WO2021193652A1 - 遮光部材 - Google Patents

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WO2021193652A1
WO2021193652A1 PCT/JP2021/012034 JP2021012034W WO2021193652A1 WO 2021193652 A1 WO2021193652 A1 WO 2021193652A1 JP 2021012034 W JP2021012034 W JP 2021012034W WO 2021193652 A1 WO2021193652 A1 WO 2021193652A1
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less
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base material
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PCT/JP2021/012034
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拓郎 吉田
俊介 鳥居
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東海光学株式会社
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    • G02B5/0294Diffusing elements; Afocal elements characterized by the use adapted to provide an additional optical effect, e.g. anti-reflection or filter

Definitions

  • the present invention relates to a light-shielding member which is a member having a light-shielding property.
  • Patent Document 1 Japanese Patent No. 6541244
  • the surface of the base material member having fine irregularities that has been matted is colored with a colorant such as carbon black.
  • the reflectance is not sufficiently lowered due to the reflection of light on the particle surface of the colorant, and the appearance is whitish (like a black surface with a white haze) even though it has a black color.
  • the appearance is gray, and there is room for improvement in terms of blackness.
  • Patent Document 2 a Ni-based metal film (nickel film) and a Ni-based metal oxide film are sequentially sputtered on the surface of the film substrate to form a multilayer film.
  • a light-shielding film has been proposed. In this light-shielding film, since the colorant is not arranged on the surface of the film base material, the light is not reflected by the colorant.
  • the refractive index of the outermost Ni-based metal oxide film which is the layer farthest from the film substrate, is as high as 2 or more, so that the reflectance at the interface is high. It gets bigger and eventually reflects some light. Further, this light-shielding film does not have a structure that sufficiently reduces the reflectance of the multilayer film as a whole. Therefore, the reflectance does not decrease sufficiently, and the appearance becomes whitish while having black, and when viewed together, the appearance becomes gray, and there is still room for improvement in terms of blackness.
  • a main object of the present invention is to provide a light-shielding member having excellent blackness.
  • the invention according to claim 1 includes a base material and an optical multilayer film arranged on a film-forming surface which is one or more surfaces of the base material, and the optical multilayer film absorbs visible light.
  • the light absorption layer and the dielectric layer which is a layer made of a dielectric, are arranged in four or more layers, and the outermost layer, which is the layer farthest from the base material, is the dielectric layer.
  • the physical film thickness of the outermost layer is 62 nm or more and 91 nm or less, and the next outermost layer, which is the dielectric layer having a physical film thickness of 26 nm or more and 85 nm or less and is closest to the outermost layer, and the outermost layer.
  • the surface layer side light absorption thickness which is the total physical film thickness of one or more of the light absorption layers arranged between the two, is 6 nm or more and 17 nm or less, and is arranged between the next outermost layer and the base material.
  • the substrate-side light absorption thickness which is the total of the physical thicknesses of one or more of the light-absorbing layers, is 60 nm or more, and the light-absorbing layer arranged between the next outermost layer and the base material.
  • the specific ratio, which is the quotient when the sum with the side light absorption thickness is a divisible number, is 0.34 or more.
  • the invention according to claim 2 is characterized in that, in the above invention, the total physical film thickness of the optical multilayer film is 400 nm or less.
  • the invention according to claim 3 is characterized in that, in the above invention, the film-forming surface has irregularities, and the surface roughness of the film-forming surface is 1.0 ⁇ m or less. ..
  • the invention according to claim 4 is characterized in that, in the above invention, the base material is colored black.
  • the invention according to claim 5 is characterized in that, in the above invention, the light absorbing layer contains a metal or an unsaturated oxide of a metal.
  • the main component of the light absorbing layer is Nb, Ti, Ni, Ge, Al, Si and Cr, and at least one of these unsaturated oxides. It is characterized by being.
  • the invention according to claim 7 is characterized in that, in the above invention, the dielectric layer contains a metal compound.
  • the main components of the dielectric layer are SiO 2 , MgF 2 , Nb 2 O 5 , TiO 2 , Al 2 O 3 , ZrO 2 , Ta 2 O 5 , Si. 3 is characterized in that N 4, at least one of SiN y O z.
  • the invention according to claim 9 is characterized in that, in the above invention, the main component of the outermost layer is at least one of SiO 2 and Mg F 2.
  • the invention according to claim 10 includes a base material and an optical multilayer film arranged on a film-forming surface which is one or more surfaces of the base material, and the film-forming surface has irregularities.
  • the average optical density in the wavelength range of 380 nm or more and 780 nm or less for light having an incident angle of 0 ° or more and 8 ° or less is 4.0 or more, and 380 nm or more and 780 nm for light having an incident angle of 0 ° or more and 8 ° or less.
  • the average regular reflectance in the following wavelength range is 0.02% or less, and the brightness L * in the L * a * b * color system measurement (JISZ8729) is 4.5 or less. Is.
  • the invention according to claim 11 includes a transparent base material and an optical multilayer film arranged on a film-forming surface which is one or more surfaces of the base material, and the film-forming surface is a mirror surface.
  • the average regular reflectance in the wavelength range of 400 nm or more and 700 nm or less for light with an incident angle of 0 ° or more and 8 ° or less is 0.450% or less, and 380 nm or more for light with an incident angle of 0 ° or more and 8 ° or less.
  • the average regular reflectance in the wavelength range of 780 nm or less is 0.660% or less
  • the average optical density in the wavelength range of 380 nm or more and 780 nm or less with respect to light having an incident angle of 0 ° or more and 8 ° or less is 2.1 or more. It is characterized by being.
  • the main effect of the present invention is to provide a light-shielding member having excellent blackness.
  • the light-shielding member 1 As illustrated in FIG. 1, the light-shielding member 1 according to the present invention has a base material 2 and an optical multilayer film 4.
  • the base material 2 may or may not have translucency (transparent or translucent). From the viewpoint of ensuring blackness, it is preferable that the base material 2 has low translucency, and it is preferable that the base material 2 is colored black.
  • the shape of the base material 2 may be any shape, and is preferably a plate shape, a sheet shape, or a member shape from the viewpoint of versatility.
  • the material of the base material 2 is, for example, polyester such as polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer, polyolefin, polyethylene terephthalate (PET), polyamide, ethylene-vinyl acetate copolymer, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, acrylic resin.
  • the thickness of the base material 2 is, for example, 10 ⁇ m (micrometer) or more and 200 ⁇ m or less.
  • the thickness of the base material 2 should be thicker from the viewpoint of ensuring blackness when coloring black, and thinner from the viewpoint of adapting to typical applications such as diaphragm blades or shutter blades and broadening the use of the base material 2. Is good.
  • the surface (one side or both sides) of the base material 2 may be a flat mirror surface (mirror surface base material) or may have irregularities due to matte treatment or the like (concavo-convex base material).
  • the matting treatment is performed by at least one of matting processing and application of a matting agent.
  • the matting agent is applied by applying a matting agent such as at least one of acrylic particles, urethane particles, and silica-based particles having an average particle size of 1 ⁇ m or more and 35 ⁇ m or less together with a binder, and attaching the matting agent to the mat. It forms irregularities due to the agent. Fine irregularities may be imparted to the surface of the base material 2 by other methods such as casting.
  • the surface of the base material 2 has unevenness (concavo-convex base material) from the viewpoint of diffusely reflecting the surface due to the unevenness to reduce the apparent reflectance and ensuring blackness.
  • the surface roughness is preferably 1 ⁇ m or less from the viewpoint of ensuring excellent blackness.
  • the base material 2 is colored black, for example, the matting agent is colored black by a coloring agent. Specific examples of the colorant include at least one of carbon black, carbon graphite, carbon nanotubes, and titanium black.
  • the base material 2 is colored black by applying a colored matting agent to its surface. Further, the base material 2 may be windable (rolled) or may not be windable to the extent that it cannot be wound unless plastic deformation occurs.
  • the optical multilayer film 4 is formed on the surface (single-sided or double-sided, film-forming surface M) of the base material 2.
  • the configurations of the optical multilayer films 4 on each surface may be different, but preferably these configurations are the same as each other.
  • the optical multilayer film 4 according to the present invention may be formed on one surface, and an optical multilayer film or an optical single layer film not belonging to the present invention may be formed on the other surface.
  • the film-forming surface M of the base material 2 may include a mirror surface or may include an uneven surface having irregularities.
  • the optical multilayer film 4 has a plurality of light absorption layers 6 and a plurality of dielectric layers 8.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 is preferably 4 or more in view of ensuring performance and cost of formation. That is, from the viewpoint of ensuring performance, it is necessary that the number of layers of the optical multilayer film 4 is 4 or more, and the larger the number of layers, the greater the degree of freedom in design and the easier it is to secure performance. Further, the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 is preferably 400 nm or less because the cost of formation increases and stress of a predetermined degree or more is generated depending on the material of the layer.
  • the optical multilayer film 4 between the optical multilayer film 4 and the base material 2, another one or more film such as a binder film for enhancing adhesion and at least one of a hard coat film for increasing the hardness of the light-shielding member 1 is inserted. Is also good.
  • the surface side (air side) of the optical multilayer film 4 may be provided with one or more other films such as at least one of an antifouling film and a conductive film. In addition, these films may be treated as those included in the optical multilayer film 4.
  • the light absorption layer 6 absorbs visible light. Visible light is light whose wavelength range is visible.
  • the visible region is, for example, 400 nm (nanometers) or more and 780 nm or less, the lower limit thereof may be 380 nm, 390 nm, 410 nm, 420 nm, 430 nm, 440 nm, or the like, and the upper limit thereof is 800 nm, 790 nm, 770 nm, 760 nm. , 750 nm, 730 nm, 700 nm, 680 nm, 650 nm, 640 nm and the like.
  • the light absorption layer 6 has a function of blocking visible light by absorbing visible light and realizing a black appearance of the light-shielding member 1.
  • the light absorption layer 6 is preferably a layer made of a metal (including its unsaturated oxide).
  • the main component of the light absorption layer 6 is, for example, Nb (niobium), Ti (titanium), Ni (nickel), Ge (germanium), Al (aluminum), Si (silicon), Cr (chromium), or none of these. Saturated oxide, or at least two of these.
  • the principal component is a majority in weight ratio or volume ratio to all components.
  • the layer containing Nb as a main component is referred to as an Nb layer, and layers having other main components may be similarly referred to.
  • the characteristics of each layer depend on the main components, and even if there are relatively many components other than the main components, they have the same characteristics as those with few components other than the main components.
  • the unsaturated metal oxide is, for example, NiO x (x is more than 0 and less than 1, unsaturated nickel oxide).
  • the NiO x layer contains a compound of Ni and oxygen as a main component.
  • the plurality of light absorption layers 6 preferably have the same main components as each other, and more preferably have the same components as each other.
  • the absorption of some visible light in the plurality of light-absorbing layers 6 is considered to take into consideration the absorption of visible light in the other light-absorbing layers 6. Is also good. Further, the absorption of visible light by the light absorbing layer 6 may be made according to the distribution of absorption, transmittance and reflectance in the other layer or other film of the optical multilayer film 4 or the base material 2.
  • the light absorption layer 6 is formed by vapor deposition, sputtering, or the like, and is preferably formed by sputtering.
  • the light absorption layer 6 is a NiO x layer and is formed by vapor deposition, it is preferably formed by ion assist deposition (IAD).
  • IAD ion assist deposition
  • an ion beam which is an ionized gas
  • the ion beam contains at least oxygen (O 2 ) gas.
  • the gas related to the ion beam may be a mixed gas with a rare gas such as argon gas. That is, the ion beam is an ionized oxygen gas or a mixed gas of an ionized oxygen gas and a rare gas.
  • NiO film On the surface of the NiO film, a part of the chemical bond between Ni and O is cut by the ion beam to form an oxygen deficiency. X changes according to the amount of such oxygen deficiency, and a NiO x layer (x is more than 0 and less than 1) is formed. The possibility that all the chemical bonds between Ni and O are broken by the ion beam is practically zero, and x exceeds 0. On the other hand, it can be considered that there is no practical possibility that the chemical bond between Ni and O is not broken even though the ion beam is irradiated, so x is less than 1.
  • the amount of oxygen deficiency can be made constant in one layer by continuously heating the vapor deposition source and irradiating the ion beam under the same conditions, and the NiO x layer thus deposited can be made constant.
  • the same conditions are, for example, a constant voltage (constant gas ionization voltage) in an ion gun, and a constant flow rate of oxygen gas or oxygen gas and noble gas.
  • the magnitudes of the flow rates may be the same or different as long as the flow rate is constant during the deposition of one NiO x layer.
  • the flow rate of oxygen gas may be set to "constant flow rate", and the flow rate of rare gas may be set to "predetermined flow rate". Irradiation of an ion beam under the same conditions can be regarded as irradiation of a constant ion beam.
  • the value of x is controlled by various characteristics of the ion beam (various settings of the ion gun). For example, the magnitude of x can be changed depending on at least one of the magnitude of the acceleration voltage of the ion beam and the magnitude of the current of the ion beam. When a mixed gas with a rare gas is used, the magnitude of x can be changed by changing the introduction amount or the mixing ratio of the oxygen gas and the rare gas.
  • the value of x can be adjusted in the range of more than 0 and less than 1 by setting the film forming conditions such as the degree or temperature of the vacuum in the vacuum chamber, the temperature of the sputtering source, the target temperature, or the substrate temperature.
  • the dielectric layer 8 is a layer made of a dielectric.
  • the dielectric layer 8 realizes an antireflection function in combination with the light absorption layer 6. That is, the optical multilayer film 4 becomes an antireflection film by alternately arranging the light absorption layers 6 and the dielectric layers 8.
  • the light absorption layer 6 can be seen as a high refractive index layer.
  • the dielectric layer 8 is a low refractive index layer or a medium refractive index layer with respect to the high refractive index layer.
  • the main component of the dielectric layer 8 is preferably a translucent metal compound.
  • the main components of the dielectric layer 8 are, for example, SiO 2 (silicon dioxide, silica), MgF 2 (magnesium difluoride), Nb 2 O 5 (diniob pentoxide), TiO 2 (titanium dioxide, titania), Al. 2 O 3 (dialuminum trialuminum, alumina), ZrO 2 (zircone dioxide, zirconia), Ta 2 O 5 (ditantal pentoxide), Si 3 N 4 (trisilicon tetranitride, silicon nitride), SiN y Oz At least one of (silicon oxynitride). From the viewpoint of ease of film formation, the plurality of dielectric layers 8 preferably have the same main components, and more preferably have the same components.
  • the SiN yO z layer can be formed by vapor deposition or sputtering in which Si is used as a vapor deposition source or a sputtering source and irradiated with ionized oxygen gas and ionized nitrogen gas.
  • SiN y Oz one or more N atoms or O atoms are bonded to Si atoms, but do not reach Si 3 N 4 or SiO 2 , so 0 ⁇ y ⁇ 4/3, 0 ⁇ z ⁇ . It becomes 2.
  • the values of y and z can be controlled in the same manner as the value of x of NiO x.
  • the values of y and z are not realistic to be directly identified, and it is extremely difficult for those skilled in the art to directly measure them. Therefore, it is useful to specify SiN y Oz (0 ⁇ y ⁇ 4/3, 0 ⁇ z ⁇ 2), and further, the SiN y Oz layer is appropriately specified by the characteristics of the ion beam at the time of vapor deposition. It is easy to understand and useful for those skilled in the art.
  • the outermost layer 10 of the optical multilayer film 4 which is the layer farthest from the base material 2 (the layer on the surface side (air side) of the light-shielding member 1), secures antireflection performance and protects the light absorption layer 6.
  • the dielectric layer 8 is preferable, and it is more preferable that the main component of the outermost layer 10 is at least one of SiO 2 and Mg F 2.
  • the physical film thickness of the outermost layer 10 is preferably 62 nm or more and 91 nm or less from the viewpoint of ensuring antireflection performance.
  • the physical film thickness of at least one of the dielectric layers 8 excluding the outermost layer 10 is preferably 26 nm or more and 85 nm or less from the viewpoint of ensuring antireflection performance.
  • the dielectric layer 8 having a physical film thickness within this range and the layer farthest from the base material 2 (the layer closest to the outermost layer 10) is referred to as the next outermost layer 12. That is, the next outermost layer 12 is a dielectric layer 8 having a physical film thickness of 26 nm or more and 85 nm or less, which is the closest to the outermost layer 10.
  • the physical film thickness of one or more light absorption layers 6 (surface layer side light absorption layer 14) arranged between the outermost layer 10 and the next outermost layer 12 The total (surface light absorption thickness C) is preferably 6 nm or more and 17 nm or less.
  • one or more light absorption layers 6 (base material side light absorption layers) arranged between the next outermost layer 12 and the base material 2 from the viewpoint of ensuring antireflection performance and high optical density.
  • the total physical film thickness of 16) (base material side light absorption thickness D) is preferably 60 nm or more.
  • one or more base material side light absorption layers 16 having the thickest physical thickness (base material side maximum thick light absorption layer 18).
  • To the outermost layer 10 (specific surface layer thickness E), the surface layer side light absorption thickness C, and the base material side light absorption thickness D. However, it is preferably 0.34 (34%) or more.
  • the specific surface layer thickness E includes the physical film thickness of the base material side maximum thick light absorption layer 18 and the physical film thickness of the outermost surface layer 10.
  • the light-shielding member 1 has the following various characteristics by having such a base material 2 and an optical multilayer film 4 from the viewpoint of ensuring excellent blackness.
  • the average optical density in the wavelength range of 380 nm or more and 780 nm or less with respect to light having an incident angle of 0 ° or more and 8 ° or less is preferably 4.0 or more.
