JP4454059B2 - シリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ - Google Patents
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- C03B19/09—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould
- C03B19/095—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould by centrifuging, e.g. arc discharge in rotating mould
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコン単結晶の引き上げに使用される大口径の石英ガラスるつぼに関する。
【０００２】
【関連技術】
従来、単結晶半導体材料のような単結晶物質の製造には、いわゆるチョクラルスキー法と呼ばれる方法が広く採用されている。この方法は多結晶シリコンを容器内で溶融させ、この溶融浴内に種結晶の端部を浸けて回転させながら引き上げるもので、種結晶上に同一の結晶方位を持つ単結晶が成長する。この単結晶引き上げ容器には石英ガラスるつぼが一般的に使用されている。
【０００３】
ポリシリコンを石英ガラスるつぼ中で溶かし、シリコン単結晶を引き上げる際、シリコンメルト表面に周期的な振動波面が発生し、シリコン種結晶がシリコンメルトに接合できなかったり、シリコン単結晶の結晶性が乱れる問題は、通常よく発生する現象である。
【０００４】
この原因のひとつとして、引き上げ時供給する加熱エネルギーが大きかったり、引き上げチャンバー内の減圧度が大きかったりする場合、石英ガラス表面とシリコンメルト液上面の接触部分の反応が活性化し、ＳｉＯガスの発生が増大し、シリコンメルト液は石英ガラス表面からはじかれ易くなり、湯面振動が強く発生して、シリコンメルト液中央の状態が不安定になることが考えられている。
【０００５】
特に、近年、シリコン単結晶が８”以上になり、るつぼも大口径になるに従って、上記加熱エネルギーと減圧度が増大する傾向にあり、湯面振動の問題は、重要になってきた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、上記のようなシリコンメルト液面の湯面振動に影響を及ぼす石英ガラスるつぼの特性の一つとして、石英ガラスるつぼ壁のＩＲ透過率に着目した。
【０００７】
つまり、シリコン単結晶の引き上げ時、外周部に設置されたヒーターによって加熱されたカーボンサセプタから石英ガラスるつぼは、熱伝導と熱輻射による加熱を受けるが、石英るつぼのＩＲ透過率が大きいと、熱輻射は、石英ガラスるつぼを素通りして、シリコンメルトに到達する為、石英ガラスるつぼ自身の温度上昇は小さくなることを確認した。
【０００８】
この為、石英ガラスるつぼ内表面の温度も低温になり、結果的に上記反応が抑制され、湯面振動が減少することを見出した。
【０００９】
本発明は、シリコン単結晶の引き上げを行なう場合に、シリコンメルトへの種付け、シリコン単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は発生せず、安定してシリコン単結晶の引き上げを行うことができるようにしたシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼを提供することを目的とする。
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明のシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼは、半透明石英ガラス層のるつぼ基体と、該るつぼ基体の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、前記石英ガラスるつぼの壁体の外表面の面粗さＲａを２〜３０μｍ、前記石英ガラスるつぼの壁体の泡層の気泡面積を０．５〜１５％、前記石英ガラスるつぼの壁体のＩＲ透過率を３〜３０％、及び前記石英ガラスるつぼの壁体の１３００℃における熱伝導度を３．０〜１２．０×１０−３ｃａｌ／ｃｍ・ｓ・℃とすることによって、前記石英ガラスるつぼ自身の温度上昇を小さくして該石英ガラスるつぼ内表面の温度を低温とし、該石英ガラスるつぼを用いて、シリコン単結晶を引き上げた際に、シリコンメルト湯面の振動が発生しないようにしたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の石英ガラスるつぼを用いてシリコン単結晶の引き上げを行うと、シリコンメルトへの種付け、シリコン単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は発生せず、安定してシリコン単結晶の引き上げを行うことができるものである。
【００１２】
上記石英ガラスるつぼの壁体のＩＲ透過率を３〜３０％の範囲に設定するのが好適である。
【００１３】
上記石英ガラスるつぼの壁体の１３００℃における熱伝導度は３．０〜１２．０×１０-3cal/cm・s ・℃が好ましい。
【００１４】
上記石英ガラスるつぼの壁体の外表面の面荒さＲａは、２〜２０μｍが好適である。
【００１５】
上記石英ガラスるつぼの壁体の泡層の気泡面積は、０．５〜５％が好ましい。
【００１６】
