조 및 방법 |
JP2015092021A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-14 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | めっき浴および方法 |
JP2015158012A (ja) * | 2014-02-21 | 2015-09-03 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | シアン化物非含有酸性つや消し銀電気めっき組成物および方法 |
JP2016074979A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-12 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | 銅(i)イオンに基づくホワイトブロンズ用のシアン化物非含有電気めっき浴 |
WO2017115701A1 (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 三菱マテリアル株式会社 | SnAg合金めっき液 |
JP2018012887A (ja) * | 2016-07-18 | 2018-01-25 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | アミン化合物を含有するインジウム電気めっき組成物及びインジウムを電気めっきする方法 |
KR20180083429A (ko) * | 2015-12-28 | 2018-07-20 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | SnAg 합금 도금액 |
JP2019137896A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 三菱マテリアル株式会社 | SnAg合金めっき液 |
JP2021091959A (ja) * | 2019-12-10 | 2021-06-17 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | 酸性水性二成分銀−ビスマス合金電気めっき組成物及び方法 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6145671B2 (ja) * | 2012-12-24 | 2017-06-14 | 石原ケミカル株式会社 | スズ又はスズ合金メッキ浴及び当該メッキ浴を用いて皮膜形成した電子部品 |
US9512529B2 (en) * | 2013-06-04 | 2016-12-06 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Electroplating baths of silver and tin alloys |
US8877630B1 (en) * | 2013-11-12 | 2014-11-04 | Chipmos Technologies Inc. | Semiconductor structure having a silver alloy bump body and manufacturing method thereof |
US9368340B2 (en) * | 2014-06-02 | 2016-06-14 | Lam Research Corporation | Metallization of the wafer edge for optimized electroplating performance on resistive substrates |
CN104593835B (zh) * | 2015-02-04 | 2017-10-24 | 广东羚光新材料股份有限公司 | 用于片式元器件端电极电镀的中性镀锡液 |
CN105038481A (zh) * | 2015-07-11 | 2015-11-11 | 合肥正浩机械科技有限公司 | 一种润滑型金属表面处理剂及其制备方法 |
JP6790075B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2020-11-25 | アトテツク・ドイチユラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングAtotech Deutschland GmbH | 水性銅めっき浴および基板上での銅または銅合金の析出方法 |
CN106757213A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-05-31 | 惠州市力道电子材料有限公司 | 一种无氰镀银锡合金的电镀液及其电镀方法 |
WO2018122058A1 (en) | 2016-12-28 | 2018-07-05 | Atotech Deutschland Gmbh | Tin plating bath and a method for depositing tin or tin alloy onto a surface of a substrate |
CN107675209A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-02-09 | 江西理工大学 | 一种绿色环保锡电解精炼电解液 |
CN108251869B (zh) * | 2018-04-19 | 2019-08-02 | 广东光华科技股份有限公司 | 镀锡液及其制备方法与应用 |
CN112135929B (zh) * | 2018-04-20 | 2023-12-15 | 巴斯夫欧洲公司 | 包含抑制剂的用于锡或锡合金电镀的组合物 |
US11035050B2 (en) * | 2018-10-23 | 2021-06-15 | Soulbrain Co., Ltd. | Electroplating composition and electroplating method |
JP2022549593A (ja) | 2019-09-16 | 2022-11-28 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | 錯化剤を含む、スズ-銀合金電気めっきするための組成物 |
CN112517859B (zh) * | 2020-11-24 | 2022-07-19 | 太仓史密斯理查森精密制造有限公司 | 一种用于芯撑的环保抗变色耐腐蚀镀锡制备工艺 |
KR102389089B1 (ko) * | 2021-11-15 | 2022-04-22 | 주식회사 호진플라텍 | 웨이퍼 범프의 두께편차가 개선된 주석 또는 주석 합금의 전기 도금액 |
CN115029745A (zh) * | 2022-07-08 | 2022-09-09 | 云南锡业集团(控股)有限责任公司研发中心 | 一种可减少元件镀层工艺步骤并提升焊点可靠性的方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09143786A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-06-03 | Ebara Yuujiraito Kk | 銀および銀合金めっき浴 |
