CN107076895A - 光学滤波器和摄像装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种光学滤波器,具有吸收层和反射层,所述吸收层含有在660~785nm的波长区域具有极大吸收的第1近红外线吸收剂且满足下述(i-1)的要件,所述反射层由电介质多层膜构成且满足下述(ii-1)的要件。(i-1)在比显示所述极大吸收的波长λ(DA_Tmin)短的波长侧,在620~670nm的波长区域具有透射率为50%的波长λSh(DA_T50%)。(ii‑1)在670~1200nm的波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近红外线反射带,在比所述近红外线反射带短的波长侧,以入射角30°入射的光中s偏振光成分的光的透射率为50%的波长λSh(A2_Ts50%)位于比所述波长λSh(DA_T50%)长的波长侧。
Description
技术领域
本发明涉及一种透射可见光、阻断近红外光的光学滤波器和具备该光学滤波器的摄像装置。
背景技术
在使用搭载于数码照相机等的CCD、CMOS图像传感器等固体摄像元件的摄像装置中,为了将色调良好地再现且得到鲜明的图像,使用透射可见光、阻断近红外光的光学滤波器(近红外截止滤波器)。
在该光学滤波器中,尤其是为了得到良好的色调再现性,要求显示透射可见光并且阻断紫外光和近红外光的光谱透射率曲线。
以往,作为这样的光学滤波器,已知有一种具备含有近红外吸收色素的(光)吸收层以及阻断紫外波长区域和红外波长区域的光的由电介质多层膜构成的(光)反射层的光学滤波器。对于该光学滤波器,电介质多层膜本身因入射的光的角度而光谱透射率曲线发生变化(偏移)。因此,这样的光学滤波器为了消除该变化,欲重叠透射率的入射角依赖性极小的含有近红外吸收色素的吸收层的吸收波长区域来抑制光的入射角依赖性而得到色彩再现性优异的光谱透射率曲线(例如,参照专利文献1~3等)。
但是,电介质多层膜随着入射的光的角度变大,因偏振光成分的不同,光学特性也会出现差异。即,s偏振光成分和p偏振光成分的光谱透射率曲线不同。上述的专利文献示出对于斜入射(例如、30°)光的光谱透射率曲线并公开了与垂直入射(0°)光的光谱透射率曲线的差分变小,但没有关于偏振光成分的具体的记载。而且,在着眼于特定的偏振光成分(s偏振光成分或p偏振光成分)时,以往的光学滤波器的偏移量变大,无法充分地消除起因于入射的光的偏振光成分的因斜入射所致的光谱透射率曲线的偏移。在此所谓的偏移(量),尤其是在光谱透射率曲线中,相当于在透射率的上升、下降所见的波长的变化(量)。
因此,以往的光学滤波器存在因偏振光成分产生入射角依赖性这样的问题。尤其是光学滤波器在可见区与近红外区的边界的700nm附近从透射过渡到阻断的区域中,如果光的入射角依赖性和偏振光依赖性变大,则得不到固体摄像元件的高精度的色彩再现性。进而,光学滤波器在成为固体摄像元件的灵敏度的最长波长的1150nm附近,如果由于偏振光依赖性而透射率提高,则由于感知到固体摄像元件原本不应感知的波长的光量(噪音)而得不到高精度的色彩再现性。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2013-190553号公报
专利文献2:日本特开2014-052482号公报
专利文献3:国际公开第2014/002864号公报
发明内容
因此,本发明的目的在于,提供一种斜入射时的偏振光依赖性得到抑制的光学滤波器、尤其是在可见区与近红外区的边界的700nm附近从透射过渡到阻断的区域的偏振光依赖性得到抑制的光学滤波器,进而,在成为固体摄像元件的灵敏度的最长波长的1150nm附近,因偏振光依赖性所致的透射率的增大得到抑制的光学滤波器以及具备该光学滤波器的摄像图像的色彩再现性优异的摄像装置。
本发明的一方案的光学滤波器的特征在于,具有吸收层和反射层,所述吸收层含有在660~785nm的波长区域具有极大吸收的第1近红外线吸收剂且满足下述(i-1)的要件,所述反射层由电介质多层膜构成且满足下述(ii-1)的要件。
(i-1)在比显示所述极大吸收的波长λ(DA_Tmin)短的波长侧,在620~670nm的波长区域具有透射率为50%的波长λSh(DA_T50%)。
(ii-1)在670~1200nm的波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近红外线反射带,在比所述近红外线反射带短的波长侧,以入射角30°入射的光中s偏振光成分的光的透射率为50%的波长λSh(A2_Ts50%)位于比所述波长λSh(DA_T50%)长的波长侧。
另外,本发明的其它方案的光学滤波器的特征在于,具有吸收层和反射层,所述吸收层含有在660~785nm的波长区域具有极大吸收的第1近红外线吸收剂和在800~920nm的波长区域具有极大吸收的第2近红外线吸收剂且满足下述(I-1)的要件,所述反射层由电介质多层膜构成且满足下述(II-1)的要件。
(I-1)在比所述第1近红外线吸收剂显示极大吸收的波长λ(DA_Tmin)短的波长侧,在620~670nm的波长区域具有透射率为50%的波长λSh(DA_T50%),在比所述第2近红外线吸收剂显示极大吸收的波长λ(DB_Tmin)长的波长侧,在900~970nm的波长区域具有透射率为50%的波长λLo(DB_T50%),并且λSh(DA_T50%)<λ(DA_Tmin)<λ(DB_Tmin)<λLo(DB_T50%)。
(II-1)在670~1200nm的波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近红外线反射带,在所述近红外线反射带的短波长侧,透射率为50%的波长λSh(A1_T50%)、所述波长λ(DB_Tmin)与所述波长λLo(DB_T50%)的关系为λ(DB_Tmin)<λSh(A1_T50%)<λLo(DB_T50%),且在所述近红外线反射带的长波长侧,以入射角30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为15%的波长λLo(A1_Tp15%)是比波长1150nm长的波长。
本发明的又一方案的摄像装置的特征在于,具备上述任一者的光学滤波器。
根据本发明,可得到斜入射时的偏振光依赖性得到抑制的光学滤波器、尤其是在可见区与近红外区的边界的700nm附近从透射过渡到阻断的区域的因偏振光依赖性所致的透射率的变化得到抑制、成为固体摄像元件的灵敏度的最长波长的1150nm附近的因偏振光依赖性所致的透射率的增大得到抑制的光学滤波器。另外,可得到使用有这样的光学滤波器的色彩再现性优异的摄像装置。
附图说明
图1A是表示第1实施方式的光学滤波器的一个例子的截面图。
图1B是表示第1实施方式的光学滤波器的其它例子的截面图。
图1C是表示第1实施方式的光学滤波器的其它例子的截面图。
图1D是表示第1实施方式的光学滤波器的其它例子的截面图。
图2是表示含有UV吸收剂(DU)和第1NIR吸收剂(DA)的吸收层的光谱透射率的计算结果的图表。
图3A是将高折射率nH=2.35、低折射率nL=1.45的电介质膜交替地在折射率nS=1.5的透明基板上以光学膜厚相对于波长λ0为λ0/4的方式层叠21层时的光谱透射率的计算结果,且相对于波长λ将横轴表示为g=λ0/λ的图表。
图3B是在图3A所示的计算结果中,将横轴以波长λ表示的图表。
图4是表示表2所示的由电介质多层膜构成的反射层的光谱透射率的计算结果的图表。
图5是表示表3所示的由电介质多层膜构成的反射层的光谱透射率的计算结果的图表。
图6是表示在透明基板的单面形成表2所示的由电介质多层膜构成的反射层、在另一面形成表3所示的由电介质多层膜构成的反射层的反射型滤波器的光谱透射率的计算结果的图表。
图7是表示在透明基板的单面一体地形成表2所示的由电介质多层膜构成的反射层和表3所示的由电介质多层膜构成的反射层的反射型滤波器的光谱透射率的计算结果的图表。
图8A是表示第2实施方式的光学滤波器的一个例子的截面图。
图8B是表示第2实施方式的光学滤波器的其它例子的截面图。
图8C是表示第2实施方式的光学滤波器的其它例子的截面图。
图9是表示含有UV吸收剂(DU)、第1NIR吸收剂(DA)和第2NIR吸收剂(DB)的吸收层的光谱透射率的计算结果的图表。
图10是概略地表示本发明的摄像装置的一个例子的截面图。
图11是表示实施例1的光学滤波器的光谱透射率的计算结果的图表。
图12是表示实施例2的光学滤波器的光谱透射率的计算结果的图表。
图13A是表示实施例1的光学滤波器在680~760nm的波长区域的光谱透射率的计算结果的图表。
图13B是表示比较例1的光学滤波器在680~760nm的波长区域的光谱透射率的计算结果的图表。
图14A是表示实施例1的光学滤波器在1000~1250nm的波长区域的光谱透射率的计算结果的图表。
图14B是表示比较例2的光学滤波器在1000~1250nm的波长区域的光谱透射率的计算结果的图表。
图15是表示实施例3的光学滤波器的光谱透射率的计算结果的图表。
具体实施方式
以下,对本发明的实施方式进行说明。
(第1实施方式)
本实施方式的光学滤波器(以下,在第1实施方式的说明中,也称为“本滤波器”)具有吸收层和反射层,该反射层由电介质多层膜构成。
吸收层可以在本滤波器中具有1层,也可以具有2层以上。具有2层以上时,各层可以为相同的构成,也可以不同。如果举出一个例子,则可以使一个层为由含有如后所述的近红外线吸收剂(以下,有时也简称为“NIR吸收剂”)的树脂构成的近红外吸收层、使另一个层为由含有如后所述的近紫外线吸收剂(以下,有时也简称为“UV吸收剂”)的树脂构成的近紫外吸收层。另外,吸收层其自身可以作为基板(树脂基板)发挥作用。
由电介质多层膜构成的反射层与吸收层同样,可以具有1层,也可以具有2层以上。具有2层以上时,各反射层可以为相同的构成,也可以不同,但通常由反射带不同的多个反射层构成。构成这些各反射层的各电介质多层膜中的各膜的光学膜厚的平均值根据反射带而不同。如果举出一个例子,则可以使一个反射层为屏蔽近红外区(700~1200nm)的短波长侧区域的光的近红外反射层、使另一个反射层为屏蔽近红外区的长波长侧区域和近紫外区这两个区域的光的近红外·近紫外反射层。
本滤波器可以进一步具有透明基板。此时,上述吸收层和上述反射层可以在透明基板的同一主面上具有,也可以在不同的主面上具有。在同一主面上具有吸收层和反射层时,它们的层叠顺序没有特别限定。
本滤波器还可以具有其它功能层。作为其它功能层,可以举出例如抑制可见区的透射率损失的防反射层。尤其是采用吸收层为最表面的构成时,在吸收层与空气的界面产生因反射所致的可见光透射率损失,因此,优选在吸收层上设置防反射层。应予说明,此时,防反射层可以为不仅覆盖吸收层的最表面、还覆盖吸收层的侧面整体的构成。通过还覆盖侧面整体,能够提高吸收层的防湿效果。
以下,使用附图对本滤波器的构成例进行说明。
图1A是在吸收层11的两主面上分别具备第1反射层12a和第2反射层12b的光学滤波器10的构成例。
图1B是在吸收层11的一个主面上具备第1反射层12a和第2反射层12b的光学滤波器20的构成例。
应予说明,“在吸收层11的一个主面上具有第1反射层12a等其它层”不限于与吸收层11接触而具备其它层的情况,也包含在吸收层11与其它层之间具备其它功能层的情况。以下的构成也同样。在此,光学滤波器10、光学滤波器20的吸收层11此时可以兼具作为透明基板的功能。
图1C是在透明基板13的两主面上分别具备第1反射层12a和第2反射层12b、在第2反射层12b上依次具备吸收层11和防反射层14的光学滤波器30的构成例。
图1D是在透明基板13的一个主面上具备第1反射层12a和第2反射层12b、在透明基板13的另一个主面上具备吸收层11和防反射层14的光学滤波器40的构成例。
图1A~图1D均是设置有2层构成不同的反射层的例子。如上所述,例如,第1反射层12a可以为屏蔽上述的近红外区的长波长侧区域和近紫外区的光的近红外·近紫外反射层,第2反射层12b可以为屏蔽上述的近红外区的短波长侧区域的近红外反射层。第1反射层12a与第2反射层12b的位置没有特别限定。
本滤波器优选满足下述要件(1)~(3)中的至少1个,更优选满足至少2个。更进一步优选满足全部下述(1)~(3)的要件。
(1)在入射角0°的光谱透射率曲线中,440~600nm的波长区域的平均透射率为80%以上。
(2)在入射角0°的光谱透射率曲线中,350~400nm的波长区域的平均透射率为5%以下。
(3)在入射角0°的光谱透射率曲线中,700~1150nm的波长区域的平均透射率为5%以下。
上述(1)中,平均透射率优选90%以上。另外,上述(2)中,平均透射率优选3%以下,更优选1%以下。进而,上述(3)中,平均透射率优选3%以下,更优选1%以下。