石英ガラスるつぼ壁のＩＲ透過率を大きくする為には、構造的にはるつぼ肉厚が薄く、特に断面内の泡層が薄く、あるいは泡層中の泡数、泡の大きさが小さいこと、或いは、るつぼ外壁の形成状態が滑らかで熱線の散乱が抑制され、透過が容易になることなどが挙げられる。
【００１７】
また、石英ガラスるつぼ壁の加熱を増大させる要因として、光の吸収がある。光には、紫外線から可視光及び可視光から赤外線まで含まれるが、石英ガラスの本質的吸収を除くと、可視光から紫外線の吸収は金属不純物に起因し、赤外線の吸収は、ＯＨ濃度に起因する。この為、石英ガラスるつぼの加熱を減少させるには、金属不純物とＯＨ濃度を低減することが効果的である。
【００１８】
以上のような、ＩＲ透過率と光吸収の効果をまとめて、熱伝導度の大きさによっても本発明の石英ガラスるつぼの特徴的構成を定義することも可能である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明するが、これらの説明は例示的に示されるもので限定的に解釈すべきものでないことはいうまでもない。図１は本発明方法の実施に使用される装置と該装置を使用する石英ガラスるつぼ製造方法を示す断面説明図である。図２は本発明の方法により得られたシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼの一部断面図である。
【００２０】
図１において、回転型１は回転軸２を備える。型１にはキャビティ１ａが形成され、この型キャビティ１ａ内に二酸化珪素粉末、例えば天然石英粉末から形成される半透明石英ガラス、すなわち外層を構成する石英ガラスるつぼの基体３が配置されている。
【００２１】
該基体３は、二酸化珪素粉末を回転する型１の中に投入し、該型１の内壁に沿って形成して所要のるつぼ形状の前成型体とし、この前成型体を内面から加熱して二酸化珪素粉末を溶融させたのち、冷却することにより製造される。
【００２２】
内面からの加熱のために、図１に示すように電源１０に接続されたカーボン電極５１、５２を備えるアーク放電装置５を使用することができる。アーク放電装置５の代わりにプラズマ放電装置を用いてもよい。この基体３の製造については、特公平４−２２８６１号公報に詳細な記載がある。
【００２３】
図１に示す装置は、内層４を形成するために、型１の上方に合成石英粉末６を収容する石英粉末供給槽９を備える。この供給槽９には計量フィーダ９２が設けられた吐出パイプ９３に接続されている。供給槽９内には攪拌羽根９１が配置される。型の上部は、スリット開口７５を残して蓋７１により覆われる。
【００２４】
基体３が形成された後、又は基体３の形成の途中において、アーク放電装置５のカーボン電極５１、５２からの放電による加熱を継続しながら、二酸化珪素粉末、例えば、合成石英粉末６供給のための計量フィーダ９２を調整した開度に開いて、吐出パイプ９３から合成石英粉末を基体３の内部に供給する。アーク放電装置５の作動により、基体３内には高温ガス雰囲気８が形成されている。したがって、合成石英粉末は、この高温ガス雰囲気８中に供給されることとなる。
【００２５】
なお、高温ガス雰囲気とは、カーボン電極５１、５２を用いたアーク放電によりその周囲に形成された雰囲気を指し、石英ガラスを溶かすに十分な温度、つまり２千数百度の高温になっている。
【００２６】
高温ガス雰囲気８中に供給された合成石英粉末は、高温ガス雰囲気８内の熱により少なくとも一部が溶融され、同時に基体３の内壁面に向けて飛散させられて、該基体３の内壁面に付着し、基体３と一体融合的に基体３の内面に実質的に無気泡の石英ガラス層すなわち内層４を形成する。この内層４の形成方法については、上述した特公平４−２２８６１号公報に詳細な記載がある。
【００２７】
図２に、この方法により得られる石英ガラスるつぼの断面を示す。本発明による石英ガラスるつぼは、二酸化珪素粉末、例えば天然石英粉末を内面から加熱溶融して形成された外層すなわち基体３と、二酸化珪素粉末、例えば、合成石英粉末を高温ガス雰囲気中に放出して、溶融飛散させ、基体３の内壁面に付着させて形成した内層４とを有しているものである。
【００２８】
【実施例】
以下に、本発明を実施例を用いて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能であることは勿論である。
【００２９】
（実施例１）
粒径が５０ミクロンから５００ミクロンの天然石英ガラス粉を、１００ｒｐｍで回転する内径７３０ｍｍの成形型中に３０ｍｍの均一な厚さで堆積させ、アーク放電により内部から加熱溶融させると同時に、上方向からＯＨ濃度が１００ｐｐｍの合成石英ガラス粉を、１００ｇ／ｍｉｎの割合で供給し、泡のない透明ガラス層を全内面領域にわたり、３ｍｍの厚さで形成する。溶融が終了し、冷却したるつぼを、成形型から取り出した。作成された石英ガラスるつぼは、外径７２０ｍｍ、肉厚１３ｍｍ、透明層厚３ｍｍ、泡層１０ｍｍであった。また、作成された石英ガラスるつぼの特徴は表１に示した通りであった。
【００３０】
この石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融し、シリコン単結晶の引き上げを行った。シリコンメルトへの種付け、単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は確認されず、安定して引き上げが終了した。
【００３１】
（実施例２）
