JP2007123360A - 落下検出装置および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被搬送物が落下した場合に、被搬送物を保護し、同時に、被搬送物の落下を検出する落下検出装置、および、この落下検出装置を備えた露光装置を提供する。
【解決手段】被搬送物45を搬送する搬送手段17,45の搬送路の下側に配置される網状部材51、59、65、67、69と、網状部材51、59、65、67、69に配置され網状部材51、59、65、67、69の振動を検出する振動検出手段53とを有する。また、振動検出手段53は、網状部材51、59、65、67、69に間隔を置いて複数配置され、複数の振動検出手段53からの信号に基づいて被搬送物45の落下位置を推定する落下位置推定手段を有する。
【選択図】図1
【解決手段】被搬送物45を搬送する搬送手段17,45の搬送路の下側に配置される網状部材51、59、65、67、69と、網状部材51、59、65、67、69に配置され網状部材51、59、65、67、69の振動を検出する振動検出手段53とを有する。また、振動検出手段53は、網状部材51、59、65、67、69に間隔を置いて複数配置され、複数の振動検出手段53からの信号に基づいて被搬送物45の落下位置を推定する落下位置推定手段を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、搬送装置により搬送される被搬送物の落下を検出する落下検出装置、および、この落下検出装置を備えた露光装置に関する。
従来、露光装置では、レチクルやウエハ等の基板を、搬送装置によりレチクルステージあるいはウエハステージに搬送することが行われている。
特開2005−116721号公報
しかしながら、従来の露光装置では、全ての基板をステージに確実に搬送することは困難であり、被搬送物である基板が搬送装置から落下するおそれがあった。そして、基板が落下すると、基板が破損するおそれがあった。また、特に、真空雰囲気内にウエハ,レチクル等の基板を収容して露光を行う露光装置では、基板の落下位置を外部から知ることが困難であり、基板の回収に多大な時間が必要になるおそれがあった。
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、被搬送物が落下した場合に、被搬送物を保護し、同時に、被搬送物の落下を検出することができる落下検出装置およびこの落下検出装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。
第1の発明の落下検出装置は、被搬送物を搬送する搬送手段の搬送路の下側に配置される網状部材と、前記網状部材に配置され前記網状部材の振動を検出する振動検出手段とを有することを特徴とする。
第2の発明の落下検出装置は、第1の発明の落下検出装置において、前記振動検出手段は、前記網状部材に間隔を置いて複数配置され、前記複数の振動検出手段からの信号に基づいて前記被搬送物の落下位置を推定する落下位置推定手段を有することを特徴とする。
第2の発明の落下検出装置は、第1の発明の落下検出装置において、前記振動検出手段は、前記網状部材に間隔を置いて複数配置され、前記複数の振動検出手段からの信号に基づいて前記被搬送物の落下位置を推定する落下位置推定手段を有することを特徴とする。
第3の発明の落下検出装置は、第1または第2の発明の落下検出装置において、前記振動検出手段は、加速度センサであることを特徴とする。
第4の発明の露光装置は、基板を保持するステージ装置と、前記ステージ装置に前記基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段からの前記基板の落下を検出する落下検出装置とを有し、前記落下検出装置は、前記搬送手段の搬送路の下側に配置される網状部材と、前記網状部材に配置され前記網状部材の振動を検出する振動検出手段とを有することを特徴とする。
第4の発明の露光装置は、基板を保持するステージ装置と、前記ステージ装置に前記基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段からの前記基板の落下を検出する落下検出装置とを有し、前記落下検出装置は、前記搬送手段の搬送路の下側に配置される網状部材と、前記網状部材に配置され前記網状部材の振動を検出する振動検出手段とを有することを特徴とする。
第5の発明の露光装置は、第4の発明の露光装置において、前記振動検出手段は、前記網状部材に間隔を置いて複数配置され、前記複数の振動検出手段からの信号に基づいて前記被搬送物の落下位置を推定する落下位置推定手段を有することを特徴とする。
第6の発明の露光装置は、第4または第5の発明の露光装置において、前記ステージ装置、前記搬送手段および前記落下検出装置は、真空雰囲気内に配置されていることを特徴とする。
第6の発明の露光装置は、第4または第5の発明の露光装置において、前記ステージ装置、前記搬送手段および前記落下検出装置は、真空雰囲気内に配置されていることを特徴とする。
第7の発明の露光装置は、第4ないし第6の発明のいずれか1の露光装置において、前記基板はウエハ、前記ステージ装置はウエハステージであり、前記ウエハステージの下側に前記網状部材を配置してなることを特徴とする。
