JP2013157517A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】板状部材のサイズの増加に伴う設置面積の増加を極力抑制することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】シート貼付装置1は、水平面に対して傾斜した傾斜面21を有し、当該傾斜面21で板状部材WFを支持する支持手段2と、接着シートASが帯状の剥離シートRLの一方の面に仮着された原反RSを繰出対象物として繰り出す繰出手段3と、繰出手段3で繰り出された原反RSの剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段4と、剥離手段4で剥離された接着シートASを板状部材WFに押圧する押圧手段5と、支持手段2と押圧手段5とを傾斜面21の面内方向に相対移動させて板状部材WFに接着シートASを貼付する移動手段7とを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、板状部材に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。

従来、半導体製造工程において、板状部材である半導体ウェハ(以下、単に「ウェハ」という場合がある)の表面に保護シートやマウント用シート、ダイシングテープ、ダイボンディングテープ等の接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウェハを吸着保持するテーブルと、保持されたウェハに帯状の接着シートを貼付するシート貼付部と、接着シートを切断するカッターユニットとを備え、ウェハに帯状の接着シートが貼付された状態で当該接着シートを切断することにより、所定形状の接着シートをウェハに貼付可能に構成されている。

特開2003−257898号公報

ところで、近年はウェハの大径化が進み、大きなものでは18インチサイズ(ウェハ外径が約450mm)のものまで処理対象となっている。特許文献1に記載されたような従来のシート貼付装置では、重力方向上方から見たときのウェハの支持面やウェハの搬送経路、ウェハのストック領域等の専有面積が大きくなる。このため、従来のシート貼付装置では、ウェハが大きくなるほど、装置の設置面積(装置設置のための水平投影面積)が大きくなるという不都合がある。
また、支持手段が水平に設けられているので、大気中の塵や埃等の不純物がウェハ上に落下しやすくなり、ウェハと接着シートとの間に不純物が混入するリスクが大きくなるという不具合もある。

本発明の目的は、板状部材のサイズの増加に伴う設置面積の増加を極力抑制することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、板状部材と接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

本発明のシート貼付装置は、水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段とを備えていることを特徴とする。

また、本発明のシート貼付装置は、水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段と、前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段とを備えていることを特徴とする。

本発明のシート貼付装置において、前記支持手段は、前記板状部材の外縁に当接して当該板状部材を前記傾斜面の所定位置に位置決めする第1位置決め手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置は、前記支持手段による板状部材の支持が解除されたときに当該板状部材を受け止める受止手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置において、前記繰出手段は、前記繰出対象物の繰出方向に直交する幅方向が前記傾斜面と平行となる状態で当該繰出対象物を繰出可能に設けられ、前記繰出対象物が前記幅方向に蛇行することを防止する蛇行防止手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置は、前記支持手段と前記繰出手段とを前記繰出対象物の幅方向に相対移動させて、前記板状部材に対する前記接着シートの位置決めを行う第2位置決め手段を備えていることが好ましい。

一方、本発明のシート貼付方法は、水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出し、繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離し、剥離された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付することを特徴とする。

また、本発明のシート貼付方法は、水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出し、繰り出された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付し、前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断することを特徴とする。

以上のような本発明によれば、板状部材を水平面に対して傾けた状態で接着シートを貼付することができるので、板状部材のサイズの増加に伴う設置面積の増加を極力抑制することができる。
また、板状部材を水平面に対して傾けた状態で接着シートを貼付するので、大気中の不純物が板状部材上に落下する可能性を低減し、仮に板状部材上に落下したとしても、重力により板状部材上から落ちやすくなるため、不純物が板状部材上に残存することを抑制でき、板状部材と接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができる。

本発明において、第1位置決め手段を設ければ、板状部材を傾斜面に支持させる場合でも、板状部材を当接部に当接させるだけで板状部材を位置決めすることができる。このため、板状部材の位置決めに要する時間を短縮することができるので、単位時間あたりの処理能力を向上させることができる。
また、受止手段を設ければ、万が一板状部材の支持が解除されたとしても、当該板状部材が落下して破損することを防止することができる。
また、蛇行防止手段を設ければ、繰出対象物が自重により繰出方向に直交する方向に蛇行することを防止することができ、板状部材に対する繰出対象物の繰出位置がずれてしまうような不都合を防止することができる。
さらに、第2位置決め手段を設ければ、板状部材に対する接着シートの繰出位置を任意に変更することができる。