另外,入射角0°的光谱透射率曲线中的440~600nm的波长区域的透射率只要为60%以上即可,优选70%以上,更优选80%以上。另外,入射角0°的光谱透射率曲线中的350~400nm的波长区域的透射率只要为10%以下即可,优选5%以下,更优选1%以下。进而,入射角0°的光谱透射率曲线中的700~1150nm的波长区域的透射率只要为10%以下即可,优选5%以下,更优选1%以下。
接着,对构成本滤波器的吸收层、反射层、透明基板和防反射层进行说明。
<吸收层>
吸收层是含有NIR吸收剂(DA)和透明树脂(B)的层,典型的是NIR吸收剂(DA)均匀地溶解或分散在透明树脂(B)中的层。应予说明,吸收层可以含有NIR吸收剂(DA)以外的吸收剂、例如UV吸收剂(DU)。另外,可以含有第2实施方式中说明的NIR吸收剂(DB)(以下,也将NIR吸收剂(DA)称为“第1NIR吸收剂(DA)”,也将NIR吸收剂(DB)称为“第2NIR吸收剂(DB)”)。
含有NIR吸收剂(DA)的吸收层的光学性质由使用折射率n和衰减系数κ的复折射率n-iκ表示,随着对应于吸收剂固有的衰减系数κ的波长(λ)依赖性的光吸收,光谱透射率发生变化。如果将在透明树脂中沿厚度方向均匀地分散吸收剂而成的吸收层的厚度设为d,则吸收层的光谱透射率T(λ)由T(λ)=exp(-4πκd/λ)描述。在此,α=4πκ/λ为吸收系数,使用常用对数表示透射率时,成为T(λ)=10-βd,吸收系数β相当于α乘以log10(e)=0.434而得到的值。此时,吸光度A记载为-log10{T(λ)}=βd。吸收系数α和β根据吸收层中的吸收剂浓度而发生变化。即,吸收层的光谱透射率可以通过改变吸收层中的吸收剂浓度和吸收层的厚度d来调整。
在本实施方式中,期望对吸收层进行设计以使600~700nm的波长区域的光谱灵敏度近似于相当于人眼的光谱灵敏度的相对可见度的等色函数,并且阻断700~1150nm的近红外光,440~600nm的可见光为高透射率。
但是,衰减系数κ的波长依赖性为吸收剂所固有的特性,在可见区维持高透射率,通常难以通过吸收充分地阻断宽的近红外区。因此,本滤波器形成如下构成:使600~700nm的波长区域的光谱透射率曲线近似于等色函数,并且通过NIR吸收剂阻断700nm以上的近红外区中短波长侧的区域,利用后述的反射层阻断通过NIR吸收剂无法阻断的近红外区的长波长侧的区域。
因此,本实施方式的光学滤波器的吸收层使用在将NIR吸收剂溶解或分散于透明树脂(B)而制作的树脂膜的350~1200nm的吸收光谱中在660~785nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DA_Tmin)的NIR吸收剂(DA)。另外,吸收层以如下方式设定NIR吸收剂(DA)的浓度和厚度d:在比极大吸收波长λ(DA_Tmin)短的波长侧,在620~670nm的波长区域内具有透射率为50%的波长λSh(DA_T50%)。进一步优选吸收层以如下方式设定NIR吸收剂(DA)的浓度和厚度d:在比极大吸收波长λ(DA_Tmin)短的波长侧,在640~700nm的波长区域内具有透射率为15%的波长λSh(DA_T15%),在比λ(DA_Tmin)长的波长侧,在740~840nm的波长区域内具有透射率为15%的波长λLo(DA_T15%)和透射率为50%的波长λLo(DA_T50%)(其中,λLo(DA_T15%)<λLo(DA_T50%)),在入射角0°的光谱透射率曲线中,440~600nm波长区域的平均透射率为80%以上。
在此,本滤波器为重视带RGB滤色器的固体摄像元件的红色的色彩再现性的摄像装置用光学滤波器时,吸收层优选以使600~700nm波长区域的光谱灵敏度近似于等色函数x(λ)的方式选择NIR吸收剂(DA),且进行吸收层中的浓度和厚度d的调整。另外,本滤波器为重视固体摄像元件的灵敏度的摄像装置用光学滤波器时,优选选择600~700nm的波长区域为更高透射率且700nm以上的波长显示吸收的陡峭的光谱透射率的NIR吸收剂(DA)。
单一化合物的NIR吸收剂(DA)大多作为近红外区的吸收特性,在特定的波长区域具有高的吸收,在可见区吸收小,进而在比极大吸收波长λ(DA_Tmin)长的波长侧,透射率增加(吸收降低)。因此,由单一化合物构成的NIR吸收剂(DA)难以充分地吸收宽波长区域的入射光。但是,本实施方式的光学滤波器通过具备上述的第1反射层和第2反射层这样的多个反射层,能够阻断宽波长区域的入射光。应予说明,吸收层可以为使用极大吸收波长不同的多个化合物来扩大吸收波长区域的构成。但是,如果吸收层含有多个NIR吸收剂而具有可见区的NIR吸收剂固有的残留吸收,则有时使可见区的透射率降低,因此,考虑这些来选择NIR吸收剂,进而,还考虑吸收层中的浓度和吸收层的厚度。
作为适合于本实施方式的光学滤波器的NIR吸收剂(DA)的具体例,可以举出KODAK公司的IRD系列的05、22、57、67等、Epolin公司的EpolightTM系列的5548、5768、6084等、QCRSolutions公司的NIR系列的757A、762A、775B、778A、783C等、Exciton公司的ABS694、ABS691等、H.W.Sands公司的SDA系列的1372、3517、4231、4653、5027、5966、6390、6396、7251、8064和SDB3410等(以上为商品名)。它们均在上述的吸收光谱中,在660~785nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DA_Tmin),并且几乎没有440~600nm的可见区的光吸收,因此,适合作为本实施方式的NIR吸收剂(DA)。
另外,下述通式(A1)所示的方酸系化合物也适合作为本实施方式的NIR吸收剂(DA)。
式(A1)中的符号如下所述。
X独立地为1个以上的氢原子可以被碳原子数1~12的烷基或烷氧基取代的下述式(1)或式(2)所示的2价的有机基团。
-(CH2)n1-…(1)
式(1)中,n1为2或3。
-(CH2)n2-O-(CH2)n3-…(2)
式(2)中,n2和n3各自独立地为0~2的整数,n2+n3为1或2。
R1独立地表示可以含有饱和环结构、可以具有支链的碳原子数1~12的饱和或不饱和烃基、碳原子数3~12的饱和环状烃基、碳原子数6~12的芳基或碳原子数7~13的烷芳基。
R2和R3独立地表示氢原子、卤素原子或碳原子数1~10的烷基或烷氧基。
R4独立地表示1个以上的氢原子可以被卤素原子、羟基、羧基、磺基或氰基取代、在碳原子间可以含有不饱和键、氧原子、饱和或不饱和的环结构、具有至少1个以上的支链的碳原子数5~25的烃基。
上述通式(A1)所示的化合物的可见区与近红外区的边界附近的吸收光谱中的倾斜陡峭,且对近红外光的屏蔽能力也高。因此,吸收层即使少量添加该化合物也具有优异的吸收特性,可实现光学滤波器的薄型化和小型化。进而,上述通式(A1)所示的化合物由于耐热性优异,因此,也能够抑制热工艺中的光谱透射率的变化。
另外,400~450nm的可见区的固体摄像元件的光谱灵敏度通过固体摄像元件的蓝色用像素所形成的蓝色滤色器而近似于相对可见度的等色函数z(λ)。而且,人眼没有灵敏度的350~400nm的近紫外光的一部分也会透射蓝色滤色器而被固体摄像元件检测,有时妨碍高精度的色彩再现性。因此,吸收层优选以阻断350~400nm的近紫外光、在420nm以上的可见区为高透射率的方式含有在上述的吸收光谱中在370~405nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DU_Tmin)的UV吸收剂(DU)。
进而,吸收层优选以如下方式设定UV吸收剂(DU)的种类、UV吸收剂(DU)的(吸收层中的)浓度和厚度d:在比上述极大吸收波长λ(DU_Tmin)长的波长侧,在400~420nm的波长区域内具有透射率为50%的波长λLo(DU_T50%),在入射角0°的光谱透射率曲线、即垂直地入射于仅含有UV吸收剂(DU)的吸收层的主面的光的光谱透射率曲线中,440~620nm的波长带的平均透射率为90%以上,优选为95%以上。
应予说明,含有UV吸收剂(DU)的吸收层的370~440nm的波长区域的最小透射率波长与最大透射率波长的间隔越窄、即透射率的变化越陡峭,可见光的损失越减少而优选。但是,为了得到这样的陡峭的变化,需要使UV吸收剂(DU)的浓度增加,此时,如果具有可见区的UV吸收剂(DU)固有的残留吸收,则有时可见光的透射率降低。因此,使用这样的UV吸收剂时,吸收层优选以440~620nm的波长区域的平均透射率为上述范围的方式设定UV吸收剂(DU)的种类、UV吸收剂(DU)的(吸收层中的)浓度和厚度d。
作为适合于本实施方式的光学滤波器的UV吸收剂(DU)的具体例,可以举出H.W.Sands公司的SDA3382和MSA3144、QCR Solutions公司的UV386A和UV386B、UV386A、Chiba公司的TINUVIN479(以上为商品名)、部花青系色素、苯并三唑系紫外线吸收剂、二苯甲酮系紫外线吸收剂、水杨酸酯系紫外线吸收剂、氰基丙烯酸酯系紫外线吸收剂、三嗪系紫外线吸收剂、草酰苯胺系紫外线吸收剂、镍络盐系紫外线吸收剂、无机系紫外线吸收剂等。它们均在上述的吸收光谱中,在370~405nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DU_Tmin),并且几乎没有440~700nm的可见区的光吸收,且在390~420nm的波长区域可得到较陡峭的透射率变化,因此,适合作为本滤波器的UV吸收剂(DU)。
例如使用上述SDA3382作为UV吸收剂时,极大吸收波长λ(DU_Tmin)为387nm。而且,通过调整该UV吸收剂的浓度,可以在比极大吸收波长λ(DU_Tmin)长的波长侧,将透射率为15%的波长λLo(DU_T15%)设定为394nm,将透射率为50%的波长λLo(DU_T50%)设定为402nm,将透射率为70%的波长λLo(DU_T70%)设定为407nm。
图2是使用极大吸收波长λ(DA_Tmin)为775nm的NIR775B作为NIR吸收剂(DA),使用上述的SDA3382作为UV吸收剂(DU),调整这些吸收层中的浓度和厚度d而算出的吸收层的光谱透射率曲线的一个例子。图2未考虑在吸收层与空气的一个界面产生的大致4%左右的菲涅耳反射损失,光谱透射率相当于吸收层的内部透射率。换言之,图2相当于在吸收层的界面具备规定的防反射层时的光谱透射率曲线。
如图2所示,例示的吸收层显示近紫外区的363~393nm的透射率为10%以下、在可见区的404nm和633nm处透射率大致为50%、410~630nm波长区域的平均透射率大致为85%、近红外区的700~800nm的透射率大致为5%以下的光谱透射率。
图2所示的吸收层的光谱透射率曲线几乎没有入射光的入射角依赖性。因此,通过具备上述吸收层,可得到在可见区与近紫外区的边界区域和可见区与近红外区的边界区域,对于发散和聚焦的入射光均稳定的光谱透射率曲线。
另外,吸收层至少含有NIR吸收剂(DA)和透明树脂(B)。作为透明树脂(B),可以使用各种树脂材料。例如可以举出丙烯酸树脂、环氧树脂、烯·硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚对苯撑树脂、聚亚芳基醚氧化膦树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂和聚酯树脂等。透明树脂可以单独使用1种,也可以混合使用2种以上。
上述透明树脂中,从透明性、NIR吸收剂(DA)、UV吸收剂(DU)等在透明树脂(B)中的溶解性和耐热性的观点考虑,透明树脂优选玻璃化转变温度(Tg)高的树脂。具体而言,优选选自聚酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚砜树脂、聚芳酯树脂、聚酰亚胺树脂和环氧树脂中的1种以上。进而,透明树脂更优选选自聚酯树脂、聚酰亚胺树脂中的1种以上。作为聚酯树脂,优选聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂等。
吸收层中的NIR吸收剂(DA)和UV吸收剂(DU)相对于吸收剂总量的比例优选3~100质量%。另外,相对于透明树脂(B)100质量份,NIR吸收剂(DA)和UV吸收剂(DU)合计优选0.01~20质量份,更优选0.05~15质量份,更进一步优选1~10质量份。
<反射层>