第8の発明の露光装置は、第4ないし第7の発明のいずれか1の露光装置において、前記振動検出手段は、加速度センサであることを特徴とする。
第8の発明の露光装置は、第4ないし第7の発明のいずれか1の露光装置において、前記振動検出手段は、加速度センサであることを特徴とする。
本発明の落下検出装置では、被搬送物を搬送する搬送手段の搬送路の下側に網状部材を配置し、この網状部材に網状部材の振動を検出する振動検出手段を配置したので、被搬送物が落下した場合に、被搬送物を保護し、同時に、被搬送物の落下を検出することができる。
本発明の露光装置では、基板を搬送する搬送手段の搬送路の下側に網状部材を配置し、この網状部材に網状部材の振動を検出する振動検出手段を配置したので、基板が落下した場合に、基板を保護し、同時に、基板の落下を検出することができる。
本発明の露光装置では、基板を搬送する搬送手段の搬送路の下側に網状部材を配置し、この網状部材に網状部材の振動を検出する振動検出手段を配置したので、基板が落下した場合に、基板を保護し、同時に、基板の落下を検出することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の露光装置の実施形態を模式的に示す平面図である。この実施形態では、本発明が、真空雰囲気内において露光が行われるEUV露光装置に適用される。
この露光装置は、ウエハステージ11が配置されるウエハステージチャンバ13を有している。このウエハステージチャンバ13には、ロードチャンバ15が連通されている。ロードチャンバ15内には真空ロボット17が配置されている。ロードチャンバ15には、ウエハプリアライメントチャンバ19が連通されている。また、ロードチャンバ15には温度補償チャンバ21が連通されている。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の露光装置の実施形態を模式的に示す平面図である。この実施形態では、本発明が、真空雰囲気内において露光が行われるEUV露光装置に適用される。
この露光装置は、ウエハステージ11が配置されるウエハステージチャンバ13を有している。このウエハステージチャンバ13には、ロードチャンバ15が連通されている。ロードチャンバ15内には真空ロボット17が配置されている。ロードチャンバ15には、ウエハプリアライメントチャンバ19が連通されている。また、ロードチャンバ15には温度補償チャンバ21が連通されている。
そして、ロードチャンバ15には第1のゲートバルブ23を介してロードロック室25が連通されている。ロードロック室25の入口は第2のゲートバルブ27を介して大気中に開放されている。ロードロック室25には室内を真空引きするための真空ポンプ(不図示)が設けられている。ロードロック室25の第2のゲートバルブ27の外側には、大気ロボット29が配置されている。この大気ロボット29の外側には、ウエハカセット部31が配置されている。
この実施形態では、ウエハステージ11は、粗動ステージ33を有している。粗動ステージ33のX方向の両側には、粗動ステージ33のYスライダ35を案内する一対のガイド部材37が配置されている。また、粗動ステージ33のY方向の両側には、粗動ステージ33のXスライダ39を案内する一対のガイド部材41が配置されている。
この粗動ステージ33では、Yスライダ35をリニアモータにより一対のガイド部材37に沿って移動することにより、粗動ステージ33のY方向の位置決めが行われる。また、Xスライダ39をリニアモータにより一対のガイド部材41に沿って移動することにより、粗動ステージ33のX方向の位置決めが行われる。
この粗動ステージ33では、Yスライダ35をリニアモータにより一対のガイド部材37に沿って移動することにより、粗動ステージ33のY方向の位置決めが行われる。また、Xスライダ39をリニアモータにより一対のガイド部材41に沿って移動することにより、粗動ステージ33のX方向の位置決めが行われる。
粗動ステージ33の上面には、図2に示すように、粗動ステージ33より高精度でX,YおよびZ方向に移動可能な微動テーブル43が配置されている。この微動テーブル43の上面には、ウエハ45を吸着保持する静電チャック47が配置されている。また、ガイド部材37,41は、図2に示すように、ステージベース49上に支持されている。
そして、この実施形態では、粗動ステージ33の下側には、網状部材51が配置されている。網状部材51は、例えばテフロン(登録商標)製のネットからなり、5mm角程度の網目を有している。この網状部材51は、可能な限り軽量であることが望ましい。網状部材51の外周は、ガイド部材37,41の下部に、粗動ステージ33に干渉しないように固定されている。
そして、この実施形態では、粗動ステージ33の下側には、網状部材51が配置されている。網状部材51は、例えばテフロン(登録商標)製のネットからなり、5mm角程度の網目を有している。この網状部材51は、可能な限り軽量であることが望ましい。網状部材51の外周は、ガイド部材37,41の下部に、粗動ステージ33に干渉しないように固定されている。