本発明の第1実施形態に係るシート貼付装置を示す斜視図。 図1のシート貼付装置の正面図。 本発明の第2実施形態に係るシート貼付装置を示す斜視図。

以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第2実施形態以降において、次の第1実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第1実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸及びY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。また、各軸において方向を示す場合、「+」は各軸の矢印方向、「−」は矢印の反対方向とする。

〔第1実施形態〕
図1において、シート貼付装置1は、板状部材としてのウェハWFに接着シートASを貼付するものである。ここで、接着シートASは、基材シートBSの一方の面に接着剤層ADを有するとともに、所定サイズの外形に予め切断され、接着剤層ADを介して帯状の剥離シートRLに仮着された繰出対象物としての原反RSとして予め準備されている。

シート貼付装置1は、ウェハWFを支持する支持手段2と、原反RSを繰り出す繰出手段3と、繰り出された原反RSの剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段4と、剥離手段4で剥離された接着シートASをウェハWFに押圧する押圧手段5と、ウェハWFに対する接着シートASの位置決めを行う第2位置決め手段としてのシート位置決め手段6と、支持手段2と押圧手段5とを相対移動させて接着シートASをウェハWFに貼付する移動手段7と、支持手段2によるウェハWFの支持が解除されたときに当該ウェハWFを受け止める受止手段8とを備えている。なお、本実施形態では、ウェハWFの搬送を行う搬送手段9が、シート貼付装置1に併設されている。

支持手段2は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によってウェハWFを吸着保持可能な傾斜面としての支持面21を有するテーブル22と、テーブル22内に設けられた駆動機器としての直動モータ23(図2)と、直動モータ23に支持されて支持面21の開口24から突没可能とされるとともに、支持面21から突出した状態でウェハWFを位置決めする第1位置決め手段としての当接部25(図2)とを備えている。支持面21は、X軸及びZ軸を含む平面と平行な面とされ、水平面に対して傾斜した状態(傾斜角90°)で配置されている。

繰出手段3は、原反RSを巻回して支持する支持ローラ31と、原反RSを案内する複数のガイドローラ32と、図示しない駆動機器によって駆動される駆動ローラ33と、駆動ローラ33との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ34と、図示しない駆動機器によって駆動されて剥離シートRLを回収する回収ローラ35とを備え、その全体がベースフレーム30に支持されている。繰出手段3は、原反RSの繰出方向に直交する幅方向が支持面21と平行となる状態(Z軸方向となる状態)で当該原反RSを繰出可能に構成されている。また、ベースフレーム30によって蛇行防止手段が構成され、原反RSがその幅方向へ蛇行することを防止するようになっている。

剥離手段4は、ベースフレーム30によってZ軸方向に延びた姿勢で支持された剥離板41を備え、当該剥離板41の端縁で原反RSの剥離シートRLを折り返すことで、剥離シートRLから接着シートASを剥離するように構成されている。

押圧手段5は、Z軸方向に延びた姿勢で配置された押圧ローラ51を備えている。この押圧ローラ51は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材によって構成されている。

シート位置決め手段6は、図示しない出力軸がベースフレーム30に固定された駆動機器としての直動モータ61を備え、当該直動モータ61によりベースフレーム30をZ軸方向に移動させることで、支持手段2と繰出手段3とを支持面21の面内方向であって原反RSの幅方向に相対移動可能に構成されている。

移動手段7は、X軸方向に延設された駆動機器としてのリニアモータ72を備え、そのスライダ71がテーブル22を支持してX軸方向に移動可能に構成されている。

受止手段8は、テーブル22の移動する範囲の下方で、X軸方向に沿って設けられた断面U字形状の収容部材81と、テーブル22の移動する範囲で支持面21に平行に配置された2つの傾倒防止板82とを備えている。収容部材81におけるウェハWFの収容部および傾倒防止板82におけるテーブル22側の面には、ゴム、樹脂、スポンジ等の弾性部材で構成された緩衝手段83,84が設けられている。また、傾倒防止板82同士の間には、押圧ローラ51が接着シートASをウェハWFに押圧することを許容する隙間82Aが設けられている。