本实施方式的光学滤波器为只是含有上述NIR吸收剂(DA)或者含有上述NIR吸收剂(DA)和UV吸收剂(DU)的吸收层具有波长选择性的光阻断性的构成时,在带RGB滤色器的固体摄像元件具有灵敏度的350~1150nm的波长区域的入射光中,大致350~390nm的近紫外区和大致800~1150nm的近红外区的入射光的阻断性不充分。因此,本滤波器进一步具备由将低折射率的电介质膜和高折射率的电介质膜交替地层叠而成的电介质多层膜构成的反射层。本滤波器通过具备反射层,使不需要的波长的光的阻断性提高,带RGB滤色器的固体摄像元件变得能够仅检测大致400~700nm的可见区内的光。应予说明,以下,高折射率的电介质膜也称为“高折射率膜”,低高折射率的电介质膜也称为“低折射率膜”。
反射层与吸收层相比,对于斜入射的光依赖于入射角而光谱透射率曲线发生变化的入射角依赖性大。因此,包含反射层和吸收层的本滤波器的入射角依赖性存在受反射层的入射角依赖性支配地显现的趋势。另外,反射层随着入射的光的角度变大,也有因偏振光成分产生光谱透射率曲线的差异的偏振光依赖性。因此,本滤波器以如下方式进行设计,即,这些入射角依赖性、偏振光依赖性不影响摄像装置的彩色图像的色彩再现性,尽可能地维持吸收层的可见区的光谱透射率曲线,并且使不需要的波长的光的阻断性提高。
如上所述,反射层由将高折射率膜(折射率:nH)和低折射率膜(折射率:nL)分别以与入射光的波长相同程度以下的膜厚dH和dL交替地层叠而成的电介质多层膜构成。对于该反射层,垂直入射(入射角θ=0°)的波长λ0的反射率R(λ0)达到最大的条件是在电介质膜界面产生的菲涅耳反射通过光干涉而加强的构成。具体而言,具有各电介质膜的光学膜厚(折射率n×膜厚d)为λ0×(2m-1)/4的构成。在此,m为自然数,m=1时,光学膜厚为最小值λ0/4。
反射层在使用的电介质材料在使用波长区域透明时,会透射反射光以外的入射光,因此,波长λ0的透射率T(λ0)=1-R(λ0)成为最小透射率。
另外,电介质膜界面的菲涅耳反射率由(nH-nL)2/(nH+nL)2表示,通过组合折射率差(nH-nL)大、平均折射率(nH+nL)/2小的2种电介质材料,反射波长带的反射率增加。由于相同的理由,由在可见区透明的光学玻璃、光学树脂等构成的透明基板的折射率nS通常为1.4~1.6左右,因此,通过透明基板界面的电介质膜和折射率n0=1的空气界面的电介质膜使用折射率nH比折射率nS大的高折射率电介质并且使层数为(2p+1),以少的层数就能够得到高反射率,因而优选。在此,p为自然数。
此时,波长λ0的反射率R(λ0)由下式(1)记载。
[数学式1]
即,多层膜的层数(2p+1)越多,反射率R(λ0)越增加。
另外,如果定义为g=λ0/λ,则最大反射波长是g为奇数的λ=λ0/(2m-1),以最大反射波长为中心、反射率为50%以上的反射带宽Δg由式(2)记载。应予说明,反射带总宽相当于2×Δg。
[数学式2]
即,折射率比nH/nL越大,以越少的层数就能够得到宽的反射带宽Δg,并且若以相同的层数进行比较,则可得到更低的透射率。因此,折射率比nH/nL大的电介质材料的组合作为遮光性高的反射层是有效的。
应予说明,在本说明书中,简称为“反射带”或“反射带宽”时,只要没有特别说明,则是指反射率50%以上(即,透射率50%以下)的反射带或反射带宽。
图3A是在折射率nS=1.5的透明基板上将nH=2.35、nL=1.45的电介质膜交替地以光学膜厚nH×dH和nL×dL相对于λ0=1100nm为λ0/4的方式层叠21层时的光谱透射率的计算结果。在此,将横轴的波长以g=λ0/λ表示。g=1(λ=λ0)和g=3(λ=λ0/3)时成为最大反射率(即,最小透射率),可得到反射带宽Δg=0.152。
应予说明,在本说明书中,对透明基板、吸收层记载折射率时,只要没有特别说明,则是指20℃下的对于波长589nm的光的折射率。
图3B是将横轴以波长λ表示的图表,是相同的计算结果。在该例子中,在近红外区的波长λ0=1100nm周边的大致950~1320nm的波长区域形成反射率50%以上的反射带,在近紫外区的波长λ=λ0/3=367nm周边的大致340~390nm的波长区域形成反射率50%以上的反射带。
上述计算将相对于波长变化的折射率假定为一定,但实际的电介质材料的折射率具有材料固有的波长依赖性(分散),越短波长越为高折射率,光学膜厚相应地增加。因此,g=3的波长为λ0/3的g=3±Δg的反射带以接近g=1的波长为λ0的g=1±Δg的反射带的方式偏移至长波长侧。
在此,构成反射层的电介质多层膜考虑以光学膜厚相对于近红外区的波长λ0为λ0/4的方式将高折射率膜和低折射率膜交替地层叠的设计。此时,该设计通过利用在近红外区的波长λ0的周边和近紫外区的波长λ0/3的周边所生成的反射带,在400nm以下和700nm以上的波长区域,能够阻断UV吸收剂(DU)、NIR吸收剂(DA)无法充分吸收的波长区域的透射光。
具体而言,该设计通过形成使g=1(反射极大波长λ=λ0)的反射带为要阻断的近红外区、使g=3(反射极大波长λ=λ0/3)的反射带为要阻断的近紫外区的电介质多层膜的构成,能够减少层数且减薄总膜厚。这样的设计可以通过后述的第1反射层(UA1)来实现。由此,可得到能够有效地阻断基于吸收剂的材料固有的吸收无法充分阻断的不需要的波长区域的光的光学滤波器。
本滤波器的反射层为了阻断仅含有NIR吸收剂(DA)或仅含有UV吸收剂(DU)和NIR吸收剂(DA)的吸收层无法阻断的大致800~1150nm的近红外区的光,需要采用以下的设计。即,反射层通过由单一波长λ0的光学膜厚λ0/4构成的电介质多层膜所生成的反射作用进行阻断,因此,反射率为50%以上(透射率50%以下)的反射带宽ΔλNIR需要350nm以上。另外,构成反射层的电介质多层膜如果考虑随着到入射角30°为止的斜入射而向反射波长带的短波长侧偏移,则0°入射的反射带宽ΔλNIR优选大致400nm以上。
电介质多层膜考虑例如在折射率nS=1.50的透明基板上按照折射率nH·nL···nL·nH的顺序以光学膜厚λ0/4(λ0=1000nm)层叠而成的构成。此时,该电介质多层膜对近紫外区和近红外区的光谱透射率改变nH和nL的数值和层数进行计算,结果为了得到400nm以上的反射带宽ΔλNIR,限定于满足“折射率比nH/nL>1.7”的电介质材料的组合。另一方面,该电介质多层膜由“折射率比nH/nL≤1.7”的组合构成时,即使增加层数也得不到反射带宽ΔλNIR的扩大和99%以上的反射率(即,透射率1%以下的阻断能力)。应予说明,ΔλNIR是指本滤波器的反射层的近红外区的反射带宽。
因此,电介质多层膜使用“折射率比nH/nL≤1.7”、较大的实用的高/低折射率电介质材料时,可以形成下述的构成。即反射层为由反射带的最大反射波长λ0不同的2种光学膜厚λ0/4的电介质多层膜构成的构成。而且,各自的电介质多层膜例如可以以如下方式进行设计:使由1个电介质多层膜生成的近红外区的反射带宽为大致200nm,以2种电介质多层膜确保大致400nm的反射带宽ΔλNIR。
具体而言,使用作为近红外区的短波长侧的大致750~950nm的反射带用的第2反射层(A2)和作为近红外区的长波长侧的大致950~1150nm的反射带用的第1反射层(UA1)这2种电介质多层膜。而且,使反射带包含NIR吸收剂(DA)的波长λLo(DA_T50%)而形成反射近红外区的构成。
表1是表示通过上述计算,在近红外区的波长λ0=1000nm附近满足表中的透射率条件的反射带宽为200nm的折射率比nH/nL与电介质多层膜的层数的关系的表。
[表1]
由表1明确,1个电介质多层膜即使为21~31层这样的较少的层数,也可得到在200nm以上的带实现透射率0.1%以下(反射率99.9%)的反射带宽。即,1个电介质多层膜在使用折射率比nH/nL为1.47以上的高/低折射率电介质材料的前提下,折射率比nH/nL越大,以越少的层数就能够得到高阻断性能。
另外,1个电介质多层膜在对应于g=3的波长λ0/3的近紫外区也具有相当于与对应于g=1的波长λ0的近红外区相同的宽度Δg的2倍的反射带宽ΔλNUV。应予说明,ΔλNUV是指在本滤波器的反射层的近紫外区反射率为50%以上(透射率为50%以下)的反射带宽。另外,考虑了折射率波长分散的实际的反射带宽ΔλNUV与未考虑折射率波长分散时的反射带宽相比变宽。
反射层所要求的反射带的透射率根据带RGB滤色器的固体摄像元件的光谱灵敏度、包含信号处理电路的噪音的影像信号的动态范围而不同。如果举出1个电介质多层膜以31层以下实现透射率0.1%以下的反射带的例子,则作为在700~1200nm的近红外区的折射率比nH/nL为1.47以上、在400~700nm的波长区域透明且光学特性稳定的电介质膜材料,有nL≤1.46的SiO2和nH≥2.15的TiO2的组合。应予说明,低折射率膜如果除SiO2以外还使用Na5Al3F14、Na3AlF6、MgF2等氟化物,则可得到nL≤1.38。进而,低折射率膜如果使用包含由芯物质(核)为空孔且壳物质(壳)为SiO2构成的粒径20nm以下的核·壳型中空粒子的集合体的材料,则可得到nL=1.30水平。另外,高折射率膜如果除TiO2以外还使用Ta2O5、Nb2O5、ZnS、ZnSe等,则可得到nH≥2.15。
应予说明,电介质多层膜相对于g=3和g=1的反射带,如g=3和g=1的反射带的中间区域那样在成为g=2m的偶数值的波长λt=λ0/(2m)下,各电介质膜成为光学膜厚λ0/4=m×(λt/2)。此时,由于成为各电介质膜界面的菲涅耳反射不会光干涉的条件,因此,与没有电介质多层膜的构成大致相同,成为与透明基板和空气的界面的菲涅耳反射相同的反射率。
另外,从g=3-Δg到g=1+Δg的波长区域为透射带,但在与波长λt=λ0/(2m)不同的波长,在各电介质膜界面产生的菲涅耳反射的光干涉强度根据波长发生变化,显现如图3A所示那样的周期性的透射率变动(波纹)。
为了减少这样的可见透射带中的波纹而提高透射率,电介质多层膜在(2p+1)层的电介质多层膜与透明基板、空气的界面追加光学膜厚比λ0/4薄的电介质膜的构成是有效的。另外,电介质多层膜除上述的高/低折射率电介质材料以外,也可以使用Al2O3、ZrO2等中间折射率的电介质材料。进而,反射层通过形成分割成使光学膜厚λ0/4的设计波长λ0偏移了的电介质多层膜的构成、将各电介质膜的光学膜厚从λ0/4变动大致±10%以下程度的构成等,能够降低透射率变动的振幅、残留反射。
在本实施方式中,如上所述,反射层能够为具备2种反射层、即第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)的构成。以下,对该反射层的入射角依赖性进行说明。
由电介质多层膜构成的反射层在从空气中以入射角θ入射波长λ的光时,根据斯内尔折射定律,高折射率膜(折射率:nH)中和低折射率膜(折射率:nL)中的入射角θH和入射角θL通过下式相关。
sin(θ)=nH×sin(θH)=nL×sin(θL)…(3)
入射光定义了相对于包含入射基板面的法线和入射光方位向量的入射面,在入射面内具有光电场振动的p偏振光(TM偏振光)和具有与入射面正交的光电场振动的s偏振光(TE偏振光)。相对于各偏振光成分的实效折射率η(p)和η(s)不同,相对于nH和nL,分别通过下式相关。应予说明,ηH(p)表示相对于高折射率膜中的p偏振光的实效折射率,ηL(p)表示相对于低折射率膜中的p偏振光的实效折射率,ηH(s)表示相对于高折射率膜中的s偏振光的实效折射率,ηL(s)表示相对于低折射率膜中的s偏振光的实效折射率。
ηH(p)=nH/cos(θH)、ηH(s)=nH×cos(θH)…(4a)
ηL(p)=nL/cos(θL)、ηL(s)=nL×cos(θL)…(4b)
另外,影响在电介质膜界面产生的菲涅耳反射的干涉的高折射率和低折射率的各电介质膜的光程长相位差δH、δL随着斜入射,如下式那样进行记载,因此,均减少。
δH=2π×nH×dH×cos(θH)/λ…(5a)
δL=2π×nL×dL×cos(θL)/λ…(5b)
即,入射角0°的光学膜厚nHdH=nLdL=λ0/4在入射角θ(≠0°)时变化为(λ0/4)×cos(θH)和(λ0/4)×cos(θL),因此,最大反射率的波长λ0近似地偏移至λ0×{cos(θH)+cos(θL)}/2的短波长侧。
应予说明,δH表示高折射率膜的光程长相位差,δL表示低折射率膜的光程长相位差。
另外,反射率为50%以上的反射带宽Δg也因入射光的偏振光成分、即p偏振光和s偏振光而不同。在式(2)中,如果使用式(4a)的ηH(p)和ηH(s)代替nH、使用式(4b)的ηL(p)和ηL(s)代替nL,则折射率比(nH/nL)在p偏振光时成为将cos(θL)/cos(θH)累积而得到的值,在s偏振光时成为将cos(θH)/cos(θL)累积而得到的值。在此,由于nH>nL,因此,斜入射时(θ>0°),根据式(3),成为θL>θH,由于成为cos(θL)<cos(θH),因此,随着入射角θ的增加,(nH/nL)的值在p偏振光时减少,在s偏振光时增加。
因此,以垂直入射(θ=0°)为基准,随着入射角θ的增加,相对于s偏振光的反射带宽Δg(s)扩大,相对于p偏振光的反射带宽Δg(p)缩小。
另外,根据入射角θ,实效折射率具有式(4a)和式(4b)所描述的偏振光依赖性,因此,成为式(1)所示的最大反射率的波长λ0的反射率R(λ0)也依赖于入射偏振光而发生变化。因此,随着入射角θ的增加,相对于s偏振光,反射率R(λ0)增加,相对于p偏振光,反射率R(λ0)减少。
即,近红外线反射带宽ΔλNIR的透射率为50%的波长λSh和波长λLo(其中,λSh<λLo)随着入射角θ的增加而偏移至短波长侧,其偏移量根据入射偏振光(p、s)而不同。在此,随着入射角的增加而波长λSh偏移的最短波长相当于最大入射角的s偏振光的波长λSh(s)。另外,随着入射角的增加而波长λLo偏移的最短波长相当于最大入射角的p偏振光的波长λLo(p)。如此,在最大入射角显示透射率为50%的最短波长的偏振光成分在反射带的短波长侧的区域和长波长侧的区域对象不同。
接着,对于第2反射层(A2),计算入射角θ在0°~30°变化时的近红外线反射带中透射率为50%的相对于p偏振光的短波长侧的波长λSh(A2_Tp50%)和长波长侧的波长λLo(A2_Tp50%)以及相对于s偏振光的短波长侧的波长λSh(A2_Ts50%)和长波长侧的波长λLo(A2_Ts50%)。此时,第2反射层(A2)以如下方式进行设计:含有NIR吸收剂(DA)的吸收层的可见区的长波长侧的光谱透射率曲线因第2反射层(A2)的光谱透射率的入射角依赖性和偏振光依赖性所致的光学滤波器整体的光谱透射率曲线的变化变小。对于该设计,特别优选能够抑制在光学滤波器整体的光谱透射率曲线中可见区的长波长侧的光谱透射率曲线的变化(从透射向阻断的过渡)。
通常,在由电介质多层膜构成的反射层中,从透射向阻断过渡的光谱透射率曲线随着入射角θ的增加,变化至短波长侧的偏移量增加,并且s偏振光成分与p偏振光成分相比,更大地偏移,其偏移量之差依赖于反射层的电介质多层膜构成。在此,优选在上述近红外线反射带的波长λSh(A2_Tp50%)与波长λSh(A2_Ts50%)之间具有以下的关系。
0nm<λSh(A2_Tp50%)-λSh(A2_Ts50%)≤20nm(优选为15nm)
本实施方式的光学滤波器抑制对于入射角θ为0°~30°的入射光的光谱透射率曲线的变化时,第2反射层(A2)优选如下地进行设计。
即,在第2反射层(A2)中,在入射角θ=0°的近红外线反射带的短波长侧,透射率为50%的最短波长λSh(A2_T50%)随着入射角θ的增加而偏移至短波长,最大入射角θ=30°的s偏振光成分、即上述的波长λSh(A2_Ts50%)相当于最短波长。因此,第2反射层(A2)形成波长λSh(A2_Ts50%)位于比波长λSh(DA_T50%)长的波长侧这样的电介质多层膜构成。
另一方面,从阻断向透射过渡的光谱透射率曲线随着入射角θ的增加而变化至短波长侧的偏移量增加,并且p偏振光成分与s偏振光成分相比,更大地偏移。因此,在入射角θ=0°的近红外线反射带的长波长侧,透射率为50%的最短波长λLo(A2_T50%)随着入射角θ的增加而偏移至短波长,最大入射角θ=30°的p偏振光成分、即波长λLo(A2_Tp50%)相当于最短波长。因此,第1反射层(UA1)形成其反射带相对于入射角θ=0°~30°包含波长λLo(A2_Tp50%)这样的电介质多层膜构成。
另外,对于第1反射层(UA1),计算入射角θ在0°~30°变化时的近红外线反射带中透射率为50%的相对于p偏振光的短波长侧的波长λSh(A1_Tp50%)和长波长侧的波长λLo(A1_Tp50%)以及相对于s偏振光的短波长侧的波长λSh(A1_Ts50%)和长波长侧的波长λLo(A1_Ts50%)。然后,第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)以如下方式进行设计:在最大入射角θ=30°,相对于第2反射层(A2)的波长λLo(A2_Tp50%),在第1反射层(UA1)的近红外线反射带的短波长侧,相对于p偏振光的透射率为50%的最短波长λSh(A1_Tp50%)为λSh(A1_Tp50%)<λLo(A2_Tp50%)。如此,反射层通过并用第2反射层(A2)和第1反射层(UA1),对于入射角θ为0°~30°的入射光,能够确保遍及400nm以上的(近红外区的)反射带宽ΔλNIR。
另外,反射带中,越是长波长区域,伴随入射角增加的光谱透射率曲线的短波长偏移量越大。因此,以如下方式构成各电介质多层膜:在入射角θ=0°,第2反射层(A2)的波长λLo(A2_T50%)位于比第1反射层(UA1)的波长λSh(A1_T50%)长的波长侧。即,如果以成为λSh(A1_T50%)<λLo(A2_T50%)的方式设计电介质多层膜,则满足λSh(A1_Tp50%)<λLo(A2_Tp50%),能够确保规定的宽的近红外线反射带宽ΔλNIR。
应予说明,本实施方式的光学滤波器为了将含有NIR吸收剂(DA)的吸收层的从波长λ(DA_Tmin)到波长λLo(DA_T50%)的透射率降低至3%以下,优选以如下方式设计第2反射层(A2):在第2反射层(A2)的入射角θ=0°的近红外线反射带中透射率为15%的短波长侧的波长λSh(A2_T15%)位于比上述的波长λLo(DA_T15%)短的波长侧。进而,为了将从波长λ(DA_Tmin)到波长λLo(DA_T50%)的透射率降低至0.3%以下,优选以在第2反射层(A2)的入射角θ=0°的近红外线反射带中透射率为1%的短波长侧的波长λSh(A2_T1%)位于比上述的波长λLo(DA_T15%)短的波长侧的方式设计第2反射层(A2)。
另外,即使在近红外线反射带的长波长侧,考虑到光谱透射率的入射角依赖性、偏振光依赖性,也优选按照以入射角θ=30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为15%的波长λLo(A1_Tp15%)为比波长1150nm长的波长的方式设计第1反射层(UA1)。另外,进一步优选按照以入射角θ=30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为5%的波长λLo(A1_Tp5%)为比波长1150nm长的波长的方式设计第1反射层(UA1)。
即,对于第1反射层(UA1),相对于入射角θ=0°~30°的入射光在近红外线反射带的长波长侧透射率为15%或透射率为5%的最短波长是以入射角θ=30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为15%或透射率为5%的波长λLo(A1_Tp15%)或波长λLo(A1_Tp5%)。因此,第1反射层(UA1)以该波长λLo(A1_Tp15%)或该波长λLo(A1_Tp5%)位于比波长1150nm长的波长侧的方式进行设计。应予说明,固体摄像元件的光谱灵敏度的最长波长为1150nm,对于到波长1150nm为止的光谱透射率曲线,本实施方式的光学滤波器能够抑制第1反射层(UA1)的光谱透射率曲线的入射角依赖性、偏振光依赖性的影响。
另外,本实施方式的光学滤波器在隔开第2反射层(A2)和第1反射层(UA1)各自的反射光和透射光不会干涉的间隔地进行配置时,为了将第2反射层(A2)和第1反射层(UA1)的入射角0°的近红外线反射带的边界区域即从波长λSh(A1_T50%)到波长λLo(A2_T50%)为止的透射率降低至规定的透射率x%以下,优选如下地进行设计。即,本滤波器以如下方式设计第2反射层(A2)和第1反射层(UA1):在入射角θ=0°的第2反射层(A2)的近红外线反射带中透射率为x%的长波长侧的波长λLo(A2_Tx%)位于比在入射角θ=0°的第1反射层(UA1)的近红外线反射带中透射率为x%的短波长侧的波长λSh(A1_Tx%)长的波长侧。在此,x%优选3%以下,更优选1%以下。
另外,与第1反射层(UA1)的近红外线反射带同样,计算入射角θ在0°~30°变化时在近紫外线反射带中透射率为50%的相对于p偏振光的短波长侧的波长λSh(U1_Tp50%)和长波长侧的波长λLo(U1_Tp50%)以及相对于s偏振光的短波长侧的波长λSh(U1_Ts50%)和长波长侧的波长λLo(U1_Ts50%)。然后,第1反射层(UA1)以如下方式进行设计即可,即,在入射角θ在0°~30°变化时,相对于在比含有UV吸收剂(DU)的吸收层的极大吸收波长λ(DU_Tmin)长的波长侧的透射率为50%的波长400~420nm范围的波长λLo(DU_T50%),在近紫外线反射带的长波长侧的透射率为50%的最长波长λLo(U1_T50%)位于短波长侧。
进而,第1反射层(UA1)阻断在透射固体摄像元件的每个像素所形成的RGB滤色器的350~400nm的波长区域通过含有UV吸收剂(DU)的吸收层无法充分地吸收的从350nm到极大吸收波长λ(DU_Tmin)为止的波长区域的入射光。因此,第1反射层(UA1)优选以如下方式进行设计:在入射角θ在0°~30°变化时,在近紫外线反射带的短波长侧,透射率为50%的最长波长即入射角θ=0°的波长λSh(U1_T50%)位于比350nm短的波长侧。应予说明,第1反射层(UA1)通过使用的电介质(TiO2)膜的近紫外区的短波长侧的吸收、第2反射层(A2)的近紫外区的反射等,也能够减少350nm附近的波长区域的光的透射。
接着,示出第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)的具体的设计例。
应予说明,本例的光学滤波器含有透明基板,但计算中使用的透明基板均以在350~1150nm的波长区域没有光吸收和光散射的基板为前提。实际使用的透明基板如后所述,只要是在可见区进行光学吸收、散射少的透明基板就能够使用,也可以为透镜等具有非平面的基板。
表2是在折射率nS=1.51的透明基板的一面上形成的第1反射层(UA1)的设计例。反射层的表面面向空气。
本例的第1反射层(UA1)形成以在大致350~400nm的近紫外区和大致850~1150nm的近红外区产生反射带的方式相对于设计波长λ0=1033nm将nH=2.36的TiO2膜和nL=1.45的SiO2膜交替地层叠的光学膜厚nHdH和nLdL为大致λ0/4的23层构成。
另外,为了减少可见透射带的波纹,第1反射层(UA1)形成使TiO2和SiO2的23层膜的各层的光学膜厚从λ0/4错开±10%左右的构成。
进而,第1反射层(UA1)为以产生大致400~700nm的可见透射带的波纹减少和防反射效果的方式以比λ0/4薄的光学膜厚在空气与该23层膜的界面追加SiO2膜,在透明基板与该23层膜的界面追加SiO2膜和TiO2膜这2层而制成合计26层的电介质多层膜。
[表2]
图4是对于表2所示的第1反射层(UA1),考虑到TiO2膜和SiO2膜的折射率波长分散,计算入射角θ=0°、入射角θ=30°的p偏振光、入射角θ=30°的s偏振光的各光谱透射率而得到的结果。应予说明,计算结果未考虑在透明基板单面的空气界面产生的反射损失,实际上通过后述的防反射层,能够将可见区的反射损失降低至相同水平。
如图4所示,本设计例的第1反射层(UA1)具有如下的反射带,且在400~700nm的可见区显示平均透射率98%以上,即,相对于入射角θ=0°~30°的入射光,在大致844~1256nm的近红外区和大致350~386nm的近紫外区透射率为50%以下,在大致862~1222nm的近红外区和大致350~382nm的近紫外区透射率为15%以下。
第1反射层(UA1)为以光学膜厚为大致λ0/4的方式将TiO2和SiO2制成23层的交替多层膜的构成时,近红外线反射带的最小透射率为0.02%水平,但通过增加层数,能够使最小透射率进一步降低,实现小于0.02%。
表3是具备透明基板和在透明基板的一面具有第1反射层(UA1)、在透明基板的另一面具有第2反射层(A2)、进而在其上具备在透明树脂(B)中含有NIR吸收剂(DA)和UV吸收剂(DU)的吸收层的构成的第2反射层(A2)的设计例。
在此,吸收层考虑含有NIR775B作为NIR吸收剂(DA)、含有SDA3382作为UV吸收剂(DU)的例子。此时,第2反射层(A2)以对包含仅通过该吸收层和第1反射层(UA1)无法确保反射带的波长的大致800~950nm赋予反射带的方式进行设计。
第2反射层(A2)形成相对于设计波长λ0=940nm将nH=2.37的TiO2膜和nL=1.45的SiO2膜交替地层叠的光学膜厚nHdH和nLdL大致为λ0/4的21层构成。
另外,为了减少可见透射带的波纹,第2反射层(A2)形成使TiO2和SiO2的21层膜的各层的光学膜厚从λ0/4错开±10%左右的构成。
进而,第2反射层(A2)为以产生大致400~700nm的可见透射带的波纹减少和防反射效果的方式在透明基板与该21层膜的界面以及在吸收层与该21层膜的界面分别追加各层成为比λ0/4薄的光学膜厚的SiO2/TiO2/SiO2这3层膜,制成合计27层的电介质多层膜。应予说明,透明基板和吸收层的透明树脂在波长940nm处的折射率设定为1.51。
[表3]
图5是对于表3所示的第2反射层(A2),考虑到TiO2膜和SiO2膜的折射率波长分散,计算入射角θ=0°、入射角θ=30°的p偏振光、入射角θ=30°的s偏振光的各光谱透射率而得到的结果。应予说明,计算结果未考虑在透明基板单面和吸收层表面的空气界面产生的反射损失,实际上通过后述的防反射层,能够将可见区的反射损失降低至相同水平。
如图5所示,本设计例的第2反射层(A2)具有如下的反射带,且400~700nm的可见区具有95%以上的透射率,即,相对于入射角θ=0°~30°的入射光,在大致760~1140nm的近红外区透射率为50%以下,在大致774~1026nm的近红外区透射率为15%以下。
第2反射层(A2)为以光学膜厚为大致λ0/4的方式将TiO2和SiO2制成21层的交替多层膜的构成时,近红外线反射带的最小透射率为0.1%水平,但通过增加层数,能够使最小透射率进一步降低,实现小于0.1%。
接着,示出包含第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)的光学滤波器的光谱透射率的计算结果。第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)如图1A、图1C的例子所示在吸收层、透明基板等的两主面分别进行成膜时,需要考虑这些反射层的间隔在比入射光的可干涉长度短的配置时在2种反射层产生的反射光的干涉。另一方面,它们的间隔在比入射光的可干涉长度长的配置时不会发生干涉,因此,不需要考虑反射光的干涉。
在搭载有光学滤波器的摄像装置中,从被摄体入射于摄像装置的光为可干涉长度短的自然光,因此,光学滤波器在厚度大致30μm以上的吸收层、透明基板等的两主面分别具备第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)时,光谱透射率对应于未考虑干涉的计算。
图6是这种情况下的包含第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)的光学滤波器的光谱透射率曲线(入射角θ=0°、入射角θ=30°的p偏振光,入射角θ=30°的s偏振光)的计算结果。在此,在图1C的光学滤波器30中,相当于吸收层11仅由不含吸收剂的透明树脂构成的情况。
如图6所示,本设计例为相对于入射角θ=0°~30°的入射光,在大致350~386nm的近紫外区和大致756~1272nm的近红外区显示透射率50%以下,在大致350~382nm的近紫外区和大致770~1244nm的近红外区显示透射率15%以下,在400~700nm的可见区显示平均透射率98%以上的反射型滤波器。
另一方面,第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)如图1B、图1D的例子所示,在吸收层、透明基板等的同一主面上进行层叠时,由于各自的电介质多层膜界面的反射光发生干涉,因此,可以作为将第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)连接的1个光干涉多层膜结构计算光谱透射率。此时,仅层叠有单独地设计的第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)的反射型滤波器有时在透射带、反射带产生波纹,招致特性劣化。该反射型滤波器为了减少伴随该层叠的波纹,优选调整在第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)的边界、与空气的界面、与吸收层的界面等的电介质膜的膜厚、各电介质多层膜的膜厚。
图7是对于将第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)连续地层叠,将TiO2膜和SiO2膜交替地层叠53层而成的由电介质多层膜构成的反射层,计算光谱透射率曲线(入射角θ=0°、入射角θ=30°的p偏振光,入射角θ=30°的s偏振光)而得到的结果。应予说明,图7的计算结果是第1反射层(UA1)以λ0=1060nm且光学膜厚为大致λ0/4的23层构成为基础,第2反射层(A2)以λ0=925nm且光学膜厚为大致λ0/4的21层构成为基础,为了提高可见区的透射率和减少波纹,对表2所示的电介质多层膜和表3所示的电介质多层膜的光学膜厚进行了调整的电介质多层膜的光谱透射率曲线。图7所示的光谱透射率曲线未考虑在透明基板单面的空气界面产生的反射损失,但实际上通过后述的防反射层,能够将可见区的反射损失降低至相同水平。
如图7所示,该反射层相对于入射角θ=0°~30°的入射光,在大致350~384nm的近紫外区和大致748~1240nm的近红外区显示透射率50%以下,在大致350~382nm的近紫外区和大致794~1226nm的近红外区显示透射率15%以下,在400~700nm的可见区显示平均透射率98%以上。
如上所述,反射层在将第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)分离形成于透明基板的两主面而成的构成以及一体形成于透明基板的一个主面而成的构成中的任一者的情况下,均可得到如下的反射型滤波器:相对于入射角θ=0°~30°的入射光,在大致794~1150nm的近红外区和大致350~382nm的近紫外区阻断至透射率15%以下,由此在大致400~700nm的可见区显示平均透射率98%以上。
第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)在透明基板的同一主面上连续地具有它们时,由于能够将电介质多层膜连续地进行成膜,因此,生产率提高。但是,本滤波器如上所述,如果要形成填充密度高的高可靠性的电介质膜,则伴随膜应力,透明基板容易产生应变,因此,有时需要在降低膜应力的成膜条件下进行制作。另外,本滤波器由于电介质膜的层数越多越容易产生干涉波纹,因此,有时需要抑制波纹产生的多层膜设计以及将设计再现的高精度的膜厚控制。
另一方面,第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)在透明基板的两主面分离地具有它们时,由于在表面和背面分成2次进行成膜,有时产生率降低。但是,通过使用同一电介质材料并利用同一制法形成第1反射层(UA1)和第2反射层(A2),各电介质多层膜的应力成为相同水平,因此,以透明基板两面的膜应力互相抵消的方式发挥作用,即使包含填充密度高的高折射率的电介质膜也容易抑制应变。进而,填充密度高的电介质膜由于伴随环境变化的光学特性变化少,因此,也容易得到高可靠性。另外,如果使用比入射光的可干涉长度厚的透明基板,则不易产生第1反射层(UA1)与第2反射层(A2)之间的干涉波纹。其结果,第1反射层(UA1)和第2反射层(A2)可以不调整各个电介质多层膜的设计并忽略2个电介质多层膜间的干涉而通过仅考虑多重反射的计算来求出光谱透射率。
以上,上述的光学滤波器(反射型滤波器)示出了假定入射角θ为0°~30°的斜入射光的反射层的电介质多层膜的光谱透射率的计算例和构成例,但入射角θ的范围不同时,只要制成考虑了与其对应的光谱透射率的变化的多层膜构成即可。
<透明基板>
在光学滤波器使用透明基板时,透明基板只要透射大致400~700nm的可见光,构成的材料就没有特别限制。也可以为吸收近红外区、近紫外区的光的基材。例如可以举出玻璃、晶体等无机材料、树脂等有机材料。另外,厚度也依赖于构成的材料,优选0.03~5mm,从薄型化的观点考虑,更优选0.03~0.5mm。另外,从作为光学滤波器的光学特性、机械特性等长期的可靠性所涉及的形状稳定性的观点、制造滤波器时的处理性等考虑,透明基板优选无机材料。从加工性的观点考虑,优选板厚0.05~0.5mm的玻璃。
作为能够作为透明基板使用的树脂,可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯等聚酯树脂、聚乙烯、聚丙烯、乙烯乙酸乙烯酯共聚物等聚烯烃树脂、降冰片烯树脂、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸树脂、聚氨酯树脂、氯乙烯树脂、氟树脂、聚碳酸酯树脂、聚乙烯醇缩丁醛树脂、聚乙烯醇树脂、聚酰亚胺树脂等。
作为能够作为透明基板使用的玻璃,可以举出在氟磷酸盐系玻璃、磷酸盐系玻璃等中添加有CuO等的吸收型玻璃、钠钙玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃、石英玻璃等。应予说明,“磷酸盐玻璃”也包含玻璃的骨架的一部分由SiO2构成的硅磷酸盐玻璃。另外,作为能够用于透明基板的晶体材料,可以举出水晶、铌酸锂、蓝宝石等双折射性晶体。
使用在氟磷酸盐系玻璃、磷酸盐系玻璃等中添加有CuO等的吸收型玻璃作为透明基板时,通过调整CuO等的添加浓度、基板厚度,能够使700~1150nm的近红外区的吸收型玻璃的透射率为20%以下。因此,能够改善对于以含有第1NIR吸收剂(DA)、第2NIR吸收剂(DB)的吸收层无法阻断的近红外光的遮光性。另外,能够缓和由电介质多层膜构成的反射层所要求的近红外区的反射率(即,低反射率化),因此,能够以少的层数得到具有同等遮光性的光学滤波器。或者,使用相同构成的由电介质多层膜构成的反射层时,由于遮光性提高,因此,能够提高搭载有该光学滤波器的摄像装置画质。
应予说明,成为本滤波器的一个例子的光学滤波器40、后述的光学滤波器60、70使用玻璃或吸收型玻璃作为透明基板13时,可以在玻璃或吸收型玻璃(透明基板13)与吸收层11之间具有未图示的电介质层。电介质层为由电介质材料构成的层,其厚度优选30nm以上。通过具有电介质层,能够提高本滤波器的吸收层11的耐久性。电介质层的厚度更优选100nm以上,进一步优选200nm以上。电介质层的厚度的上限没有特别限定,但从设计的容易性、制造的容易性的观点考虑,该厚度优选2000nm以下,更优选1000nm以下。
电介质层例如在由玻璃构成的透明基板中含有Na原子、K原子等碱金属原子并且由于该碱金属原子扩散至吸收层11而可能使吸收层11的光学特性、耐候性劣化时,作为碱金属阻隔膜发挥作用,能够提高本滤波器的耐久性。在上述的情况下,作为电介质层的材料,SiO2、SiOx、Al2O3等较为适合。
另外,成为本滤波器的一个例子的光学滤波器40、后述的光学滤波器60、70可以在透明基板13与吸收层11之间具有密合膜。作为密合膜,可以从含有选自MgF2、CaF2、LaF3、NdF3、CeF3、Na5Al3F14、Na3AlF6、AlF3、BaF2和YF3中的至少1种材料的膜中选择。如此,可以在透明基板13与吸收层11之间具备上述的电介质层(碱金属阻隔膜)或密合膜或者具备该电介质层与该密合膜这两者。
在此,透明基板所使用的含有CuO的玻璃例如可以使用WO2014/30628A1中所记载的玻璃。
对于透明基板的光学特性,作为与吸收层、反射层等层叠而得到的光学滤波器,优选可以具有上述的光学特性的光学滤波器。
<防反射层>
防反射层形成于吸收层的表面时,优选可得到如下功能的构成:在大致400~700nm可见区整个区域,相对于入射角0°~30°的入射光,将在空气与吸收层的界面根据折射率差而产生的4%左右的菲涅耳反射损失降低至大致1.5%以下的反射率。另外,即使为透明基板的一面与空气接触的光学滤波器的构成,也优选在透明基板与空气之间具备防反射层,与反射层同样,通常使用在可见区透明的电介质材料并利用薄膜的光干涉而得到防反射效果。尤其是为了在大致400~700nm的可见区整个区域得到有效的防反射效果,例如可以将折射率不同的电介质膜以3~9层按照总膜厚为200~400nm左右的方式进行层叠。在吸收层的表面直接形成由电介质多层膜构成的防反射层时,为了抑制吸收层的透明树脂的劣化,优选成为低膜应力的成膜条件和减薄总膜厚的设计。
另外,作为防反射层,可以在吸收层的表面形成有被称为蛾眼结构的防反射结构。蛾眼结构例如以从空气界面朝向吸收层内部折射率平缓地变化的方式在吸收层表面以比进行防反射的可见波长短的周期形成圆锥结构、棱锥结构。应予说明,如果构成吸收层的透明树脂在波长589nm处的折射率为1.4~1.6,则以成为周期为大致100~200nm、高度为大致200~400nm的锥体结构的方式预先使用转印用的表面加工有蛾眼结构的玻璃成型模、树脂成型模等模具对吸收层表面进行成型固化,由此,能够制作由蛾眼结构构成的防反射层。
另外,吸收层在构成的透明树脂材料由于模具脱模性等而不适于使用微细模具的成型时,可以在吸收层上将特性不同的透明树脂材料成膜,对该树脂膜形成蛾眼结构。通过形成该树脂膜,也具有能够提高耐久性的效果。蛾眼结构与利用薄膜的光干涉的防反射膜相比,不需要真空工艺,因此,能够提高生产率,另外,能够减小膜应力的影响。
进而,防反射层可以通过能够将SiO2、MgF2以纳米尺寸的微细粒子形成粗糙结构的溶胶-凝胶法等成膜法进一步使折射率降低,制成折射率n为1.2~1.3的电介质膜。此时,相对于折射率为1.4~1.6的透明树脂,该防反射层以单层就能够使可见区(大致400~700nm)的残留反射为1%以下。在此,如果使低折射率膜的光学膜厚为可见区的中心波长509nm(=2×400×700/(400+700))的1/4即127nm,则防反射层在波长509nm成为最小反射率。另外,该低折射率膜的折射率越接近透明树脂的折射率的平方根,最小反射率越接近0。
本实施方式的光学滤波器在可见区中的600~700nm的波长区域,根据含有第1NIR吸收剂(DA)的光吸收层的光谱透射率,能够近似于人眼的相对可见度光谱曲线。另外,本滤波器即使反射层的光谱透射率曲线依赖于入射角、入射偏振光而偏移至短波长侧,也会以维持吸收层在600~700nm的波长区域的光谱透射率曲线的方式发挥作用,因此,近红外区可以通过吸收层和反射层在不被入射角、入射偏振光大幅影响的情况下进行阻断。
本滤波器对于在近红外区透射率为50%的波长赋予入射角θ=0°和30°的s偏振光和p偏振光这4种条件。此时,在620~670nm的波长区域,成为最短的条件的波长Sh(T50%)与成为最长的条件的波长Lo(T50%)之差只要为2nm以下即可,优选1nm以下,进一步优选0.5nm以下,最优选大致0nm。
另外,本滤波器在680~750nm的波长区域,入射角θ=0°和30°的各偏振光(s、p)的透射率差的平均值ΔTp(Avr680-750)、ΔTs(Avr680-750)只要为1.3%以下即可,优选1.1%以下,进一步优选1.0%以下,更进一步优选0.9%以下。应予说明,上述各偏振光(s、p)的透射率差的平均值例如可以通过对680~750nm范围的每隔10nm的各偏振光的θ=0°与30°之差(合计8点)进行平均而算出。
另外,本滤波器在1000~1150nm的波长区域,入射角θ=0°和30°的各偏振光(s、p)的透射率差的平均值ΔTp(Avr1000-1150)、ΔTs(Avr1000-1150)只要为10%以下即可,优选5%以下,如果为2.0%以下则更优选,进一步优选1.5%以下,更进一步优选1.0%以下,最优选0.7%以下。应予说明,上述各偏振光(s、p)的透射率差的平均值例如可以通过对1000~1150nm范围的每隔10nm的各偏振光的θ=0°与30°之差(合计16点)进行平均而算出。本指标(ΔTp(Avr1000-1150)、ΔTs(Avr1000-1150))也能够应用于后述的第2实施方式的光学滤波器。
进而,如果吸收层含有UV吸收剂(DU),则在300~420nm的波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近紫外吸收带。在此,如果反射层的相对于入射角0°在近紫外吸收带的长波长侧且透射率为50%的波长λLo(U1_T50%)设置于比UV吸收剂(DU)的波长λLo(DU_T50%)短的波长侧,则在大致400~440nm的可见区,根据含有UV吸收剂(DU)的吸收层的光谱透射率曲线,能够近似于人眼的蓝色等色函数光谱曲线。如此,本滤波器即使反射层对斜入射光的光谱透射率依赖于入射角、入射偏振光而偏移至短波长侧,也以维持吸收层的光谱透射率曲线的方式发挥作用。因此,本滤波器即使在近紫外区的吸收层的阻断不充分的情况下,也能够通过反射层在不被入射角、入射偏振光大幅影响的情况下进行阻断。
另外,考虑吸收层在比波长λ(DU_Tmin)短波长侧具有透射率为50%的波长λSh(DU_T50%),入射角θ在0°~30°变化。此时,在使反射层在近紫外线反射带的短波长侧的透射率为50%的最长波长λSh(U1_T50%)为350nm以下时,即使反射层的光谱透射率依赖于入射角、入射偏振光而偏移至短波长侧,通过吸收层和反射层,也能够在不大幅依赖于入射角、入射偏振光的情况下阻断350nm以上的近紫外区。
(第2实施方式)
本实施方式的光学滤波器(以下,在第2实施方式的说明中,也称为“本滤波器”)具有吸收层和由电介质多层膜构成的反射层。
图8A~图8C示出本滤波器的构成例,但本滤波器的构成并不限定于这些例子。
图8A是在吸收层11的一个主面上具备第1反射层12a的构成例。
图8B是在透明基板13的一个主面上具备吸收层11、在透明基板13的另一个主面上具备第1反射层12a的构成例。
图8C是在透明基板13的一个主面上具备第1反射层12a、在透明基板13的另一个主面上具备吸收层11和防反射层14的构成例。
应予说明,在本实施方式中,为了避免重复的说明,对于与第1实施方式共同的点省略说明,以不同点为中心进行说明。
(吸收层)
吸收层是含有第1实施方式中使用的第1NIR吸收剂(DA)、第2NIR吸收剂(DB)和透明树脂(B)的层,典型的是在透明树脂(B)中均匀地溶解或分散有第1NIR吸收剂(DA)和第2NIR吸收剂(DB)的层。吸收层可以进一步含有第1实施方式中使用的UV吸收剂(DU)。
第1NIR吸收剂(DA)与第1实施方式同样,在溶解或分散于透明树脂(B)而制作的树脂膜的350~1200nm的吸收光谱中,在660~785nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DA_Tmin)。
第2NIR吸收剂(DB)在上述吸收光谱中,在800~920nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DB_Tmin)。
UV吸收剂(DU)与第1实施方式同样,在上述吸收光谱中,在370~405nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DU_Tmin)。
而且,吸收层在比第1NIR吸收剂(DA)的极大吸收波长λ(DA_Tmin)短的波长侧,在620~670nm的波长区域内具有透射率为50%的波长λSh(DA_T50%)。进而,吸收层在比第2NIR吸收剂(DB)的极大吸收波长λ(DB_Tmin)长的波长侧,在900~970nm的波长区域内具有透射率为50%的波长λLo(DB_T50%),且以满足λSh(DA_T50%)<λ(DA_Tmin)<λ(DB_Tmin)<λLo(DB_T50%)的关系的方式设定第1NIR吸收剂(DA)和第2NIR吸收剂(DB)的各浓度和厚度d。
另外,吸收层含有UV吸收剂(DU)时,以在比UV吸收剂(DU)的极大吸收波长λ(DU_Tmin)长波长侧、在400~420nm的波长区域内具有透射率为50%的波长λLo(DU_T50%)的方式设定UV吸收剂(DU)的浓度和厚度d。
本滤波器的吸收层优选在含有第1NIR吸收剂(DA)的透明树脂的透射率为50%以下的近红外吸收带(波长λSh(DA_T50%)~波长λLo(DA_T50%))与含有第2NIR吸收剂(DB)的透明树脂的透射率为50%以下的近红外吸收带(波长λSh(DB_T50%)~波长λLo(DB_T50%))之间满足以下的关系。
λSh(DA_T50%)<λSh(DB_T50%)≤λLo(DA_T50%)<λLo(DB_T50%)
通过满足上述的关系,能够在第1NIR吸收剂(DA)的吸收带与第2NIR吸收剂(DB)的吸收带的边界区域使吸收层的透射率为25%以下。
另外,本滤波器的吸收层更优选在含有第1NIR吸收剂(DA)的透明树脂的透射率为15%以下的近红外吸收带(波长λSh(DA_T15%)~波长λLo(DA_T15%))与含有第2NIR吸收剂(DB)的透明树脂的透射率为15%以下的近红外吸收带(波长λSh(DB_T15%)~波长λLo(DB_T15%))之间满足以下的关系。
λSh(DB_T15%)≤λLo(DA_T15%)
通过满足上述的关系,能够在第1NIR吸收剂(DA)的吸收带与第2NIR吸收剂(DB)的吸收带的边界区域使吸收层的透射率为3%以下。
作为第2NIR吸收剂(DB),例如可以使用在上述的吸收光谱中在800~920nm的波长区域具有极大吸收的吸收剂。作为其具体例,可以举出KODAK公司的IRD系列的04、79等、Epolin公司的EpolightTM系列的5547、5588等、QCR Solutions公司的NIR系列的907B、910C等、H.W.Sands公司的SDA8630等、Exciton公司的NP800、IRA868等(以上为商品名)。
例如,吸收层含有极大吸收波长λ(DA_Tmin)为775nm的NIR775B作为第1NIR吸收剂(DA)、含有极大吸收波长λ(DB_Tmin)为860nm的EpolightTM5588作为第2NIR吸收剂(DB)时,能够将可以通过吸收阻断至透射率2%以下的近红外区扩大至700~900nm左右。图9是在这样的吸收层中进一步加入上述的SDA3382作为UV吸收剂(DU)的吸收层的光谱透射率曲线的例子。光谱透射率曲线调整吸收层中的各NIR吸收剂、UV吸收剂的浓度和厚度d而算出。图9未考虑在吸收层与空气的一个界面产生的大致4%左右的菲涅耳反射损失,光谱透射率相当于吸收层的内部透射率。图9相当于在吸收层的界面具备规定的防反射层时的光谱透射率曲线。
如图9所示,上述例的吸收层示出如下的的光谱透射率:近紫外区的363~393nm的透射率为10%以下,在可见区的404nm和625nm透射率为大致50%,410~630nm的波长区域的平均透射率为大致77%,近红外区的690~900nm的透射率为大致5%以下。
图9所示的吸收层的光谱透射率曲线几乎没有入射光的入射角依赖性。因此,通过具备上述吸收层,可得到在可见区与近紫外区的边界区域和可见区与近红外区的边界区域对于发散和聚焦的入射光均稳定的光谱透射率曲线。
应予说明,第1NIR吸收剂(DA)和第2NIR吸收剂(DB)可以分别单独使用1种NIR吸收剂,也可以混合使用2种以上。进而,使用UV吸收剂(UV)时,也可以单独使用1种UV吸收剂,还可以混合使用2种以上。但是,吸收层并用多种吸收剂时,如果具有可见区的吸收剂固有的残留吸收,则使可见区的透射率降低,因此,优选考虑对可见区的影响来选择吸收剂,进而,优选也考虑浓度和厚度。
NIR吸收剂(DA)和NIR吸收剂(DB)相对于吸收层中的吸收剂总量的比例优选3~100质量%。另外,相对于透明树脂(B)100质量份,NIR吸收剂(DA)和NIR吸收剂(DB)合计优选0.01~20质量份,更优选0.05~15质量份,更进一步优选1~10质量份。
本实施方式的光学滤波器的吸收层含有第1NIR吸收剂(DA)和第2NIR吸收剂(DB),所述第1NIR吸收剂(DA)在上述吸收光谱中,在660~785nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DA_Tmin),所述第2NIR吸收剂(DB)在800~920nm的波长区域具有极大吸收波长λ(DB_Tmin)。通过这样设计,该吸收层能够将近红外吸收带扩张为700~900nm,本实施方式的光学滤波器如后所述,仅以1层反射层(第1反射层(UA1))就能够阻断700~1150nm的近红外区。另外,吸收层进一步含有UV吸收剂(DU)时,还能够吸收350~400nm的近紫外区。如此,本实施方式的光学滤波器不需要反射层包含第2反射层(A2),因此,可以期待薄膜化、生产率的提高、应力缓和的效果。
(反射层)
如上所述,本实施方式的光学滤波器的吸收层能够将近红外吸收带扩张至大致700~900nm。因此,本滤波器可以为(仅)具备第1反射层(UA1)作为反射层的构成,所述第1反射层(UA1)具有在670~1150nm的波长区域对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近红外线反射带。
第1反射层(UA1)使得吸收层的基于吸收的阻断和反射层的基于反射的阻断在各个层的边界波长区域有效地发挥作用。因此,第1反射层(UA1)与第1实施方式同样,考虑因入射角、入射偏振光依赖性所致的光谱透射率曲线的短波长侧偏移而进行设计。
即,对于第1反射层(UA1),对入射角θ=0°~30°的入射光在近红外线反射带的短波长侧的透射率为50%的最长波长是入射角θ=0°的波长λSh(A1_T50%)。因此,第1反射层(UA1)以如下方式设计电介质多层膜:在比第2NIR吸收剂(DB)的极大吸收波长λ(DB_Tmin)长的波长侧,透射率为50%的波长λLo(DB_T50%)位于比波长λSh(A1_T50%)长的波长侧,且波长λSh(A1_T50%)位于比波长λ(DB_Tmin)长的波长侧。此时,随着入射角θ的增加,第1反射层(UA1)的波长λSh(A1_T50%)偏移至短波长侧,但由于在吸收层的近红外吸收带内,因此,能够抑制光学滤波器的光谱透射率曲线的变化。
此时,本实施方式的光学滤波器能够将第2NIR吸收剂(DB)的吸收带的从波长λ(DB_Tmin)到波长λLo(DB_T50%)的波长区域的透射率降低至3%以下,因此,第1反射层(UA1)优选如下的设计:在入射角θ=0°的近红外线反射带的透射率为15%的短波长侧的波长λSh(A1_T15%)位于比第2NIR吸收剂(DB)的吸收带的长波长侧的透射率为15%的波长λLo(DB_T15%)短的波长侧。另外,本实施方式的光学滤波器能够将从波长λ(DB_Tmin)到波长λLo(DB_T50%)的波长区域的透射率降低至0.3%以下,因此,第1反射层(UA1)更优选如下的设计:在入射角θ=0°的近红外线反射带透射率为1%的短波长侧的波长λSh(A1_T1%)位于比第2NIR吸收剂(DB)的吸收带的长波长侧的透射率为15%的波长λLo(DB_T15%)短的波长侧。
另外,与第1实施方式同样,第1反射层(UA1)优选以如下方式进行设计:即使在近红外线反射带的长波长侧也考虑光谱透射率的入射角依赖性、偏振光依赖性,以入射角30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为15%的波长λLo(A1_Tp15%)成为比波长1150nm长的波长。另外,进一步优选以如下方式设计第1反射层(UA1):以入射角θ=30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为5%的波长λLo(A1_Tp5%)成为比波长1150nm长的波长。通过如此进行设计,对于到波长1150nm为止的光谱透射率曲线,本滤波器能够抑制第1反射层(UA1)的光谱透射率曲线的入射角依赖性、偏振光依赖性的影响。
本实施方式的光学滤波器仅以由电介质多层膜构成的1层反射层,就能够阻断350~400nm的近紫外区和900~1150nm的近红外区的光,进而,能够在不被光的入射角、入射偏振光大幅影响的情况下进行阻断。因此,可以期待薄膜化、生产率的提高、应力缓和的效果等。
应予说明,将极大吸收波长为λ(DA_Tmin)的第1NIR吸收剂(DA)的透射率为50%以下的吸收波长带宽设为Δλ(DA),将极大吸收波长为λ(DB_Tmin)的第2NIR吸收剂(DB)的透射率为50%以下的吸收波长带宽设为Δλ(DB)。此时,λ(DB_Tmin)与λ(DA_Tmin)的波长间隔大于吸收波长带宽的平均值{Δλ(DA)+Δλ(DB)}/2时,有时在λ(DB_Tmin)与λ(DA_Tmin)之间的波长区域内的一部分区域产生规定水平以上的透射光,成为噪音增大、色彩再现性劣化的原因。此时,本滤波器可以制成进一步并用有第2反射层(A2)的光学滤波器的构成。该构成通过第2NIR吸收剂(DB)来降低800~900nm的波长区域的透射率,因此,第2反射层(A2)在该波长区域的反射率的目标(target)与第1实施方式的第2反射层(A2)相比,能够缓和(即,也可适用低反射率)。其结果,此时的第2反射层(A2)与第1实施方式的第2反射层(A2)相比,能够形成少的层数和总膜厚薄的电介质多层膜构成,因此,能够缩短成膜时间,且降低膜应力。
另外,以上说明的各实施方式的光学滤波器例如被配置在摄像透镜与固体摄像元件之间。另外,该光学滤波器也可以介由粘合剂层直接贴合于摄像装置的固体摄像元件、摄像透镜等而使用。
图10是表示使用图1C所示的光学滤波器30的摄像装置的一个例子。摄像装置100具有带RGB滤色器的固体摄像元件21、在其前面配置的光学滤波器30和摄像透镜23以及将它们固定的框体24。摄像透镜23被进一步设置于框体24的内侧的透镜单元22固定。光学滤波器30以第1反射层(UA1)位于摄像透镜23侧的方式进行配置。固体摄像元件21和摄像透镜23沿着光轴X进行配置。设置光学滤波器30时的方向、位置可根据设计适当选择。
实施例
以下,通过实施例对本发明进一步具体地进行说明。
[实施例1]
制造图1C所示的光学滤波器30。
将表2所示构成的由电介质多层膜构成的第1反射层12a和表3所示构成的由电介质多层膜构成的第2反射层12b以夹持由折射率1.52且厚度100μm的透明树脂(环烯烃聚合物)膜构成的透明基板13的方式形成。
由图5所示的光谱透射率曲线明确,第2反射层12b的波长λSh(A2_Tp50%)为大致734nm,波长λSh(A2_Ts50%)为大致720nm,因此,λSh(A2_Tp50%)-λSh(A2_Ts50%)为14nm。
接着,在第2反射层12b的表面形成含有NIR775B作为NIR吸收剂(DA)和含有SDA3382作为UV吸收剂(DU)的吸收层11。即,将NIR775B和SDA3382以及折射率为1.49的丙烯酸树脂的15质量%环己酮溶液在NIR775B和SDA3382相对于丙烯酸树脂100质量份合计为0.01~20质量份的范围适当调整进行混合,然后,在室温下搅拌·溶解,由此得到涂敷液。通过模涂法将得到的涂敷液涂布在由透明树脂膜构成的透明基板13的成膜有第2反射层12b的表面,在150℃下使其加热干燥30分钟,形成膜厚10μm的近紫外·近红外吸收层11。进而,在吸收层11的空气界面按照Al2O3膜、ZrO2膜和MgF2膜的顺序进行层叠,形成由3层构成的防反射层14,使相对于入射角θ=0°~30°的400~700nm的可见区的入射光的残留反射率为1.5%以下。
由此,可得到具有图11、图13A和图14A所示的光谱透射率曲线(入射角θ=0°、入射角θ=30°的p偏振光和s偏振光)的光学滤波器30。应予说明,图11为350~1150nm的波长区域的光谱透射率曲线,图13A为680~760nm的波长区域的光谱透射率曲线,图14A为1000~1250nm的波长区域的光谱透射率曲线。
[实施例2]
制造图1D所示的光学滤波器40。
在由厚度200μm的钠钙玻璃构成的透明基板13的一个主面上形成将表2所示构成的由电介质多层膜构成的第1反射层12a和表3所示构成的由电介质多层膜构成的第2反射层12b一体化而成的构成的反射层。
由图7所示的光谱透射率曲线明确,将第1反射层12a和第2反射层12b一体化而成的构成的反射层的波长λSh(A2_Tp50%)为大致722nm,波长λSh(A2_Ts50%)为大致712nm,因此,λSh(A2_Tp50%)-λSh(A2_Ts50%)为10nm。
接着,在透明基板13的另一个主面上形成含有NIR775B作为NIR吸收剂(DA)和含有SDA3382作为UV吸收剂(DU)的吸收层11。即,将NIR775B和SDA3382以及折射率为1.59的聚碳酸酯树脂的10质量%环戊酮溶液在NIR775B和SDA3382相对于聚碳酸酯树脂100质量份合计为0.01~20质量份的范围适当调整进行混合,然后,在室温下搅拌·溶解,由此得到涂敷液。通过模涂法将得到的涂敷液涂布于透明基板13的未成膜有反射层的表面,在150℃下使其加热干燥30分钟,形成膜厚10μm的近紫外·近红外吸收层11。进而,在吸收层11的空气界面将TiO2膜和SiO2膜交替地层叠而形成由4层构成的防反射层14,使对于入射角θ=0°~30°的400~700nm的可见区的入射光的残留反射率为1.5%以下。
由此,可得到具有图12所示的光谱透射率曲线(入射角θ=0°、入射角θ=30°的p偏振光和s偏振光)的光学滤波器40。
由图11和图12明确,实施例1的光学滤波器30和实施例2的光学滤波器40具有下述的特性。即,这些光学滤波器在入射角0°~30°阻断人眼不具有灵敏度但带RGB滤色器的固体摄像元件具有灵敏度的近紫外区350~400nm和近红外区700~1150nm的入射光,几乎没有可见区的400~450nm和600~700nm的光谱透射率的入射角0°~30°的变动,显示近似于与人眼的相对可见度对应的等色函数的光谱灵敏度曲线,在440~600nm可见区可得到89%以上的高平均透射率。
尤其是这些光学滤波器即使在入射光以偏s偏振光或p偏振光的图像光进行斜入射的情况下,光谱透射率曲线的变化也微小,能够维持稳定的特性。其中,在图13A中,由入射角从0°变化至30°时的s偏振光成分的偏移量大幅降低(透射率为10%,偏移量为大致0nm)也明确,能够抑制可见区的长波长侧的依赖于偏振光成分的光谱透射率曲线的变化(从透射向阻断过渡)。应予说明,实施例1的光学滤波器30和实施例2的光学滤波器40的ΔTp(Avr680-750)、ΔTs(Avr680-750)均为0.9%以下。
另外,第1反射层12a为少的层数和总膜厚的电介质多层膜构成,在350~400nm近紫外区和950~1150nm近红外区生成反射带,并且能够实现反射带的最小透射率为0.1%以下的高阻断特性,因此,对于薄膜化、多层膜应力的降低和生产率提高有效。
进而,实施例1的光学滤波器30在透明树脂膜基板11的一个主面上将第1反射层(UA1)12a成膜,在另一个主面上将第2反射层(A2)12b成膜。因此,即使使用高密度且多层膜应力大的高可靠性的电介质膜,多层膜应力也容易在两面均等化,能够实现透明树脂膜基板11的应变少、透射波面像差的劣化少的稳定的光学性能。
其结果,本滤波器通过形成图10中例示这样的使用带RGB滤色器的固体摄像元件的摄像装置的光学滤波器,可稳定地得到色彩再现性优异的图像。
[比较例1]
代替实施例1的第2反射层12b,形成按照对入射角30°的p偏振光的透射率为50%的波长(与第2反射层12b的λSh(A2-Tp50%对应)为大致719nm的方式进行设计、调整的由电介质多层膜构成的反射层,除此以外,与实施例1同样地得到光学滤波器。
图13B是表示该比较例1的680~760nm的波长区域的对于入射角0°和入射角30°的入射光的每个偏振光的光谱透射率曲线的计算结果的图表。
由图13A(实施例1)和图13B(比较例1)的比较明确,比较例1的光学滤波器与实施例1相比,690~730nm波长区域的依赖于入射角的光谱透射率的变动增大。即,在比较例1中,680~750nm波长区域的每10nm的对于入射角0°和入射角30°的透射率差之和除以波长数8而得到的“透射率差的平均值”的计算结果在p偏振光时为ΔTp(Avr680-750)=0.84%,在s偏振光时为ΔTs(Avr680-750)=1.57%。另一方面,在实施例1中,ΔTp(Avr680-750)=0.39%,在s偏振光时为ΔTs(Avr680-750)=0.89%,不论入射偏振光均落在1.3%以内的差(变化)。其结果,比较例1的光学滤波器用于图10中例示这样的摄像装置时,成为色彩再现性优异的摄像图像。
[比较例2]
代替实施例1的第1反射层12a,形成按照对入射角30°的s偏振光的透射率为15%的波长(第1反射层12a的λLo(与UA1-Ts15%对应)为大致1150nm的方式进行设计、调整的由电介质多层膜构成的反射层(在入射角30°的p偏振光时,透射率15%的波长(与第1反射层12a的波长λLo(UA1-Tp15%)对应)为大致1110nm,成为比波长1150nm短的波长侧),除此以外,与实施例1同样地得到光学滤波器。
图14B是表示该比较例2的1000~1250nm的波长区域的对于入射角0°和入射角30°的入射光的每个偏振光的光谱透射率曲线的计算结果的图表。
由图14A(实施例1)和图14B(比较例2)的比较明确,比较例2的光学滤波器与实施例1相比,带RGB滤色器的固体摄像元件具有灵敏度的1040~1150nm波长区域的依赖于入射角的光谱透射率的变动增大。即,在比较例2中,1000~1150nm波长区域的每10nm的对于入射角0°和入射角30°的透射率差之和除以波长数16而得到的“透射率差的平均值”的计算结果在p偏振光时为ΔTp(Avr1000-1150)=12.2%,在s偏振光时为ΔTs(Avr1000-1150)=2.5%。另一方面,在实施例1中,ΔTp(Avr1000-1150)=0.6%,在s偏振光时为ΔTs(Avr1000-1150)=0.0%,不论入射偏振光均落在10%以内的差(变化)。
进而,上述波长区域的对于入射角0°和入射角30°的p偏振光和s偏振光的平均透射率TAvr1000-1150(0°)、TpAvr1000-1150(30°)、TsAvr1000-1150(30°)在比较例2中为TAvr1000-1150(0°)=3.1%、TpAvr1000-1150(30°)=15.3%、TsAvr1000-1150(30°)=4.4%。另一方面,在实施例1中为TAvr1000-1150(0°)=0.0%、TpAvr1000-1150(30°)=0.6%、TsAvr1000-1150(30°)=0.0%,落在1.0%以内的平均透射率。其结果,比较例2的光学滤波器用于图10中例示这样的摄像装置时,成为色彩再现性差的摄像图像。
[实施例3]
制造图8C所示的光学滤波器70。
在由厚度200μm的钠钙玻璃构成的透明基板13的一个主面上形成表2所示构成的由电介质多层膜构成的第1反射层12a。
接着,在透明基板13的另一个主面上形成含有NIR775B作为NIR吸收剂(DA)、含有SDA3382作为UV吸收剂(DU)和含有Epolight5588作为NIR吸收剂(DB)的吸收层11。即,将NIR775B、SDA3382和Epolight5588以及折射率为1.52的环烯烃树脂的25质量%甲苯溶液在NIR775B和SDA3382相对于聚碳酸酯树脂100质量份合计为0.01~20质量份的范围适当调整进行混合后,在室温下进行搅拌·溶解,由此得到涂敷液。通过模涂法将得到的涂敷液涂布于透明基板13的未成膜有反射层的表面,在70℃下加热10分钟后,进一步在110℃下加热10分钟而形成膜厚22μm的近紫外·近红外吸收层11。进而,在吸收层11的空气界面将TiO2膜和SiO2膜交替地层叠而得到由4层构成的防反射层14,使对于入射角θ=0°~30°的400~700nm的可见区的入射光的残留反射率为1.5%以下。
由此,可得到具有图15所示的光谱透射率曲线(入射角θ=0°、入射角θ=30°的p偏振光和s偏振光)的光学滤波器。
由图15明确,实施例3的光学滤波器70具有下述的特性。即,该光学滤波器70在入射角0°~30°阻断人眼不具有灵敏度但带RGB滤色器的固体摄像元件具有灵敏度的近紫外区350~400nm和近红外区700~1150nm的入射光。另外,几乎没有可见区的400~450nm和600~700nm的光谱透射率的入射角θ=0°~30°的变动,显示近似于与人眼的相对可见度对应的等色函数的光谱灵敏度曲线,在440~600nm的可见区可得到82%以上的高平均透射率。
应予说明,ΔTp(Avr680-750)、ΔTs(Avr680-750)分别为0.1%、0.2%,均落在1.3%以下的差(变化),另外,ΔTp(Avr1000-1150)、ΔTs(Avr1000-1150))分别为0.6%、0.0%,均落在10%以下的差(变化)。
进而,TAvr1000-1150(0°)=0.0%、TpAvr1000-1150(30°)=0.6%、TsAvr1000-1150(30°)=0.0%,落在1.0%以内的平均透射率。
实施例3的吸收层与实施例1和实施例2的吸收层相比,近红外吸收带宽为大致690~900nm。因此,实施例3的光学滤波器70不需要反射800~1000nm波长区域的第2反射层12b,以反射350~400nm近紫外区和900~1150nm的近红外区的仅为第1反射层12a的反射层就能够实现阻断功能。
即,实施例3的光学滤波器70成为即使使用由实施例1、实施例2的约一半的总膜厚·层数的电介质多层膜构成的反射层,对于入射角θ=0°~30°的波长区域350~1150nm的入射光也显示稳定的光谱透射率特性的光学滤波器。
另外,实施例3的光学滤波器与实施例1和实施例2的光学滤波器同样,即使在入射光以偏s偏振光或p偏振光的图像光进行斜入射的情况下,光谱透射率曲线的变化也微小,能够维持稳定的特性。
其结果,本滤波器通过形成图10中例示这样的摄像装置的光学滤波器,可稳定地得到色彩再现性优异的摄像图像。
产业上的可利用性
本发明的光学滤波器可用作在使用固体摄像元件(CCD、CMOS等)的数码照相机、数码摄像机、手机摄像头等摄像装置中使用的光学滤波器。
符号说明
10、20、30、40、50、60、70…光学滤波器,11…吸收层,12a…(第1)反射层,12b…(第2)反射层,13…透明基板,14…防反射层,21…固体摄像元件,22…透镜单元,23…摄像透镜,24…框体,100…摄像装置。
Claims (19)
1.一种光学滤波器,其特征在于,具有吸收层和反射层,所述吸收层含有在660~785nm的波长区域具有极大吸收的近红外线吸收剂且满足下述(i-1)的要件,所述反射层由电介质多层膜构成且满足下述(ii-1)的要件,
(i-1)在比显示所述极大吸收的波长λ(DA_Tmin)短的波长侧,在620~670nm的波长区域具有透射率为50%的波长λSh(DA_T50%),
(ii-1)在670~1200nm的波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近红外线反射带,在比所述近红外线反射带短的波长侧,以入射角30°入射的光中s偏振光成分的光的透射率为50%的波长λSh(A2_Ts50%)位于比所述波长λSh(DA_T50%)长的波长侧。
2.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,所述反射层满足下述(ii-2)的要件,
(ii-2)在比所述近红外线反射带短的波长侧,以入射角30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为50%的波长λSh(A2_Tp50%)与所述波长λSh(A2_Ts50%)的关系为0nm<λSh(A2_Tp50%)-λSh(A2_Ts50%)≤20nm。
3.根据权利要求1或2所述的光学滤波器,其中,所述吸收层满足下述(i-2)和(i-3)的要件,
(i-2)在640~700nm的波长区域具有透射率为15%的波长λSh(DA_T15),且λSh(DA_T50%)<λSh(DA_T15%)<λ(DA_Tmin),
(i-3)在740~840nm波长区域具有透射率为50%的波长λLo(DA_T50%)和透射率为15%的波长λLo(DA_T15%),且λ(DA_Tmin)<λLo(DA_T15%)<λLo(DA_T50%)。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的光学滤波器,其中,所述吸收层含有在370~405nm波长区域具有极大吸收的近紫外线吸收剂,并且满足下述(i-4)的要件,且所述反射层满足下述(ii-3)的要件
(i-4)在比显示所述极大吸收的波长λ(DU_Tmin)长的波长侧,在400~420nm的波长区域具有透射率为50%的波长λLo(DU_T50%),
(ii-3)在300~420nm的波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近紫外线反射带,在所述近紫外线反射带的长波长侧,透射率为50%的波长λLo(U1_T50%)位于比所述λLo(DU_T50%)短的波长侧。
5.根据权利要求4所述的光学滤波器,其中,所述吸收层满足下述(i-5)的要件,所述反射层满足下述(ii-4)的要件,
(i-5)在比所述波长λ(DU_Tmin)短的波长侧具有透射率为50%的波长λSh(DU_T50%),
(ii-4)在所述近紫外线反射带的长波长侧,以入射角30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为50%的波长λLo(U1_Tp50%)位于比所述波长λSh(DU_T50%)长的波长侧。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的光学滤波器,其中,所述反射层具有第1反射层和第2反射层,所述第1反射层在700~1200nm的波长区域内的第1波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的第1近红外线反射带,所述第2反射层在700~1200nm的波长区域内的比所述第1波长区域短的波长侧的第2波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的第2近红外线反射带,由所述第1近红外线反射带和所述第2近红外线反射带构成所述近红外线反射带。
7.根据权利要求6所述的光学滤波器,具有分开设置的所述第1反射层和所述第2反射层。
8.根据权利要求6或7所述的光学滤波器,其中,在所述第2近红外线反射带的短波长侧,所述波长λLo(DA_T15%)位于比以入射角0°入射的光的透射率为15%的波长λSh(A2_T15%)长的波长侧。
9.根据权利要求6~8中任一项所述的光学滤波器,其中,在所述第1近红外线反射带的长波长侧,以入射角30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为15%的波长λLo(A1_Tp15%)是比波长1150nm长的波长。
10.一种光学滤波器,其特征在于,具有吸收层和反射层,所述吸收层含有在660~785nm的波长区域具有极大吸收的第1近红外线吸收剂和在800~920nm的波长区域具有极大吸收的第2近红外线吸收剂且满足下述(I-1)的要件,所述反射层由电介质多层膜构成且满足下述(II-1)的要件,
(I-1)在比所述第1近红外线吸收剂显示极大吸收的波长λ(DA_Tmin)短的波长侧,在620~670nm的波长区域具有透射率为50%的波长λSh(DA_T50%),在比所述第2近红外线吸收剂显示极大吸收的波长λ(DB_Tmin)长的波长侧,在900~970nm的波长区域具有透射率为50%的波长λLo(DB_T50%),并且λSh(DA_T50%)<λ(DA_Tmin)<λ(DB_Tmin)<λLo(DB_T50%),
(II-1)在670~1200nm的波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近红外线反射带,在所述近红外线反射带的短波长侧,透射率为50%的波长λSh(A1_T50%)、所述波长λ(DB_Tmin)与所述波长λLo(DB_T50%)的关系为λ(DB_Tmin)<λSh(A1_T50%)<λLo(DB_T50%),且在所述近红外线反射带的长波长侧,以入射角30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为15%的波长λLo(A1_Tp15%)是比波长1150nm长的波长。
11.根据权利要求10所述的光学滤波器,其中,所述吸收层含有在370~405nm波长区域具有极大吸收的近紫外线吸收剂并且满足下述(I-2)的要件,且所述反射层满足下述(II-2)的要件,
(I-2)在比显示所述极大吸收的波长λ(DU_Tmin)长的波长侧,在400~420nm的波长区域具有透射率为50%的波长λLo(DU_T50%),
(II-2)在300~420nm的波长区域具有对以入射角0°入射的光的透射率为50%以下的近紫外线反射带,在比所述近紫外线反射带长的波长侧,透射率为50%的波长λLo(U1_T50%)位于比所述波长λLo(DU_T50%)短的波长侧。
12.根据权利要求11所述的光学滤波器,其中,所述吸收层满足下述(I-3)的要件,所述反射层满足下述(II-3)的要件,
(I-3)在比所述波长λ(DU_Tmin)短的波长侧具有透射率为50%的波长λSh(DU_T50%)。
(II-3)在所述近紫外线反射带的长波长侧,以入射角30°入射的光中p偏振光成分的光的透射率为50%的波长λLo(U1_Tp50%)位于比所述波长λSh(DU_T50%)长的波长侧。
13.根据权利要求10~12中任一项所述的光学滤波器,其中,与所述反射层中的所述近红外线反射带的短波长侧的以入射角0°入射的光的透射率为15%的波长λSh(A1_T15%)相比,所述吸收层中的比所述波长λ(DB_Tmin)长的波长侧的透射率为15%的波长λLo(DB_T15%)位于长波长侧。
14.根据权利要求1~13中任一项所述的光学滤波器,其中,在680~750nm的波长区域,入射角0°和30°的p偏振光的透射率差的平均值ΔTp(Avr680-750)和s偏振光的透射率差的平均值ΔTs(Avr680-750)均为1.3%以下。
15.根据权利要求1~14中任一项所述的光学滤波器,其中,在1000~1150nm的波长区域,入射角0°和30°的p偏振光的透射率差的平均值ΔTp(Avr1000-1150)和s偏振光的透射率差的平均值ΔTs(Avr1000-1150)均为10%以下。
16.根据权利要求1~15中任一项所述的光学滤波器,满足下述要件(1)~(3)中的至少1个,
(1)在入射角0°的光谱透射率曲线中,440~600nm的波长区域的平均透射率为80%以上,
(2)在入射角0°的光谱透射率曲线中,350~400nm的波长区域的平均透射率为5%以下,
(3)在入射角0°的光谱透射率曲线中,700~1150nm的波长区域的平均透射率为5%以下。
17.根据权利要求1~16中任一项所述的光学滤波器,其中,在玻璃基板的单面或两面具备所述吸收层和所述反射层。
18.根据权利要求17所述的光学滤波器,其中,所述玻璃基板由含有Cu的氟磷酸盐系玻璃或磷酸盐系玻璃构成。
19.一种摄像装置,其特征在于,具备权利要求1~18中任一项所述的光学滤波器。
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