  • the average regular reflectance of 380 to 780 nm is the reflectance for light having an incident angle of 0 ° or more and 8 ° or less incident on the optical multilayer film 4, and the same applies to other regular reflectances.
  • the brightness L * in the L * a * b * color system measurement is preferably 4.5 or less. ..
  • the average regular reflectance 400 to 700 nm average positive
  • the average regular reflectance 400 to 700 nm average positive
  • the average regular reflectance 400 to 700 nm average positive
  • Reflectance is preferably 0.450% or less.
  • the light-shielding member 1 in which the film-forming surface M of the base material 2 is a mirror surface preferably has an average regular reflectance of 380 to 780 nm of 0.660% or less.
  • the average optical density in the wavelength range of 380 nm or more and 780 nm or less with respect to light having an incident angle of 0 ° or more and 8 ° or less (380 to 780 nm average optical density).
  • it is preferably 2.1 or more.
  • the light-shielding member 1 including the base material 2 on which the optical multilayer film 4 is arranged is used, for example, for a shutter blade and an aperture blade in a camera.
  • the light-shielding member 1 is attached to an article such as a case of a device or an interior part of an automobile in order to give a black appearance.
  • the light-shielding member 1 of the present invention includes the base material 2 and the optical multilayer film 4 arranged on the film-forming surface M which is one or more surfaces of the base material 2.
  • the surface layer 10 is a dielectric layer 8, and the physical film thickness of the outermost layer 10 is 62 nm or more and 91 nm or less, and the physical film thickness is 26 nm or more and 85 nm or less.
  • the surface layer side light absorption thickness C which is the total physical film thickness of one or more light absorption layers 6 arranged between the next outermost surface layer 12 and the outermost surface layer 10, is 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption thickness D which is the total physical film thickness of one or more light absorption layers 6 arranged between the next outermost layer 12 and the base material 2, is 60 nm or more, and the next outermost layer 12 and the next outermost layer 12
  • a specific surface layer which is the total physical film thickness from the base material side maximum thick light absorption layer 18 which is the layer having the largest physical thickness among the light absorption layers 6 arranged between the base material 2 and the outermost layer 10.
  • the specific ratio F (C + D) / E, which is the quotient when the thickness E is divided and the sum of the surface light absorption thickness C and the base material side light absorption thickness D is divided, is 0.34 or more. Is. Therefore, the light-shielding member 1 having excellent blackness is provided.
  • the film-forming surface M has irregularities, and the surface roughness of the film-forming surface M is 1.0 ⁇ m or less. Therefore, the light-shielding member 1 exhibits more excellent blackness. Further, the base material 2 is colored black. Therefore, the light-shielding member 1 exhibits more excellent blackness.
  • the light absorbing layer 6 preferably contains a metal or an unsaturated oxide of a metal, and more preferably, the main components of the light absorbing layer 6 are Nb, Ti, Ni, Ge, Al and Cr, and At least one of these unsaturated oxides. Therefore, the light-shielding member 1 having excellent blackness can be easily formed at a lower cost.
  • the dielectric layer 8 preferably contains a metal compound, and more preferably, the main components of the dielectric layer 8 are SiO 2 , MgF 2 , Nb 2 O 5 , TiO 2 , Al 2 O 3 , ZrO. 2 , Ta 2 O 5 , Si 3 N 4 , Si N y O z at least one of them.
  • the light-shielding member 1 having excellent blackness can be easily formed at a lower cost.
  • the main component of the outermost layer 10 is at least one of SiO 2 and Mg F 2. Therefore, the light-shielding member 1 has more excellent blackness.
  • the base material 2 and the optical multilayer film 4 arranged on the film-forming surface M which is one or more surfaces of the base material 2 are provided, and the film-forming surface M has irregularities and is 380.
  • the average optical density of ⁇ 780 nm is 4.0 or more, the average regular reflectance of 380 to 780 nm is 0.02% or less, and the brightness L * in the L * a * b * color system measurement (JISZ8729) is. It is 4.5 or less. Therefore, the light-shielding member 1 having a blackness that has not been seen in the past is provided.
  • the transparent base material 2 and the optical multilayer film 4 arranged on the film-forming surface M which is one or more surfaces of the base material 2 are provided, and the film-forming surface M is a mirror surface and is 400 to 400.
  • the 700 nm average regular reflectance is 0.450% or less
  • the 380 to 780 nm average regular reflectance is 0.660% or less
  • the 380 to 780 nm average optical density is 2.1 or more. Therefore, the optical multilayer film type light-shielding member 1 formed on the transparent base material 2 having the mirror-finished film-forming surface M is provided with blackness that has not been seen in the past.
  • the base material 2 is a concavo-convex base material having irregularities because diffused reflection can be obtained on the surface of the base material 2.
  • the base material 2 is a colorless and transparent PET sheet-like uneven base material (surface). Was matted to form a film-forming surface M having irregularities with a surface roughness of 0.6 ⁇ m and a thickness of 20 ⁇ m), and an optical multilayer film 4 was formed on one surface of the base material 2.
  • the material (PET) of the base material itself is colorless and transparent, but the uneven base material is translucent like frosted glass due to the addition of unevenness.
  • Each of the optical multilayer films 4 of Example 1 and Comparative Example 1 had different layer structures. These layered structures are shown at the top of [Table 1] and [Table 2] below.
  • Each layer structure is a four-layer structure (number of layers 4) having each layer related to the material and the physical film thickness (nm) shown in the upper part of [Table 1] and [Table 2].
  • the first layer (L1) is in contact with the base material 2
  • the second layer (L2) is arranged on the air side of L1 and is in contact with L1. The same applies hereinafter.
  • the light-shielding member 1 of Examples 1 and 1 does not have a film other than the optical multilayer film 4. Then, the brightness L * of Examples 1 and 1 and the 380 to 780 nm average specular reflectance and the 380 to 780 nm average optical density were measured, respectively. Various average regular reflectances and average optical densities were measured by a spectrophotometer (PerkinElmer, LAMBDA1050 manufactured by Inc.). The brightness L * was measured by a colorimeter (spectro2guide manufactured by BYK-Gardner GmbH). In addition, each layer in each of the following Examples and Comparative Examples including Example 1 and Comparative Example 1 contains almost no components other than the main component unless otherwise specified, and is formed by sputtering. ..
  • the outermost layer 10 At the bottom of [Table 1] and [Table 2] above, the outermost layer 10, the next outermost layer 12, the surface layer side light absorption thickness C, the base material side light absorption thickness D, the specific surface layer thickness E, and the specific ratio F, respectively.
  • the 400-700 nm average specular reflectance, the 380-780 nm specular reflectance, and the 380-780 nm average optical density are shown.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 1-1 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 1-1 is 272 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10, which is the dielectric layer 8 farthest from the base material 2 of Comparative Example 1-1, is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 59 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. "Not" in.
  • L2 which is the dielectric layer 8 of Comparative Example 1-1, is a SiO 2 layer, and its physical film thickness is 55 nm, which is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less.
  • L2 is the next outermost layer 12.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 1-1 is L3 (Nb layer) which is a light absorption layer 6 between L4 of the outermost layer 10 and L2 of the next outermost layer 12, and its physical film thickness (surface layer).
  • the side light absorption thickness C) is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 1-1 is L1 (Nb layer) which is a light absorption layer 6 arranged between L2 of the next outermost layer 12 and the base material 2, and its physical film thickness. (Light absorption thickness D on the substrate side) is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the optical multilayer film 4 (light absorption layer 6) is arranged only on one side of the base material 2. In this case, the total physical film thickness of the light absorption layer 6 needs to be about 100 nm or more.
  • the total physical film thickness (specific surface layer thickness E) from L1 of the base material side light absorption layer 16 to L4 of the outermost surface layer 10 is 272 nm, which is the same as the total physical film thickness, and is a specific ratio of Comparative Example 1-1.
  • the brightness L * of Comparative Example 1-1 is 4.63, which is “not” within the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 1-1 is 0.020%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm of Comparative Example 1-1 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 1-2 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 1-2 is 277 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 1-2 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 59 nm, which is “not” in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 1-2 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 59 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 1-2 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 1-2 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 1-2 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 1-2 is 277 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Comparative Example 1-2 is (9 + 150) /277 ⁇ 0.57 (57%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Comparative Example 1-2 is 6.72, which is “not” within the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 1-2 is 0.021%, which is “not” within the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 1-2 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 1-3 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 1-3 is 285 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 1-3 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 58 nm, which is “not” in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 1-3 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 67 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 1-2 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 1-3 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 1-3 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 1-3 is 285 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Comparative Example 1-3 is (9 + 150) /285 ⁇ 0.56 (56%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Comparative Example 1-3 is 14.85, which is “not” within the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 1-3 is 0.031%, which is “not” within the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 1-3 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 1-4 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 1-4 is 285 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 1-4 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 1-4 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 59 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 1-4 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 1-4 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 4 nm, which is “not” in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 1-4 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 1-4 is 288 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Comparative Example 1-4 is (4 + 150) /288 ⁇ 0.53 (53%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Comparative Example 1-4 is 28.801, which is “not” within the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 1-4 is 0.160%, which is “not” within the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 1-4 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 1-1 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 1-1 is 293 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 1-1 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 1-1 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 59 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 1-1 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 1-1 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 1-1 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 1-1 is 293 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 1-1 is (9 + 150) /293 ⁇ 0.54 (54%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Example 1-1 is 3.00, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 1-1 is 0.010%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 1-1 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 1-2 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 1-2 is 283 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 1-2 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 74 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less.
  • L2 of SiN y O z layer in an exemplary 1-2 is formed by sputtering in the deposition rate 0.2 nm / s of Si (nm per second), at the time of sputtering, nitrogen gas and oxygen gas is ionized, 70 sccm (Standard Cubic Centimetre per Minute) and 10 sccm were introduced in order.
  • the SiN y Oz layer is created in the same manner.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 1-2 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 1-2 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 1-2 is 283 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 1-2 is (8 + 150) /283 ⁇ 0.56 (56%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Example 1-2 is 3.03, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 1-2 is 0.013%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 1-2 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Examples 1-3 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 1-3 is 284 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 1-3 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 74 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less.
  • the L2 of Example 1-3, a SiN y O z layer, the physical thickness is a 52 nm, because they entered the 85nm below the range of 26 nm, the L2 of Examples 1-3, the following The outermost layer 12.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 1-3 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 1-3 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 1-3 is 284 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 1-3 is (8 + 150) /284 ⁇ 0.56 (56%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Examples 1-3 is 3.84, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Examples 1-3 is 0.012%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Examples 1-3 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Examples 1-4 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 1-4 is 305 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 1-4 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 77 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 1-4 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 64 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 1-4 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 1-4 is L3 (Nb + Si layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 14 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 1-4 is L1 (Nb + Si layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 1-4 is 305 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 1-4 is (14 + 150) / 305 ⁇ 0.54 (54%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Examples 1-4 is 3.97, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Examples 1-4 is 0.010%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Examples 1-4 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the physical film thickness of the outermost layer 10 is outside the preferable range, the brightness L * is 4.63, and 4.5, which is the upper limit of the preferable range in the uneven base material, is set. In this respect, the blackness of the uneven base material as the light-shielding member 1 is inferior. Further, in Comparative Example 1-2, the physical film thickness of the outermost layer 10 was outside the preferable range, and the brightness L * was 6.72, which exceeded 4.5, which is the upper limit of the preferable range in the uneven base material.
  • the average normal reflectance of 380 to 780 nm is 0.021%, which exceeds 0.02%, which is the upper limit of the preferable range of the uneven base material, and in this respect, the light-shielding member 1 of the uneven base material is used. Inferior to black. Further, in Comparative Example 1-3, the physical film thickness of the outermost layer 10 is outside the preferable range, and the brightness L * is 14.85, which exceeds 4.5, which is the upper limit of the preferable range in the uneven base material.
  • the average normal reflectance of 380 to 780 nm is 0.021%, which exceeds 0.02%, which is the upper limit of the preferable range of the uneven base material, and in this respect, the light-shielding member 1 of the uneven base material is used. Inferior to black.
  • the surface layer side light absorption thickness C was out of the preferable range, and the brightness L * was 28.801, which exceeded 4.5, which is the upper limit of the preferable range in the uneven substrate.
  • the average normal reflectance of 380 to 780 nm is 0.160%, which exceeds 0.02%, which is the upper limit of the preferable range of the uneven base material, and in this respect, the light-shielding member 1 of the uneven base material is used. Inferior to black.
  • the number of layers and the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 the physical film thickness of the outermost layer 10, the surface layer side light absorption thickness C, and the base material side light absorption thickness D ,
  • the specific surface layer thickness E and the specific ratio F are both within the preferable ranges, the brightness L * is 4.5 or less, and the average normal reflectance of 380 to 780 nm is 0.02.
  • the average optical density of 380 to 780 nm is 4 or more, and the light-shielding member 1 is a black uneven base material with no haze.
  • the brightness L * is 4.5 or less
  • the average regular reflectance of 380 to 780 nm is 0.02% or less
  • 380 to 380 to ensure excellent blackness is preferably 4 or more, and in Example 1, this preferable range is satisfied.
  • Example 2 Comparative Example 2
  • the light-shielding performance (blackness) of the light-shielding member 1 may be maintained even if the light absorption by the light-absorbing layer 6 is weakened by that amount.
  • the average optical density of 380 to 780 nm is about 4 or more only with the base material 2.
  • Example 2-1 a black concave-convex base material on which the optical multilayer film 4 of Example 1-1 is formed is produced, and as the light-shielding member 1 of Example 2-2, An optical multilayer film 4 in which the physical film thickness of the substrate-side light absorption layer 16 of Example 1-1 was reduced to 100 nm was formed on a black uneven substrate. Further, the physical film thickness of the light absorbing layer 16 on the substrate side was further reduced stepwise, and Example 2-3, Comparative Example 2-1 and Comparative Example 2-2, and Comparative Example 2-3 were prepared.
  • the physical film thickness of the base material side light absorption layer 16 in Example 2-3 is 60 nm, and the physical film thickness of the base material side light absorption layer 16 in Comparative Examples 2-1 and 2-2 is 40 nm. Yes, the physical film thickness of the base material side light absorption layer 16 in Comparative Example 2-3 is 20 nm. In Comparative Examples 2-2 and 2-3, the physical film thicknesses of L2 and L4 are slightly adjusted so that the reflectance becomes as small as possible.
  • the base material 2 in Examples 2-1 to 2-3 (Example 2) and Comparative Examples 2-1 to 2-3 is a black-colored PET sheet-like uneven base material (matte on the surface).
  • the brightness L * of the film before film formation is 26.0
  • the average regular reflectance of 380 to 780 nm is 0.12%
  • the average optical density is 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 is 4 in each case.
  • the brightness L * of Examples 2 and 2 and the average specular reflectance of 380 to 780 nm and the average optical density of 380 to 780 nm were measured in the same manner as in Example 1.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 2-1 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 2-1 is 183 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 2-1 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 2-1 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 59 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 2-1 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 2-1 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 2-1 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 40 nm, which is “not” in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 2-1 is 183 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Comparative Example 2-1 is (9 + 40) /183 ⁇ 0.27 (27%). It is "not” at 34% or more.
  • the brightness L * of Comparative Example 2-1 is 4.58, which is “not” within the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 2-1 is 0.010%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the 380 to 780 nm average optical density of Comparative Example 2-1 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 2-2 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 2-2 is 188 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 2-2 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 77 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 2-2 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 62 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 2-2 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 2-2 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 2-2 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 40 nm, which is “not” in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 2-2 is 188 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Comparative Example 2-2 is (9 + 40) /188 ⁇ 0.26 (26%). It is 34% or more and "not".
  • the brightness L * of Comparative Example 2-2 is 4.70, which is “not” within the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 2-2 is 0.011%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 2-2 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 2-3 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 2-3 is 177 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 2-3 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 79 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 2-3 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 69 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 2-3 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 2-3 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 2-3 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 20 nm, which is “not” in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 2-3 is 177 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Comparative Example 2-3 is (9 + 20) /177 ⁇ 0.17 (17%). It is 34% or more and "not".
  • the brightness L * of Comparative Example 2-3 is 5.79, which is “not” within the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 2-3 is 0.012%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 2-3 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 2-1 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 2-1 is 243 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 2-1 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 2-1 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 59 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 2-1 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 2-1 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 2-1 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 100 nm and is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 2-1 is 243 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 2-1 is (9 + 100) /243 ⁇ 0.45 (45%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Example 2-1 is 4.1, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 2-1 is 0.010%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 2-1 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 2-2 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 2-2 is 203 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 2-2 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 2-2 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 59 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 2-2 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 2-2 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 2-2 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 60 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 2-2 is 203 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 2-2 is (9 + 60) / 203 ⁇ 0.34 (34%). It is 34% or more.
  • the brightness L * of Example 2-2 is 4.5, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 2-2 is 0.009%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 2-2 is 4 or more, and is in the range of 4 or more.
  • Example 2 the average optical density of 380 to 780 nm is 4 or more.
  • the brightness L * was 4.58, 4.70, 5.79, which exceeded 4.5, and in this respect, the uneven group.
  • the material is inferior in blackness as a light-shielding member 1.
  • the brightness L * was 4.5 or less
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance was 0.02% or less
  • the 380 to 780 nm average optical density was 4 or more.
  • the physical film thickness of the light absorption layer 6 can be reduced from that of Example 1-1 (150 nm in L1) while ensuring the quality of blackness (100, 60 nm in order in L1). ).
  • Example 3 Comparative Example 3
  • the base material 2 having a colorless and transparent mirror surface was also black. It may be required to secure the color.
  • the light-shielding member 1 of the mirror-surfaced base material on which the optical multilayer film 4 is formed on the mirror surface is easier to perform various measurements and simulations than the case of the uneven base material, and it is easier to grasp the properties of the light-shielding member 1. ..
  • the base material 2 is changed from a colorless and transparent uneven base material to a flat plate-like and colorless and transparent base material whose both sides are mirror surfaces.
  • Substitute 2 (white plate glass, plate thickness 2 mm (millimeter), one side is a mirror-finished film-forming surface M) was replaced with Example 3 (Examples 3-1 to 3-4) in order. It was formed as Example 3 (Comparative Examples 3-1 to 3-4), and these properties were investigated.
  • the average regular reflectance of 400 to 700 nm, the average regular reflectance of 380 to 780 nm, and the average optical density of 380 to 780 nm were measured.
  • the base material 2 is a group having a colorless and transparent mirror surface as in Example 3 from the uneven base material colored in black. Those replaced with the material 2 were formed in order as Example 4 (Examples 4-1 to 4-2) and Comparative Example 4 (Comparative Examples 4-1 to 4-3), and these properties were similarly investigated. rice field.
  • Example 4 Examples 4-1 to 4-2
  • Comparative Example 4 Comparative Examples 4-1 to 4-3
  • the brightness L * Is measured as 0 by all of the above colorimeters.
  • the measurement results of Example 3 and Comparative Example 3 are shown in the following [Table 4].
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 3-1 is 0.684%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 3-1 is 1.018%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 3-1 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more, which is a preferable range when the substrate is colorless and transparent and the film-forming surface M is a mirror surface. ..
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 3-2 is 1.288%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 3-2 is 1.552%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 3-2 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 3-3 is 2.710%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 3-3 is 2.774%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 3-3 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 3-4 is 6.615%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 3-4 is 7.516%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 3-4 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 3-1 is 0.137%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 3-1 is 0.337%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 3-1 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 3-2 is 0.280%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 3-2 is 0.514%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 3-2 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 3-3 is 0.450%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 3-3 is 0.660%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 3-3 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 3-4 is 0.107%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 3-4 is 0.311%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 3-4 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • the physical film thickness of the outermost layer 10 is out of the preferable range, and the 400 to 700 nm average regular reflectance and the 380 to 780 nm average regular reflectance are transparent specular groups. It is outside the respective preferred range of the material.
  • the surface layer side light absorption thickness C is out of the preferable range, and the 400 to 700 nm average regular reflectance and the 380 to 780 nm average regular reflectance are out of the respective preferable ranges in the transparent mirror-finished base material. Is.
  • Example 3 the physical film thickness of the outermost layer 10, the surface layer side light absorption thickness C, the base material side light absorption thickness D, the specific surface layer thickness E, and the specific ratio F are all within the respective preferable ranges.
  • the 400 to 700 nm average regular reflectance, the 380 to 780 nm average regular reflectance, and the 380 to 780 nm average optical density are all within the respective preferable ranges.
  • Example 4 Comparative Example 4
  • the measurement results of Example 4 and Comparative Example 4 are shown in the following [Table 5]. Since the structure of the optical multilayer film 4 of Example 1-1 and the structure of the optical multilayer film 4 of Example 2-1 are the same, the layer structure of the optical multilayer film 4 of Example 2-1 is maintained. However, the example in which the base material is changed to one having a colorless and transparent mirror surface is the same as in Example 3-1. Therefore, in [Table 5], Example 3-1 is reprinted.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 4-1 is 0.150%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 4-1 is 0.419%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 4-1 is 1.6, which is “not” in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 4-2 is 0.155%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 4-2 is 0.340%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 4-2 is 1.6, which is “not” in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 4-3 is 0.237%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 4-3 is 0.381%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 4-3 is 1.1, which is “not” in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 4-1 is 0.129%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 4-1 is 0.305%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 4-1 is 3.4, which is in the range of 2.1 or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 4-2 is 0.135%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 4-2 is 0.277%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 4-2 is 2.1, which is in the range of 2.1 or more.
  • the base material side light absorption thickness D and the specific ratio F are outside the preferable range, and the 380 to 780 nm average optical density is outside the preferable range.
  • the physical film thickness of the outermost layer 10 the surface layer side light absorption thickness C, the base material side light absorption thickness D, the specific surface layer thickness E, and the specific ratio F are all.
  • the average normal reflectance of 400 to 700 nm, the average normal reflectance of 380 to 780 nm, and the average optical density of 380 to 780 nm are all within the respective preferable ranges.
  • Example 5 Comparative Example 5
  • Example 5 Examples 5-1 to 5-20
  • Comparative Example 5 Comparative Examples 5-1 to 5-8
  • the same characteristics as in Examples 3 and 4 were grasped by simulation.
  • the layer structures and characteristics of Examples 5 and 5 are shown in the following [Table 6] to [Table 12].
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-1 is 3, which is “not” in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-1 is 147 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 5-1 is L3 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 84 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L1 of Comparative Example 5-1 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 57 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L1 of Comparative Example 5-1 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 5-1 is L2 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 6 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less. Since the base material side light absorption layer 16 and the specific surface layer thickness E of Comparative Example 5-1 do not exist, the specific ratio F of Comparative Example 5-1 cannot be calculated and “does not exist”.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-1 is 1.988%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-1 is 2.870%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 5-1 is 0.2, which is “not” in the range of 2.1 or more. In Comparative Example 5-1, there is room for improvement in blackness.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-2 is 3, which is “not” in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-2 is 219 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 5-2 is L3 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 70 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 5-2 is a Si 3 N 4 layer and its physical film thickness is 25 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 5-2 is as follows.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 5-2 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 124 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 5-2 is 219 nm, which is the same as the total physical film thickness.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-2 is 15.081%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-2 is 15.673%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 5-2 is 2.9, which is in the range of 2.1 or more. In Comparative Example 5-2, the reflectance is not sufficiently reduced, and there is room for improvement in blackness.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-3 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-3 is 223 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 5-3 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 70 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L3 of Comparative Example 5-3 is a Si 3 N 4 layer and its physical film thickness is 35 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L3 of Comparative Example 5-3 is as follows.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 5-3 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 88 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 5-3 is 223 nm, which is the same as the total physical film thickness.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-3 is 34.933%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-3 is 32.241%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 5-3 is 2.1, which is in the range of 2.1 or more. In Comparative Example 5-3, the reflectance is not sufficiently reduced, and there is room for improvement in blackness.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-4 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-4 is 318 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 5-4 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 100 nm, which is “not” in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 5-4 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 59 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 5-4 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 5-4 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 5-4 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-4 is 2.383%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-4 is 2.367%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 5-4 is 4.0, which is in the range of 2.1 or more. In Comparative Example 5-4, the reflectance is not sufficiently reduced, and there is room for improvement in blackness.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-5 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-5 is 324 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 5-5 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less.
  • L2 of the comparative example 5-5, a SiO 2 layer, the physical thickness is a 90 nm, are contained in 85nm below the range of 26nm from the "no", L2 of the comparative examples 5-5, the following "Not" on the outermost layer 12.
  • the surface layer side light absorption layer 14 and the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 5-5 do not exist due to the absence of the next outermost surface layer 12.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 5-5 does not exist due to the absence of the surface layer side light absorption layer 14 and the base material side light absorption layer 16.
  • the specific ratio F of Comparative Example 5-5 cannot be calculated due to the absence of the surface layer side light absorption layer 14, the base material side light absorption layer 16, and the specific surface layer thickness E.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-5 is 4.348%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-5 is 4.319%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 5-5 is 4.0, which is in the range of 2.1 or more. In Comparative Example 5-5, the reflectance is not sufficiently reduced, and there is room for improvement in blackness.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-6 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-6 is 304 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 5-6 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Comparative Example 5-6 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 59 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Comparative Example 5-6 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface light absorption layer 14 of Comparative Example 5-6 is L3 (Nb layer), and the surface light absorption thickness C is 20 nm, which is “not” in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Comparative Example 5-6 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 5-6 is 304 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Comparative Example 5-6 is (20 + 150) /304 ⁇ 0.56 (56%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-6 is 9.104%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-6 is 10.242%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 5-6 is 4.3, which is in the range of 2.1 or more. In Comparative Example 5-6, the reflectance is not sufficiently reduced, and there is room for improvement in blackness.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-7 is 6, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-7 is 406 nm, which is “not” within the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 5-7 is L6 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L4 of Comparative Example 5-7 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L4 of Comparative Example 5-7 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 5-7 is L5 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material-side maximum thick light absorption layer 18 of Comparative Example 5-7 is L1 (Nb layer).
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 5-7 is 406 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Comparative Example 5-7 is (9 + 47) /406 ⁇ 0.14 (14%), which is 34%. It is "not" above.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-7 is 0.892%, which is “not” within the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-7 is 1.155%, which is “not” within the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 5-7 is 1.8, which is “not” in the range of 2.1 or more. In Comparative Example 5-7, the reflectance is not sufficiently reduced, and there is room for improvement in blackness.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-8 is 8, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Comparative Example 5-8 is 391 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Comparative Example 5-8 is L8 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L6 of Comparative Example 5-8 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 61 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L6 of Comparative Example 5-8 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Comparative Example 5-8 is L7 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 10 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material-side maximum thick light absorption layer 18 of Comparative Example 5-8 is L5 (Nb layer).
  • the specific surface layer thickness E of Comparative Example 5-8 is 181 nm, which is the total physical film thickness of L5 to L8, and the specific ratio F of Comparative Example 5-8 is (10 + 45) /181 ⁇ 0.30 (30%). ), which is 34% or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-8 is 0.198%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Comparative Example 5-8 is 0.522%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Comparative Example 5-8 is 2.0, which is “not” in the range of 2.1 or more. In Comparative Example 5-8, the average optical density is not sufficient, and there is room for improvement in blackness.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-1 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-1 is 321 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-1 is L4 (MgF 2 layer), and its physical film thickness is 85 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-1 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-1 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-1 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-1 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 163 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-1 is 321 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-1 is (8 + 136) / 321 ⁇ 0.53 (53%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-1 is 0.147%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-1 is 0.247%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-1 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-1 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-2 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-2 is 283 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 5-2 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 81 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-2 is a Si 3 N 4 layer and its physical film thickness is 46 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-2 is as follows.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-2 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 7 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-2 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 149 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-2 is 283 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-2 is (7 + 149) / 283 ⁇ 0.55 (55%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-2 is 0.254%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-2 is 0.452%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-2 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-2 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-3 is 5, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-3 is 259 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-3 is L5 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 71 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L4 of Example 5-3 is an Nb 2 O 5 layer and its physical film thickness is 14 nm and is “not” within the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L4 of Example 5-3 is , "Not" in the next outermost layer 12.
  • L2 of Example 5-3 is an Nb 2 O 5 layer and its physical film thickness is 26 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less
  • L2 of Example 5-3 is as follows.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-3 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 7 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-3 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 141 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-3 is 259 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-3 is (7 + 141) / 259 ⁇ 0.57 (57%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-3 is 0.286%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-3 is 0.592%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-3 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-3 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-4 is 5, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-4 is 302 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-4 is L5 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 70 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L4 of Example 5-4 is an Nb 2 O 5 layer and its physical film thickness is 18 nm and is “not” within the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L4 of Example 5-4 is , "Not" in the next outermost layer 12.
  • L2 of Example 5-4 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less
  • L2 of Example 5-4 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-4 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 12 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-4 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 159 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-4 is 302 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-4 is (12 + 159) / 302 ⁇ 0.57 (57%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-4 is 0.262%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-4 is 0.425%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-4 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-4 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-5 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-5 is 274 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-5 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 76 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-5 is an Al 2 O 3 layer and its physical film thickness is 50 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-5 is as follows.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-5 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-5 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 140 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-5 is 274 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-5 is (8 + 140) / 274 ⁇ 0.54 (54%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-5 is 0.215%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-5 is 0.470%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-5 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-5 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Examples 5-6 is 5, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-6 is 259 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-6 is L5 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 71 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less.
  • L4 of Example 5-6 is a TiO 2 layer, and its physical film thickness is 14 nm, which is “not” within the range of 26 nm or more and 85 nm or less. Therefore, L4 of Example 5-6 is as follows. "Not" on the outermost layer 12.
  • L2 of Example 5-6 is a TiO 2 layer and its physical film thickness is 26 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less
  • L2 of Example 5-6 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-6 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 7 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-6 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 141 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-6 is 259 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-6 is (7 + 141) / 259 ⁇ 0.57 (57%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-6 is 0.315%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-6 is 0.644%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-6 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more. Examples 5-6 have excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-7 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-7 is 302 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-7 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 80 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-7 is an MgF 2 layer and its physical film thickness is 77 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-7 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-7 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-7 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-7 is 302 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-7 is (9 + 150) / 302 ⁇ 0.53 (53%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-7 is 0.284%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-7 is 0.346%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-7 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-7 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-8 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-8 is 277 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-8 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 79 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less.
  • the L2 of Examples 5-8, a ZrO 2 layer, the physical thickness is a 42 nm, because they entered the 85nm below the range of 26 nm, the L2 of Examples 5-8, the following outermost layer It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-8 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 6 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-8 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-8 is 277 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-8 is (6 + 150) /277 ⁇ 0.56 (56%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-8 is 0.264%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-8 is 0.417%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-8 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-8 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-9 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-9 is 274 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-9 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 79 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-9 is a Ta 2 O 5 layer and its physical film thickness is 39 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-9 is as follows.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-9 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 6 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-9 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-9 is 274 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-9 is (6 + 150) / 274 ⁇ 0.57 (57%), which is 34%. That is all.
  • Example 5-9 The 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-9 is 0.298%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-9 is 0.538%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-9 is 3.7, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-9 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Examples 5-10 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-10 is 295 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-10 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 71 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-10 is a SiO two- layer layer and its physical film thickness is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-10 is the next highest.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-10 is L3 (Ti layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 16 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Examples 5-10 is L1 (Ti layer), and the base material side light absorption thickness D is 135 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-10 is 295 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-10 is (16 + 135) /295 ⁇ 0.51 (51%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-10 is 0.193%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-10 is 0.497%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-10 is 3.2, which is in the range of 2.1 or more. Examples 5-10 have excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-11 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-11 is 312 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 5-11 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 76 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-11 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 71 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-11 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-11 is L3 (NiO x layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 15 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the NiO x layer here can be formed by vapor deposition of Ni at a film formation rate of 0.3 nm / s, and oxygen gas is introduced by 20 sccm at the time of vapor deposition.
  • the NiO x layer is assumed to be created in the same manner. Incidentally, by changing the flow rate of the oxygen gas, (x in NiO x) NiO composition x is variable.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-11 is L1 (NiO x layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-11 is 312 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-11 is (15 + 150) / 312 ⁇ 0.53 (53%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-11 is 0.393%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-11 is 0.653%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-11 is 3.4, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-11 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Examples 5-12 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-12 is 356 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-12 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 62 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-12 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-12 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-12 is L3 (Ge layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Examples 5-12 is L1 (Ge layer), and the base material side light absorption thickness D is 250 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-12 is 356 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-12 is (8 + 250) /356 ⁇ 0.72 (72%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-12 is 0.402%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-12 is 0.637%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-12 is 2.1, which is in the range of 2.1 or more. Examples 5-12 have excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-13 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the outermost surface layer 10 of Example 5-13 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 77 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-13 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 63 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-13 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-13 is L3 (Cr layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-13 is L1 (Cr layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-13 is 298 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-13 is (8 + 150) / 298 ⁇ 0.53 (53%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-13 is 0.165%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-13 is 0.170%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-13 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-13 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-14 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-14 is 221 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-14 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 70 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-14 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-14 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-14 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 17 nm, which is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-14 is L1 (Al layer), and the base material side light absorption thickness D is 60 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-14 is 0.241%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-14 is 0.562%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-14 is 4 or more, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-14 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-15 is 4, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-15 is 205 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-15 is L4 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L2 of Example 5-15 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 61 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L2 of Example 5-15 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-15 is L3 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 10 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Examples 5-15 is L1 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 60 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-15 is 205 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-15 is (10 + 60) /205 ⁇ 0.34 (34%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-15 is 0.246%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-15 is 0.427%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-15 is 2.1, which is in the range of 2.1 or more. Examples 5-15 have excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-16 is 5, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-16 is 400 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 5-16 is L5 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L3 of Example 5-16 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 61 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L3 of Example 5-16 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-16 is L4 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 10 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 5-16 is L2 (Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 60 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-16 is 206 nm, which is the total of the physical film thicknesses of L2 to L5, and the specific ratio F of Example 5-16 is (10 + 60) /206 ⁇ 0.34 (34%). ), which is 34% or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-16 is 0.246%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-16 is 0.425%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-16 is 2.1, which is in the range of 2.1 or more. Examples 5-16 have excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-17 is 6, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-17 is 230 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 5-17 is L6 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L4 of Example 5-17 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 61 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L4 of Example 5-17 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-17 is L5 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 9 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material-side maximum thick light absorption layer 18 of Example 5-17 is L3 (Nb layer).
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-17 is 195 nm, which is the same as the total physical film thickness of L3 to L6, and the specific ratio F of Example 5-17 is (9 + 60) /195 ⁇ 0.35 (35%). It is 34% or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-17 is 0.224%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-17 is 0.348%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-17 is 2.1, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-17 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-18 is 6, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-18 is 382 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-18 is L6 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 88 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L4 of Example 5-18 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L4 of Example 5-18 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-18 is L5 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 7 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material-side maximum thick light absorption layer 18 of Example 5-18 is L1 (Nb layer).
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-18 is 382 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-18 is (7 + 121) / 382 ⁇ 0.34 (34%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-18 is 0.388%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-18 is 0.591%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-18 is 3.7, which is in the range of 2.1 or more.
