JP2013139352A - 内表面にミクロンレベルの波面のあるシリカガラスルツボ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】鉛直方向に延びる略円筒形の直胴部と、湾曲した底部と、上記直胴部と上記底部をなめらかに接続するコーナー部とを有するシリカガラスルツボであって、上記ルツボの内表面は、微細凹凸構造を有する、シリカガラスルツボである。
【選択図】図6
Description
シリカガラスルツボ12は、図2に示す通り、鉛直方向に延びる略円筒形の直胴部15と、湾曲した底部16と、上記直胴部と上記底部とをなめらかに接続するコーナー部17とを有する。
本実施形態におけるシリカガラスルツボは、合成シリカ粉を原料とした内面層11の表面に微細凹凸構造を有する波面を備える。
ルツボの内表面に微細な凹凸構造が設けられている場合、シリコン融液が突沸するのを防いで湯面振動を抑制するのみならず、シリコン融液とルツボ内表面の接触面積が大きくなることによって両者間の摩擦抵抗が増すことによっても湯面振動が抑制される。さらに、この微細凹凸構造が溝状の谷が尾根と尾根の間に挟まれた構造になっていて、この溝が円周方向に延びている場合には、シリコン融液とルツボ内表面の間の接触抵抗が特に大きくなって、湯面振動が特に効果的に抑制される。
また、ルツボ内表面とシリコン融液との反応によってルツボ内表面を熔融することによってシリコン融液中に酸素が供給され、この酸素がシリコン単結晶に混入してゲッタリングサイトの形成に利用されるが、本実施形態のルツボではシリコン融液とルツボ内表面の接触面積が大きくなるため、ルツボ内表面とシリコン融液との反応が生じやすくなり、シリコン融液中に効率的に酸素を供給することができ、酸素不足に起因する問題を防ぐことができる。
微細凹凸構造は、湯面振動防止の観点からは、ルツボの直胴部に設けられていることが好ましい。また、酸素供給の観点からは、ルツボの全体に(特にシリコン単結晶引き上げ時に初期液面よりも低い位置に)設けられていることが好ましい。
本実施形態のシリカガラスルツボ12は、(1)シリカガラスルツボの外形を規定する碗状の内表面を有するモールドを回転させながら、その内部の底部及び側面上に天然シリカ粉を所定の厚さに堆積させ、その後、合成シリカ粉を所定厚さに堆積させることによってシリカ粉層を形成し、(2)このシリカ粉層をアーク放電によって熔融させた後に冷却することによって、製造することができる。
いとシリカガラスの粘度が低下して形状崩れが発生するからである。
シリコンインゴットは、(1)本実施形態のシリカガラスルツボ12内でポリシリコンを熔融させてシリコン融液を生成し、(2)シリコン種結晶の端部を上記シリコン融液中に浸けた状態で上記種結晶を回転させながら引き上げることによって製造することができる。シリコン単結晶の形状は、上側から円柱状のシリコン種結晶、その下に円錐状のシリコン単結晶、上部円錐底面と同じ径を持つ円柱状のシリコン単結晶、頂点が下向きである円錐状のシリコン単結晶からなる。
実施例及び比較例においては、回転モールド法に基づいて、シリカガラスルツボを製造した。モールド口径は、32インチ(81.3cm)、モールド内表面に堆積したシリカ粉層の平均厚さは15mm、3相交流電流3本電極によりアーク放電を行った。アーク熔融工程の通電時間は90分、出力2500kVA、通電開始から10分間はシリカ粉層の真空引きを行った。
実施例1及び比較例1のシリカガラスルツボにおいて、内面層を共焦点レーザー顕微鏡を用いて観察した。走査方向は、シリカガラスルツボの縁から鉛直方向に走査した。走査面は、3cm×3cmの使用前シリカガラスルツボである。
実施例1と比較例1のシリカガラスルツボを用いて湯面振動の有無を測定した。比較例1のシリカガラスルツボにおいては、湯面振動の発生が確認された。一方、実施例1のシリカガラスルツボにおいては湯面振動の抑制が確認された。
Claims (4)
- 鉛直方向に延びる略円筒形の直胴部と、湾曲した底部と、前記直胴部と前記底部をなめらかに接続するコーナー部とを有するシリカガラスルツボであって、
前記ルツボの内表面は、微細凹凸構造を有する、シリカガラスルツボ。 - 前記微細凹凸構造は、溝状の谷が尾根と尾根の間に挟まれた構造になっており、前記尾根と尾根の平均間隔は、5〜100μmである、請求項1に記載のルツボ。
- 前記溝は、実質的に、前記直胴部の円周方向に延びる、請求項2に記載のルツボ。
- 前記微細凹凸構造は、中心線平均粗さRaが0.02〜0.5μmである、請求項1〜3の何れか1つに記載のルツボ。
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