JP2013162070A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パワーデバイスチップとリードフレームとの接合部での熱抵抗を小さくできると共に、パワーデバイスチップへの接着剤の這い上がりを確実に防ぐことができる半導体装置および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】リードフレームと、リードフレームのダイパッド1に搭載されたパワーデバイスチップ40と、リードフレームとパワーデバイスチップ40とを電気的に接続する金属配線50とを備える。ダイパッド1上に、パワーデバイスチップ40の接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部20を形成する。そして、パワーデバイスチップ40の接着面とリードフレームの凸状搭載部20の搭載面とを対向させて接着剤30で固定する。
【選択図】図2
【解決手段】リードフレームと、リードフレームのダイパッド1に搭載されたパワーデバイスチップ40と、リードフレームとパワーデバイスチップ40とを電気的に接続する金属配線50とを備える。ダイパッド1上に、パワーデバイスチップ40の接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部20を形成する。そして、パワーデバイスチップ40の接着面とリードフレームの凸状搭載部20の搭載面とを対向させて接着剤30で固定する。
【選択図】図2
Description
この発明は、半導体装置および半導体装置の製造方法に関し、詳しくは、パワーデバイスチップがリードフレームに搭載された半導体装置および半導体装置の製造方法に関する。
従来、半導体装置としては、基板主面の搭載部に形成された凹部に、半導体素子を接合する接着剤を注入し、半導体素子を搭載部に搭載したときに凹部の端部が半導体素子よりはみ出すようにしたものがある(例えば、特開2008−98262号公報(特許文献1)参照)。上記半導体装置では、搭載部に半導体素子を搭載したときに、搭載部に形成された凹部の一部が半導体素子より外側にはみ出すことにより、注入した接着剤が多くても余分な接着剤がはみ出した凹部から流出するようにしている。
しかしながら、上記半導体装置では、接着剤を半導体素子全面につけることができないため、熱抵抗が大きくなるという問題がある。また、上記半導体装置では、接着剤が注入される凹部よりも半導体素子が大きいため、常に接着剤をはみ出すように凹部に充填して、半導体素子が接着剤と確実に接合するようにしている。このため、上記半導体装置では、凹部の開口から接着剤がはみ出して、半導体素子であるチップへの這い上がりが大きくなるという問題がある。
そこで、この発明の課題は、パワーデバイスチップとリードフレームとの接合部での熱抵抗を小さくできると共に、パワーデバイスチップへの接着剤の這い上がりを確実に防ぐことができる半導体装置および半導体装置の製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明の半導体装置は、
リードフレームと、
上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、
上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線と
を備え、
上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、
上記パワーデバイスチップの接着面と上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面とを対向させて接着剤で固定していることを特徴とする。
リードフレームと、
上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、
上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線と
を備え、
上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、
上記パワーデバイスチップの接着面と上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面とを対向させて接着剤で固定していることを特徴とする。
ここで、「同一形状」とは、形と大きさがほぼ同じことをいう。
上記構成によれば、パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部にパワーデバイスチップを搭載するため、パワーデバイスチップの接着面と凸状搭載部の搭載面との間の接着剤の量が少なくても、接合時に接着剤を押し広げて、パワーデバイスチップの接着面の全面で凸状搭載部と接合するので、少ない接着剤でパワーデバイスチップとリードフレームとの接合面積を確保して熱抵抗を小さくできる。また、パワーデバイスチップの接着面と凸状搭載部の搭載面との間から余分な接着剤がはみ出しても、凸状搭載部の側面から下方に落ちるため、パワーデバイスチップへの接着剤の這い上がりを確実に防ぐことができる。