JP2001164396A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-06-19 | Ishihara Chem Co Ltd | スズ−銅含有合金メッキ浴、スズ−銅含有合金メッキ方法及びスズ−銅含有合金メッキ皮膜が形成された物品 |
JP2009299123A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 電気錫めっき液および電気錫めっき方法 |
JP2010189753A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Daiwa Fine Chemicals Co Ltd (Laboratory) | めっき浴及びそれを用いためっき方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4246077A (en) | 1975-03-12 | 1981-01-20 | Technic, Inc. | Non-cyanide bright silver electroplating bath therefor, silver compounds and method of making silver compounds |
US4871429A (en) | 1981-09-11 | 1989-10-03 | Learonal, Inc | Limiting tin sludge formation in tin or tin/lead electroplating solutions |
US4582576A (en) | 1985-03-26 | 1986-04-15 | Mcgean-Rohco, Inc. | Plating bath and method for electroplating tin and/or lead |
DE3542970A1 (de) * | 1985-12-05 | 1987-06-11 | Benckiser Gmbh Joh A | Fluessige sanitaerreinigungs- und entkalkungsmittel und verfahren zu deren herstellung |
US6245728B1 (en) * | 1996-10-17 | 2001-06-12 | The Clorox Company | Low odor, hard surface cleaner with enhanced soil removal |
US6099713A (en) | 1996-11-25 | 2000-08-08 | C. Uyemura & Co., Ltd. | Tin-silver alloy electroplating bath and tin-silver alloy electroplating process |
JP3301707B2 (ja) * | 1997-01-20 | 2002-07-15 | ディップソール株式会社 | 錫−銀合金酸性電気めっき浴 |
US5972875A (en) * | 1997-04-23 | 1999-10-26 | Crutcher; Terry | Low-foaming amine oxide surfactant concentrate and method of manufacture |
US6210556B1 (en) | 1998-02-12 | 2001-04-03 | Learonal, Inc. | Electrolyte and tin-silver electroplating process |
JP4186029B2 (ja) | 1998-10-05 | 2008-11-26 | 石原薬品株式会社 | 銅箔基材上のスズ又はスズ合金メッキ皮膜における異常結晶析出防止剤並びに当該防止方法 |
JP3632499B2 (ja) | 1999-05-19 | 2005-03-23 | ユケン工業株式会社 | 錫−銀系合金電気めっき浴 |
US7628903B1 (en) | 2000-05-02 | 2009-12-08 | Ishihara Chemical Co., Ltd. | Silver and silver alloy plating bath |
DE10026680C1 (de) | 2000-05-30 | 2002-02-21 | Schloetter Fa Dr Ing Max | Elektrolyt und Verfahren zur Abscheidung von Zinn-Silber-Legierungsschichten und Verwendung des Elektrolyten |
JP4698904B2 (ja) | 2001-09-20 | 2011-06-08 | 株式会社大和化成研究所 | 錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品 |
US7122108B2 (en) | 2001-10-24 | 2006-10-17 | Shipley Company, L.L.C. | Tin-silver electrolyte |
JP4142312B2 (ja) | 2002-02-28 | 2008-09-03 | ハリマ化成株式会社 | 析出型はんだ組成物及びはんだ析出方法 |
JP5558675B2 (ja) * | 2007-04-03 | 2014-07-23 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | 金属メッキ組成物 |
JP5642928B2 (ja) | 2007-12-12 | 2014-12-17 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | 青銅の電気めっき |
EP2221396A1 (en) | 2008-12-31 | 2010-08-25 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Lead-Free Tin Alloy Electroplating Compositions and Methods |
CN102517615A (zh) * | 2011-12-19 | 2012-06-27 | 张家港舒马克电梯安装维修服务有限公司镀锌分公司 | 一种Sn-Ag合金电镀液 |
-
2012
- 2012-02-09 US US13/370,181 patent/US8888984B2/en active Active
-
2013
- 2013-02-08 TW TW102105709A patent/TWI467066B/zh active
- 2013-02-08 EP EP13154634.3A patent/EP2626449B1/en active Active
- 2013-02-12 JP JP2013024017A patent/JP6175245B2/ja active Active
- 2013-02-12 KR KR1020130015062A patent/KR102078045B1/ko active IP Right Grant
- 2013-02-16 CN CN201310192370.5A patent/CN103361685B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09143786A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-06-03 | Ebara Yuujiraito Kk | 銀および銀合金めっき浴 |