網状部材51には、網状部材51の振動を検出する振動検出手段である加速度センサ53が配置されている。この加速度センサ53は、所定の間隔を置いて複数配置されている。各加速度センサ53は、信号線55を介して落下位置推定手段57に接続されている。落下位置推定手段57は、複数の加速度センサ53からの出力信号に基づいてウエハ45の落下位置を推定する。
より具体的には、落下位置推定手段57は、各加速度センサ53からの出力信号を常時入力しており、ウエハ45の落下時に最も大きな振幅の出力信号を出力した加速度センサ53の位置をウエハ45の落下位置として推定する。そして、この位置を表示手段(不図示)に表示する。すなわち、網状部材51にウエハ45が落下すると、ウエハ45の落下した部分の網状部材51の振動が最も大きくなり、ウエハ45の落下した部分に最も近い加速度センサ53から出力される出力信号の振幅が最も大きくなる。従って、この加速度センサ53の付近にウエハ45が落下したと推定することができる。
この実施形態では、ウエハステージチャンバ13には、4本のガイド部材37,41により囲まれた空間の外側にも網状部材59が配置されている。この網状部材59は、真空ロボット17の搬送アーム61の位置より下方となる位置に配置されている。そして、網状部材59には、所定の間隔を置いて加速度センサ53が配置されている。これらの加速度センサ53は、信号線55を介して落下位置推定手段57に接続されている。
また、ロードチャンバ15、ウエハプリアライメントチャンバ19、温度補償チャンバ21およびロードロック室25にも網状部材63,65,67,69が配置されている。ロードチャンバ15、ウエハプリアライメントチャンバ19、温度補償チャンバ21に配置される網状部材63,65,67は、真空ロボット17の搬送アーム61の位置より下方となる位置に配置されている。また、ロードロック室25に配置される網状部材69は、真空ロボット17の搬送アーム61および大気ロボット29の搬送アーム71の位置より下方となる位置に配置されている。そして、各網状部材63,65,67,69には、所定の間隔を置いて複数の加速度センサ53が配置されている。これ等の加速度センサ53は、信号線55を介して落下位置推定手段57に接続されている。
上述した露光装置では、ウエハステージチャンバ13内へのウエハ45の搬送が以下述べるようにして行われる。
先ず、ウエハカセット部31内のウエハ45を大気ロボット29の搬送アーム71により取り出す。そして、ロードロック室25の第2のゲートバルブ27を開け搬送アーム71によりウエハ45をロードロック室25内に搬送する。この後、第2のゲートバルブ27を閉め、ロードロック室25内が目的の真空度に達するまで真空引きを行う。
先ず、ウエハカセット部31内のウエハ45を大気ロボット29の搬送アーム71により取り出す。そして、ロードロック室25の第2のゲートバルブ27を開け搬送アーム71によりウエハ45をロードロック室25内に搬送する。この後、第2のゲートバルブ27を閉め、ロードロック室25内が目的の真空度に達するまで真空引きを行う。
ロードロック室25内が所定の真空度に達すると、ロードロック室25とロードチャンバ15間の第1のゲートバルブ23が開かれる。そして、ロードチャンバ15に備えられた真空ロボット17の搬送アーム61により、ロードロック室25からウエハ45が取り出され、一旦ロードチャンバ15内に搬送された後、第1のゲートバルブ23が閉められる。
この後、ウエハ45が真空ロボット17の搬送アーム61によってロードチャンバ15から温度補償チャンバ21に搬送され、所定の温度まで加熱される。すなわち、ロードロック室25が真空排気されると、ウエハ45の温度が低下するため、低下した温度を補償するための加熱が行われる。
この後、ウエハ45が真空ロボット17の搬送アーム61によってロードチャンバ15からウエハプリアライメントチャンバ19に搬送される。ウエハプリアライメントチャンバ19では、ウエハプリアライナ(不図示)の検出器(不図示)によりウエハ45の位置合わせ用マーク(ノッチ)が検出されウエハ45の位置合わせが行われる。
この後、ウエハ45が真空ロボット17の搬送アーム61によってロードチャンバ15からウエハプリアライメントチャンバ19に搬送される。ウエハプリアライメントチャンバ19では、ウエハプリアライナ(不図示)の検出器(不図示)によりウエハ45の位置合わせ用マーク(ノッチ)が検出されウエハ45の位置合わせが行われる。
ウエハ45の位置合わせが終了すると、ウエハ45が真空ロボット17の搬送アーム61によってロードチャンバ15からウエハステージチャンバ13へ搬送される。そして、ウエハ45がウエハステージ11の静電チャック47に吸着固定される。
そして、ウェハステージチャンバ13、ロードチャンバ15、ウエハプリアライメントチャンバ19、温度補償チャンバ21あるいはロードロック室25内において、搬送アーム61,71により搬送されるウエハ45が落下すると、ウエハ45が網状部材51,59,63,65,67,69上に落下し、ウエハ45の破損が防止される。また、落下位置推定手段57により、ウエハ45の落下位置が推定される。
