JP2013157517A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
シート貼付装置および貼付方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013157517A JP2013157517A JP2012018181A JP2012018181A JP2013157517A JP 2013157517 A JP2013157517 A JP 2013157517A JP 2012018181 A JP2012018181 A JP 2012018181A JP 2012018181 A JP2012018181 A JP 2012018181A JP 2013157517 A JP2013157517 A JP 2013157517A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- adhesive sheet
- feeding
- plate
- plate member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 90
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 90
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 46
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 15
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 7
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 abstract 4
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 9
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
Abstract
【解決手段】シート貼付装置1は、水平面に対して傾斜した傾斜面21を有し、当該傾斜面21で板状部材WFを支持する支持手段2と、接着シートASが帯状の剥離シートRLの一方の面に仮着された原反RSを繰出対象物として繰り出す繰出手段3と、繰出手段3で繰り出された原反RSの剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段4と、剥離手段4で剥離された接着シートASを板状部材WFに押圧する押圧手段5と、支持手段2と押圧手段5とを傾斜面21の面内方向に相対移動させて板状部材WFに接着シートASを貼付する移動手段7とを備える。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウェハを吸着保持するテーブルと、保持されたウェハに帯状の接着シートを貼付するシート貼付部と、接着シートを切断するカッターユニットとを備え、ウェハに帯状の接着シートが貼付された状態で当該接着シートを切断することにより、所定形状の接着シートをウェハに貼付可能に構成されている。
また、支持手段が水平に設けられているので、大気中の塵や埃等の不純物がウェハ上に落下しやすくなり、ウェハと接着シートとの間に不純物が混入するリスクが大きくなるという不具合もある。
また、本発明の別の目的は、板状部材と接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
また、本発明のシート貼付装置は、前記支持手段による板状部材の支持が解除されたときに当該板状部材を受け止める受止手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置において、前記繰出手段は、前記繰出対象物の繰出方向に直交する幅方向が前記傾斜面と平行となる状態で当該繰出対象物を繰出可能に設けられ、前記繰出対象物が前記幅方向に蛇行することを防止する蛇行防止手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置は、前記支持手段と前記繰出手段とを前記繰出対象物の幅方向に相対移動させて、前記板状部材に対する前記接着シートの位置決めを行う第2位置決め手段を備えていることが好ましい。
また、板状部材を水平面に対して傾けた状態で接着シートを貼付するので、大気中の不純物が板状部材上に落下する可能性を低減し、仮に板状部材上に落下したとしても、重力により板状部材上から落ちやすくなるため、不純物が板状部材上に残存することを抑制でき、板状部材と接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができる。
また、受止手段を設ければ、万が一板状部材の支持が解除されたとしても、当該板状部材が落下して破損することを防止することができる。
また、蛇行防止手段を設ければ、繰出対象物が自重により繰出方向に直交する方向に蛇行することを防止することができ、板状部材に対する繰出対象物の繰出位置がずれてしまうような不都合を防止することができる。
さらに、第2位置決め手段を設ければ、板状部材に対する接着シートの繰出位置を任意に変更することができる。
なお、第2実施形態以降において、次の第1実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第1実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸及びY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。また、各軸において方向を示す場合、「+」は各軸の矢印方向、「−」は矢印の反対方向とする。
図1において、シート貼付装置1は、板状部材としてのウェハWFに接着シートASを貼付するものである。ここで、接着シートASは、基材シートBSの一方の面に接着剤層ADを有するとともに、所定サイズの外形に予め切断され、接着剤層ADを介して帯状の剥離シートRLに仮着された繰出対象物としての原反RSとして予め準備されている。
先ず、原反RSを図1に示すようにセットする。また、直動モータ61を駆動してベースフレーム30をZ軸方向に移動させ、ウェハWFに対する接着シートASの繰出位置の位置決めを行う。
その後、移動手段7がリニアモータ72を駆動し、テーブル22を−X軸方向に移動させて、図1中二転鎖線で示す位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
すなわち、支持手段2が水平面に対して傾斜した支持面21でウェハWFを支持し、移動手段7が支持手段2と押圧手段5とを支持面21の面内方向に相対移動させてウェハWFに接着シートASを貼付する。従って、ウェハWFのサイズの増加に伴う装置の設置面積の増加を極力抑制することができる。
また、支持面21が水平面に対して傾斜しているので、大気中の不純物がウェハWF上に落下する可能性を低減し、仮にウェハWF上に落下したとしても、重力によりウェハWF上から落ちやすくなるため、不純物がウェハWF上に残存することを抑制でき、ウェハWFと接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができる。
次に、本発明の第2実施形態を図3に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置1Aは、剥離手段を備えていない点と、切断手段10を備え、帯状の基材シートBS1の一方の面に接着剤層AD1を有する繰出対象物としての帯状の接着シートAS1をウェハWFに貼付した後、当該接着シートAS1を切断する点とが第1実施形態と相違する。また、繰出手段3Aおよび移動手段7Aの構成が、第1実施形態と相違する。
先ず、接着シートAS1を図3に示すようにセットする。このとき、押圧ローラ51、駆動ローラ37、およびピンチローラ38は、駆動ローラ33の近傍に位置して不要シートUSと支持面21との間に隙間が形成されている。そして、第1実施形態と同様に搬送手段9がウェハWFを搬送し、当該ウェハWFが支持面21に吸着保持されると、繰出手段3Aが駆動ローラ37の回転を停止した状態でリニアモータ74を駆動し、駆動ローラ37およびピンチローラ38を+X軸方向に移動させる。このとき、不要シートUSは、回収ローラ35の駆動によって巻き取られる。これにより、接着シートAS1の未使用部分がウェハWFの+Y軸方向で対向した状態となるように繰り出される。このときも、接着シートAS1と支持面21との間に若干の隙間が形成されている。
さらに、移動手段7は、支持手段2と押圧手段5との両方を移動させてもよい。
さらに、押圧手段5は、押圧ローラ51に替えて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
また、剥離手段4は、剥離板41に替えてローラを採用してもよい。
さらに、第2実施形態において、帯状の接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着されたものを繰出対象物とし、ピンチローラ34の近傍に、繰出手段3Aで繰り出された帯状の剥離シートから帯状の接着シートを剥離する剥離手段を設けたり、駆動ローラ33に帯状の剥離シートを掛け回し、当該帯状の剥離シートから帯状の接着シートを剥離するような構成としてもよい。
さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
2 支持手段
3,3A 繰出手段
4 剥離手段
5 押圧手段
6 シート位置決め手段(第2位置決め手段)
7,7A 移動手段
8 受止手段
10 切断手段
21 支持面(傾斜面)
25 当接部(第1位置決め手段)
30 ベースフレーム(蛇行防止手段)
39 回収側フレーム(蛇行防止手段)
AS 接着シート
AS1 接着シート(繰出対象物)
RL 剥離シート
RS 原反(繰出対象物)
WF ウェハ(板状部材)
Claims (8)
- 水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、
接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、
前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、
帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、
前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段と、
前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記支持手段は、前記板状部材の外縁に当接して当該板状部材を前記傾斜面の所定位置に位置決めする第1位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
- 前記支持手段による板状部材の支持が解除されたときに当該板状部材を受け止める受止手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のシート貼付装置。
- 前記繰出手段は、前記繰出対象物の繰出方向に直交する幅方向が前記傾斜面と平行となる状態で当該繰出対象物を繰出可能に設けられ、
前記繰出対象物が前記幅方向に蛇行することを防止する蛇行防止手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のシート貼付装置。 - 前記支持手段と前記繰出手段とを前記繰出対象物の幅方向に相対移動させて、前記板状部材に対する前記接着シートの位置決めを行う第2位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のシート貼付装置。
- 水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、
接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出し、
繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離し、
剥離された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、
前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。 - 水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、
帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出し、
繰り出された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、
前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付し、
前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断することを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012018181A JP6078233B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | シート貼付装置 |
PCT/JP2013/050732 WO2013114951A1 (ja) | 2012-01-31 | 2013-01-17 | シート貼付装置および貼付方法 |
KR1020147024248A KR102038812B1 (ko) | 2012-01-31 | 2013-01-17 | 시트 부착 장치 및 부착 방법 |
CN201380007446.0A CN104221139B (zh) | 2012-01-31 | 2013-01-17 | 片材粘贴装置及粘贴方法 |
TW102102309A TW201335984A (zh) | 2012-01-31 | 2013-01-22 | 片材黏貼裝置及黏貼方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012018181A JP6078233B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | シート貼付装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013157517A true JP2013157517A (ja) | 2013-08-15 |
JP6078233B2 JP6078233B2 (ja) | 2017-02-08 |
Family
ID=48904994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012018181A Active JP6078233B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | シート貼付装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6078233B2 (ja) |
KR (1) | KR102038812B1 (ja) |
CN (1) | CN104221139B (ja) |
TW (1) | TW201335984A (ja) |
WO (1) | WO2013114951A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015073830A (ja) * | 2013-10-11 | 2015-04-20 | 株式会社メトラン | 開閉具及び呼吸補助装置 |
JP2017107946A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | リンテック株式会社 | シート剥離装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6216584B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-10-18 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
CN105304534B (zh) * | 2015-11-10 | 2018-05-15 | 东莞市沃德精密机械有限公司 | 芯片贴装机 |
JP6678516B2 (ja) * | 2016-05-31 | 2020-04-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6361142U (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-22 | ||
JPH0697209A (ja) * | 1992-09-10 | 1994-04-08 | Toshiba Seiki Kk | 半導体ペレットボンディング方法 |
JP2001156151A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-06-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 落下防止機能付ウェーハ吸着搬送装置 |
JP2006005318A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Nikon Corp | 基板搬送装置および露光装置 |
JP2006069735A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 巻取装置およびその方法 |
JP2007123360A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Nikon Corp | 落下検出装置および露光装置 |
JP2007165364A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Lintec Corp | テープ貼付装置及び貼付方法 |
JP2010157584A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Sumco Corp | 分析用シリコンウェーハの運搬方法 |
