JP3953032B2 - 表面凹凸を利用した構造色発色体の製造方法並びに表面凹凸を利用した構造色発色体 - Google Patents
表面凹凸を利用した構造色発色体の製造方法並びに表面凹凸を利用した構造色発色体 Download PDFInfo
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- Alをターゲット材とする平行平板型スパッタリング装置を用いて、Arをスパッタガスとし、基板温度、堆積時間を調整することによって、膜厚、表面凹凸形態が制御され、平坦表面のAl膜と比較して紫外・可視・近赤外の光に対して低い垂直反射率と高い拡散反射率とを示すAl膜を形成し、この上に更に、同様の平行平板型スパッタリング装置を用いてAr、N2の混合ガスをスパッタガスとし、堆積時間を調整し、膜厚を制御した透明な窒化アルミニュウム(AlN)を堆積することにより、多様な色で且つ平坦表面のAl膜と比較して高い拡散反射率を有し発色効果の角度依存性の低い発色を実現した膜を得ることを特徴とする表面凹凸を利用した構造色発色体の製造方法。
- 前記スパッタリング装置をRFスパッタリング装置としたことを特徴とする請求項1記載の表面凹凸を利用した構造色発色体の製造方法。
- 前記スパッタリング装置をDCスパッタリング装置としたことを特徴とする請求項1記載の表面凹凸を利用した構造色発色体の製造方法。
- 前記作製された膜は基板側では平坦表面のため金属光沢を有し、膜表面側では表面凹凸のため、光沢を持たない、柔らかな発色をし、見る角度による発色効果の低下が前記膜の基板側の平坦表面と比較して少ないように作製したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面凹凸を利用した構造色発色体の製造方法。
- 前記AlNの膜厚を変化させることで色調を変化させることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の表面凹凸を利用した構造色発色体の製造方法。
- Alをターゲット材とする平行平板形スパッタリング装置を用いて、Arをスパッタガスとして形成した前記Al膜の上に、同様の平行平板型スパッタリング装置を用いてAr、N2の混合ガスをスパッタガスとし、その混合比、基板温度及び堆積時間(膜厚)を制御した透明な窒素アルミニュウム(AlN)を堆積することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の表面凹凸を利用した構造色発色体の製造方法。
- Alをターゲット材とする平行平板型スパッタリング装置を用いて形成されるものであって、Arをスパッタガスとし、基板温度、堆積時間を調整することによって、膜厚、表面凹凸形態を制御して、平坦表面のAl膜と比較して紫外・可視・近赤外の光に対して低い垂直反射率と高い拡散反射率とを示すAl膜の上に、Ar、N2の混合ガスをスパッタガスとし、堆積時間を調整し、膜厚を制御した透明な窒化アルミニュウム(AlN)を堆積した構成として、多様な色で且つ平坦表面のAl膜と比較して高い拡散反射率を有し発色効果の角度依存性の低い発色を実現した膜としたことを特徴とする表面凹凸を利用した構造色発色体。
- 前記Al膜とAlNとで形成した膜は、基板側では平坦表面として金属光沢を有し、膜表面側では表面凹凸を有して光沢を持たない、柔らかな発色をし、見る角度による発色効果の低下が前記膜の基板側の平坦表面と比較して少ないように構成したことを特徴とする請求項7記載の表面凹凸を利用した構造色発色体。
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