JP5072936B2 - 複合ルツボ及びその製造方法 - Google Patents
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図1に示す複合ルツボのサンプルA1を用意した。ルツボのサイズは、直径16インチ(口径約400mm)、高さ250mm、肉厚は直銅部で6.5mm、湾曲部で8mmm、底部で5mmとした。直胴部における不透明石英ガラス層の厚さは0.5mmとし、直胴部におけるルツボ本体の厚さは6mmとした。ムライト質なルツボ本体に含まれる結晶化促進剤としてのバリウムの濃度が30ppm程度となるようにその濃度を調整した。さらに、ルツボの外表面にバリウムを均一に散布することにより、針状又は柱状のムライト結晶の周囲にあるガラス質シリカマトリックスの結晶化を促進させるためのバリウムコーティングを形成した。コーティング剤のバリウム濃度は酸化物換算で5重量%およびケイ素濃度がSiO2換算で10重量%、バリウムコーティングの平均厚さは約0.2mmであった。次に、ルツボサンプルA1を炉内で長時間加熱し続け、ルツボの変形状態を確認した。加熱温度は1500℃、加熱時間は120時間とした。その結果を表1に示す。
内層が透明石英ガラス層、外層が不透明石英ガラス層で構成された一般的な石英ガラスルツボのサンプルB1を用意した。ルツボのサイズは、直径16インチ(口径約400mm)、高さ250mm、肉厚は直銅部で6.5mm、湾曲部で8mmm、底部で5mmであった。直胴部の透明石英ガラス層の厚さは0.5mmとし、直胴部の不透明石英ガラス層の厚さは6mmとした。次に、それらを炉内で長時間加熱し続け、ルツボの変形状態を確認した。上記実施例と同様、加熱温度は1500℃、加熱時間は120時間とした。その結果を表2に示す。
ルツボの外表面近傍にバリウムコーティングが形成された点以外は上記ルツボサンプルB1と同一構成を有する石英ガラスルツボ(バリウムコーティング石英ガラスルツボ)のサンプルB2を用意した。コーティング剤のバリウム濃度は酸化物換算で5重量%およびケイ素濃度がSiO2換算で10重量%、バリウムコーティングの平均厚さは0.2mmとしとした。なお、バリウムは不透明石英ガラス層の外表面近傍に形成された層であり、不透明石英ガラス層の一部である。次に、それらを炉内で長時間加熱し続け、ルツボの変形状態を確認した。上記実施例と同様、加熱温度は1500℃、加熱時間は120時間とした。その結果を表2に示す。
10A 直胴部
10B 底部
10C 湾曲部
11 ムライト質ルツボ本体
11a 結晶化促進剤コーティング
12 透明石英ガラス層
13 不透明石英ガラス層
Claims (8)
- 直胴部及び底部を有し、シリコン融液を支持するための複合ルツボであって、
アルミナとシリカを主成分とする組成物を焼結して得られるムライト質なルツボ本体と、前記ルツボ本体の内表面側に形成された透明石英ガラス層とを備え、前記透明石英ガラス層の厚さは前記ルツボ本体の厚さよりも薄く、
前記ルツボ本体は、針状又は柱状のムライト結晶と、前記ムライト結晶の周囲にあるガラス質シリカマトリックスと、前記ガラス質シリカマトリックスの結晶化を促進させる結晶化促進剤を含むことを特徴とする複合ルツボ。 - 前記ルツボ本体の外表面側に形成された結晶化促進剤コーティングを備え、前記結晶化促進剤コーティングは、前記ルツボ本体の外表面付近であって前記針状又は柱状のムライト結晶の周囲にあるガラス質シリカマトリックスの結晶化を促進させることを特徴とする請求項1に記載の複合ルツボ。
- 前記ルツボ本体の厚さは5mm以上であり、透明石英ガラス層の厚さは0.5mm以上であって前記ルツボ本体の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項1又は2に記載の複合ルツボ。
- 前記ルツボ本体に含まれるアルミニウムの濃度は、外表面側から内表面側に向かって低下する濃度勾配を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の複合ルツボ。
- 前記ルツボ本体と前記透明石英ガラス層との間に設けられた多数の微小な気泡を含む不透明石英ガラス層をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の複合ルツボ。
- 直胴部及び底部を有し、シリコン融液を支持するための複合ルツボの製造方法であって、
アルミナとシリカを主成分とし結晶化促進剤が添加された組成物を焼結することによりムライト質なルツボ本体を形成する工程と、
前記ルツボ本体の内表面に透明石英ガラス層を形成する工程とを備えることを特徴とする複合ルツボの製造方法。 - 前記ルツボ本体の外表面に前記結晶化促進剤を付着させることにより、針状又は柱状のムライト結晶の周囲にあるガラス質シリカマトリックスの結晶化を促進させるための結晶化促進剤コーティングを形成する工程とを備えることを特徴とする請求項6に記載の複合ルツボの製造方法。
- 前記透明石英ガラス層を形成する前に、前記ルツボ本体の内表面側に多数の微小な気泡を含む不透明石英ガラス層を溶射法により形成することを特徴とする請求項6又は7に記載の複合ルツボの製造方法。
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