  • Example 5-18 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 5-19 is 8, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-19 is 400 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 5-19 is L8 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L6 of Example 5-19 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 61 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L6 of Example 5-19 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 5-19 is L7 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 10 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material-side maximum thick light absorption layer 18 of Example 5-19 is L5 (Nb layer).
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-19 is 196 nm, which is the same as the total physical film thickness of L5 to L8, and the specific ratio F of Example 5-19 is (10 + 60) /196 ⁇ 0.36 (36%). It is 34% or more.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-19 is 0.274%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 5-19 is 0.540%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-19 is 2.3, which is in the range of 2.1 or more. Examples 5-19 have excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Examples 5-20 is 6, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 5-20 is 349 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 5-20 is L6 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 91 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L4 of Example 5-20 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 79 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L4 of Example 5-20 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Examples 5-20 is L5 (Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the specific surface layer thickness E of Example 5-20 is 349 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 5-20 is (8 + 109) /349 ⁇ 0.34 (34%), which is 34%. That is all.
  • the 400-700 nm average specular reflectance of Example 5-20 is 0.447%, which is in the range of 0.450% or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Examples 5-20 is 0.656%, which is in the range of 0.660% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 5-20 is 3.4, which is in the range of 2.1 or more. Examples 5-20 have excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the number of layers and the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 the physical film thickness of the outermost layer 10, the surface layer side light absorption thickness C, and the base material side light absorption thickness D.
  • the specific surface layer thickness E and the specific ratio F are all within the respective preferable ranges, and the 400 to 700 nm average specular reflectance, the 380 to 780 nm average specular reflectance, and the 380 to 780 nm average optical density are all within the respective preferable ranges. It is within the respective preferable range of the transparent mirror-finished substrate.
  • Example 6 A plurality of cases in which the surface roughness of the base material 2 was different within the range of 0.4 ⁇ m or more and 1.0 or less were confirmed by the formation of Example 6 (Examples 6-1 to 6-3).
  • Examples 6-1 to 6-2 are different from Example 2-1 (black uneven base material, surface roughness 0.6 ⁇ m) with black uneven base materials having different surface roughness.
  • the surface roughness of the base material of Example 6-1 is 0.4 ⁇ m.
  • the brightness L * of the base material (before film formation) of Example 6-1 is 22.4.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of the base material of Example 6-1 is 0.23%.
  • the average optical density of the base material of Example 6-1 is 4 or more.
  • the surface roughness of the base material of Example 6-2 is 0.5 ⁇ m.
  • the brightness L * of the base material (before film formation) of Example 6-2 is 13.4.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of the base material of Example 6-2 is 0.02%.
  • the average optical density of the base material of Example 6-2 is 4 or more.
  • Example 6-3 the optical multilayer film 4 shown in the following [Table 13] is formed on the following base material.
  • the surface roughness of the base material of Example 6-3 is 1.0 ⁇ m.
  • the brightness L * of the base material (before film formation) of Example 6-3 is 22.3.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of the base material of Example 6-3 is 0.08%.
  • the average optical density of the substrate of Example 6-3 is 4 or more.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 6-3 is 7, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 6-3 is 292 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 6-3 is L7 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L3 of Example 6-3 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 41 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L3 of Example 6-3 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 6-3 is L6 (Si + Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the Si + Nb layers of L6 and L1 can be produced as follows.
  • Si is sputtered at a film forming rate of 0.21 nm / s
  • Nb is sputtered at a film forming rate of 0.20 nm / s to form a Si + Nb layer.
  • the Si + Nb layer is a mixed film in which Si is the majority.
  • Si: Nb can be changed depending on the film forming conditions such as the film forming rate. It is difficult for a person skilled in the art to present an accurate value of Si: Nb in the formed Si + Nb layer because it requires observation in a huge range with a microscope or the like.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 6-3 is L1 (Si + Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 150 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 6-3 is 292 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 6-3 is (8 + 150) /292 ⁇ 0.54 (54%), which is 34%. That is all.
  • Example 6 and Example 2-1 are shown in the following [Table 14].
  • the layer structure of Examples 6-1 to 6-2 is the same as that of Examples 1-1, 2-1 ([Table 1] and [Table 3] above).
  • the brightness L * of Example 6-1 (surface roughness 0.4 ⁇ m) is 3.00, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 6-1 is 0.011%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 6-1 is 4 or more, which is in the range of 4.0 or more.
  • the brightness L * of Example 6-2 (surface roughness 0.5 ⁇ m) is 1.94, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 6-2 is 0.008%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 6-2 is 4 or more, which is in the range of 4.0 or more.
  • the brightness L * of Example 2-1 (surface roughness 0.6 ⁇ m) is 2.96, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 2-1 is 0.010%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 2-1 is 4 or more, which is in the range of 4.0 or more.
  • the brightness L * of Example 6-3 (surface roughness 1.0 ⁇ m) is 3.65, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 6-3 is 0.006%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 6-3 is 4 or more, which is in the range of 4.0 or more.
  • Examples 6-1 to 6-2, Examples 2-1 and Example 6-3 differ in the surface roughness of the base material 2 within the range of 0.4 ⁇ m or more and 1.0 ⁇ m or less, they are all bright.
  • L * the average normal reflectance of 380 to 780 nm and the average optical density of 380 to 780 nm are in a preferable range related to the uneven base material, and the light-shielding member 1 is completely black.
  • Example 7 In camera modules that are becoming smaller and smaller, the light-shielding film is also thinner. Therefore, when the optical multilayer film 4 is formed, the warp of the film substrate due to the stress of the optical multilayer film 4 is the case of a plate-shaped substrate. It is more likely to occur than. Due to the occurrence of warpage in the optical member 1, the performance of the desired function in the optical member 1 may be suppressed, or the optical member 1 may not be housed in the camera module. That is, it may be required to suppress the warp of the light-shielding member 1 of the film base material (thin base material).
  • Example 7 the warp in the film (Examples 7-1 to 7-3) obtained by forming the optical multilayer film 4 on one side of a film which is a black uneven base material having a thickness of 25 ⁇ m and then cutting the film into 30 mm squares. The occurrence of was investigated.
  • the surface roughness of each base material of Example 7 is 0.6 ⁇ m
  • the brightness L * of each base material before film formation is 19.3, and 380 to 380 to each base material before film formation.
  • the average normal reflectance at 780 nm is 0.06%
  • the average optical density of each substrate before film formation is 4 or more.
  • FIG. 2 is a schematic view of the warp of the light shielding member 1.
  • the material of the optical multilayer film 4 (each layer), stress is generated in the optical multilayer film 4, and the relatively large and thick base material 2 withstands the stress and does not warp, but the relatively small and thin base material 2 has the optical multilayer.
  • the stress of the film 4 warps the base material 2.
  • stress is generated in the optical multilayer film 4 related to the light-shielding member 1, and warpage may occur so as to be convex toward the optical multilayer film 4 (film-forming surface M).
  • the magnitude of stress is roughly proportional to the amount of stressed material used.
  • the degree of warpage is the maximum amount of warpage, which is the maximum height from the test table T when the light-shielding member 1 of Example 7 is placed on a horizontal test table T with the optical multilayer film 4 side down. Measured with H. Further, the brightness L * of Example 7, the average regular reflectance of 380 to 780 nm, and the average optical density of 380 to 780 nm were measured in the same manner as in Example 1. These layered structures and the like are shown in the following [Table 15] in the same manner as in the above [Table 1].
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 7-1 is 7, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 7-1 is 297 nm, which is in the range of 400 nm or less.
  • the outermost layer 10 of Example 7-1 is L7 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L3 of Example 7-1 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 41 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L3 of Example 7-1 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 7-1 is L5 (Si + Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the formation of the Si + Nb layer is as described above, and is the same in Example 7.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 7-1 is L1 (Si + Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 155 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 7-1 is 297 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 7-1 is (8 + 155) / 297 ⁇ 0.55 (55%), which is 34%. That is all.
  • the brightness L * of Example 7-1 is 3.40, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 7-1 is 0.007%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 7-1 is 4 or more, which is in the range of 4.0 or more.
  • Example 7-1 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the maximum warp amount H of Example 7-1 is 2.0 mm, which is relatively small.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 7-2 is 7, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 7-2 is 400 nm, which is within the range of 400 nm or less.
  • the outermost surface layer 10 of Example 7-2 is L7 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less. Since L3 of Example 7-2 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 41 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less, L3 of Example 7-2 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 7-2 is L5 (Si + Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 7-2 is L1 (Si + Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 258 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 7-2 is 400 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 7-2 is (8 + 258) /400 ⁇ 0.67 (67%), which is 34%. That is all.
  • the brightness L * of Example 7-2 is 2.97, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 7-2 is 0.006%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 7-2 is 4 or more, which is in the range of 4.0 or more.
  • Example 7-2 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the maximum warp amount H of Example 7-2 is 2.5 mm, which is relatively small.
  • the number of layers of the optical multilayer film 4 of Example 7-3 is 7, which is in the range of 4 or more.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 of Example 7-3 is 500 nm, which is “not” within the range of 400 nm or less. In claim 2, which is subordinate to claim 1, the matter that the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 is 400 nm or less is specified.
  • the outermost layer 10 of Example 7-3 is L7 (SiO 2 layer), and its physical film thickness is 75 nm, which is in the range of 62 nm or more and 91 nm or less.
  • L3 of Example 7-3 is a SiO 2 layer and its physical film thickness is 41 nm and is in the range of 26 nm or more and 85 nm or less
  • L3 of Example 7-3 is the next outermost layer. It is twelve.
  • the surface layer side light absorption layer 14 of Example 7-3 is L5 (Si + Nb layer), and the surface layer side light absorption thickness C is 8 nm and is in the range of 6 nm or more and 17 nm or less.
  • the base material side light absorption layer 16 of Example 7-3 is L1 (Si + Nb layer), and the base material side light absorption thickness D is 358 nm, which is in the range of 60 nm or more.
  • the specific surface layer thickness E of Example 7-3 is 500 nm, which is the same as the total physical film thickness, and the specific ratio F of Example 7-3 is (8 + 358) / 500 ⁇ 0.73 (73%), which is 34%. That is all.
  • the brightness L * of Example 7-3 is 2.73, which is in the range of 4.5 or less.
  • the 380 to 780 nm average specular reflectance of Example 7-3 is 0.005%, which is in the range of 0.02% or less.
  • the average optical density of 380 to 780 nm in Example 7-3 is 4 or more, which is in the range of 4.0 or more.
  • Example 7-3 has excellent blackness in terms of both high optical density and low reflectance.
  • the maximum warp amount H of Example 7-3 is 3.5 mm, which is relatively large.
  • the total physical film thickness of the optical multilayer film 4 is preferably 400 nm or less, which is a maximum warp amount H of 2.5 mm or less on a 30 mm square and 25 ⁇ m thick base material.
  • 1 light-shielding member, 2 ... base material, 4 ... optical multilayer film, 6 ... light absorption layer, 8 ... dielectric layer, 10 ... outermost layer, 12 ... next outermost layer, 14 ... surface layer Side light absorption layer, 16 ... Base material side light absorption layer, 18 ... Base material side maximum thickness light absorption layer, C ... Surface layer side light absorption thickness, D ... Base material side light absorption thickness, E ... Specific Surface thickness, M ... film formation surface.

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Abstract

【課題】優れた黒さを有する遮光部材を提供する。 【解決手段】遮光部材1の光学多層膜4は、可視光を吸収する光吸収層6と誘電体製の層である誘電体層8とが、4層以上で配置されたものである。基材2から最も遠い最表層10の物理膜厚は、62nm以上91nm以下である。物理膜厚が26nm以上85nm以下である誘電体層8のうち最表層10に最も近い次最表層12と、最表層10との間に配置された光吸収層6の物理膜厚の合計である表層側光吸収厚Cは、6nm以上17nm以下である。次最表層12と基材2との間に配置された光吸収層6の物理膜厚の合計である基材側光吸収厚Dは、60nm以上である。次最表層12と基材2との間に配置された光吸収層6のうち最も物理膜厚の大きい層である基材側最大厚光吸収層18から、最表層10までの物理膜厚の合計である特定表層厚Eに係る特定比率F=(C+D)/Eは、0.34以上である。

Description

遮光部材
 本発明は、遮光性を有する部材である遮光部材に関する。
 遮光部材として、特許第6541244号公報(特許文献1)に記載されたものが知られている。
 この遮光部材では、マット処理を施した微細な凹凸を有する基材部材の表面が、カーボンブラック等の着色剤で着色されている。
 しかし、この遮光部材では、着色剤の粒子表面における光の反射により、反射率が十分に下がらず、黒色を有しながらも白みがかった(黒い表面に白いもやがかかったような)外観となり、合わせて見るとグレーの外観となり、黒さの点で向上の余地がある。
 そこで、特許第6036363号公報(特許文献2)のもののように、フィルム基材の表面に、Ni系金属膜(ニッケル膜)及びNi系金属酸化物膜が順次スパッタされて多層膜が形成された遮光フィルムが提案されている。
 この遮光フィルムでは、フィルム基材表面に着色剤が配置されないため、着色剤による光の反射がないこととなる。
特許第6541244号公報 特許第6036363号公報
 しかし、Ni系金属膜等がスパッタされた遮光フィルムでは、最もフィルム基材から離れた層である最表層のNi系金属酸化物膜の屈折率が2以上と高いため、その界面における反射率が大きくなり、結局ある程度の光が反射してしまう。又、この遮光フィルムでは、多層膜全体として、十分に反射率を低減する構造になっていない。そのため、反射率が十分に下がらず、黒色を有しながらも白みがかった外観となり、合わせて見るとグレーの外観となり、やはり黒さの点で向上の余地がある。
 そこで、本発明の主な目的は、優れた黒さを有する遮光部材を提供することである。
 請求項1に記載の発明は、基材と、前記基材の1以上の面である成膜面に配置される光学多層膜と、を備えており、前記光学多層膜は、可視光を吸収する光吸収層と誘電体製の層である誘電体層とが、4層以上で配置されたものであり、前記基材から最も遠い層である最表層は、前記誘電体層であり、前記最表層の物理膜厚は、62nm以上91nm以下であり、物理膜厚が26nm以上85nm以下である前記誘電体層であって前記最表層に最も近いものである次最表層と、前記最表層との間に配置された、1以上の前記光吸収層の物理膜厚の合計である表層側光吸収厚は、6nm以上17nm以下であり、前記次最表層と前記基材との間に配置された、1以上の前記光吸収層の物理膜厚の合計である基材側光吸収厚は、60nm以上であり、前記次最表層と前記基材との間に配置された前記光吸収層のうち最も物理膜厚の大きい層である基材側最大厚光吸収層から、前記最表層までの物理膜厚の合計である特定表層厚を割る数とし、前記表層側光吸収厚と前記基材側光吸収厚との和を割られる数とした場合の商である特定比率は、0.34以上であることを特徴とするものである。
 請求項2に記載の発明は、上記発明において、前記光学多層膜の総物理膜厚は、400nm以下であることを特徴とするものである。
 請求項3に記載の発明は、上記発明において、前記成膜面は、凹凸を有しており、前記成膜面の表面粗さは、1.0μm以下であることを特徴とするものである。
 請求項4に記載の発明は、上記発明において、前記基材は、黒色に着色されていることを特徴とするものである。
 請求項5に記載の発明は、上記発明において、前記光吸収層は、金属あるいは金属の不飽和酸化物を含んでいることを特徴とするものである。
 請求項6に記載の発明は、上記発明において、前記光吸収層の主成分は、Nb,Ti,Ni,Ge,Al,Si及びCr、並びにこれらの各不飽和酸化物のうちの少なくとも何れかであることを特徴とするものである。
 請求項7に記載の発明は、上記発明において、前記誘電体層は、金属化合物を含んでいることを特徴とするものである。
 請求項8に記載の発明は、上記発明において、前記誘電体層の主成分は、SiO、MgF、Nb、TiO、Al、ZrO、Ta、Si、SiNの少なくとも何れかであることを特徴とするものである。
 請求項9に記載の発明は、上記発明において、前記最表層の主成分は、SiO及びMgFの少なくとも一方であることを特徴とするものである。
 請求項10に記載の発明は、基材と、前記基材の1以上の面である成膜面に配置される光学多層膜と、を備えており、前記成膜面は、凹凸を有しており、入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均光学濃度が、4.0以上であり、入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均正反射率が、0.02%以下であり、L表色系測定(JISZ8729)における明度Lが、4.5以下であることを特徴とするものである。
 請求項11に記載の発明は、透明な基材と、前記基材の1以上の面である成膜面に配置される光学多層膜と、を備えており、前記成膜面は、鏡面であり、入射角が0°以上8°以下の光に対する400nm以上700nm以下の波長域における平均正反射率が、0.450%以下であり、入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均正反射率が、0.660%以下であり、入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均光学濃度が、2.1以上であることを特徴とするものである。
 本発明の主な効果は、優れた黒さを有する遮光部材が提供されることである。
本発明に係る遮光部材の模式的な横断面図である。 遮光部材の反りについての模式図である。
 以下、本発明に係る実施の形態の例が、適宜図面を用いて説明される。
 尚、本発明は、以下の例に限定されない。
 図1に例示されるように、本発明に係る遮光部材1は、基材2と、光学多層膜4と、を有する。
 基材2は、透光性を有していても(透明ないし半透明であっても)良いし、透光性を有していなくても良い。黒さの確保の観点からは、基材2の透光性は低い方が好ましく、黒色に着色されていることが好ましい。
 基材2の形状は、どのようなものであっても良いところ、用途の広さの観点から、好ましくは板状、シート状あるいは部材状である。
 基材2の素材は、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン-プロピレン共重合体、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステル、ポリアミド、エチレン-酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリイミド、有機ガラス、無機ガラス、あるいはこれらの組合せである。
 基材2の厚みは、例えば10μm(マイクロメートル)以上200μm以下である。基材2の厚みは、黒色着色時には黒さの確保の観点から厚い方が良く、絞り羽根又はシャッター羽根等の代表的な用途に適合させ、基材2の用途を広くする観点からは薄い方が良い。
 基材2の表面(片面あるいは両面)は、平坦な鏡面であっても良いし(鏡面基材)、マット処理等による凹凸を有していても良い(凹凸基材)。マット処理は、マット加工及びマット剤の塗布のうちの少なくとも一方により行われる。マット加工は、公知のものを用いることができ、例えばサンドブラストを始めとするブラスト、化学的エッチング、エンボス、プラズマ放電等の放電、ナノインプリンティング等を用いることができる。マット剤の塗布は、例えば平均粒径が1μm以上35μm以下であるアクリル系粒子、ウレタン系粒子、及びシリカ系粒子の少なくとも何れか等のマット剤をバインダと共に塗布し、マット剤を付着させてマット剤による凹凸を形成するものである。尚、キャスティング等のその他の方法により、微細な凹凸が、基材2の表面に付与されても良い。
 表面において凹凸により乱反射させ、見かけの反射率を減らして黒さを確保する観点からは、基材2の表面が凹凸を有すること(凹凸基材)は好ましい。又、基材2の表面が凹凸を有する場合、優れた黒さを確保する観点から、表面粗さ(算術平均粗さ)が1μm以下であることが、好ましい。
 基材2が黒色に着色される場合、例えば着色剤によりマット剤が黒色に着色される。具体的な着色剤として、例えば、カーボンブラック、カーボングラファイト、カーボンナノチューブ、及びチタンブラックの少なくとも何れかが挙げられる。基材2は、その表面に着色したマット剤が塗布されることにより、黒色に着色される。
 又、基材2は、巻き取り(ロール化)可能であっても良いし、塑性変形を生じない限り巻き取れない程度に巻き取り不能であっても良い。
 光学多層膜4は、基材2の表面(片面あるいは両面,成膜面M)に形成される。光学多層膜4が基材2の両面に形成される場合、各面の光学多層膜4の構成は異なっていても良いところ、好ましくはこれらの構成は、互いに同一とされる。又、一方の面に本発明に係る光学多層膜4が形成され、他方の面に本発明に属さない光学多層膜あるいは光学単層膜が形成されても良い。
 基材2の成膜面Mは、鏡面を含んでいても良いし、凹凸を有する凹凸面を含んでいても良い。
 光学多層膜4は、複数の光吸収層6と、複数の誘電体層8と、を有する。
 光学多層膜4の層数は、性能の確保と形成のコストとの兼ね合いから、4以上が好ましい。即ち、性能確保の観点からは光学多層膜4の層数が4以上であることが必要であると共に、層数が多いほど、設計の自由度が増して性能が確保し易い。又、光学多層膜4の総物理膜厚は、形成のコストが増したり、層の材料によっては所定程度以上の応力が発生したりすることから、400nm以下であることが好ましい。
 尚、光学多層膜4と基材2との間に、密着性を高めるバインダ膜、及び遮光部材1の硬度を増すためのハードコート膜の少なくとも一方等の他の1以上の膜が挿入されても良い。光学多層膜4の表面側(空気側)に、防汚膜及び導電膜の少なくとも一方等の他の1以上の膜が付与されても良い。尚、これらの膜は、光学多層膜4に含まれるものとして扱われても良い。
 光吸収層6は、可視光を吸収する。可視光は、波長域が可視域の光である。可視域は、例えば400nm(ナノメートル)以上780nm以下であり、その下限は、380nm、390nm、410nm、420nm、430nmあるいは440nm等とされても良いし、その上限は、800nm、790nm、770nm、760nm、750nm、730nm、700nm、680nm、650nm、あるいは640nm等とされても良い。
 光吸収層6は、可視光の吸収により、可視光を遮光し、遮光部材1の黒い外観を実現する機能を具備する。
 光吸収層6は、好ましくは金属(その不飽和酸化物を含む)製の層である。光吸収層6の主成分は、例えば、Nb(ニオブ)、Ti(チタン)、Ni(ニッケル)、Ge(ゲルマニウム)、Al(アルミニウム)、Si(シリコン)、Cr(クロム)、若しくはこれらの不飽和酸化物、又はこれらの少なくとも何れか2つである。ここで、主成分とは、全成分に対する重量比又は体積比で過半となることである。以下、Nbを主成分とする層はNb層と呼ばれ、他の主成分の層についても同様に呼ばれることがある。各層の特性は、主成分に応じたものとなり、主成分以外の成分が比較的多いものであっても、主成分以外の成分が少ないものと同様の特性を有する。
 不飽和金属酸化物は、例えば、NiO(xは0を超えて1未満,不飽和酸化ニッケル)である。NiO層は、Niと酸素との化合物を主成分とする。
 複数の光吸収層6は、成膜の容易さの観点から、好ましくは互いに同じ主成分を有し、より好ましくは互いに同じ成分を有する。
 尚、遮光部材1全体として所望の遮光性を実現するため、複数の光吸収層6における一部の可視光の吸収は、他の光吸収層6における可視光の吸収を考慮したものとされても良い。又、光吸収層6による可視光の吸収は、光学多層膜4の他の層若しくは他の膜又は基材2における吸収、透過率、反射率の分布に応じたものとされても良い。
 光吸収層6は、蒸着あるいはスパッタリング等により形成され、好ましくはスパッタリングにより形成される。
 光吸収層6がNiO層であり蒸着により形成される場合、好ましくはイオンアシスト蒸着(Ion Assist Depotition;IAD)によって形成される。NiO層を始めとする膜の構造、あるいはイオンアシストの有無による構造の相違は、当業者にとっても直接の特定が極めて困難である。又、蒸着時におけるイオンアシストの実施によって膜の構造を特定することは、当業者にとって分かり易く有用である。
 NiOx層の蒸着において、基板へ向けてイオン化したガスであるイオンビームが照射される。イオンビームは、少なくとも酸素(O)ガスを含む。イオンビームに係るガスは、アルゴンガスを始めとする希ガスとの混合ガスとされても良い。即ち、イオンビームは、イオン化した酸素ガス、あるいはイオン化した酸素ガスと希ガスの混合ガスである。
 加熱により蒸発源から蒸発したNiは、イオンビームに係る酸素ガスの作用等により、基板の表面においてNiO膜となる(x=1)。NiO膜の表面では、Ni-O間の化学結合の一部がイオンビームにより切断され、酸素欠損が形成される。かような酸素欠損の量に応じてxが変化し、NiO層(xは0を超えて1未満)が形成される。Ni-O間の化学結合がイオンビームにより全て切断される可能性は現実的にはゼロであり、xは0を超える。他方、イオンビームを照射しているのにもかかわらず、Ni-O間の化学結合が全く切断されない可能性も実際的にはないとみて良く、よってxは1未満となる。
 酸素欠損の量即ちxの値は、蒸着源の加熱及びイオンビームの照射を同じ条件で連続して行うことで、1つの層において一定にすることができ、かように蒸着されたNiO層は、膜厚方向において均一な組成となる。ここでの同じ条件は、例えばイオンガンにおける一定の電圧(一定のガスのイオン化電圧)であり、又酸素ガス若しくは酸素ガスと希ガスの一定の流量である。酸素ガスと希ガスの混合ガスの場合は、1つのNiO層の蒸着中に流量が一定であれば流量の大きさは互いに同じでも良いし異なっていても良く、かような趣旨を表すため、酸素ガスの流量が「一定流量」とされ、希ガスの流量が「所定流量」とされて良い。かような同条件におけるイオンビームの照射は、一定したイオンビームの照射と捉えることができる。
 そして、xの値は、イオンビームの各種の特性(イオンガンの各種の設定)により制御される。例えば、イオンビームの加速電圧の大きさ及びイオンビームの電流の大きさの少なくとも一方により、xの大小を変化させることができる。又、希ガスとの混合ガスが用いられる場合には、酸素ガスと希ガスの各導入量あるいは混合比を変更することにより、xの大小を変化させることができる。
 かようにxの値は制御可能であるが、直接同定することは層全体を原子の見られる電子顕微鏡等で観察し尽くす必要があって現実的でなく、当業者にとっても直接の測定が極めて困難である。従って、NiO層(xは0を超えて1未満)と特定されることは有用であり、更に適宜蒸着時のイオンビームの特性等でNiO層が特定されることは、当業者にとって分かり易く有用である。
 又、スパッタリングによってNiO層が形成される場合も、蒸着の場合と同様に、スパッタガスの種類若しくは流量、ラジカルガスの導入の有無、ラジカルガス導入時のラジカルガスの種類、流量若しくは投入電力、真空室内の真空度若しくは温度、スパッタ源の温度、ターゲット温度、又は基板温度等の成膜条件の設定によって、xの値が0を超えて1未満の範囲で調整可能である。
 誘電体層8は、誘電体製の層である。
 誘電体層8は、光吸収層6との組合せにより、反射防止機能を実現する。即ち、光学多層膜4は、光吸収層6と誘電体層8とが交互に配置されることにより、反射防止膜となる。光吸収層6は、高屈折率層として見ることができる。誘電体層8は、高屈折率層に対する低屈折率層あるいは中屈折率層となる。
 誘電体層8の主成分は、好ましくは透光性を有する金属化合物である。誘電体層8の主成分は、例えば、SiO(二酸化シリコン,シリカ)、MgF(二フッ化マグネシウム)、Nb(五酸化二ニオブ)、TiO(二酸化チタン,チタニア)、Al(三酸化二アルミニウム,アルミナ)、ZrO(二酸化ジルコン,ジルコニア)、Ta(五酸化二タンタル)、Si(四窒化三シリコン,窒化ケイ素)、SiN(酸窒化シリコン)の少なくとも何れかである。
 複数の誘電体層8は、成膜の容易さの観点から、好ましくは互いに同じ主成分を有し、より好ましくは互いに同じ成分を有する。
 SiN層は、NiO層と同様に、Siを蒸着源あるいはスパッタ源として、イオン化酸素ガスとイオン化窒素ガスとを照射した蒸着あるいはスパッタリングにより形成可能である。SiNは、1つ以上のN原子あるいはO原子がSi原子と結合する一方、SiあるいはSiOにまでは至らないことから、0<y<4/3,0<z<2となる。
 y,zの値は、NiOのxの値と同様に制御することができる。又、y,zの値は、xの値と同様に、直接同定することは現実的でなく、当業者にとっても直接の測定が極めて困難である。従って、SiN(0<y<4/3,0<z<2)と特定されることは有用であり、更に適宜蒸着時のイオンビームの特性等でSiN層が特定されることは、当業者にとって分かり易く有用である。
 光学多層膜4における最も基材2から離れた層(最も遮光部材1表面側(空気側)の層)である最表層10は、反射防止性能を確保し、光吸収層6を保護する観点から、誘電体層8であることが好ましく、更に、最表層10の主成分が、SiO及びMgFの少なくとも一方であることがより好ましい。最表層10の物理膜厚は、反射防止性能を確保する観点から、62nm以上91nm以下であることが好ましい。
 最表層10を除いた誘電体層8のうちの少なくとも1つの物理膜厚は、反射防止性能を確保する観点から、26nm以上85nm以下であることが好ましい。以下、この範囲内の物理膜厚を有する誘電体層8であって、最も基材2から離れた層(最も最表層10に近い層)は、次最表層12とされる。即ち、次最表層12は、最も最表層10に近い26nm以上85nm以下の物理膜厚を有する誘電体層8である。
 光学多層膜4において、反射防止性能を確保する観点から、最表層10と次最表層12との間に配置された1以上の光吸収層6(表層側光吸収層14)の物理膜厚の合計(表層側光吸収厚C)は、6nm以上17nm以下であることが好ましい。
 又、光学多層膜4において、反射防止性能及び高光学濃度を確保する観点から、次最表層12と基材2との間に配置された1以上の光吸収層6(基材側光吸収層16)の物理膜厚の合計(基材側光吸収厚D)は、60nm以上であることが好ましい。
 更に、光学多層膜4において、反射防止性能及び高光学濃度を確保する観点から、1以上の基材側光吸収層16のうち最も物理膜厚の厚いもの(基材側最大厚光吸収層18)から最表層10までの物理膜厚の合計(特定表層厚E)と、表層側光吸収厚Cと、基材側光吸収厚Dとに関する次の式(1)で表される特定比率Fが、0.34(34%)以上であることが好ましい。尚、特定表層厚Eには、基材側最大厚光吸収層18の物理膜厚、及び最表層10の物理膜厚が含まれる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 遮光部材1は、かような基材2及び光学多層膜4を有することにより、次の各種の特性を有することが、優れた黒さを確保する観点から好ましい。
 まず、遮光部材1において、入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均光学濃度は、4.0以上であると好ましい。
 又、遮光部材1(特に基材2の成膜面Mが凹凸面であるもの)において、入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の平均正反射率(380~780nm平均正反射率)は、0.02%以下であると好ましい。尚、380~780nm平均正反射率は、光学多層膜4に入射する入射角が0°以上8°以下の光に対する反射率であり、他の正反射率についても、同様である。
 更に、遮光部材1(特に基材2の成膜面Mが凹凸面であるもの)において、L表色系測定(JISZ8729)における明度Lが4.5以下であると好ましい。
 又更に、基材2の成膜面Mが鏡面である遮光部材1において、入射角が0°以上8°以下の光に対する400nm以上700nm以下の波長域における平均正反射率(400~700nm平均正反射率)が、0.450%以下であることが好ましい。
 加えて、基材2の成膜面Mが鏡面である遮光部材1において、380~780nm平均正反射率が、0.660%以下であることが好ましい。
 又、基材2の成膜面Mが鏡面である遮光部材1において、入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均光学濃度(380~780nm平均光学濃度)が、2.1以上であることが好ましい。
 かような光学多層膜4が配置された基材2を含む遮光部材1は、例えばカメラにおけるシャッター羽根、絞り羽根に使用される。あるいは、遮光部材1は、真っ黒な外観を付与するために、機器のケースあるいは自動車の内装品等の物品に貼られる。
 このように、本発明の遮光部材1は、基材2と、基材2の1以上の面である成膜面Mに配置される光学多層膜4と、を備えており、光学多層膜4は、可視光を吸収する光吸収層6と誘電体製の層である誘電体層8とが、4層以上8層以下で配置されたものであり、基材2から最も遠い層である最表層10は、誘電体層8であり、最表層10の物理膜厚は、62nm以上91nm以下であり、物理膜厚が26nm以上85nm以下である誘電体層8であって最表層10に最も近いものである次最表層12と、最表層10との間に配置された、1以上の光吸収層6の物理膜厚の合計である表層側光吸収厚Cは、6nm以上17nm以下であり、次最表層12と基材2との間に配置された、1以上の光吸収層6の物理膜厚の合計である基材側光吸収厚Dは、60nm以上であり、次最表層12と基材2との間に配置された光吸収層6のうち最も物理膜厚の大きい層である基材側最大厚光吸収層18から、最表層10までの物理膜厚の合計である特定表層厚Eを割る数とし、表層側光吸収厚Cと基材側光吸収厚Dとの和を割られる数とした場合の商である特定比率F=(C+D)/Eは、0.34以上である。
 よって、優れた黒さを有する遮光部材1が提供される。
 又、成膜面Mは、凹凸を有しており、成膜面Mの表面粗さは、1.0μm以下である。よって、遮光部材1は、より優れた黒さを呈する。
 更に、基材2は、黒色に着色されている。よって、遮光部材1は、より優れた黒さを呈する。
 又更に、光吸収層6は、好ましくは金属あるいは金属の不飽和酸化物を含んでおり、更に好ましくは、光吸収層6の主成分は、Nb,Ti,Ni,Ge,Al及びCr、並びにこれらの各不飽和酸化物のうちの少なくとも何れかである。よって、優れた黒さを有する遮光部材1が、より低コストで簡単に形成される。
 又、誘電体層8は、好ましくは金属化合物を含んでおり、更に好ましくは、誘電体層8の主成分は、SiO、MgF、Nb、TiO、Al、ZrO、Ta、Si、SiNの少なくとも何れかである。よって、優れた黒さを有する遮光部材1が、より低コストで簡単に形成される。
 加えて、最表層10の主成分は、SiO及びMgFの少なくとも一方である。よって、遮光部材1が、より優れた黒さを有することとなる。
 又、基材2と、基材2の1以上の面である成膜面Mに配置される光学多層膜4と、を備えており、成膜面Mは、凹凸を有しており、380~780nm平均光学濃度が、4.0以上であり、380~780nm平均正反射率が、0.02%以下であり、L表色系測定(JISZ8729)における明度Lが、4.5以下である。
 よって、従来見られない黒さを有する遮光部材1が提供される。
 更に、透明な基材2と、基材2の1以上の面である成膜面Mに配置される光学多層膜4と、を備えており、成膜面Mは、鏡面であり、400~700nm平均正反射率が、0.450%以下であり、380~780nm平均正反射率が、0.660%以下であり、380~780nm平均光学濃度が、2.1以上である。
 よって、鏡面の成膜面Mを有する透明な基材2上に形成された光学多層膜型の遮光部材1において、従来見られない黒さが具備される。
 次いで、本発明の好適な実施例、及び本発明に属さない比較例が説明される。
 尚、本発明は、以下の実施例に限定されない。又、本発明の捉え方により、下記の実施例が実質的には比較例となったり、下記の比較例が実質的には実施例となったりすることがある。
[実施例1,比較例1]
 優れた黒さの確保という観点では、基材2は、凹凸を有する凹凸基材であることが、基材2の表面において乱反射が得られることから好ましい。
 実施例1(実施例1-1~1-4)及び比較例1(比較例1-1~1-2)では、基材2が、無色透明のPET製のシート状の凹凸基材(表面にマット処理が施され表面粗さ0.6μmの凹凸を有する成膜面M,厚さ20μm)とされ、光学多層膜4が基材2の片面に成膜された。尚、基材の素材(PET)自体は無色透明であるところ、凹凸の付与により、凹凸基材は、磨りガラスのように半透明となっている。
 実施例1,比較例1の各光学多層膜4は、互いに異なる層構造を有するものとされた。これらの層構造は、次の[表1],[表2]の上部に示される。それぞれの層構造は、[表1],[表2]の上部で示される材料及び物理膜厚(nm)に係る各層を有する4層構造(層数4)となっている。[表1],[表2]における層番号について、第1層(L1)が基材2に接しており、第2層(L2)がL1の空気側に配置されてL1と接しており、以下同様である。実施例1,比較例1の遮光部材1は、光学多層膜4の他に、膜を有していない。
 そして、実施例1,比較例1の明度L、380~780nm平均正反射率及び380~780nm平均光学濃度がそれぞれ測定された。各種の平均正反射率及び平均光学濃度は、分光光度計(PerkinElmer,Inc社製LAMBDA1050)により測定された。明度Lは、色彩計(BYK-Gardner GmbH社製spectro2guide)により測定された。
 尚、実施例1,比較例1を含め、以下の各実施例及び各比較例における各層は、特に明記されない限り、主成分以外の成分を殆ど含まないものであり、又スパッタにより形成されている。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
 上記[表1],[表2]の下部には,それぞれにおける最表層10、次最表層12、表層側光吸収厚C、基材側光吸収厚D、特定表層厚E、特定比率F、400~700nm平均正反射率、380~780nm平均正反射率、及び380~780nm平均光学濃度が示される。
 比較例1-1の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例1-1の光学多層膜4の総物理膜厚は、272nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例1-1の最も基材2から離れた誘電体層8である最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、59nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-1の誘電体層8であるL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、55nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例1-1のL2は、次最表層12である。
 比較例1-1の表層側光吸収層14は、最表層10のL4と次最表層12のL2との間の光吸収層6であるL3(Nb層)であり、その物理膜厚(表層側光吸収厚C)は、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例1-1の基材側光吸収層16は、次最表層12のL2と基材2との間に配置された光吸収層6であるL1(Nb層)であり、その物理膜厚(基材側光吸収厚D)は、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。380~780nm平均光学濃度が4以上となる遮光部材1を無着色の半透明な基材2において得るには、基材2の片面のみに光学多層膜4(光吸収層6)が配置される場合、光吸収層6の物理膜厚の合計が100nm程度以上必要となる。
 又、基材側光吸収層16のL1から最表層10のL4までの物理膜厚の合計(特定表層厚E)は、全物理膜厚と同じ272nmであり、比較例1-1の特定比率Fは、F=(C+D)/E=(8+150)/272≒0.58(58%)となり、34%以上となっている。
 比較例1-1の明度Lは、4.63であり、4.5以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-1の380~780nm平均正反射率は、0.020%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 比較例1-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 比較例1-2の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例1-2の光学多層膜4の総物理膜厚は、277nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例1-2の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、59nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-2のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、59nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例1-2のL2は、次最表層12である。
 比較例1-2の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例1-2の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、比較例1-2の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ277nmであり、比較例1-2の特定比率Fは、(9+150)/277≒0.57(57%)となり、34%以上となっている。
 比較例1-2の明度Lは、6.72であり、4.5以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-2の380~780nm平均正反射率は、0.021%であり、0.02%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 比較例1-3の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例1-3の光学多層膜4の総物理膜厚は、285nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例1-3の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、58nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-3のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、67nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例1-2のL2は、次最表層12である。
 比較例1-3の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例1-3の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、比較例1-3の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ285nmであり、比較例1-3の特定比率Fは、(9+150)/285≒0.56(56%)となり、34%以上となっている。
 比較例1-3の明度Lは、14.85であり、4.5以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-3の380~780nm平均正反射率は、0.031%であり、0.02%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-3の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 比較例1-4の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例1-4の光学多層膜4の総物理膜厚は、285nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例1-4の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例1-4のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、59nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例1-4のL2は、次最表層12である。
 比較例1-4の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、4nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-4の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、比較例1-4の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ288nmであり、比較例1-4の特定比率Fは、(4+150)/288≒0.53(53%)となり、34%以上となっている。
 比較例1-4の明度Lは、28.801であり、4.5以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-4の380~780nm平均正反射率は、0.160%であり、0.02%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例1-4の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 実施例1-1の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例1-1の光学多層膜4の総物理膜厚は、293nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-1の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-1のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、59nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例1-1のL2は、次最表層12である。
 実施例1-1の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-1の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、実施例1-1の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ293nmであり、実施例1-1の特定比率Fは、(9+150)/293≒0.54(54%)となり、34%以上となっている。
 実施例1-1の明度Lは、3.00であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例1-1の380~780nm平均正反射率は、0.010%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例1-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 実施例1-2の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例1-2の光学多層膜4の総物理膜厚は、283nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-2の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、74nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-2のL2は、SiN層であり、その物理膜厚は、51nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例1-2のL2は、次最表層12である。SiN層である実施例1-2のL2は、Siの成膜レート0.2nm/s(ナノメートル毎秒)におけるスパッタリングにより形成され、スパッタリング時に、イオン化された窒素ガス及び酸素ガスが、順に70sccm(Standard Cubic Centimetre per Minute),10sccm導入された。以下、SiN層は、同様に作成されたものである。尚、酸素ガス及び窒素ガスの少なくとも一方の流量の変更により、SiNの組成(SiNにおけるy,z)は変更可能である。
 実施例1-2の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-2の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、実施例1-2の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ283nmであり、実施例1-2の特定比率Fは、(8+150)/283≒0.56(56%)となり、34%以上となっている。
 実施例1-2の明度Lは、3.03であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例1-2の380~780nm平均正反射率は、0.013%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例1-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 実施例1-3の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例1-3の光学多層膜4の総物理膜厚は、284nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-3の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、74nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-3のL2は、SiN層であり、その物理膜厚は、52nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例1-3のL2は、次最表層12である。
 実施例1-3の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-3の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、実施例1-3の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ284nmであり、実施例1-3の特定比率Fは、(8+150)/284≒0.56(56%)となり、34%以上となっている。
 実施例1-3の明度Lは、3.84であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例1-3の380~780nm平均正反射率は、0.012%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例1-3の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 実施例1-4の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例1-4の光学多層膜4の総物理膜厚は、305nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-4の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、77nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-4のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、64nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例1-4のL2は、次最表層12である。
 実施例1-4の表層側光吸収層14は、L3(Nb+Si層)であり、表層側光吸収厚Cは、14nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例1-4の基材側光吸収層16は、L1(Nb+Si層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、実施例1-4の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ305nmであり、実施例1-4の特定比率Fは、(14+150)/305≒0.54(54%)となり、34%以上となっている。
 実施例1-4の明度Lは、3.97であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例1-4の380~780nm平均正反射率は、0.010%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例1-4の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 かように、比較例1-1は、最表層10の物理膜厚が好ましい範囲外であり、明度Lが4.63となって、凹凸基材における好ましい範囲の上限である4.5を超えており、この点で凹凸基材の遮光部材1としての黒さに劣る。
 又、比較例1-2では、最表層10の物理膜厚が好ましい範囲外であり、明度Lが6.72となって、凹凸基材における好ましい範囲の上限である4.5を超えており、又380~780nm平均正反射率が0.021%となって、凹凸基材における好ましい範囲の上限である0.02%を超えており、この点で凹凸基材の遮光部材1としての黒さに劣る。
 更に、比較例1-3では、最表層10の物理膜厚が好ましい範囲外であり、明度Lが14.85となって、凹凸基材における好ましい範囲の上限である4.5を超えており、又380~780nm平均正反射率が0.021%となって、凹凸基材における好ましい範囲の上限である0.02%を超えており、この点で凹凸基材の遮光部材1としての黒さに劣る。
 加えて、比較例1-4では、表層側光吸収厚Cが好ましい範囲外であり、明度Lが28.801となって、凹凸基材における好ましい範囲の上限である4.5を超えており、又380~780nm平均正反射率が0.160%となって、凹凸基材における好ましい範囲の上限である0.02%を超えており、この点で凹凸基材の遮光部材1としての黒さに劣る。
 これに対し、実施例1-1~1-4は、光学多層膜4の層数及び総物理膜厚、最表層10の物理膜厚、表層側光吸収厚C、基材側光吸収厚D、特定表層厚E及び特定比率Fが、何れもそれぞれの好ましい範囲内に入っており、何れも明度Lが4.5以下となっており、又380~780nm平均正反射率が0.02%以下となり、380~780nm平均光学濃度が4以上となっていて、もやの見られない真っ黒な凹凸基材の遮光部材1となっている。
 透明な凹凸基材の遮光部材1において、優れた黒さの確保の観点から、明度Lが4.5以下であり、380~780nm平均正反射率が0.02%以下であり、380~780nm平均光学濃度が4以上であることが好ましく、実施例1では、何れもこの好ましい範囲が満たされる。
[実施例2,比較例2]
 基材2が黒色に着色されると、その分だけ光吸収層6による光の吸収を弱めても、遮光部材1の遮光性能(黒さ)が維持される可能性がある。特に、黒色凹凸基材では、基材2のみで380~780nm平均光学濃度が4程度以上となる。
 そこで、実施例2-1の遮光部材1として、黒色凹凸基材に、実施例1-1の光学多層膜4が成膜されたものが作成され、実施例2-2の遮光部材1として、黒色凹凸基材に、実施例1-1の基材側光吸収層16の物理膜厚を100nmに減らした光学多層膜4が成膜されたものが作成された。
 又、基材側光吸収層16の物理膜厚が更に段階的に減らされ、実施例2-3,比較例2-1,比較例2-2,比較例2-3が作成された。実施例2-3における基材側光吸収層16の物理膜厚は、60nmであり、比較例2-1,比較例2-2における基材側光吸収層16の物理膜厚は、40nmであり、比較例2-3における基材側光吸収層16の物理膜厚は、20nmである。比較例2-2,比較例2-3において、反射率が極力小さくなるように、L2,L4の物理膜厚が若干調節されている。
 尚、実施例2-1~2-3(実施例2),比較例2-1~2-3における基材2は、黒色に着色されたPET製のシート状の凹凸基材(表面にマット処理が施され更に黒色の着色剤が塗布され表面粗さ0.6μmの凹凸を有する成膜面M,厚さ20μm)である。成膜前のフィルムの明度Lは、26.0であり、380~780nm平均正反射率は、0.12%であり、平均光学濃度は、4以上である。光学多層膜4の層数は、何れも4である。
 そして、実施例2,比較例2の明度L、380~780nm平均正反射率及び380~780nm平均光学濃度が、実施例1と同様に測定された。
 これらの層構造等が、上記の[表1]と同様に、次の[表3]において示される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 比較例2-1の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例2-1の光学多層膜4の総物理膜厚は、183nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-1の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-1のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、59nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例2-1のL2は、次最表層12である。
 比較例2-1の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-1の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、40nmであって、60nm以上の範囲に入ってい「ない」。
 又、比較例2-1の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ183nmであり、比較例2-1の特定比率Fは、(9+40)/183≒0.27(27%)となり、34%以上となってい「ない」。
 比較例2-1の明度Lは、4.58であり、4.5以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例2-1の380~780nm平均正反射率は、0.010%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 比較例2-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 比較例2-2の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例2-2の光学多層膜4の総物理膜厚は、188nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-2の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、77nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-2のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、62nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例2-2のL2は、次最表層12である。
 比較例2-2の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-2の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、40nmであって、60nm以上の範囲に入ってい「ない」。
 又、比較例2-2の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ188nmであり、比較例2-2の特定比率Fは、(9+40)/188≒0.26(26%)となり、34%以上となってい「ない」。
 比較例2-2の明度Lは、4.70であり、4.5以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例2-2の380~780nm平均正反射率は、0.011%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 比較例2-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 比較例2-3の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例2-3の光学多層膜4の総物理膜厚は、177nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-3の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、79nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-3のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、69nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例2-3のL2は、次最表層12である。
 比較例2-3の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例2-3の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、20nmであって、60nm以上の範囲に入ってい「ない」。
 又、比較例2-3の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ177nmであり、比較例2-3の特定比率Fは、(9+20)/177≒0.17(17%)となり、34%以上となってい「ない」。
 比較例2-3の明度Lは、5.79であり、4.5以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例2-3の380~780nm平均正反射率は、0.012%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 比較例2-3の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 実施例2-1の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例2-1の光学多層膜4の総物理膜厚は、243nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例2-1の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例2-1のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、59nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例2-1のL2は、次最表層12である。
 実施例2-1の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例2-1の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、100nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、実施例2-1の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ243nmであり、実施例2-1の特定比率Fは、(9+100)/243≒0.45(45%)となり、34%以上となっている。
 実施例2-1の明度Lは、4.1であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例2-1の380~780nm平均正反射率は、0.010%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例2-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 実施例2-2の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例2-2の光学多層膜4の総物理膜厚は、203nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例2-2の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例2-2のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、59nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例2-2のL2は、次最表層12である。
 実施例2-2の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例2-2の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、60nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 又、実施例2-2の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ203nmであり、実施例2-2の特定比率Fは、(9+60)/203≒0.34(34%)となり、34%以上となっている。
 実施例2-2の明度Lは、4.5であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例2-2の380~780nm平均正反射率は、0.009%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例2-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4以上の範囲に入っている。
 実施例2,比較例2の何れも、380~780nm平均光学濃度が4以上となっている。
 しかし、比較例2-1,2-2,比較例2-3は、明度Lが4.58,4.70,5.79となって4.5を超えており、この点で凹凸基材の遮光部材1としての黒さに劣る。
 これに対し、実施例2は、何れも明度Lが4.5以下となり、380~780nm平均正反射率が0.02%以下となり、380~780nm平均光学濃度が4以上となっていて、もやの見られない真っ黒な凹凸基材の遮光部材1となっている。
 しかも、実施例2は、黒さの質を確保しながら、光吸収層6の物理膜厚を、実施例1-1(L1で150nm)より減らすことができている(L1で順に100,60nm)。
[実施例3,比較例3]
 実施例1,2において半透明の,黒色に着色された各凹凸基材での好ましい光学多層膜4が得られたところ、無色透明の鏡面を有する基材2(鏡面基材)においても、黒さの確保が要求される場合がある。又、光学多層膜4が鏡面に形成された鏡面基材の遮光部材1の方が、凹凸基材の場合に比べ、各種の測定、及びシミュレーションが行い易く、遮光部材1の性質を把握し易い。
 そこで、まず、実施例1,比較例1における光学多層膜4の層構造を維持しながら、基材2を、無色透明の凹凸基材から、両面が鏡面である平坦な板状であり無色透明である基材2(白板ガラス,板厚2mm(ミリメートル),片面が鏡面の成膜面Mとなる)に代えたものが、順に実施例3(実施例3-1~3-4),比較例3(比較例3-1~3-4)として形成され、これらの性質が調べられた。当該性質として、400~700nm平均正反射率、380~780nm平均正反射率及び380~780nm平均光学濃度が測定された。
 次いで、実施例2,比較例2における光学多層膜4の層構造を維持しながら、基材2を、黒色に着色された凹凸基材から、実施例3と同様に無色透明の鏡面を有する基材2に代えたものが、順に実施例4(実施例4-1~4-2),比較例4(比較例4-1~4-3)として形成され、これらの性質が同様に調べられた。
 尚、実施例3,4、比較例3,4は、基材2の成膜面Mが鏡面であり、光学多層膜4へ直進する入射光に対する拡散反射成分がないため、これらの明度Lは、上記の色彩計では何れも0と測定される。
 まず、次の[表4]に、実施例3,比較例3の測定結果が示される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
 比較例3-1の400~700nm平均正反射率は、0.684%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例3-1の380~780nm平均正反射率は、1.018%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例3-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、基材が無色透明であり成膜面Mが鏡面である場合の好ましい範囲である2.1以上の範囲に入っている。
 比較例3-2の400~700nm平均正反射率は、1.288%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例3-2の380~780nm平均正反射率は、1.552%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例3-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 比較例3-3の400~700nm平均正反射率は、2.710%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例3-3の380~780nm平均正反射率は、2.774%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例3-3の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 比較例3-4の400~700nm平均正反射率は、6.615%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例3-4の380~780nm平均正反射率は、7.516%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例3-4の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例3-1の400~700nm平均正反射率は、0.137%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例3-1の380~780nm平均正反射率は、0.337%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例3-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例3-2の400~700nm平均正反射率は、0.280%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例3-2の380~780nm平均正反射率は、0.514%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例3-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例3-3の400~700nm平均正反射率は、0.450%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例3-3の380~780nm平均正反射率は、0.660%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例3-3の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例3-4の400~700nm平均正反射率は、0.107%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例3-4の380~780nm平均正反射率は、0.311%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例3-4の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 かように、比較例3-1~3-3では、最表層10の物理膜厚が好ましい範囲外であり、400~700nm平均正反射率及び380~780nm平均正反射率が、透明な鏡面基材におけるそれぞれの好ましい範囲外である。又、比較例3-4では、表層側光吸収厚Cが好ましい範囲外であり、400~700nm平均正反射率及び380~780nm平均正反射率が、透明な鏡面基材におけるそれぞれの好ましい範囲外である。
 これに対し、実施例3は、最表層10の物理膜厚、表層側光吸収厚C、基材側光吸収厚D、特定表層厚E及び特定比率Fが、何れもそれぞれの好ましい範囲内に入っており、400~700nm平均正反射率、380~780nm平均正反射率及び380~780nm平均光学濃度が、何れもそれぞれの好ましい範囲内に入っている。
[実施例4,比較例4]
 次いで、次の[表5]に、実施例4,比較例4の測定結果が示される。尚、実施例1-1の光学多層膜4の構造と実施例2-1の光学多層膜4の構造とは同一であるため、実施例2-1の光学多層膜4の層構造を維持しながら、基材を無色透明の鏡面を有するものに変えた実施例は、実施例3-1と同じになる。そのため、[表5]においては、実施例3-1が再掲される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 比較例4-1の400~700nm平均正反射率は、0.150%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 比較例4-1の380~780nm平均正反射率は、0.419%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 比較例4-1の380~780nm平均光学濃度は、1.6であり、2.1以上の範囲に入ってい「ない」。
 比較例4-2の400~700nm平均正反射率は、0.155%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 比較例4-2の380~780nm平均正反射率は、0.340%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 比較例4-2の380~780nm平均光学濃度は、1.6であり、2.1以上の範囲に入ってい「ない」。
 比較例4-3の400~700nm平均正反射率は、0.237%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 比較例4-3の380~780nm平均正反射率は、0.381%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 比較例4-3の380~780nm平均光学濃度は、1.1であり、2.1以上の範囲に入ってい「ない」。
 実施例4-1の400~700nm平均正反射率は、0.129%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例4-1の380~780nm平均正反射率は、0.305%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例4-1の380~780nm平均光学濃度は、3.4であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例4-2の400~700nm平均正反射率は、0.135%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例4-2の380~780nm平均正反射率は、0.277%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例4-2の380~780nm平均光学濃度は、2.1であり、2.1以上の範囲に入っている。
 かように、比較例4-1~4-3は、基材側光吸収厚D及び特定比率Fが好ましい範囲外であり、380~780nm平均光学濃度が、好ましい範囲外である。
 これに対し、実施例4-1~4-2は、最表層10の物理膜厚、表層側光吸収厚C、基材側光吸収厚D、特定表層厚E及び特定比率Fが、何れもそれぞれの好ましい範囲内に入っており、400~700nm平均正反射率、380~780nm平均正反射率及び380~780nm平均光学濃度が、何れもそれぞれの好ましい範囲内に入っている。
 そして、凹凸基材の場合に良好な結果が得られた層構造に係る光学多層膜4(実施例1,2)を、透明な鏡面基材に成膜すると(実施例3,4)、何れも400~700nm平均正反射率が0.450%以下となり、380~780nm平均正反射率が0.660%以下となり、380~780nm平均光学濃度が2.1以上となることから、透明な鏡面基材におけるそれぞれの好ましい範囲内が定まったと言える。
[実施例5,比較例5]
 更に、透明な鏡面基材における各種の光学多層膜4の光学特性が検討された。
 即ち、実施例5(実施例5-1~5-20)及び比較例5(比較例5-1~5-8)として、無色透明の鏡面基材上の様々な光学多層膜4の層構造について、実施例3,4と同様の特性が、シミュレーションにより把握された。
 実施例5,比較例5の層構造及び特性が、次の[表6]~[表12]で示される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000013
 比較例5-1の光学多層膜4の層数は、3であって、4以上の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-1の光学多層膜4の総物理膜厚は、147nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-1の最表層10は、L3(SiO層)であり、その物理膜厚は、84nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-1のL1は、SiO層であり、その物理膜厚は、57nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例5-1のL1は、次最表層12である。
 比較例5-1の表層側光吸収層14は、L2(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、6nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-1の基材側光吸収層16、及び特定表層厚Eは、存在し「ない」ので、比較例5-1の特定比率Fは、計算でき「ない」。
 比較例5-1の400~700nm平均正反射率は、1.988%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-1の380~780nm平均正反射率は、2.870%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-1の380~780nm平均光学濃度は、0.2であり、2.1以上の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-1は、黒さに向上の余地がある。
 比較例5-2の光学多層膜4の層数は、3であって、4以上の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-2の光学多層膜4の総物理膜厚は、219nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-2の最表層10は、L3(SiO層)であり、その物理膜厚は、70nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-2のL2は、Si層であり、その物理膜厚は、25nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例5-2のL2は、次最表層12である。
 比較例5-2の表層側光吸収層14は、存在し「ない」ので、比較例5-2の特定比率Fは、計算でき「ない」。
 比較例5-2の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、124nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 比較例5-2の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ219nmである。
 比較例5-2の400~700nm平均正反射率は、15.081%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-2の380~780nm平均正反射率は、15.673%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-2の380~780nm平均光学濃度は、2.9であり、2.1以上の範囲に入っている。
 比較例5-2は、特に反射率の低減が十分でなく、黒さに向上の余地がある。
 比較例5-3の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例5-3の光学多層膜4の総物理膜厚は、223nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-3の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、70nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-3のL3は、Si層であり、その物理膜厚は、35nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例5-3のL3は、次最表層12である。
 比較例5-3の表層側光吸収層14は、存在し「ない」ため、比較例5-3の特定比率Fは、計算でき「ない」。
 比較例5-3の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、88nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 比較例5-3の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ223nmである。
 比較例5-3の400~700nm平均正反射率は、34.933%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-3の380~780nm平均正反射率は、32.241%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-3の380~780nm平均光学濃度は、2.1であり、2.1以上の範囲に入っている。
 比較例5-3は、特に反射率の低減が十分でなく、黒さに向上の余地がある。
 比較例5-4の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例5-4の光学多層膜4の総物理膜厚は、318nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-4の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、100nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-4のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、59nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例5-4のL2は、次最表層12である。
 比較例5-4の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-4の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 比較例5-4の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ318nmであり、比較例5-4の特定比率Fは、(9+150)/318=0.50(50%)となり、34%以上となっている。
 比較例5-4の400~700nm平均正反射率は、2.383%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-4の380~780nm平均正反射率は、2.367%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-4の380~780nm平均光学濃度は、4.0であり、2.1以上の範囲に入っている。
 比較例5-4は、特に反射率の低減が十分でなく、黒さに向上の余地がある。
 比較例5-5の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例5-5の光学多層膜4の総物理膜厚は、324nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-5の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-5のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、90nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入ってい「ない」から、比較例5-5のL2は、次最表層12では「ない」。
 比較例5-5の表層側光吸収層14及び基材側光吸収層16は、次最表層12の不存在により、存在し「ない」。
 比較例5-5の特定表層厚Eは、表層側光吸収層14及び基材側光吸収層16の不存在により、存在し「ない」。比較例5-5の特定比率Fは、表層側光吸収層14及び基材側光吸収層16並びに特定表層厚Eの不存在により、計算でき「ない」。
 比較例5-5の400~700nm平均正反射率は、4.348%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-5の380~780nm平均正反射率は、4.319%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-5の380~780nm平均光学濃度は、4.0であり、2.1以上の範囲に入っている。
 比較例5-5は、特に反射率の低減が十分でなく、黒さに向上の余地がある。
 比較例5-6の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例5-6の光学多層膜4の総物理膜厚は、304nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-6の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-6のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、59nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例5-6のL2は、次最表層12である。
 比較例5-6の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、20nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-6の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 比較例5-6の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ304nmであり、比較例5-6の特定比率Fは、(20+150)/304≒0.56(56%)となり、34%以上となっている。
 比較例5-6の400~700nm平均正反射率は、9.104%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-6の380~780nm平均正反射率は、10.242%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-6の380~780nm平均光学濃度は、4.3であり、2.1以上の範囲に入っている。
 比較例5-6は、特に反射率の低減が十分でなく、黒さに向上の余地がある。
 比較例5-7の光学多層膜4の層数は、6であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例5-7の光学多層膜4の総物理膜厚は、406nmであって、400nm以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-7の最表層10は、L6(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-7のL4は、SiO層であり、その物理膜厚は、75nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例5-7のL4は、次最表層12である。
 比較例5-7の表層側光吸収層14は、L5(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-7の基材側光吸収層16は、L1,L3(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、32+15=47nmであって、60nm以上の範囲に入ってい「ない」。比較例5-7の基材側最大厚光吸収層18は、L1(Nb層)である。
 比較例5-7の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ406nmであり、比較例5-7の特定比率Fは、(9+47)/406≒0.14(14%)となり、34%以上となってい「ない」。
 比較例5-7の400~700nm平均正反射率は、0.892%であり、0.450%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-7の380~780nm平均正反射率は、1.155%であり、0.660%以下の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-7の380~780nm平均光学濃度は、1.8であり、2.1以上の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-7は、特に反射率の低減が十分でなく、黒さに向上の余地がある。
 比較例5-8の光学多層膜4の層数は、8であって、4以上の範囲に入っている。
 比較例5-8の光学多層膜4の総物理膜厚は、391nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-8の最表層10は、L8(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-8のL6は、SiO層であり、その物理膜厚は、61nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、比較例5-8のL6は、次最表層12である。
 比較例5-8の表層側光吸収層14は、L7(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、10nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 比較例5-8の基材側光吸収層16は、L1,L3,L5(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、35+5+5=45nmであって、60nm以上の範囲に入ってい「ない」。比較例5-8の基材側最大厚光吸収層18は、L5(Nb層)である。
 比較例5-8の特定表層厚Eは、L5~L8の物理膜厚の合計である181nmであり、比較例5-8の特定比率Fは、(10+45)/181≒0.30(30%)となり、34%以上となってい「ない」。
 比較例5-8の400~700nm平均正反射率は、0.198%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 比較例5-8の380~780nm平均正反射率は、0.522%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 比較例5-8の380~780nm平均光学濃度は、2.0であり、2.1以上の範囲に入ってい「ない」。
 比較例5-8は、特に平均光学濃度が十分でなく、黒さに向上の余地がある。
 これらに対し、実施例5-1の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-1の光学多層膜4の総物理膜厚は、321nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-1の最表層10は、L4(MgF層)であり、その物理膜厚は、85nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-1のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、65nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-1のL2は、次最表層12である。
 実施例5-1の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-1の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、163nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-1の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ321nmであり、実施例5-1の特定比率Fは、(8+163)/321≒0.53(53%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-1の400~700nm平均正反射率は、0.147%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-1の380~780nm平均正反射率は、0.247%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-1は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-2の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-2の光学多層膜4の総物理膜厚は、283nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-2の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、81nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-2のL2は、Si層であり、その物理膜厚は、46nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-2のL2は、次最表層12である。
 実施例5-2の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、7nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-2の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、149nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-2の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ283nmであり、実施例5-2の特定比率Fは、(7+149)/283≒0.55(55%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-2の400~700nm平均正反射率は、0.254%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-2の380~780nm平均正反射率は、0.452%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-2は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-3の光学多層膜4の層数は、5であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-3の光学多層膜4の総物理膜厚は、259nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-3の最表層10は、L5(SiO層)であり、その物理膜厚は、71nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-3のL4は、Nb層であり、その物理膜厚は、14nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入ってい「ない」から、実施例5-3のL4は、次最表層12では「ない」。実施例5-3のL2は、Nb層であり、その物理膜厚は、26nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-3のL2は、次最表層12である。
 実施例5-3の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、7nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-3の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、141nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-3の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ259nmであり、実施例5-3の特定比率Fは、(7+141)/259≒0.57(57%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-3の400~700nm平均正反射率は、0.286%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-3の380~780nm平均正反射率は、0.592%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-3の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-3は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-4の光学多層膜4の層数は、5であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-4の光学多層膜4の総物理膜厚は、302nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-4の最表層10は、L5(SiO層)であり、その物理膜厚は、70nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-4のL4は、Nb層であり、その物理膜厚は、18nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入ってい「ない」から、実施例5-4のL4は、次最表層12では「ない」。実施例5-4のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、43nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-4のL2は、次最表層12である。
 実施例5-4の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、12nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-4の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、159nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-4の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ302nmであり、実施例5-4の特定比率Fは、(12+159)/302≒0.57(57%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-4の400~700nm平均正反射率は、0.262%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-4の380~780nm平均正反射率は、0.425%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-4の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-4は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-5の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-5の光学多層膜4の総物理膜厚は、274nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-5の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、76nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-5のL2は、Al層であり、その物理膜厚は、50nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-5のL2は、次最表層12である。
 実施例5-5の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-5の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、140nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-5の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ274nmであり、実施例5-5の特定比率Fは、(8+140)/274≒0.54(54%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-5の400~700nm平均正反射率は、0.215%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-5の380~780nm平均正反射率は、0.470%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-5の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-5は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-6の光学多層膜4の層数は、5であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-6の光学多層膜4の総物理膜厚は、259nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-6の最表層10は、L5(SiO層)であり、その物理膜厚は、71nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-6のL4は、TiO層であり、その物理膜厚は、14nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入ってい「ない」から、実施例5-6のL4は、次最表層12では「ない」。実施例5-6のL2は、TiO層であり、その物理膜厚は、26nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-6のL2は、次最表層12である。
 実施例5-6の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、7nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-6の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、141nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-6の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ259nmであり、実施例5-6の特定比率Fは、(7+141)/259≒0.57(57%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-6の400~700nm平均正反射率は、0.315%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-6の380~780nm平均正反射率は、0.644%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-6の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-6は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-7の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-7の光学多層膜4の総物理膜厚は、302nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-7の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、80nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-7のL2は、MgF層であり、その物理膜厚は、77nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-7のL2は、次最表層12である。
 実施例5-7の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-7の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-7の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ302nmであり、実施例5-7の特定比率Fは、(9+150)/302≒0.53(53%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-7の400~700nm平均正反射率は、0.284%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-7の380~780nm平均正反射率は、0.346%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-7の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-7は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-8の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-8の光学多層膜4の総物理膜厚は、277nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-8の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、79nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-8のL2は、ZrO層であり、その物理膜厚は、42nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-8のL2は、次最表層12である。
 実施例5-8の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、6nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-8の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-8の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ277nmであり、実施例5-8の特定比率Fは、(6+150)/277≒0.56(56%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-8の400~700nm平均正反射率は、0.264%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-8の380~780nm平均正反射率は、0.417%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-8の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-8は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-9の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-9の光学多層膜4の総物理膜厚は、274nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-9の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、79nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-9のL2は、Ta層であり、その物理膜厚は、39nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-9のL2は、次最表層12である。
 実施例5-9の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、6nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-9の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-9の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ274nmであり、実施例5-9の特定比率Fは、(6+150)/274≒0.57(57%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-9の400~700nm平均正反射率は、0.298%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-9の380~780nm平均正反射率は、0.538%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-9の380~780nm平均光学濃度は、3.7であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-9は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-10の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-10の光学多層膜4の総物理膜厚は、295nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-10の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、71nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-10のL2は、SiO層層であり、その物理膜厚は、73nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-10のL2は、次最表層12である。
 実施例5-10の表層側光吸収層14は、L3(Ti層)であり、表層側光吸収厚Cは、16nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-10の基材側光吸収層16は、L1(Ti層)であり、基材側光吸収厚Dは、135nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-10の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ295nmであり、実施例5-10の特定比率Fは、(16+135)/295≒0.51(51%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-10の400~700nm平均正反射率は、0.193%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-10の380~780nm平均正反射率は、0.497%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-10の380~780nm平均光学濃度は、3.2であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-10は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-11の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-11の光学多層膜4の総物理膜厚は、312nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-11の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、76nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-11のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、71nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-11のL2は、次最表層12である。
 実施例5-11の表層側光吸収層14は、L3(NiO層)であり、表層側光吸収厚Cは、15nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。ここでのNiO層は、Niの成膜レート0.3nm/sにおける蒸着により形成され得るものであり、蒸着時に、酸素ガスが、20sccm導入されるものである。以下、NiO層は、同様に作成されたものが想定される。尚、酸素ガスの流量の変更により、NiOの組成(NiOにおけるx)は変更可能である。
 実施例5-11の基材側光吸収層16は、L1(NiO層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-11の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ312nmであり、実施例5-11の特定比率Fは、(15+150)/312≒0.53(53%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-11の400~700nm平均正反射率は、0.393%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-11の380~780nm平均正反射率は、0.653%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-11の380~780nm平均光学濃度は、3.4であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-11は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-12の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-12の光学多層膜4の総物理膜厚は、356nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-12の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、62nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-12のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、36nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-12のL2は、次最表層12である。
 実施例5-12の表層側光吸収層14は、L3(Ge層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-12の基材側光吸収層16は、L1(Ge層)であり、基材側光吸収厚Dは、250nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-12の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ356nmであり、実施例5-12の特定比率Fは、(8+250)/356≒0.72(72%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-12の400~700nm平均正反射率は、0.402%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-12の380~780nm平均正反射率は、0.637%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-12の380~780nm平均光学濃度は、2.1であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-12は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-13の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-13の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、77nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-13のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、63nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-13のL2は、次最表層12である。