JP2011044538A (ja) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Tesetsuku:Kk | ウェーハフレームの搬送装置および搬送方法 |
JP2011077443A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ貼付け装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4311522B2 (ja) | 2002-03-07 | 2009-08-12 | 日東電工株式会社 | 接着シート貼付方法およびその装置並びに半導体ウエハ処理方法 |
JP4884075B2 (ja) * | 2006-05-22 | 2012-02-22 | 株式会社東京精密 | テープ貼付方法およびテープ貼付装置 |
CN101236885A (zh) * | 2007-02-02 | 2008-08-06 | 敦南科技股份有限公司 | 用于晶圆的黏胶带装置、及晶圆的黏胶带方法 |
JP2011114029A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Tsubakuro Electrical Machinery Inc | シート貼付装置 |
JP5562091B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2014-07-30 | リンテック株式会社 | 押圧ローラ |
-
2012
- 2012-01-31 JP JP2012018181A patent/JP6078233B2/ja active Active
-
2013
- 2013-01-17 CN CN201380007446.0A patent/CN104221139B/zh active Active
- 2013-01-17 KR KR1020147024248A patent/KR102038812B1/ko active IP Right Grant
- 2013-01-17 WO PCT/JP2013/050732 patent/WO2013114951A1/ja active Application Filing
- 2013-01-22 TW TW102102309A patent/TW201335984A/zh unknown
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6361142U (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-22 | ||
JPH0697209A (ja) * | 1992-09-10 | 1994-04-08 | Toshiba Seiki Kk | 半導体ペレットボンディング方法 |
JP2001156151A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-06-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 落下防止機能付ウェーハ吸着搬送装置 |
JP2006005318A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Nikon Corp | 基板搬送装置および露光装置 |
JP2006069735A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 巻取装置およびその方法 |
JP2007123360A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Nikon Corp | 落下検出装置および露光装置 |
JP2007165364A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Lintec Corp | テープ貼付装置及び貼付方法 |
JP2010157584A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Sumco Corp | 分析用シリコンウェーハの運搬方法 |
JP2011044538A (ja) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Tesetsuku:Kk | ウェーハフレームの搬送装置および搬送方法 |
JP2011077443A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ貼付け装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015073830A (ja) * | 2013-10-11 | 2015-04-20 | 株式会社メトラン | 開閉具及び呼吸補助装置 |
JP2017107946A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | リンテック株式会社 | シート剥離装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104221139B (zh) | 2016-10-19 |
KR102038812B1 (ko) | 2019-10-31 |
TW201335984A (zh) | 2013-09-01 |
KR20140128388A (ko) | 2014-11-05 |
WO2013114951A1 (ja) | 2013-08-08 |
CN104221139A (zh) | 2014-12-17 |
JP6078233B2 (ja) | 2017-02-08 |
TWI560761B (ja) | 2016-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6078233B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP2017059582A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6871812B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2014229636A (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
TWI597207B (zh) | Sheet peeling device and stripping method | |
JP6166872B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2012084578A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2014160769A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6476027B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 | |
JP6027324B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP5914206B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP6328874B2 (ja) | シート貼付装置および装置の大型化防止方法 | |
JP5453035B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5554100B2 (ja) | シート切断方法およびシート切断装置 | |
TWI735578B (zh) | 薄片貼附裝置及貼附方法 | |
JP5093852B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
TW202036776A (zh) | 被接著體處理方法 | |
JP6082188B2 (ja) | 板状部材の処理装置および処理方法 | |
JP2014007216A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP7009177B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP2020096201A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2011086755A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2020202331A (ja) | 切断装置および切断方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160621 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160817 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6078233 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |