JP2013148844A - 光吸収体及びこれを用いた撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光吸収体100は、基体10と、この基体10の少なくとも一方の面に設けられ、基体10に入射する光を遮断する遮光膜20とを有する。遮光膜20は、消衰係数が2.5以上の第1の光吸収層21と、この第1の光吸収層21の基体10と反対側の面に、屈折率が1.4〜3.0で、かつ消衰係数が0.4〜1.0の第2の光吸収層22を介して設けられた屈折率が1.7以下の低屈折率層23とを有する。
【選択図】図1
Description
ここで、消衰係数とは、光がある物質に入射したとき、その物質がどれくらいの光を吸収するのかを示す定数をいい、ベールの法則によれば、物質をある距離通過したときの光の強度Iと入射した光の強度I0と消衰係数kとの間には次式の関係がある。
I=I0e−αZ
α=4πk/λ
(z:光の進入の深さ、α:吸収係数、λ:波長)
上記の式から明らかなように、消衰係数は波長依存性があり、本明細書においては、特に断らない限り、波長550nmにおける消衰係数をいう。
なお、屈折率も、本明細書においては、特に断らない限り、波長550nmの光に対する屈折率をいう。
図1は、本発明の第1の実施形態による光吸収体の全体構成を概略的に示す断面図であり、図2は、その要部を拡大して示す断面図である。
まず、フィルタ10の紫外・赤外光反射膜の表面全体に、フォトレジスト31を塗布する(図3(a))。フォトレジストは、フォトレジストの塗布方法としては、スピンコート法、バーコート法、ディップコート法、キャスト法、スプレーコート法、ビードコート法、ワイヤーバーコート法、ブレードコート法、ローラーコート法、カーテンコート法、スリットダイコート法、グラビアコート法、スリットリバースコート法、マイクログラビア法、コンマコート法等を使用できる。塗布は、複数回に分けて実施してもよい。また、塗布に先立って、紫外・赤外光反射膜に対する密着性を高めるために、紫外・赤外光反射膜の表面にヘキサメチルジシラザン(HMDS)等による処理を行ってもよい。
図9は、本発明の第2の実施形態による光吸収体の要部の構成を概略的に示す断面図である。なお、本実施形態以降、重複する説明を避けるため、第1の実施の形態と共通する点については説明を省略し、相違点を中心に説明する。
図10は、本発明の第3の実施形態による光吸収体150を概略的に示す断面図である。
本実施形態の光吸収体150は、図10に示すように、フィルタ10の透明基材11と反射防止膜13との間に、赤外光吸収膜15が設けられている。赤外光吸収膜15は、透明基材11と紫外・赤外光反射膜12の間に設けられていてもよい。
A1/nCuPO4 …(1)
(式中、Aは、アルカリ金属(Li、Na、K、Rb、Cs)、アルカリ土類金属(Mg、Ca、Sr、Ba)及びNH4からなる群より選ばれる1種以上であり、添字のnは、Aがアルカリ金属またはNH4の場合は1であり、Aがアルカリ土類金属の場合は2である。)
図16は、第4の実施形態による撮像装置200を概略的に示す断面図である。
40mm×40mm×0.3mmの角板状の白板ガラスB270(Schott社製 商品名)を基体とし、その一方の面に、スパッタ法により、クロム(Cr;消衰係数3.33)膜、酸化銅(CuO;屈折率2.58、消衰係数0.59)膜、及び酸化ケイ素(SiO2;屈折率1.47)膜を順に積層して、表1に示すような構成からなる遮光膜(3層)を形成し、光吸収体を作製した。
40mm×40mm×0.3mmの角板状の白板ガラスB270を基体とし、その一方の面に、スパッタ法により、酸化タンタル(Ta2O5;屈折率2.23)膜、酸化銅(CuO;屈折率2.58、消衰係数0.59)膜、クロム(Cr;消衰係数3.33)膜、酸化銅(CuO;屈折率2.58、消衰係数0.59)膜、及び酸化ケイ素(SiO2;屈折率1.47)膜を順に積層して、表2に示すような構成からなる遮光膜(5層)を形成し、光吸収体を作製した。
40mm×40mm×0.3mmの角板状の白板ガラスB270を基体とし、その一方の面に、スパッタ法により、クロム(Cr)膜、酸化クロム(CrOx;2.11、消衰係数0.12)膜、クロム(Cr)膜、酸化クロム(CrOx;屈折率2.11、消衰係数0.12)膜、及び酸化ケイ素(SiO2)膜を順に積層して、表4に示すような構成からなる遮光膜(5層)を形成し、光吸収体を作製した。
得られた光吸収体の分光透過率曲線及び分光反射率曲線を図21に示す。なお、これらの分光透過率曲線及び分光反射率曲線の測定は、最上層の酸化ケイ素膜の上方から、この酸化ケイ素膜に向けて入射角度0°で入射させた光について測定したものである。
40mm×40mm×0.3mmの角板状の白板ガラスB270を基体とし、その一方の面に、スパッタ法により、酸化ケイ素(SiO2;屈折率1.47)膜、酸化クロム(CrOx;2.11、消衰係数0.12)膜、クロム(Cr)膜、酸化クロム(CrOx;屈折率2.11、消衰係数0.12)膜、クロム(Cr)膜、クロム(Cr)膜、酸化クロム(CrOx;屈折率2.11、消衰係数0.12)膜、クロム(Cr)膜、酸化クロム(CrOx;屈折率2.11、消衰係数0.12)膜、及び酸化ケイ素(SiO2;屈折率1.47)膜を順に積層して、表5に示すような構成からなる遮光膜(9層)を形成し、光吸収体を作製した。
Claims (18)
- 基体と、この基体の少なくとも一方の面に設けられた、前記基体に入射する光を遮断する遮光膜とを有し、
前記遮光膜が、消衰係数が2.5以上の第1の光吸収層と、この第1の光吸収層の前記基体と反対側の面に、屈折率が1.4〜3.0で、かつ消衰係数が0.4〜1.0の第2の光吸収層を介して設けられた、屈折率が1.7以下の低屈折率層とを有することを特徴とする光吸収体。 - 前記遮光膜の前記低屈折率層形成側の面に入射した光の、可視波長領域(波長400nm〜700nm)における反射率が1.5%以下である請求項1記載の光吸収体。
- 前記第1の光吸収層が、クロム、モリブデン、タングステン、鉄、ニッケル、チタン、及び低級酸化クロムから選ばれる1種以上を含む請求項1または2記載の光吸収体。
- 前記第1の光吸収層の厚さが、30nm〜200nmである請求項1乃至3のいずれか1項記載の光吸収体。
- 前記第2の光吸収層が、酸化銅、並びに、ケイ素、チタン、及びクロムの低級酸化物から選ばれる1種以上を含む請求項1乃至4のいずれか1項記載の光吸収体。
- 前記第2の光吸収層の厚さが、20nm〜140nmである請求項1乃至5のいずれか1項記載の光吸収体。
- 前記低屈折率層が、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウム、フッ化ランタン、及び六フッ化アルミニウムナトリウムから選ばれる1種以上を含む請求項1乃至6のいずれか1項記載の光吸収体。
- 前記低屈折率層の厚さが、25nm〜80nmである請求項1乃至7のいずれか1項記載の光吸収体。
- 前記遮光膜が、前記第1の光吸収層の前記基体側の面に、屈折率が1.4〜3.0で、かつ消衰係数が0.4〜1.0の第3の光吸収層を介して設けられた、屈折率が1.7超の高屈折率層をさらに有する請求項1乃至8のいずれか1項記載の光吸収体。
- 前記高屈折率層が、酸化クロム、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ハフニウム、酸化ニオブ、酸化スズ、及び酸化ジルコニウムから選ばれる1種以上を含む請求項9記載の光吸収体。
- 前記高屈折率層の厚さが、10nm〜50nmである請求項9または10記載の光吸収体。
- 前記第3の光吸収層が、酸化銅、並びに、ケイ素、チタン、及びクロムの低級酸化物から選ばれる1種以上を含む請求項9乃至11のいずれか1項記載の光吸収体。
- 前記第3の光吸収層の厚さが、20nm〜140nmである請求項9乃至12のいずれか1項記載の光吸収体。
- 被写体または光源からの光が入射する撮像素子が内蔵された撮像装置に用いられる光吸収体であって、
前記被写体または光源と前記撮像素子との間に配置され、前記入射光に対し透過性を有する基体と、
前記基体の少なくとも一方の面に設けられ、前記基体に入射する光を遮断する遮光膜とを有し、
前記遮光膜が、消衰係数が2.5以上の第1の光吸収層と、この第1の光吸収層の前記基体と反対側の面に、屈折率が1.4〜3.0で、かつ消衰係数が0.4〜1.0の第2の光吸収層を含む中間層を介して設けられた屈折率が1.7以下の低屈折率層とを有することを特徴とする光吸収体。 - 前記基体が、近赤外線カット機能を有する光学フィルタの少なくとも一部を構成している請求項14記載の光吸収体。
- 前記光学フィルタが、赤外波長領域の光を吸収する赤外線吸収ガラスを備える請求項15記載の光吸収体。
- 前記光学フィルタが、赤外波長領域の光を吸収する赤外線吸収剤を含む赤外光吸収膜を備える請求項15または16記載の光吸収体。
- 被写体または光源からの光が入射する撮像素子と、
前記被写体または光源と前記撮像素子との間に配置された請求項14乃至17のいずれか1項記載の光吸収体と
を備えたことを特徴とする撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012011408A JP5849719B2 (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | 光吸収体及びこれを用いた撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012011408A JP5849719B2 (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | 光吸収体及びこれを用いた撮像装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015222335A Division JP6156468B2 (ja) | 2015-11-12 | 2015-11-12 | 光吸収体及びこれを用いた撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013148844A true JP2013148844A (ja) | 2013-08-01 |
JP5849719B2 JP5849719B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=49046372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012011408A Active JP5849719B2 (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | 光吸収体及びこれを用いた撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5849719B2 (ja) |
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JP2018045249A (ja) * | 2017-11-21 | 2018-03-22 | キヤノン株式会社 | 光学素子及びそれを有する光学系 |
JPWO2020022295A1 (ja) * | 2018-07-26 | 2021-08-02 | Agc株式会社 | 光学素子、光学系、および光学装置 |
JP2020064136A (ja) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | オリンパス株式会社 | 遮光膜、光学素子、および光学機器 |
CN110174716A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-08-27 | 浙江舜宇光学有限公司 | 光学元件及光学镜头 |
WO2021193652A1 (ja) * | 2020-03-26 | 2021-09-30 | 東海光学株式会社 | 遮光部材 |
CN112415645A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-02-26 | 广州市佳禾光电科技有限公司 | 滤光片及摄像头组件 |
WO2022118659A1 (ja) * | 2020-12-02 | 2022-06-09 | 東海光学株式会社 | 光学薄膜の製造方法及び光学薄膜 |
WO2022163546A1 (ja) * | 2021-01-27 | 2022-08-04 | Agc株式会社 | 光学薄膜積層体及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5849719B2 (ja) | 2016-02-03 |
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A977 | Report on retrieval |
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