また、一実施形態の半導体装置では、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の側面は、上記凸状搭載部の搭載面側から上記ダイパッドの平面に向かって広がるように傾斜している。
上記リードフレームの上記凸状搭載部の側面は、上記凸状搭載部の搭載面側から上記ダイパッドの平面に向かって広がるように傾斜している。
上記実施形態によれば、リードフレームの凸状搭載部の側面が、凸状搭載部の搭載面側からダイパッドの平面に向かって広がるように傾斜しているので、凸状搭載部のダイパッドの平面に平行な切断面の面積がダイパッド側に向かって徐々に広くなり、凸状搭載部の熱抵抗をより低くできる。
また、一実施形態の半導体装置では、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の側面と上記ダイパッドの平面とのなす角度は45度以下である。
上記リードフレームの上記凸状搭載部の側面と上記ダイパッドの平面とのなす角度は45度以下である。
上記実施形態によれば、リードフレームの凸状搭載部の側面とダイパッドの平面とのなす角度を45度以下とすることによって、凸状搭載部の熱抵抗をさらに低くできる。
また、この発明の半導体装置の製造方法では、
リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤をディスペンスノズルにより塗布する塗布工程を有し、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面の上記ダイパッドの平面に対する高さを上記ディスペンスノズルの径よりも大きくしていることを特徴とする。
リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤をディスペンスノズルにより塗布する塗布工程を有し、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面の上記ダイパッドの平面に対する高さを上記ディスペンスノズルの径よりも大きくしていることを特徴とする。
上記構成によれば、リードフレームの凸状搭載部の搭載面のダイパッドの平面に対する高さをディスペンスノズルの径よりも大きくすることによって、パワーデバイスチップの接着面と凸状搭載部の搭載面との間の接着剤が接合時に押し広げられて、余分な接着剤がはみ出しても、凸状搭載部の側面から下方に落ちるため、パワーデバイスチップへの接着剤の這い上がりを確実に防ぐことができる。
また、この発明の半導体装置の製造方法では、
リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤をディスペンスノズルにより塗布する塗布工程を有し、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面の上記ダイパッドの平面に対する高さを、上記ディスペンスノズルにより塗布される上記接着剤の厚さよりも高くしていることを特徴とする。
リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤をディスペンスノズルにより塗布する塗布工程を有し、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面の上記ダイパッドの平面に対する高さを、上記ディスペンスノズルにより塗布される上記接着剤の厚さよりも高くしていることを特徴とする。
上記構成によれば、リードフレームの凸状搭載部の搭載面のダイパッドの平面に対する高さを、ディスペンスノズルにより塗布される接着剤の厚さよりも高くすることによって、パワーデバイスチップの接着面と凸状搭載部の搭載面との間の接着剤が接合時に押し広げられて、余分な接着剤がはみ出しても、凸状搭載部の側面から下方に落ちるため、パワーデバイスチップへの接着剤の這い上がりを確実に防ぐことができる。
また、この発明の半導体装置の製造方法では、
リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤を塗布する塗布工程と、
上記接着剤が塗布された上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記パワーデバイスチップを搭載する搭載工程と
を有し、
上記搭載工程において、上記パワーデバイスチップの接着面と上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面との間の上記接着剤の厚さが予め設定された厚さになるように、上記パワーデバイスチップを上記リードフレームの上記凸状搭載部に押し付ける圧力とその圧力による押し付け時間とを調整することを特徴とする。
リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤を塗布する塗布工程と、
上記接着剤が塗布された上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記パワーデバイスチップを搭載する搭載工程と
を有し、
上記搭載工程において、上記パワーデバイスチップの接着面と上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面との間の上記接着剤の厚さが予め設定された厚さになるように、上記パワーデバイスチップを上記リードフレームの上記凸状搭載部に押し付ける圧力とその圧力による押し付け時間とを調整することを特徴とする。
上記構成によれば、搭載工程において、パワーデバイスチップをリードフレームの凸状搭載部に押し付ける圧力とその圧力による押し付け時間とを調整して、パワーデバイスチップとリードフレームの凸状搭載部の搭載面との間の接着剤の厚さが予め設定された厚さにすることによって、接着剤を必要な厚さにコントロールすることが容易にできる。したがって、熱膨張の影響を抑制できるように接着剤の厚さを薄さにすることが可能になると共に、接着剤を薄くすることで熱抵抗を小さくでき、高い放熱特性が得られる。
以上より明らかなように、この発明によれば、パワーデバイスチップとリードフレームとの接合部での熱抵抗を小さくできると共に、パワーデバイスチップへの接着剤の這い上がりを確実に防ぐことができる半導体装置および半導体装置の製造方法を実現することにある。
以下、この発明の半導体装置および半導体装置の製造方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。
〔第1実施形態〕
図1はこの発明の第1実施形態の半導体装置の要部の平面図を示している。
図1はこの発明の第1実施形態の半導体装置の要部の平面図を示している。
この第1実施形態の半導体装置は、図1に示すように、半導体素子としてのパワーデバイスチップ40が搭載されたダイパッド1と、ダイパッド1から延びたリード2と、ダイパッド1と離間して設けられたリード3,4とを備えている。上記ダイパッド1とリード2,3,4でリードフレーム10を構成している。なお、リードフレームの構成はこれに限らない。
ここで、リードフレーム10は、Cu合金系素材、鉄合金系素材、その他の機械的強度、電気伝導度、熱伝導度、耐食性などの優れた金属材料からなる。
また、図2は図1のII−II線から見た断面模式図を示しており、ダイパッド1上に、パワーデバイスチップ40の接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部20を形成している。
上記パワーデバイスチップ40の接着面と凸状搭載部20の搭載面とを対向させて接着剤30で固定している。また、上記リードフレーム10のリード3,4(図1に示す)とパワーデバイスチップ40とを金属配線50を介して電気的に接続している。また、図示しないが、ダイパッド1とパワーデバイスチップ40とを金属配線を介して電気的に接続している。
上記凸状搭載部20の縦断面の形状は矩形である。なお、凸状搭載部20は、平板形状のダイパッドに型を押し当てて形成したり、エッチング加工などを用いて形成したりする。また、マスクを用いて、ダイパッド上に金属を蒸着またはスパッタリングにより形成してもよい。
また、上記接着剤30にAgペーストを用いたが、他の導電性や熱伝導性を有する接着剤でもよい。
上記構成の半導体装置によれば、ダイパッド1に形成された凸状搭載部20は、パワーデバイスチップ40と同一形状(形と大きさが同じ)になっているため、凸状搭載部20にパワーデバイスチップ40を搭載することにより、パワーデバイスチップ40の接着面全面で接合でき、接着剤30の量が多かったとしても、余分な接着剤30が凸状搭載部20の外にはみ出す。このため、凸状搭載部20の周りに流出し、凸状搭載部20の側面から下方に落ちるので、パワーデバイスチップ40への這い上がりを防ぐことができる。
したがって、少ない量の接着剤30でパワーデバイスチップ40とリードフレーム10との接合面積を確保でき、パワーデバイスチップ40とリードフレーム10との接合部での熱抵抗を小さくすることができると共に、パワーデバイスチップ40への接着剤30の這い上がりを確実に防ぐことができる。
特に、放熱量の多いパワーデバイスでは、パワーデバイスチップ40とリードフレーム10との接合面積を確保することにより熱抵抗を小さくして、放熱特性を良好にすることが重要である。
従来、チップへの接着剤の這い上がりを防ぐために、ダイパッドのチップ搭載部の周りに溝を形成した半導体装置がある(例えば、特開平1−309336号公報参照)。
しかしながら、上記従来の半導体装置では、溝の部分にワイヤボンディングツールが入らないためにワイヤボンディングができず、溝の外側にワイヤボンディングしなければならないので、ワイヤが長くなってワイヤの抵抗やリアクタンス成分が増加し、接着剤が溝の部分で厚くなって熱抵抗が大きくなるという問題があった。
これに対して、この発明の第1実施形態の半導体装置では、凸状搭載部20の周りに溝を設けていないので、ワイヤが長くなってワイヤの抵抗やリアクタンス成分が増加することがなく、また、接着剤30が部分的に厚くなることもないため、熱抵抗の大きい接着剤30の厚みを抑えられる。
図3は上記半導体装置のリードフレーム10のダイパッド1に形成された凸状搭載部20の搭載面に接着剤30を塗布するときの要部の断面模式図を示し、図4は凸状搭載部20の搭載面に接着剤30を介してパワーデバイスチップ40を実装した要部の断面模式図を示している。