そして、ウェハステージチャンバ13、ロードチャンバ15、ウエハプリアライメントチャンバ19、温度補償チャンバ21あるいはロードロック室25内において、搬送アーム61,71により搬送されるウエハ45が落下すると、ウエハ45が網状部材51,59,63,65,67,69上に落下し、ウエハ45の破損が防止される。また、落下位置推定手段57により、ウエハ45の落下位置が推定される。
上述した露光装置では、ウエハ45を搬送する真空ロボット17の搬送アーム61の搬送路の下側に網状部材51,59,63,65,67,69を配置し、この網状部材51,59,63,65,67,69に網状部材51,59,63,65,67,69の振動を検出する加速度センサ53を配置したので、ウエハ45が落下した場合に、ウエハ45を保護し、同時に、ウエハ45の落下を検出することができる。
そして、上述した露光装置では、ウェハステージチャンバ13、ロードチャンバ15、ウエハプリアライメントチャンバ19および温度補償チャンバ21が真空雰囲気であるため、ウエハ45の落下位置を外部から直接知ることが困難であるが、落下位置推定手段57によりウエハ45の落下位置を容易に知ることが可能になる。従って、ウエハ45の回収作業を容易なものにすることができる。
(第2の実施形態)
この実施形態では、図3に示すように、チャンバ73内に配置される網状部材75の両端部75aが、搬送路77より上方に支持されている。そして、網状部材75の中央部75bが、搬送路77より下方に位置されている。
(第2の実施形態)
この実施形態では、図3に示すように、チャンバ73内に配置される網状部材75の両端部75aが、搬送路77より上方に支持されている。そして、網状部材75の中央部75bが、搬送路77より下方に位置されている。
また、図3の網状部材75を上方から見た図4に示すように、網状部材75の中央には、加速度センサ53(1)が配置されている。そして、中央の加速度センサ53(1)を中心とする円周上には、90度の角度を置いて4個の加速度センサ53(2),53(3),53(4),53(5)が配置されている。各加速度センサ53は、図2に示したと同様に信号線55を介して落下位置推定手段57に接続されている。
この実施形態では、落下位置推定手段57は、各加速度センサ53からの出力信号を常時入力しており、各加速度センサ53の出力信号の振幅に基づいてウエハ45の落下位置を推定する。すなわち、例えば網状部材75の加速度センサ53(2)の位置あるいはその近傍にウエハ45が落下すると、落下した位置の加速度センサ53(2)の出力信号の振幅が大きくなるため、その加速度センサ53(2)の位置あるいはその付近にウエハ45が落下したと推定することができる。
また、例えば網状部材75のA点にウエハ45が落下すると、3個の加速度センサ53(1),53(3),53(4)の出力信号の振幅が略同一になるため、A点あるいはこの付近にウエハ45が落下したと推定することができる。さらに、例えば網状部材75のB点にウエハ45が落下すると、2個の加速度センサ53(1),53(3)の出力信号の振幅が略同一になるため、B点あるいはこの付近にウエハ45が落下したと推定することができる。従って、ウエハ45の落下位置をより正確に推定することができる。
また、この実施形態では、網状部材75の両端部75aを、搬送路77より上方に支持したので、例えば真空ロボット17の搬送アーム61が暴走した時には、搬送アーム61がチャンバ73に直接衝突する前に網状部材75に衝突して保護される。従って、搬送アーム61の暴走による被害を小さくすることができる。
(露光装置の詳細)
図5は、図1に示したEUV露光装置の光学系を模式化して示している。なお、この実施形態において上述した実施形態と同一の部材には、同一の符号を付している。
(露光装置の詳細)
図5は、図1に示したEUV露光装置の光学系を模式化して示している。なお、この実施形態において上述した実施形態と同一の部材には、同一の符号を付している。
この実施形態では、露光の照明光としてEUV光が用いられる。EUV光は0.1〜400nmの間の波長を持つもので、この実施形態では特に1〜50nm程度の波長が好ましい。投影系は像光学系システム101を用いたもので、ウエハ45上にレチクル103によるパターンの縮小像を形成するものである。
ウエハ45上に照射されるパターンは、レチクルステージ102の下側に静電チャック104を介して配置されている反射型のレチクル103により決められる。この反射型のレチクル103は、真空ロボットによって搬入および搬出される(真空ロボットの図示は省略する)。また、ウエハ45はウエハステージ11の微動テーブル43上に静電チャック47を介して配置されている。典型的には、露光はステップ・スキャンによりなされる。
ウエハ45上に照射されるパターンは、レチクルステージ102の下側に静電チャック104を介して配置されている反射型のレチクル103により決められる。この反射型のレチクル103は、真空ロボットによって搬入および搬出される(真空ロボットの図示は省略する)。また、ウエハ45はウエハステージ11の微動テーブル43上に静電チャック47を介して配置されている。典型的には、露光はステップ・スキャンによりなされる。