実施例１と同様の手順により、表１に示したように本発明の構成に含まれる各特性値を有する石英ガラスるつぼを製造した。この石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融し、シリコン単結晶の引き上げを行った。シリコンメルトへの種付け、単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は、いずれも確認されず、安定して引き上げが終了した。
【００３２】
（比較例１）
実施例１と同様の手順により、表１に示したように本発明の構成に含まれる各特性値を有する１個の石英ガラスるつぼを製造した。この石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融し、シリコン単結晶の引き上げを行った。シリコンメルトの振動は、強く確認された。
【００３３】
【表１】
【００３４】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明のシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼによれば、シリコン単結晶の引き上げを行う場合に、シリコンメルトへの種付け、シリコン単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は発生せず、安定してシリコン単結晶の引き上げを行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼを製造するために使用される装置の概略断面説明図である。
【図２】 本発明のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼの一部の断面図である。
【符号の説明】
１：回転型、１ａ：キャビティ、２：回転軸、３：基体、４：内層、５：アーク放電装置、６：合成石英粉末、８：高温ガス雰囲気、９：石英粉末供給槽、１０：電源、５１、５２：カーボン電極、７１：蓋、７５：スリット開口、９１：攪拌羽根、９２：計量フィーダ、９３：吐出パイプ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコン単結晶の引き上げに使用される大口径の石英ガラスるつぼに関する。
【０００２】
【関連技術】
従来、単結晶半導体材料のような単結晶物質の製造には、いわゆるチョクラルスキー法と呼ばれる方法が広く採用されている。この方法は多結晶シリコンを容器内で溶融させ、この溶融浴内に種結晶の端部を浸けて回転させながら引き上げるもので、種結晶上に同一の結晶方位を持つ単結晶が成長する。この単結晶引き上げ容器には石英ガラスるつぼが一般的に使用されている。
【０００３】
ポリシリコンを石英ガラスるつぼ中で溶かし、シリコン単結晶を引き上げる際、シリコンメルト表面に周期的な振動波面が発生し、シリコン種結晶がシリコンメルトに接合できなかったり、シリコン単結晶の結晶性が乱れる問題は、通常よく発生する現象である。
【０００４】
この原因のひとつとして、引き上げ時供給する加熱エネルギーが大きかったり、引き上げチャンバー内の減圧度が大きかったりする場合、石英ガラス表面とシリコンメルト液上面の接触部分の反応が活性化し、ＳｉＯガスの発生が増大し、シリコンメルト液は石英ガラス表面からはじかれ易くなり、湯面振動が強く発生して、シリコンメルト液中央の状態が不安定になることが考えられている。
【０００５】
特に、近年、シリコン単結晶が８”以上になり、るつぼも大口径になるに従って、上記加熱エネルギーと減圧度が増大する傾向にあり、湯面振動の問題は、重要になってきた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、上記のようなシリコンメルト液面の湯面振動に影響を及ぼす石英ガラスるつぼの特性の一つとして、石英ガラスるつぼ壁のＩＲ透過率に着目した。
【０００７】
つまり、シリコン単結晶の引き上げ時、外周部に設置されたヒーターによって加熱されたカーボンサセプタから石英ガラスるつぼは、熱伝導と熱輻射による加熱を受けるが、石英るつぼのＩＲ透過率が大きいと、熱輻射は、石英ガラスるつぼを素通りして、シリコンメルトに到達する為、石英ガラスるつぼ自身の温度上昇は小さくなることを確認した。
【０００８】
この為、石英ガラスるつぼ内表面の温度も低温になり、結果的に上記反応が抑制され、湯面振動が減少することを見出した。
【０００９】
本発明は、シリコン単結晶の引き上げを行なう場合に、シリコンメルトへの種付け、シリコン単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は発生せず、安定してシリコン単結晶の引き上げを行うことができるようにしたシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼを提供することを目的とする。
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明のシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼは、半透明石英ガラス層のるつぼ基体と、該るつぼ基体の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、前記石英ガラスるつぼの壁体の外表面の面粗さＲａを２〜３０μｍ、前記石英ガラスるつぼの壁体の泡層の気泡面積を０．５〜１５％、前記石英ガラスるつぼの壁体のＩＲ透過率を３〜３０％、及び前記石英ガラスるつぼの壁体の１３００℃における熱伝導度を３．０〜１２．０×１０−３ｃａｌ／ｃｍ・ｓ・℃とすることによって、前記石英ガラスるつぼ自身の温度上昇を小さくして該石英ガラスるつぼ内表面の温度を低温とし、該石英ガラスるつぼを用いて、シリコン単結晶を引き上げた際に、シリコンメルト湯面の振動が発生しないようにしたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の石英ガラスるつぼを用いてシリコン単結晶の引き上げを行うと、シリコンメルトへの種付け、シリコン単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は発生せず、安定してシリコン単結晶の引き上げを行うことができるものである。
