JP2007191393A - シリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半透明石英ガラス層のるつぼ基体3と、るつぼ基体3の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、石英ガラスるつぼの内表面の表面張力が、50mN/m以下であって、石英ガラスるつぼの内表面の表面粗さを調整することによって表面張力の値を所定範囲に設定する。
【選択図】図1
Description
Claims (9)
- 半透明石英ガラス層のるつぼ基体と、該るつぼ基体の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、該石英ガラスるつぼの内表面の表面張力が、50mN/m以下であって、前記石英ガラスるつぼの内表面の表面粗さを調整することによって前記表面張力の値を所定範囲に設定してなることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ。
- 前記石英ガラスるつぼの内表面の深さ方向1.0mmまでの平均OH濃度を調整することによって、前記表面張力の値を所定範囲に設定してなることを特徴とする請求項1記載のシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ。
- 前記石英ガラスるつぼの内表面の深さ方向1mm以内の金属不純物濃度を調整することによって前記表面張力の値を所定範囲に設定してなることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項記載のシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ。
- 前記石英ガラスるつぼの内表面の深さ方向1mm以内に使用する石英ガラス原料の含有OH濃度を調整することによって前記表面張力の値を所定範囲に設定してなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガスるつぼ。
- 前記石英ガラスるつぼの内表面の1mm以内の深さ範囲に使用する石英ガラス原料の比表面積を調整することによって前記表面張力の値を所定範囲に設定してなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載のシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ。
- 回転する上部開口型を使用して請求項1記載のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼを製造する方法であって、
(a)二酸化珪素粉末を前記型内に供給して、該型内面に沿って前成型体を形成する工程
(b)前記前成型体を加熱溶融して、半透明石英ガラス製るつぼ基体を形成する工程
(c)このるつぼ基体の形成中もしくは形成後に、該るつぼ基体内の高温ガス雰囲気中に二酸化珪素粉末を供給し、内壁面に向って飛散融合させて透明石英ガラス層を形成する工程からなり、製造された石英ガラスるつぼの上端から該石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融した際のシリコンメルトの湯面の下方に位置する位置までの内表面部を、加工研削手段で研削することによって該石英ガラスるつぼの内表面の表面粗さを調整し、該石英ガラスるつぼの表面張力の値を所定範囲に設定することを特徴とする石英ガラスるつぼの製造方法。 - 回転する上部開口型を使用して請求項1記載のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼを製造する方法であって、
(a)二酸化珪素粉末を前記型内に供給して、該型内面に沿って前成型体を形成する工程
(b)前記前成型体を加熱溶融して、半透明石英ガラス製るつぼ基体を形成する工程
(c)このるつぼ基体の形成中もしくは形成後に、該るつぼ基体内の高温ガス雰囲気中に二酸化珪素粉末を供給し、内壁面に向って飛散融合させて透明石英ガラス層を形成する工程からなり、製造された石英ガラスるつぼの上端から該石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融した際のシリコンメルトの湯面の下方に位置する位置までの内表面部を、溶解液手段で溶解することによって該石英ガラスるつぼの内表面の表面粗さを調整し、該石英ガラスるつぼの表面張力の値を所定範囲に設定することを特徴とする石英ガラスるつぼの製造方法。 - 回転する上部開口型を使用して請求項1記載のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼを製造する方法であって、
(a)二酸化珪素粉末を前記型内に供給して、該型内面に沿って前成型体を形成する工程
(b)前記前成型体を加熱溶融して、半透明石英ガラス製るつぼ基体を形成する工程
(c)このるつぼ基体の形成中もしくは形成後に、該るつぼ基体内の高温ガス雰囲気中に二酸化珪素粉末を供給し、内壁面に向って飛散融合させて透明石英ガラス層を形成する工程からなり、製造された石英ガラスるつぼの上端から該石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融した際のシリコンメルトの湯面の下方に位置する位置までの内表面部を、加熱手段で昇華させることによって該石英ガラスるつぼの内表面の表面粗さを調整し、該石英ガラスるつぼの表面張力の値を所定範囲に設定することを特徴とする石英ガラスるつぼの製造方法。 - 回転する上部開口型を使用して請求項2記載のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼを製造する方法であって、(a)二酸化珪素粉末を前記型内に供給して、該型内面に沿って前成型体を形成する工程(b)前記前成型体を加熱溶融して、半透明石英ガラス製るつぼ基体を形成する工程(c)このるつぼ基体の形成中もしくは形成後に、該るつぼ基体内の高温ガス雰囲気中に二酸化珪素粉末を供給し、内壁面に向って飛散融合させて透明石英ガラス層を形成する工程からなり、該るつぼ基体内の溶融加熱エリアの絶対湿度を調整することによって製造される石英ガラスるつぼの内表面の深さ方向1.0mmまでの平均OH濃度を調整し、該石英ガラスるつぼの表面張力の値を所定範囲に設定することを特徴とする石英ガラスるつぼの製造方法。
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