露光時の照明光として使用するEUV光は大気に対する透過性が低いので、EUV光が通過する光経路は、適当な真空ポンプ107を用いて真空に保たれた真空チャンバ106に囲まれている。またEUV光はレーザプラズマX線源によって生成される。レーザプラズマX線源はレーザ源108(励起光源として作用)とキセノンガス供給装置109からなっている。レーザプラズマX線源は真空チャンバ110によって取り囲まれている。レーザプラズマX線源によって生成されたEUV光は真空チャンバ110の窓111を通過する。
放物面ミラー113は、キセノンガス放出部の近傍に配置されている。放物面ミラー113はプラズマによって生成されたEUV光を集光する。放物面ミラー113は集光光学系を構成し、ノズル112からのキセノンガスが放出される位置の近傍に焦点位置がくるように配置されている。EUV光は放物面ミラー113の多層膜で反射し、真空チャンバ110の窓111を通じて集光ミラー114へと達する。集光ミラー114は反射型のレチクル103へとEUV光を集光、反射させる。EUV光は集光ミラー114で反射され、レチクル103の所定の部分を照明する。すなわち、放物面ミラー113と集光ミラー114はこの装置の照明システムを構成する。
レチクル103は、EUV光を反射する多層膜とパターンを形成するための吸収体パターン層を持っている。レチクル103でEUV光が反射されることによりEUV光は「パターン化」される。パターン化されたEUV光は像光学システム101を通じてウエハ45に達する。
この実施形態の像光学システム101は、凹面第1ミラー115a、凸面第2ミラー115b、凸面第3ミラー115c、凹面第4ミラー115dの4つの反射ミラーからなっている。各ミラー115a〜115dにはEUV光を反射する多層膜が備えられている。
この実施形態の像光学システム101は、凹面第1ミラー115a、凸面第2ミラー115b、凸面第3ミラー115c、凹面第4ミラー115dの4つの反射ミラーからなっている。各ミラー115a〜115dにはEUV光を反射する多層膜が備えられている。
レチクル103により反射されたEUV光は第1ミラー115aから第4ミラー115dまで順次反射されて、レチクル103パターンの縮小(例えば、1/4、1/5、1/6)された像を形成する。像光学系システム101は、像の側(ウエハ45の側)でテレセントリックになるようになっている。
レチクル103は可動のレチクルステージ102によって少なくともX−Y平面内で支持されている。ウエハ45は、好ましくはX,Y,Z方向に可動なウエハステージ11によって支持されている。ウエハ45上のダイを露光するときには、EUV光が照明システムによりレチクル103の所定の領域に照射され、レチクル103とウエハ45は像光学系システム101に対して像光学システム101の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハ45上の所定の露光範囲(ダイに対して)に露光される。
レチクル103は可動のレチクルステージ102によって少なくともX−Y平面内で支持されている。ウエハ45は、好ましくはX,Y,Z方向に可動なウエハステージ11によって支持されている。ウエハ45上のダイを露光するときには、EUV光が照明システムによりレチクル103の所定の領域に照射され、レチクル103とウエハ45は像光学系システム101に対して像光学システム101の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハ45上の所定の露光範囲(ダイに対して)に露光される。
露光の際には、ウエハ45上のレジストから生じるガスが像光学システム101のミラー115a〜115dに影響を与えないように、ウエハ45はパーティション116の後ろに配置されることが望ましい。パーティション116は開口116aを持っており、それを通じてEUV光がミラー115dからウエハ45へと照射される。パーティション116内の空間は真空ポンプ117により真空排気されている。このように、レジストに照射することにより生じるガス状のゴミがミラー115a〜115dあるいはレチクル103に付着するのを防ぐ。それゆえ、これらの光学性能の悪化を防いでいる。
この実施形態の露光装置では、ウエハ45が落下した場合に、ウエハ45を保護し、同時に、ウエハ45の落下を検出することができる。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
(1)上述した実施形態では、ウエハ45の搬送路の下方に網状部材51,59,63,65,67,69,75を配置した例について説明したが、例えばレチクル(マスク)等の搬送路の下方に網状部材を配置しても良い。
(2)上述した実施形態では、露光装置に本発明の落下検出装置を適用した例について説明したが、被搬送物を搬送する搬送手段を備えた装置に広く適用することができる。
(2)上述した実施形態では、露光装置に本発明の落下検出装置を適用した例について説明したが、被搬送物を搬送する搬送手段を備えた装置に広く適用することができる。
(3)上述した実施形態では、振動検出手段に加速度センサ53を用いた例について説明したが、例えば角速度センサ等の振動を検出するセンサを広く用いることができる。
(4)上述した実施形態では、EUV露光装置に本発明を適用した例について説明したが、種々の露光装置に広く適用することができる。