【００１２】
上記石英ガラスるつぼの壁体のＩＲ透過率を３〜３０％の範囲に設定するのが好適である。
【００１３】
上記石英ガラスるつぼの壁体の１３００℃における熱伝導度は３．０〜１２．０×１０-3cal/cm・s ・℃が好ましい。
【００１４】
上記石英ガラスるつぼの壁体の外表面の面荒さＲａは、２〜２０μｍが好適である。
【００１５】
上記石英ガラスるつぼの壁体の泡層の気泡面積は、０．５〜５％が好ましい。
【００１６】
石英ガラスるつぼ壁のＩＲ透過率を大きくする為には、構造的にはるつぼ肉厚が薄く、特に断面内の泡層が薄く、あるいは泡層中の泡数、泡の大きさが小さいこと、或いは、るつぼ外壁の形成状態が滑らかで熱線の散乱が抑制され、透過が容易になることなどが挙げられる。
【００１７】
また、石英ガラスるつぼ壁の加熱を増大させる要因として、光の吸収がある。光には、紫外線から可視光及び可視光から赤外線まで含まれるが、石英ガラスの本質的吸収を除くと、可視光から紫外線の吸収は金属不純物に起因し、赤外線の吸収は、ＯＨ濃度に起因する。この為、石英ガラスるつぼの加熱を減少させるには、金属不純物とＯＨ濃度を低減することが効果的である。
【００１８】
以上のような、ＩＲ透過率と光吸収の効果をまとめて、熱伝導度の大きさによっても本発明の石英ガラスるつぼの特徴的構成を定義することも可能である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明するが、これらの説明は例示的に示されるもので限定的に解釈すべきものでないことはいうまでもない。図１は本発明方法の実施に使用される装置と該装置を使用する石英ガラスるつぼ製造方法を示す断面説明図である。図２は本発明の方法により得られたシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼの一部断面図である。
【００２０】
図１において、回転型１は回転軸２を備える。型１にはキャビティ１ａが形成され、この型キャビティ１ａ内に二酸化珪素粉末、例えば天然石英粉末から形成される半透明石英ガラス、すなわち外層を構成する石英ガラスるつぼの基体３が配置されている。
【００２１】
該基体３は、二酸化珪素粉末を回転する型１の中に投入し、該型１の内壁に沿って形成して所要のるつぼ形状の前成型体とし、この前成型体を内面から加熱して二酸化珪素粉末を溶融させたのち、冷却することにより製造される。
【００２２】
内面からの加熱のために、図１に示すように電源１０に接続されたカーボン電極５１、５２を備えるアーク放電装置５を使用することができる。アーク放電装置５の代わりにプラズマ放電装置を用いてもよい。この基体３の製造については、特公平４−２２８６１号公報に詳細な記載がある。
【００２３】
図１に示す装置は、内層４を形成するために、型１の上方に合成石英粉末６を収容する石英粉末供給槽９を備える。この供給槽９には計量フィーダ９２が設けられた吐出パイプ９３に接続されている。供給槽９内には攪拌羽根９１が配置される。型の上部は、スリット開口７５を残して蓋７１により覆われる。
【００２４】
基体３が形成された後、又は基体３の形成の途中において、アーク放電装置５のカーボン電極５１、５２からの放電による加熱を継続しながら、二酸化珪素粉末、例えば、合成石英粉末６供給のための計量フィーダ９２を調整した開度に開いて、吐出パイプ９３から合成石英粉末を基体３の内部に供給する。アーク放電装置５の作動により、基体３内には高温ガス雰囲気８が形成されている。したがって、合成石英粉末は、この高温ガス雰囲気８中に供給されることとなる。
【００２５】
なお、高温ガス雰囲気とは、カーボン電極５１、５２を用いたアーク放電によりその周囲に形成された雰囲気を指し、石英ガラスを溶かすに十分な温度、つまり２千数百度の高温になっている。
【００２６】
高温ガス雰囲気８中に供給された合成石英粉末は、高温ガス雰囲気８内の熱により少なくとも一部が溶融され、同時に基体３の内壁面に向けて飛散させられて、該基体３の内壁面に付着し、基体３と一体融合的に基体３の内面に実質的に無気泡の石英ガラス層すなわち内層４を形成する。この内層４の形成方法については、上述した特公平４−２２８６１号公報に詳細な記載がある。
【００２７】
図２に、この方法により得られる石英ガラスるつぼの断面を示す。本発明による石英ガラスるつぼは、二酸化珪素粉末、例えば天然石英粉末を内面から加熱溶融して形成された外層すなわち基体３と、二酸化珪素粉末、例えば、合成石英粉末を高温ガス雰囲気中に放出して、溶融飛散させ、基体３の内壁面に付着させて形成した内層４とを有しているものである。
【００２８】
【実施例】
以下に、本発明を実施例を用いて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能であることは勿論である。
【００２９】
