JP2013139354A - シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの製造に好適なシリカ粉の判定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリカ粉におけるシリカ粒子間の間隙を測定する工程と、上記シリカ粉を熔融する工程と、熔融シリカを冷却し、硬化したシリカブロックにおける間隙を測定する工程と、上記シリカ粒子間における間隙と上記シリカブロック中における間隙から好適なシリカ粉であるか否かを判定する工程と、を有する、シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボにおける無気泡層の形成に好適なシリカ粉の判定方法である。
【選択図】なし
Description
本発明におけるシリカ粉は、合成シリカ粉又は天然シリカ粉である。合成シリカ粉は、化学合成されたシリカであり、不純物濃度が非常に低いため、シリカガラスルツボの内面層に使用される。合成シリカ粉の製造方法は、特に限定しないが、四塩化珪素(SiCl4)の気相酸化(乾式合成法)や、シリコンアルコキシド(Si(OR)4)の加水分解(ゾル・ゲル法)が挙げられる。天然シリカ粉は、α―石英を主成分とする天然鉱物を粉砕して粉状にすることによって製造される粉末である。
シリカ粉を耐熱性容器に供給する。耐熱性容器は、高温での使用に耐えられる素材であれば特に限定しないが、例えば、セラミック系複合材料や炭素繊維強化炭素複合材(C/Cコンポジット)等が例示できる。耐熱性容器のサイズは特に限定しないが、例えば、縦30mm×横40mm×高さ20mmの直方体の容器を選択することができる。
間隙率:n=((S―Sp)/S)×100
また、間隙の合計面積をSnとすると、以下の式で求めることができる。
間隙率:n=(Sn/S)×100
(実施例1)
耐熱性容器に実施例1の合成シリカ粉を縦30mm×横40mm×高さ20mmの直方体のカーボン製容器に供給し、共焦点レーザー顕微鏡で間隙率を測定した。この時の間隙率は、7.2%であった。間隙率を測定の後、合成シリカ粉入りの耐熱性容器を炉内に設置した。
耐熱性容器に比較例1の合成シリカ粉を縦30mm×横40mm×高さ20mmの直方体のカーボン製容器に供給し、共焦点レーザー顕微鏡で間隙率を測定した。この時の間隙率は、10.2%であった。間隙率の測定後、合成シリカ粉入りの耐熱性容器を炉内に設置した。
実施例1及び比較例1の合成シリカ粉を用いて、回転モールド法により、シリカガラスルツボを製造した。モールド口径は、32インチ(81.3cm)、モールド内表面に堆積したシリカ粉層の平均厚さは15mm、3相交流電流3本電極によりアーク放電を行った。アーク熔融工程の通電時間は90分、出力2500kVA、通電開始から10分間はシリカ粉層の真空引きを行った。
Claims (5)
- シリカ粉におけるシリカ粒子間の間隙を測定する工程と、
前記シリカ粉を熔融する工程と、
熔融シリカを冷却し、硬化したシリカブロックにおける間隙を測定する工程と、
前記シリカ粒子間における間隙と前記シリカブロック中における間隙から好適なシリカ粉であるか否かを判定する工程と、を有する、シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボにおける無気泡層の形成に好適なシリカ粉の判定方法。 - 前記シリカ粉を耐熱性容器に供給する工程を更に含む、請求項1に記載の判定方法。
- 前記間隙の測定は、共焦点レーザー顕微鏡を用いて行われる、請求項1又は2に記載の判定方法。
- 前記シリカ粉を熔融する温度は、1500から2600℃である、請求項1から3のいずれかに記載の判定方法。
- 前記好適なシリカ粉は、前記シリカ粒子間の間隙あたりの前記シリカブロックの間隙が、0.5以上の場合である、請求項1から4のいずれかに記載の判定方法。
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