搬送手段9は、駆動機器としての多関節ロボット91と、この多関節ロボット91の先端部に着脱可能に設けられた吸着ツール92とを備え、図示しない吸引ポンプ等の吸引手段に吸着ツール92を接続することでウェハWFを吸着保持可能に構成されている。多関節ロボット91は、6箇所に回転可能な関節を有する所謂6軸ロボットであり、当該多関節ロボット91の作業範囲内において吸着ツール92を何れの位置、何れの角度にでも変位可能に構成されている。

以上のシート貼付装置1において、ウェハWFに接着シートASを貼付する手順を説明する。
先ず、原反RSを図1に示すようにセットする。また、直動モータ61を駆動してベースフレーム30をZ軸方向に移動させ、ウェハWFに対する接着シートASの繰出位置の位置決めを行う。

次に、搬送手段9が多関節ロボット91を駆動し、吸着ツール92を介してウェハ収納カセットCTからウェハWFを取り出し、図1中二転鎖線で示す位置に待機しているテーブル22の支持面21にウェハWFを当接させる。このとき、搬送手段9は、支持面21から突出された当接部25にウェハWFの外縁の2点を当接させ、当該ウェハWFを支持面21の所定位置に位置決めする。次いで、支持手段2が図示しない吸着保持手段を駆動し、ウェハWFを支持面21で吸着保持するとともに、直動モータ23を駆動し、図2に示すように、当接部25をテーブル22内に退避させる。

そして、移動手段7がリニアモータ72を駆動し、テーブル22を+X軸方向に移動させる。ウェハWFが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、テーブル22の移動に同期して繰出手段3が駆動ローラ33を駆動し、原反RSを繰り出す。これにより、接着シートASが剥離板41で剥離シートRLから剥離され、剥離された接着シートASは、押圧ローラ51によってウェハWFに押圧されて貼付される。この際、原反RSは、ベースフレーム30により−Z軸方向への移動が規制されることで、Z軸方向の蛇行が防止される。

接着シートASの貼付が完了すると、移動手段7がリニアモータ72の駆動を停止する。その後、搬送手段9が多関節ロボット91を駆動し、吸着ツール92でウェハWFを吸着保持すると、支持手段2が図示しない吸着保持手段の駆動を停止する。そして、搬送手段9が多関節ロボット91を駆動し、ウェハWFをウェハ収納カセットCTに収納する。
その後、移動手段7がリニアモータ72を駆動し、テーブル22を−X軸方向に移動させて、図1中二転鎖線で示す位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

ここで、ウェハWFがテーブル22に支持されているときに、何らかの要因で吸着保持手段での吸着保持が解除されてしまうと、ウェハWFが落下して損傷してしまう。本実施形態の場合、万が一吸着保持手段での吸着保持が解除されてしまった場合でも、図2中二転鎖線で示すように、ウェハWFは、収容部材81及び傾倒防止板82で支持されるのでウェハWFが損傷してしまうような不都合は発生しない。まして、収容部材81の緩衝手段83および傾倒防止板82の緩衝手段84が、ウェハWFが落下したときの衝撃を吸収するため、ウェハWFの損傷をより確実に抑制することができる。

以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、支持手段2が水平面に対して傾斜した支持面21でウェハWFを支持し、移動手段7が支持手段2と押圧手段5とを支持面21の面内方向に相対移動させてウェハWFに接着シートASを貼付する。従って、ウェハWFのサイズの増加に伴う装置の設置面積の増加を極力抑制することができる。
また、支持面21が水平面に対して傾斜しているので、大気中の不純物がウェハWF上に落下する可能性を低減し、仮にウェハWF上に落下したとしても、重力によりウェハWF上から落ちやすくなるため、不純物がウェハWF上に残存することを抑制でき、ウェハWFと接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができる。

〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態を図3に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置1Aは、剥離手段を備えていない点と、切断手段10を備え、帯状の基材シートBS1の一方の面に接着剤層AD1を有する繰出対象物としての帯状の接着シートAS1をウェハWFに貼付した後、当該接着シートAS1を切断する点とが第1実施形態と相違する。また、繰出手段3Aおよび移動手段7Aの構成が、第1実施形態と相違する。