 実施例5-13の表層側光吸収層14は、L3(Cr層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-13の基材側光吸収層16は、L1(Cr層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-13の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ298nmであり、実施例5-13の特定比率Fは、(8+150)/298≒0.53(53%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-13の400~700nm平均正反射率は、0.165%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-13の380~780nm平均正反射率は、0.170%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-13の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-13は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-14の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-14の光学多層膜4の総物理膜厚は、221nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-14の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、70nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-14のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、70nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-14のL2は、次最表層12である。
 実施例5-14の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、17nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-14の基材側光吸収層16は、L1(Al層)であり、基材側光吸収厚Dは、60nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-14の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ221nmであり、実施例5-14の特定比率Fは、(17+60)/221=0.35(35%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-14の400~700nm平均正反射率は、0.241%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-14の380~780nm平均正反射率は、0.562%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-14の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-14は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-15の光学多層膜4の層数は、4であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-15の光学多層膜4の総物理膜厚は、205nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-15の最表層10は、L4(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-15のL2は、SiO層であり、その物理膜厚は、61nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-15のL2は、次最表層12である。
 実施例5-15の表層側光吸収層14は、L3(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、10nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-15の基材側光吸収層16は、L1(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、60nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-15の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ205nmであり、実施例5-15の特定比率Fは、(10+60)/205≒0.34(34%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-15の400~700nm平均正反射率は、0.246%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-15の380~780nm平均正反射率は、0.427%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-15の380~780nm平均光学濃度は、2.1であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-15は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-16の光学多層膜4の層数は、5であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-16の光学多層膜4の総物理膜厚は、400nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-16の最表層10は、L5(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-16のL3は、SiO層であり、その物理膜厚は、61nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-16のL3は、次最表層12である。
 実施例5-16の表層側光吸収層14は、L4(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、10nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-16の基材側光吸収層16は、L2(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、60nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-16の特定表層厚Eは、L2~L5の物理膜厚の合計である206nmであり、実施例5-16の特定比率Fは、(10+60)/206≒0.34(34%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-16の400~700nm平均正反射率は、0.246%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-16の380~780nm平均正反射率は、0.425%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-16の380~780nm平均光学濃度は、2.1であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-16は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-17の光学多層膜4の層数は、6であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-17の光学多層膜4の総物理膜厚は、230nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-17の最表層10は、L6(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-17のL4は、SiO層であり、その物理膜厚は、61nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-17のL4は、次最表層12である。
 実施例5-17の表層側光吸収層14は、L5(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、9nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-17の基材側光吸収層16は、L1,L3(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、10+50=60nmであって、60nm以上の範囲に入っている。実施例5-17の基材側最大厚光吸収層18は、L3(Nb層)である。
 実施例5-17の特定表層厚Eは、L3~L6の合計物理膜厚と同じ195nmであり、実施例5-17の特定比率Fは、(9+60)/195≒0.35(35%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-17の400~700nm平均正反射率は、0.224%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-17の380~780nm平均正反射率は、0.348%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-17の380~780nm平均光学濃度は、2.1であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-17は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-18の光学多層膜4の層数は、6であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-18の光学多層膜4の総物理膜厚は、382nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-18の最表層10は、L6(SiO層)であり、その物理膜厚は、88nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-18のL4は、SiO層であり、その物理膜厚は、85nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-18のL4は、次最表層12である。
 実施例5-18の表層側光吸収層14は、L5(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、7nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-18の基材側光吸収層16は、L1,L3(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、105+16=121nmであって、60nm以上の範囲に入っている。実施例5-18の基材側最大厚光吸収層18は、L1(Nb層)である。
 実施例5-18の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ382nmであり、実施例5-18の特定比率Fは、(7+121)/382≒0.34(34%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-18の400~700nm平均正反射率は、0.388%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-18の380~780nm平均正反射率は、0.591%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-18の380~780nm平均光学濃度は、3.7であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-18は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-19の光学多層膜4の層数は、8であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-19の光学多層膜4の総物理膜厚は、400nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-19の最表層10は、L8(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-19のL6は、SiO層であり、その物理膜厚は、61nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-19のL6は、次最表層12である。
 実施例5-19の表層側光吸収層14は、L7(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、10nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-19の基材側光吸収層16は、L1,L3,L5(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、5+5+50=60nmであって、60nm以上の範囲に入っている。実施例5-19の基材側最大厚光吸収層18は、L5(Nb層)である。
 実施例5-19の特定表層厚Eは、L5~L8の合計物理膜厚と同じ196nmであり、実施例5-19の特定比率Fは、(10+60)/196≒0.36(36%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-19の400~700nm平均正反射率は、0.274%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-19の380~780nm平均正反射率は、0.540%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-19の380~780nm平均光学濃度は、2.3であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-19は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例5-20の光学多層膜4の層数は、6であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例5-20の光学多層膜4の総物理膜厚は、349nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-20の最表層10は、L6(SiO層)であり、その物理膜厚は、91nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-20のL4は、SiO層であり、その物理膜厚は、79nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例5-20のL4は、次最表層12である。
 実施例5-20の表層側光吸収層14は、L5(Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例5-20の基材側光吸収層16は、L1,L3(Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、90+19=109nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例5-20の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ349nmであり、実施例5-20の特定比率Fは、(8+109)/349≒0.34(34%)となり、34%以上となっている。
 実施例5-20の400~700nm平均正反射率は、0.447%であり、0.450%以下の範囲に入っている。
 実施例5-20の380~780nm平均正反射率は、0.656%であり、0.660%以下の範囲に入っている。
 実施例5-20の380~780nm平均光学濃度は、3.4であり、2.1以上の範囲に入っている。
 実施例5-20は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 かように、実施例5-1~5-20は、光学多層膜4の層数及び総物理膜厚、最表層10の物理膜厚、表層側光吸収厚C、基材側光吸収厚D、特定表層厚E及び特定比率Fが、何れもそれぞれの好ましい範囲内に入っており、400~700nm平均正反射率、380~780nm平均正反射率、及び380~780nm平均光学濃度が、何れも透明な鏡面基材におけるそれぞれの好ましい範囲内に入っている。
[実施例6]
 基材2の表面粗さが0.4μm以上1.0以下の範囲内で異なる複数の場合について、実施例6(実施例6-1~6-3)の形成により確認された。実施例6-1~6-2は、実施例2-1(黒色凹凸基材,表面粗さ0.6μm)に対し、表面粗さが異なる黒色凹凸基材にそれぞれ変更したものである。
 実施例6-1の基材の表面粗さは、0.4μmである。実施例6-1の基材(成膜前)の明度Lは、22.4である。実施例6-1の基材の380~780nm平均正反射率は、0.23%である。実施例6-1の基材の平均光学濃度は、4以上である。
 実施例6-2の基材の表面粗さは、0.5μmである。実施例6-2の基材(成膜前)の明度Lは、13.4である。実施例6-2の基材の380~780nm平均正反射率は、0.02%である。実施例6-2の基材の平均光学濃度は、4以上である。
 更に、実施例6-3は、次の基材に、下記[表13]に示される光学多層膜4を成膜したものである。
 実施例6-3の基材の表面粗さは、1.0μmである。実施例6-3の基材(成膜前)の明度Lは、22.3である。実施例6-3の基材の380~780nm平均正反射率は、0.08%である。実施例6-3の基材の平均光学濃度は、4以上である。
 実施例6-3の光学多層膜4の層数は、7であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例6-3の光学多層膜4の総物理膜厚は、292nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例6-3の最表層10は、L7(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例6-3のL3は、SiO層であり、その物理膜厚は、41nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例6-3のL3は、次最表層12である。
 実施例6-3の表層側光吸収層14は、L6(Si+Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。ここで、L6,L1のSi+Nb層は、次のように作製され得るものである。即ち、Siが成膜レート0.21nm/sでスパッタされ、同時にNbが成膜レート0.20nm/sでスパッタされて、Si+Nb層とされる。成膜レートの比から計算されるSiとNbとの比(体積比)は、Si:Nb=51:49程度であり、Si+Nb層は、Siが過半となる混合膜である。Si:Nbは、成膜レート等の成膜条件により変更可能である。成膜されたSi+Nb層における正確なSi:Nbの値は、顕微鏡等による膨大な範囲の観察を要するため、当業者であったとしても、提示し難い。
 実施例6-3の基材側光吸収層16は、L1(Si+Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、150nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例6-3の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ292nmであり、実施例6-3の特定比率Fは、(8+150)/292≒0.54(54%)となり、34%以上となっている。
 実施例6及び実施例2-1(再掲)の表面粗さ及び確認結果が、次の[表14]に示される。尚、実施例6-1~6-2の層構造は、実施例1-1,2-1(上記[表1],[表3])と同じである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000014
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000015
 実施例6-1(表面粗さ0.4μm)の明度Lは、3.00であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例6-1の380~780nm平均正反射率は、0.011%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例6-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4.0以上の範囲に入っている。
 実施例6-2(表面粗さ0.5μm)の明度Lは、1.94であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例6-2の380~780nm平均正反射率は、0.008%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例6-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4.0以上の範囲に入っている。
 実施例2-1(表面粗さ0.6μm)の明度Lは、2.96であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例2-1の380~780nm平均正反射率は、0.010%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例2-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4.0以上の範囲に入っている。
 実施例6-3(表面粗さ1.0μm)の明度Lは、3.65であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例6-3の380~780nm平均正反射率は、0.006%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例6-3の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4.0以上の範囲に入っている。
 実施例6-1~6-2,実施例2-1及び実施例6-3は、基材2の表面粗さが0.4μm以上1.0μm以下の範囲内でそれぞれ異なるものの、何れも明度L、380~780nm平均正反射率及び380~780nm平均光学濃度において、凹凸基材に係る好ましい範囲となり、真っ黒な遮光部材1となっている。
[実施例7]
 小型化が進むカメラモジュールでは、遮光フィルムも薄くなっているため、光学多層膜4を成膜する場合には、光学多層膜4の応力によるフィルム基材の反りが、板状の基材の場合に比べて発生し易い。光学部材1における反りの発生により、光学部材1における所望の機能の発揮が抑制されたり、光学部材1がカメラモジュールに収められなかったりすることがある。即ち、フィルム基材(薄型基材)の遮光部材1における反りの抑制が求められることがある。
 そこで、実施例7では、厚さ25μmの黒色凹凸基材であるフィルムの片面に対し光学多層膜4を形成した後、30mm角に切断したもの(実施例7-1~7-3)における反りの発生が調べられた。尚、実施例7の各基材の表面粗さは、0.6μmであり、成膜前の各基材の明度Lは、19.3であり、成膜前の各基材の380~780nm平均正反射率は、0.06%であり、成膜前の各基材の平均光学濃度は、4以上である。
 図2は、遮光部材1の反りについての模式図である。光学多層膜4(各層)の材質により、光学多層膜4において応力が生じ、比較的に大きく厚い基材2では応力に耐えて反りが生じないものの、比較的に小さく薄い基材2では光学多層膜4の応力が基材2を反らせる。遮光部材1に係る光学多層膜4では、実施例7を含む多くの場合、応力が生じ、光学多層膜4(成膜面M)側に凸となるような反りが生じ得る。応力の大きさは、応力を有する材質の使用量と概ね比例関係にある。反りの程度は、実施例7の遮光部材1を、水平な試験台Tに、光学多層膜4側を下にして静置した際の、試験台Tからの最大の高さである最大反り量Hで測られる。
 又、実施例7の明度L、380~780nm平均正反射率及び380~780nm平均光学濃度が、実施例1と同様に測定された。
 これらの層構造等が、上記の[表1]と同様に、次の[表15]において示される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000016
 実施例7-1の光学多層膜4の層数は、7であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例7-1の光学多層膜4の総物理膜厚は、297nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例7-1の最表層10は、L7(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例7-1のL3は、SiO層であり、その物理膜厚は、41nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例7-1のL3は、次最表層12である。
 実施例7-1の表層側光吸収層14は、L5(Si+Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。Si+Nb層の成膜は、上述の通りであり、実施例7において同様である。
 実施例7-1の基材側光吸収層16は、L1(Si+Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、155nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例7-1の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ297nmであり、実施例7-1の特定比率Fは、(8+155)/297≒0.55(55%)となり、34%以上となっている。
 実施例7-1の明度Lは、3.40であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例7-1の380~780nm平均正反射率は、0.007%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例7-1の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4.0以上の範囲に入っている。
 実施例7-1は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例7-1の最大反り量Hは、2.0mmであり、比較的に小さい。
 実施例7-2の光学多層膜4の層数は、7であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例7-2の光学多層膜4の総物理膜厚は、400nmであって、400nm以下の範囲に入っている。
 実施例7-2の最表層10は、L7(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例7-2のL3は、SiO層であり、その物理膜厚は、41nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例7-2のL3は、次最表層12である。
 実施例7-2の表層側光吸収層14は、L5(Si+Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例7-2の基材側光吸収層16は、L1(Si+Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、258nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例7-2の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ400nmであり、実施例7-2の特定比率Fは、(8+258)/400≒0.67(67%)となり、34%以上となっている。
 実施例7-2の明度Lは、2.97であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例7-2の380~780nm平均正反射率は、0.006%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例7-2の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4.0以上の範囲に入っている。
 実施例7-2は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例7-2の最大反り量Hは、2.5mmであり、比較的に小さい。
 実施例7-3の光学多層膜4の層数は、7であって、4以上の範囲に入っている。
 実施例7-3の光学多層膜4の総物理膜厚は、500nmであって、400nm以下の範囲に入ってい「ない」。尚、請求項1に従属する請求項2において、光学多層膜4の総物理膜厚が400nm以下である事項が、特定される。
 実施例7-3の最表層10は、L7(SiO層)であり、その物理膜厚は、75nmであって、62nm以上91nm以下の範囲に入っている。
 実施例7-3のL3は、SiO層であり、その物理膜厚は、41nmであって、26nm以上85nm以下の範囲に入っているから、実施例7-3のL3は、次最表層12である。
 実施例7-3の表層側光吸収層14は、L5(Si+Nb層)であり、表層側光吸収厚Cは、8nmであって、6nm以上17nm以下の範囲に入っている。
 実施例7-3の基材側光吸収層16は、L1(Si+Nb層)であり、基材側光吸収厚Dは、358nmであって、60nm以上の範囲に入っている。
 実施例7-3の特定表層厚Eは、全物理膜厚と同じ500nmであり、実施例7-3の特定比率Fは、(8+358)/500≒0.73(73%)となり、34%以上となっている。
 実施例7-3の明度Lは、2.73であり、4.5以下の範囲に入っている。
 実施例7-3の380~780nm平均正反射率は、0.005%であり、0.02%以下の範囲に入っている。
 実施例7-3の380~780nm平均光学濃度は、4以上であり、4.0以上の範囲に入っている。
 実施例7-3は、高光学濃度及び低反射率の両面において、優れた黒さを有するものである。
 実施例7-3の最大反り量Hは、3.5mmであり、比較的に大きい。反りの程度を抑制する観点から、光学多層膜4の総物理膜厚は、30mm角で厚さ25μmの基材において最大反り量Hが2.5mm以下となる、400nm以下であることが好ましい。
 1・・遮光部材、2・・基材、4・・光学多層膜、6・・光吸収層、8・・誘電体層、10・・最表層、12・・次最表層、14・・表層側光吸収層、16・・基材側光吸収層、18・・基材側最大厚光吸収層、C・・表層側光吸収厚、D・・基材側光吸収厚、E・・特定表層厚、M・・成膜面。

Claims (11)

  1.  基材と、
     前記基材の1以上の面である成膜面に配置される光学多層膜と、
    を備えており、
     前記光学多層膜は、可視光を吸収する光吸収層と誘電体製の層である誘電体層とが、4層以上で配置されたものであり、
     前記基材から最も遠い層である最表層は、前記誘電体層であり、
     前記最表層の物理膜厚は、62nm以上91nm以下であり、
     物理膜厚が26nm以上85nm以下である前記誘電体層であって前記最表層に最も近いものである次最表層と、前記最表層との間に配置された、1以上の前記光吸収層の物理膜厚の合計である表層側光吸収厚は、6nm以上17nm以下であり、
     前記次最表層と前記基材との間に配置された、1以上の前記光吸収層の物理膜厚の合計である基材側光吸収厚は、60nm以上であり、
     前記次最表層と前記基材との間に配置された前記光吸収層のうち最も物理膜厚の大きい層である基材側最大厚光吸収層から、前記最表層までの物理膜厚の合計である特定表層厚を割る数とし、前記表層側光吸収厚と前記基材側光吸収厚との和を割られる数とした場合の商である特定比率は、0.34以上である
    ことを特徴とする遮光部材。
  2.  前記光学多層膜の総物理膜厚は、400nm以下である
    ことを特徴とする請求項1に記載の遮光部材。
  3.  前記成膜面は、凹凸を有しており、
     前記成膜面の表面粗さは、1.0μm以下である
    ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の遮光部材。
  4.  前記基材は、黒色に着色されている
    ことを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れかに記載の遮光部材。
  5.  前記光吸収層は、金属あるいは金属の不飽和酸化物を含んでいる
    ことを特徴とする請求項1ないし請求項4の何れかに記載の遮光部材。
  6.  前記光吸収層の主成分は、Nb,Ti,Ni,Ge,Al,Si及びCr、並びにこれらの各不飽和酸化物のうちの少なくとも何れかである
    ことを特徴とする請求項5に記載の遮光部材。
  7.  前記誘電体層は、金属化合物を含んでいる
    ことを特徴とする請求項1ないし請求項6の何れかに記載の遮光部材。
  8.  前記誘電体層の主成分は、SiO、MgF、Nb、TiO、Al、ZrO、Ta、Si、SiNの少なくとも何れかである
    ことを特徴とする請求項7に記載の遮光部材。
  9.  前記最表層の主成分は、SiO及びMgFの少なくとも一方である
    ことを特徴とする請求項1ないし請求項8の何れかに記載の遮光部材
  10.  基材と、
     前記基材の1以上の面である成膜面に配置される光学多層膜と、
    を備えており、
     前記成膜面は、凹凸を有しており、
     入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均光学濃度が、4.0以上であり、
     入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均正反射率が、0.02%以下であり、
     L表色系測定(JISZ8729)における明度Lが、4.5以下である
    ことを特徴とする遮光部材。
  11.  透明な基材と、
     前記基材の1以上の面である成膜面に配置される光学多層膜と、
    を備えており、
     前記成膜面は、鏡面であり、
     入射角が0°以上8°以下の光に対する400nm以上700nm以下の波長域における平均正反射率が、0.450%以下であり、
     入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均正反射率が、0.660%以下であり、
     入射角が0°以上8°以下の光に対する380nm以上780nm以下の波長域における平均光学濃度が、2.1以上である
    ことを特徴とする遮光部材。
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