(4)上述した実施形態では、EUV露光装置に本発明を適用した例について説明したが、種々の露光装置に広く適用することができる。
13:ウエハステージチャンバ、15:ロードチャンバ、17:真空ロボット、19:ウエハプリアライメントチャンバ、25:ロードロック室、29:大気ロボット、45:ウエハ、51,59,63,65,67,69:網状部材、53:加速度センサ、57:落下位置推定手段、61:搬送アーム。
Claims (8)
- 被搬送物を搬送する搬送手段の搬送路の下側に配置される網状部材と、
前記網状部材に配置され前記網状部材の振動を検出する振動検出手段と、
を有することを特徴とする落下検出装置。 - 請求項1記載の落下検出装置において、
前記振動検出手段は、前記網状部材に間隔を置いて複数配置され、前記複数の振動検出手段からの信号に基づいて前記被搬送物の落下位置を推定する落下位置推定手段を有することを特徴とする落下検出装置。 - 請求項1または請求項2記載の落下検出装置において、
前記振動検出手段は、加速度センサであることを特徴とする落下検出装置。 - 基板を保持するステージ装置と、
前記ステージ装置に前記基板を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段からの前記基板の落下を検出する落下検出装置とを有し、
前記落下検出装置は、
前記搬送手段の搬送路の下側に配置される網状部材と、
前記網状部材に配置され前記網状部材の振動を検出する振動検出手段と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項4記載の露光装置において、
前記振動検出手段は、前記網状部材に間隔を置いて複数配置され、前記複数の振動検出手段からの信号に基づいて前記被搬送物の落下位置を推定する落下位置推定手段を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項4または請求項5記載の露光装置において、
前記ステージ装置、前記搬送手段および前記落下検出装置は、真空雰囲気内に配置されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項4ないし請求項6のいずれか1項記載の露光装置において、
前記基板はウエハ、前記ステージ装置はウエハステージであり、前記ウエハステージの下側に前記網状部材を配置してなることを特徴とする露光装置。 - 請求項4ないし請求項7のいずれか1項記載の露光装置において、
前記振動検出手段は、加速度センサであることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005310260A JP2007123360A (ja) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | 落下検出装置および露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005310260A JP2007123360A (ja) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | 落下検出装置および露光装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007123360A true JP2007123360A (ja) | 2007-05-17 |
Family
ID=38146908
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JP2005310260A Withdrawn JP2007123360A (ja) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | 落下検出装置および露光装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2007123360A (ja) |
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---|---|---|---|---|
JP2010217803A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Ushio Inc | 露光装置 |
JP2013157517A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
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2005
- 2005-10-25 JP JP2005310260A patent/JP2007123360A/ja not_active Withdrawn
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TWI457717B (zh) * | 2009-03-19 | 2014-10-21 | Ushio Electric Inc | Exposure device |
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