繰出手段3Aは、帯状の接着シートAS1を巻回して支持する支持ローラ31と、接着シートAS1を案内するガイドローラ32と、図示しない駆動機器によって駆動される駆動ローラ33と、駆動ローラ33との間に接着シートAS1を挟み込むピンチローラ34と、帯状の接着シートAS1の切断により生じた不要シートUSを案内する複数のガイドローラ36と、図示しない駆動機器によって駆動され、不要シートUSを巻き取って回収する回収ローラ35と、図示しない駆動機器によって駆動される駆動ローラ37と、駆動ローラ37との間に接着シートAS1を挟み込むピンチローラ38とを備えている。この繰出手段3Aにおいて、支持ローラ31、ガイドローラ32、駆動ローラ33、およびピンチローラ34は、ベースフレーム30に支持されている。一方、ガイドローラ36および回収ローラ35は、蛇行防止手段ともなり得る回収側フレーム39に支持されている。

移動手段7Aは、X軸方向に延設され、押圧ローラ51を支持した第1スライダ73を駆動する駆動機器としてのリニアモータ74と、リニアモータ74をY軸方向に移動可能に支持する図示しない駆動機器とを備え、支持手段2に対して押圧手段5をX軸方向およびY軸方向に相対移動可能に構成されている。なお、繰出手段3Aの駆動ローラ37およびピンチローラ38は、リニアモータ74の第2スライダ75に支持され、支持手段2に対してX軸方向およびY軸方向に相対移動可能に構成されている。

切断手段10は、搬送手段9と兼用される多関節ロボット91と、この多関節ロボット91に着脱可能に設けられ、カッター刃93を有するカッターツール94とを備え、ウェハWFに貼付された接着シートAS1をウェハWFの外縁に沿って切断可能に構成されている。

以下、シート貼付装置1Aの動作を説明する。
先ず、接着シートAS1を図3に示すようにセットする。このとき、押圧ローラ51、駆動ローラ37、およびピンチローラ38は、駆動ローラ33の近傍に位置して不要シートUSと支持面21との間に隙間が形成されている。そして、第1実施形態と同様に搬送手段9がウェハWFを搬送し、当該ウェハWFが支持面21に吸着保持されると、繰出手段3Aが駆動ローラ37の回転を停止した状態でリニアモータ74を駆動し、駆動ローラ37およびピンチローラ38を+X軸方向に移動させる。このとき、不要シートUSは、回収ローラ35の駆動によって巻き取られる。これにより、接着シートAS1の未使用部分がウェハWFの+Y軸方向で対向した状態となるように繰り出される。このときも、接着シートAS1と支持面21との間に若干の隙間が形成されている。

次に、移動手段7Aが図示しない駆動機器を駆動し、押圧ローラ51を−Y軸方向に移動させ、図3中二点差線で示すように、押圧ローラ51で接着シートAS1を支持面21に押圧する。次いで、移動手段7Aがリニアモータ74を駆動し、押圧ローラ51を+X軸方向に移動させることで、ウェハWFに接着シートAS1を貼付する。この間に、切断手段10が多関節ロボット91を駆動し、吸着ツール92からカッター刃93にツール交換を行わせる。次いで、切断手段10が多関節ロボット91を駆動し、カッター刃93を接着シートAS1に突き刺すとともに、ウェハWFの外縁に沿ってカッター刃93を移動させることで、接着シートAS1をその外縁に沿って切断する。

接着シートAS1の貼付および切断が完了したら、切断手段10が多関節ロボット91を駆動し、カッター刃93から吸着ツール92に再びツール交換を行わせる。次いで、第1実施形態と同様に、搬送手段9がウェハWFをウェハ収納カセットCTに収納する。その後、移動手段7Aがリニアモータ74を駆動し、押圧ローラ51、駆動ローラ37、およびピンチローラ38を−X軸方向に移動させた後、図示しない駆動手段を駆動してリニアモータ74を+Y軸方向に移動させる。これにより、支持面21上に貼付された不要シートUSを剥離して、不要シートUSと支持面21との間に隙間を形成する。そして、以降上述と同様の動作が繰り返される。