（実施例１）
粒径が５０ミクロンから５００ミクロンの天然石英ガラス粉を、１００ｒｐｍで回転する内径７３０ｍｍの成形型中に３０ｍｍの均一な厚さで堆積させ、アーク放電により内部から加熱溶融させると同時に、上方向からＯＨ濃度が１００ｐｐｍの合成石英ガラス粉を、１００ｇ／ｍｉｎの割合で供給し、泡のない透明ガラス層を全内面領域にわたり、３ｍｍの厚さで形成する。溶融が終了し、冷却したるつぼを、成形型から取り出した。作成された石英ガラスるつぼは、外径７２０ｍｍ、肉厚１３ｍｍ、透明層厚３ｍｍ、泡層１０ｍｍであった。また、作成された石英ガラスるつぼの特徴は表１に示した通りであった。
【００３０】
この石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融し、シリコン単結晶の引き上げを行った。シリコンメルトへの種付け、単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は確認されず、安定して引き上げが終了した。
【００３１】
（実施例２）
実施例１と同様の手順により、表１に示したように本発明の構成に含まれる各特性値を有する石英ガラスるつぼを製造した。この石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融し、シリコン単結晶の引き上げを行った。シリコンメルトへの種付け、単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は、いずれも確認されず、安定して引き上げが終了した。
【００３２】
（比較例１）
実施例１と同様の手順により、表１に示したように本発明の構成に含まれる各特性値を有する１個の石英ガラスるつぼを製造した。この石英ガラスるつぼにポリシリコンを充填し溶融し、シリコン単結晶の引き上げを行った。シリコンメルトの振動は、強く確認された。
【００３３】
【表１】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明のシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼによれば、シリコン単結晶の引き上げを行う場合に、シリコンメルトへの種付け、シリコン単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は発生せず、安定してシリコン単結晶の引き上げを行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼを製造するために使用される装置の概略断面説明図である。
【図２】 本発明のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼの一部の断面図である。
【符号の説明】
１：回転型、１ａ：キャビティ、２：回転軸、３：基体、４：内層、５：アーク放電装置、６：合成石英粉末、８：高温ガス雰囲気、９：石英粉末供給槽、１０：電源、５１、５２：カーボン電極、７１：蓋、７５：スリット開口、９１：攪拌羽根、９２：計量フィーダ、９３：吐出パイプ。
Claims (1)
- 半透明石英ガラス層のるつぼ基体と、該るつぼ基体の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、前記石英ガラスるつぼの壁体の外表面の面粗さＲａを２〜３０μｍ、前記石英ガラスるつぼの壁体の泡層の気泡面積を０．５〜１５％、前記石英ガラスるつぼの壁体のＩＲ透過率を３〜３０％、及び前記石英ガラスるつぼの壁体の１３００℃における熱伝導度を３．０〜１２．０×１０−３ｃａｌ／ｃｍ・ｓ・℃とすることによって、前記石英ガラスるつぼ自身の温度上昇を小さくして該石英ガラスるつぼ内表面の温度を低温とし、該石英ガラスるつぼを用いて、シリコン単結晶を引き上げた際に、シリコンメルト湯面の振動が発生しないようにしたことを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ。
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|---|---|---|---|
| JP02288399A JP4454059B2 (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | シリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ |
Publications (2)
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|---|---|
| JP2000219593A JP2000219593A (ja) | 2000-08-08 |
| JP4454059B2 true JP4454059B2 (ja) | 2010-04-21 |
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| JP02288399A Expired - Lifetime JP4454059B2 (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | シリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ |
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