この半導体装置の製造方法では、図3に示すように、ダイパッド1に形成された凸状搭載部20の搭載面に接着剤30をディスペンスノズル60により塗布する塗布工程と、図4に示すように、接着剤30が塗布されたダイパッド1の凸状搭載部20の搭載面にパワーデバイスチップ40を搭載する搭載工程とを有する。
上記ダイパッド1の凸状搭載部20の搭載面のダイパッド1の平面に対する高さh1をディスペンスノズル60により塗布される接着剤30の厚さh2よりも高くしている。あるいは、ディスペンスノズル60の吐出口が円形である場合は、ダイパッド1の凸状搭載部20の搭載面のダイパッド1の平面に対する高さh1をディスペンスノズル60の径よりも大きくしてもよい。
上記ダイパッド1の凸状搭載部20の搭載面のダイパッド1の平面に対する高さをディスペンスノズル50の吐出口の径よりも大きくすることによって、パワーデバイスチップ40の接着面と凸状搭載部20の搭載面との間の接着剤30が接合時に押し広げられて、余分な接着剤30がはみ出しても、凸状搭載部20の側面から下方に落ちるため、パワーデバイスチップ40への接着剤30の這い上がりを確実に防ぐことができる。
上記構成の半導体装置によれば、接着剤30の塗布量を多くしてもパワーデバイスチップ40への接着剤30の這い上がりを防止でき、接着剤30の厚みも薄くできるので、熱抵抗を低くでき、パワーデバイスチップ40の接着面全面から放熱できる。
従来のハンダ材料では、接着剤に比べて硬いため、厚みを100μm以上確保することによって、リードフレームとパワーデバイスチップの熱膨張による割れ等を回避している。しかし、Agペーストなどの接着剤は樹脂が含まれており、ハンダ剤よりも柔軟性があるため、厚みを薄くしても熱膨張による影響を回避できる。
また、上記第1実施形態に用いる接着剤30の熱伝導率が25W/mKでも、接着剤30の厚みを50μmにすることで、これまでのハンダ材料(Pbリッチ品30W/mK、100μmとした場合)よりも放熱特性を向上できる。
図5は上記パワーデバイスチップの実装時の加圧力と接着剤の厚さとの関係を示している。このときのパワーデバイスチップの接着面は、3mm×3mmの正方形である。また、図5に示す加圧力と接着剤の厚さとの関係は、搭載時間0.2secで、パワーデバイスチップ搭載時の加圧力と接着剤の厚さを測定したものと、搭載時間0.5secで、パワーデバイスチップ搭載時の加圧力と接着剤の厚さを測定したものである。ここで、各測定においてAgペーストを同量塗布している。
また、上記加圧力とは、パワーデバイスチップを凸状搭載部の搭載面に押し付ける圧力であり、搭載時間とは、パワーデバイスチップを凸状搭載部の搭載面に押し付ける時間、すなわちパワーデバイスチップを搭載するときのAgペーストに加圧している時間である。
この図5に示すように、搭載時間0.2secでは、加圧力0.1kg/mm2以上あれば接着剤の厚さを25μmまで薄くでき、搭載時間0.5secでは、加圧力0.05kg/mm2以上あれば接着剤の厚さを25μmまで薄くできる。
上記半導体装置の製造方法によれば、パワーデバイスチップへの接着剤の這い上がりがないため、パワーデバイスチップ搭載時に容易に加圧できるので、加圧力と搭載時間をコントロールすることによって、必要な膜厚にコントロールすることが容易にできる。
したがって、熱膨張の影響を抑制できるように接着剤の厚さを薄さにすることが可能になると共に、接着剤を薄くすることで熱抵抗を小さくでき、放熱特性を向上できる。
〔第2実施形態〕
図6はこの発明の第2実施形態の半導体装置の要部の断面模式図を示している。この第2実施形態の半導体装置は、凸状搭載部21の側面を除いて第1実施形態の半導体装置と同一の構成をしており、同一構成部には同一参照番号を付して説明を省略する。
図6はこの発明の第2実施形態の半導体装置の要部の断面模式図を示している。この第2実施形態の半導体装置は、凸状搭載部21の側面を除いて第1実施形態の半導体装置と同一の構成をしており、同一構成部には同一参照番号を付して説明を省略する。
この第2実施形態の半導体装置では、図6に示すように、ダイパッド1の凸状搭載部21の側面は、凸状搭載部21の搭載面側からダイパッド1の平面に向かって広がるように傾斜している。上記凸状搭載部20の縦断面の形状は台形である。
これにより、凸状搭載部21において、ダイパッド1の平面に対して平行な切断面の面積をダイパッド1側に向かって徐々に広げることにより、凸状搭載部21の熱抵抗をより低く抑えることができる。
なお、上記第2実施形態では、凸状搭載部21の側面をダイパッド1の平面に対して略45°に傾斜させた半導体装置について説明したが、ダイパッド1の凸状搭載部21の側面とダイパッド1の平面とのなす角度を45度よりも小さくすることによって、凸状搭載部の熱抵抗をさらに低く抑えることができる。
上記第1,第2実施形態では、ダイパッド1の凸状搭載部21にパワーデバイスチップ40を1つ搭載したが、パワーデバイスチップの数はこれに限らず、複数のパワーデバイスチップを実装する半導体装置にこの発明を適用してもよい。
例えば、図7に示す半導体装置のように、ダイパッド101上に設けられた2つの異なる大きさの凸状搭載部121,122に2つのパワーデバイスチップ141,142を夫々実装してもよい。また、図8は半導体装置のVIII−VIII線から見た断面図を示しており、図8において131,132は接着剤である。
この発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は上記第1,第2実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。
1,101…ダイパッド
2,3,4…リード
10…リードフレーム
20,21,121,122…凸状搭載部
30,31,131,132…接着剤
40,141,142…パワーデバイスチップ
50…金属配線
60…ディスペンスノズル
2,3,4…リード
10…リードフレーム
20,21,121,122…凸状搭載部
30,31,131,132…接着剤
40,141,142…パワーデバイスチップ
50…金属配線
60…ディスペンスノズル
Claims (6)
- リードフレームと、
上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、
上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線と
を備え、
上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、
上記パワーデバイスチップの接着面と上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面とを対向させて接着剤で固定していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の側面は、上記凸状搭載部の搭載面側から上記ダイパッドの平面に向かって広がるように傾斜していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の側面と上記ダイパッドの平面とのなす角度は45度以下であることを特徴とする半導体装置。 - リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤をディスペンスノズルにより塗布する塗布工程を有し、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面の上記ダイパッドの平面に対する高さを上記ディスペンスノズルの径よりも大きくしていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤をディスペンスノズルにより塗布する塗布工程を有し、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面の上記ダイパッドの平面に対する高さを、上記ディスペンスノズルにより塗布される上記接着剤の厚さよりも高くしていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - リードフレームと、上記リードフレームのダイパッドに搭載されたパワーデバイスチップと、上記リードフレームと上記パワーデバイスチップとを電気的に接続する金属配線とを備え、上記リードフレームの上記ダイパッド上に、上記パワーデバイスチップの接着面と同一形状の搭載面を有する凸状搭載部が形成され、上記パワーデバイスチップの接着面が上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に接着剤で固定されている半導体装置の製造方法であって、
上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記接着剤を塗布する塗布工程と、
上記接着剤が塗布された上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面に上記パワーデバイスチップを搭載する搭載工程と
を有し、
上記搭載工程において、上記パワーデバイスチップの接着面と上記リードフレームの上記凸状搭載部の搭載面との間の上記接着剤の厚さが予め設定された厚さになるように、上記パワーデバイスチップを上記リードフレームの上記凸状搭載部に押し付ける圧力とその圧力による押し付け時間とを調整することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP2012025022A JP2013162070A (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
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JP2016219720A (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-22 | 日東電工株式会社 | 接着シート、ダイシングテープ一体型接着シート、フィルム、半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2019145743A (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | イグナイタ |
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