以上のような本実施形態によっても第1実施形態と同様の効果を得ることができる。

なお、シート貼付装置1Aにおいて、テーブル22は、円筒状の開口を有する外側テーブルと、外側テーブルの開口内に配置され、ウェハWFを吸着保持する円盤状の外形を有した内側テーブルとを備え、外側テーブルに固定された駆動機器としての直動モータにより、内側テーブルをY軸方向に移動可能に支持させてもよい。当該構成によれば、直動モータの駆動により外側テーブルの支持面に対して内側テーブルの支持面をY軸方向に相対移動させることができるため、ウェハWFの外縁部分へ接着シートAS1を回り込ませた状態で貼付したり、ウェハWFのシート貼付面と外側テーブルのシート貼付面とを同レベルとし、押圧ローラ51による単位面積あたりの押圧力を略等しくして接着シートAS1をウェハWFに貼付したりすることができる。また、外側テーブルと内側テーブルとの間にカッター刃93が入り込む隙間を形成することもできる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、前記実施形態では、支持面21の傾斜角を90°としたものを例示したが、支持面21は、水平面に対して傾斜して配置されていればよく、例えば、傾斜角が90°よりも小さくなるように(支持面21が重力方向上方から見える向きとなるように)設定したり、90°よりも大きくなるように(支持面21が重力方向上方から見えない向きとなるように)設定してりしてもよいが、装置の設置面積の増加を抑制する観点から、傾斜角は、水平面に対して45°〜135°であることが好ましい。

また、支持手段2がリングフレームとウェハWFとを支持できるように構成し、シート貼付装置1,1Aを、ウェハWFおよびリングフレームにマウント用シートを貼付するマウント装置として構成してもよい。

さらに、当接部25は、常に支持面21から突出した状態(突没不能)にしてもよい。

また、シート位置決め手段6は、繰出手段3を停止させた状態で支持手段2を移動させてもよいし、支持手段2と繰出手段3との両方を移動させてもよい。
さらに、移動手段7は、支持手段2と押圧手段5との両方を移動させてもよい。

また、受止手段8は、収容部材81と傾倒防止板82とを連続させた1つの部材として構成してもよいし、受止手段8を設けなくてもよい。
さらに、押圧手段5は、押圧ローラ51に替えて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
また、剥離手段4は、剥離板41に替えてローラを採用してもよい。
さらに、第2実施形態において、帯状の接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着されたものを繰出対象物とし、ピンチローラ34の近傍に、繰出手段3Aで繰り出された帯状の剥離シートから帯状の接着シートを剥離する剥離手段を設けたり、駆動ローラ33に帯状の剥離シートを掛け回し、当該帯状の剥離シートから帯状の接着シートを剥離するような構成としてもよい。

さらに、板状部材は、ウェハWF以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材などや、板状部材以外のものも対象とすることができる。そして、ウェハWFは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートAS,AS1は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。

また、接着シートAS,AS1の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートBSと接着剤層ADとの間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよいし、基材シートBSを有さない接着剤層AD単体のものでもよい。
さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。

1,1A シート貼付装置
2 支持手段
3,3A 繰出手段
4 剥離手段
5 押圧手段
6 シート位置決め手段(第2位置決め手段)
7,7A 移動手段
8 受止手段
10 切断手段
21 支持面(傾斜面)
25 当接部(第1位置決め手段)
30 ベースフレーム(蛇行防止手段)
39 回収側フレーム(蛇行防止手段)
AS 接着シート
AS1 接着シート(繰出対象物)
RL 剥離シート
RS 原反(繰出対象物)
WF ウェハ(板状部材)

Claims (8)