JP2001164396A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-06-19 | Ishihara Chem Co Ltd | スズ−銅含有合金メッキ浴、スズ−銅含有合金メッキ方法及びスズ−銅含有合金メッキ皮膜が形成された物品 |
JP2009299123A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 電気錫めっき液および電気錫めっき方法 |
JP2010189753A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Daiwa Fine Chemicals Co Ltd (Laboratory) | めっき浴及びそれを用いためっき方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015092022A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-14 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | めっき浴および方法 |
JP2015092021A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-14 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | めっき浴および方法 |
KR20150051927A (ko) * | 2013-11-05 | 2015-05-13 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 도금조 및 방법 |
KR102454558B1 (ko) * | 2013-11-05 | 2022-10-13 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 도금조 및 방법 |
JP2015158012A (ja) * | 2014-02-21 | 2015-09-03 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | シアン化物非含有酸性つや消し銀電気めっき組成物および方法 |
JP2016074979A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-12 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | 銅(i)イオンに基づくホワイトブロンズ用のシアン化物非含有電気めっき浴 |
US10612150B2 (en) | 2015-12-28 | 2020-04-07 | Mitsubishi Materials Corporation | SnAg alloy plating solution |
WO2017115701A1 (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 三菱マテリアル株式会社 | SnAg合金めっき液 |
KR20180083429A (ko) * | 2015-12-28 | 2018-07-20 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | SnAg 합금 도금액 |
KR101972289B1 (ko) | 2015-12-28 | 2019-04-24 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | SnAg 합금 도금액 |
JP2018012887A (ja) * | 2016-07-18 | 2018-01-25 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | アミン化合物を含有するインジウム電気めっき組成物及びインジウムを電気めっきする方法 |
JP2019137896A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 三菱マテリアル株式会社 | SnAg合金めっき液 |
JP2021091959A (ja) * | 2019-12-10 | 2021-06-17 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | 酸性水性二成分銀−ビスマス合金電気めっき組成物及び方法 |
JP7068424B2 (ja) | 2019-12-10 | 2022-05-16 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー | 酸性水性二成分銀-ビスマス合金電気めっき組成物及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI467066B (zh) | 2015-01-01 |
KR102078045B1 (ko) | 2020-02-17 |
JP6175245B2 (ja) | 2017-08-02 |
CN103361685A (zh) | 2013-10-23 |
EP2626449A3 (en) | 2017-08-16 |
CN103361685B (zh) | 2016-09-07 |
EP2626449B1 (en) | 2019-03-27 |
EP2626449A2 (en) | 2013-08-14 |
US8888984B2 (en) | 2014-11-18 |
KR20130092515A (ko) | 2013-08-20 |
TW201402879A (zh) | 2014-01-16 |
US20130206602A1 (en) | 2013-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6175245B2 (ja) | めっき浴および方法 | |
JP6169211B2 (ja) | 鉛を含まないスズ合金電気めっき組成物および方法 | |
JP6141664B2 (ja) | めっき浴および方法 | |
JP6482822B2 (ja) | めっき浴および方法 | |
JP4758614B2 (ja) | 電気めっき組成物および方法 | |
TW201533278A (zh) | 鍍覆浴及方法 | |
JP2024500793A (ja) | スズ又はスズ合金電気めっきするための、平滑化剤を含む組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170327 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170703 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170710 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6175245 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |