JP5844638B2 - シリコンガラスルツボにおける異常サイトの検査方法 - Google Patents
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Description
しかし、これまで、シリコン単結晶の引き上げ前に、製造されたルツボが異常サイトを発生させやすいものであるかどうかを判断することは不可能であった。
このような状況において、本発明者らは、ルツボ内表面の赤外吸収スペクトルとラマンスペクトルの形状が異常サイトの発生と相関していることを見い出した。そして、この相関関係を利用することによって、製造したルツボが異常サイトを発生させやすいものであるかどうかを判断することができることを見い出し、本発明の完成に到った。
シリカガラスルツボ12は、鉛直方向に延びる略円筒形の直胴部15と、湾曲した底部16と、上記直胴部と上記底部とをなめらかに接続するコーナー部17とを有する。
合成シリカ粉を原料とした内表面11に赤外線を照射することによって、Si-O間の相対的位置の変動(分子振動)等を調べることができる。
ラマン測定もFR-IR測定と同様の構成及び/又は方法によって測定することができる。FT-IR測定とラマン測定の順番は問わない。
赤外吸収スペクトルの判定結果とラマンスペクトルの判定結果を解析して異常サイトが発生するか否かを判定する。異常サイトが発生するか否かは、赤外吸収スペクトルの判定結果単独、ラマンスペクトルの判定結果単独、又は両方の判定結果に基づいて決定してもよい。定量的に判定する場合は、閾値を設定して判定を行なってもよい。
本実施形態のシリカガラスルツボ12は、(1)シリカガラスルツボ12の外形を規定する碗状の内表面を有するモールドを回転させながら、その内部の底部及び側面上に天然シリカ粉を所定の厚さに堆積させ、その後、合成シリカ粉を所定厚さに堆積させることによってシリカ粉層を形成し、(2)このシリカ粉層をアーク放電によって融解させた後に冷却することによって、製造することができる。
いとシリカガラスの粘度が低下して形状崩れが発生するからである。
シリコンインゴットは、(1)シリカガラスルツボ12内でポリシリコンを熔融させてシリコン融液を生成し、(2)シリコン種結晶の端部を上記シリコン融液中に浸けた状態で上記種結晶を回転させながら引き上げることによって製造することができる。シリコン単結晶の形状は、上側から円柱状のシリコン種結晶、その下に円錐状のシリコン単結晶、上部円錐底面と同じ径を持つ円柱状のシリコン単結晶、頂点が下向きである円錐状のシリコン単結晶からなる。
実施例及び比較例においては、回転モールド法に基づいて、シリカガラスルツボを製造した。モールド口径は、32インチ(81.3cm)、モールド内表面に堆積したシリカ粉層の平均厚さは15mm、3相交流電流3本電極によりアーク放電を行った。アーク熔融工程の通電時間は90分、出力2500kVA、通電開始から10分間はシリカ粉層の真空引きを行った。製造したシリカガラスルツボにポリシリコンを加えて熔融し、シリコン単結晶を引き上げた。
シリコン単結晶を引き上げた後、ルツボ内表面に発生したブラウンリングのFT-IR測定とラマン測定を行った。
未使用シリカガラスルツボの内表面をFT-IR測定及びラマン測定した。FT-IR測定に関して、波数1218.52cm-1の付近又は波数1090から1094cm-1付近に特徴的なピークが存在するスペクトルが観察され、対応する座標を記憶装置に格納した。ラマン測定に関しては、波数524.32 cm-1の付近に特徴的なピークが存在するスペクトルが観察され、対応する座標を記憶装置に格納した。
Claims (8)
- シリカガラスルツボの内表面上の測定点において赤外吸収スペクトルとラマンスペクトルの少なくとも一方を測定し、得られたスペクトルに基づいて前記測定点にブラウンリングが発生するかどうかを判断する工程を備える、シリカガラスルツボの検査方法。
- 前記判断は、前記スペクトルのピークの位置に基づいて行わる、請求項1に記載の方法。
- 前記スペクトルは、赤外吸収スペクトルであり、
前記判断は、波数1080から1100cm-1の間のピーク及び/又は波数1150から1250cm-1の間のピークの有無に従って行われる、請求項2に記載の方法。 - 前記スペクトルは、ラマンスペクトルであり、
前記判断は、波数500から550cm-1の間のピークの有無に従って行わる、請求項2に記載の方法。 - 前記判断は、測定したスペクトルと、予め準備された基準スペクトルとを比較することによって行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記スペクトルは、前記内表面上の複数の測定点で測定される、請求項1〜5の何れか1つに記載の方法。
- 前記ルツボの内表面の三次元形状を決定する工程をさらに備え、
前記複数の測定点の三次元座標が、前記三次元形状に基づいて決定される、請求項6に記載の方法。 - 前記複数の測定点のうち基準値以上の箇所において前記ブラウンリングが発生すると判断された場合に、前記ルツボが不良であると判断する、請求項6又は7に記載の方法。
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