  1. 水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、
    接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出す繰出手段と、
    前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
    前記剥離手段で剥離された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、
    前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
  2. 水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、
    帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出す繰出手段と、
    前記繰出手段で繰り出された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、
    前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段と、
    前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
  3. 前記支持手段は、前記板状部材の外縁に当接して当該板状部材を前記傾斜面の所定位置に位置決めする第1位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
  4. 前記支持手段による板状部材の支持が解除されたときに当該板状部材を受け止める受止手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のシート貼付装置。
  5. 前記繰出手段は、前記繰出対象物の繰出方向に直交する幅方向が前記傾斜面と平行となる状態で当該繰出対象物を繰出可能に設けられ、
    前記繰出対象物が前記幅方向に蛇行することを防止する蛇行防止手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のシート貼付装置。
  6. 前記支持手段と前記繰出手段とを前記繰出対象物の幅方向に相対移動させて、前記板状部材に対する前記接着シートの位置決めを行う第2位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のシート貼付装置。
  7. 水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、
    接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出し、
    繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離し、
    剥離された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、
    前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。
  8. 水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、
    帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出し、
    繰り出された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、
    前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付し、
    前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断することを特徴とするシート貼付方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015073830A (ja) * 2013-10-11 2015-04-20 株式会社メトラン 開閉具及び呼吸補助装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6216584B2 (ja) * 2013-09-13 2017-10-18 リンテック株式会社 シート貼付装置および貼付方法
CN105304534B (zh) * 2015-11-10 2018-05-15 东莞市沃德精密机械有限公司 芯片贴装机

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6361142U (ja) * 1986-10-13 1988-04-22
JPH0697209A (ja) * 1992-09-10 1994-04-08 Toshiba Seiki Kk 半導体ペレットボンディング方法
JP2001156151A (ja) * 1999-11-25 2001-06-08 Tokyo Seimitsu Co Ltd 落下防止機能付ウェーハ吸着搬送装置
JP2006005318A (ja) * 2004-06-21 2006-01-05 Nikon Corp 基板搬送装置および露光装置
JP2006069735A (ja) * 2004-09-02 2006-03-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 巻取装置およびその方法
JP2007123360A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Nikon Corp 落下検出装置および露光装置
JP2007165364A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Lintec Corp テープ貼付装置及び貼付方法
JP2010157584A (ja) * 2008-12-26 2010-07-15 Sumco Corp 分析用シリコンウェーハの運搬方法
JP2011044538A (ja) * 2009-08-20 2011-03-03 Tesetsuku:Kk ウェーハフレームの搬送装置および搬送方法
JP2011077443A (ja) * 2009-10-01 2011-04-14 Nitto Denko Corp 粘着テープ貼付け装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4311522B2 (ja) 2002-03-07 2009-08-12 日東電工株式会社 接着シート貼付方法およびその装置並びに半導体ウエハ処理方法
JP4884075B2 (ja) * 2006-05-22 2012-02-22 株式会社東京精密 Tape sticking method and tape sticking apparatus
CN101236885A (zh) * 2007-02-02 2008-08-06 敦南科技股份有限公司 用于晶圆的黏胶带装置、及晶圆的黏胶带方法
JP2011114029A (ja) * 2009-11-24 2011-06-09 Tsubakuro Electrical Machinery Inc シート貼付装置
JP5562091B2 (ja) * 2010-03-29 2014-07-30 リンテック株式会社 押圧ローラ

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6361142U (ja) * 1986-10-13 1988-04-22
JPH0697209A (ja) * 1992-09-10 1994-04-08 Toshiba Seiki Kk 半導体ペレットボンディング方法
JP2001156151A (ja) * 1999-11-25 2001-06-08 Tokyo Seimitsu Co Ltd 落下防止機能付ウェーハ吸着搬送装置
JP2006005318A (ja) * 2004-06-21 2006-01-05 Nikon Corp 基板搬送装置および露光装置
JP2006069735A (ja) * 2004-09-02 2006-03-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 巻取装置およびその方法
JP2007123360A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Nikon Corp 落下検出装置および露光装置
JP2007165364A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Lintec Corp テープ貼付装置及び貼付方法
JP2010157584A (ja) * 2008-12-26 2010-07-15 Sumco Corp 分析用シリコンウェーハの運搬方法
JP2011044538A (ja) * 2009-08-20 2011-03-03 Tesetsuku:Kk ウェーハフレームの搬送装置および搬送方法
JP2011077443A (ja) * 2009-10-01 2011-04-14 Nitto Denko Corp 粘着テープ貼付け装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015073830A (ja) * 2013-10-11 2015-04-20 株式会社メトラン 開閉具及び呼吸補助装置

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