JP2013131681A - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リフタ11を処理位置に移動させて処理槽3に貯留している純水による処理を複数枚の基板Wに対して行わせた後、供給部からドライエアを供給させつつ、リフタ11を乾燥位置に移動させる。その際には、水平揺動駆動部21を作動させて、供給部によるドライエアの供給方向に対して各基板Wが斜めの姿勢となるようにリフタ11を複数回揺動させる。したがって、ドライエアが各基板Wの面に対して斜めに供給される状態が生じるので、ドライエアの乾燥寄与度を高くできる。
【選択図】図2
Description
すなわち、従来の装置は、複数枚の基板の面に沿って平行にドライエアを供給している。その関係上、供給されたドライエアの大半が複数枚の基板の間を通り抜けるだけである。したがって、乾燥に寄与するドライエアの量が少ないという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、複数枚の基板を処理液により処理した後、複数枚の基板を処理液から引き上げつつ乾燥気体を供給して乾燥させる基板処理装置において、処理液を貯留する処理槽と、前記処理槽の上部にて、前記処理槽内に貯留している処理液面に沿って乾燥気体を供給する供給口と、前記処理槽を挟んで前記供給口に対向配置された排出口とを備えた供給・排出手段と、複数枚の基板を起立姿勢で支持し、前記処理槽の内部にあたる処理位置と、前記処理槽の上方にあたる乾燥位置とにわたって昇降可能な基板支持機構と、前記基板支持機構を乾燥位置に移動する際に、前記供給・排出手段による乾燥気体の供給方向に対して各基板面が斜めになるように前記基板支持機構を複数回揺動させる揺動機構と、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例1に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図であり、図2は、実施例1に係る基板処理装置の概略構成を示す縦断面図である。
図9は、実施例2に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図であり、図10は、複数枚の方向板を説明するための一部破断した平面図である。なお、上述した実施例1と同様の構成については同符号を付すことで詳細な説明については省略する。
図11は、実施例3に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。また、図12は、供給方向を変える機構を説明するための平面図である。なお、上述した実施例1と同様の構成については同符号を付すことで詳細な説明については省略する。
1 … 基板処理装置
3 … 処理槽
5 … 噴出管
7 … チャンバ
9 … 上部カバー
11 … リフタ
13 … 背板
15 … 支持部材
17 … リフタ駆動部
19 … 昇降駆動部
21 … 水平揺動駆動部
23 … 垂直揺動駆動部
59 … 供給部
61 … 排出部
71 … 制御部
Claims (11)
- 複数枚の基板を処理液により処理した後、複数枚の基板を処理液から引き上げつつ乾燥気体を供給して乾燥させる基板処理装置において、
処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽の上部にて、前記処理槽内に貯留している処理液面に沿って乾燥気体を供給する供給口と、前記処理槽を挟んで前記供給口に対向配置された排出口とを備えた供給・排出手段と、
複数枚の基板を起立姿勢で支持し、前記処理槽の内部にあたる処理位置と、前記処理槽の上方にあたる乾燥位置とにわたって昇降可能な基板支持機構と、
前記基板支持機構を乾燥位置に移動する際に、前記供給・排出手段による乾燥気体の供給方向に対して各基板面が斜めになるように前記基板支持機構を複数回揺動させる揺動機構と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記基板支持機構は、前記内槽の内壁面に沿って延出された背板と、前記背板の下端部から水平方向に延出され、複数枚の基板を当接支持する支持部材とを備え、
前記揺動機構は、前記支持部材を鉛直軸廻りで水平方向に揺動させる水平揺動機構を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
側面視で前記背板側を揺動軸にして、前記支持部材を水平軸廻りで垂直方向に揺動させる垂直揺動機構をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記揺動機構は、前記基板支持機構が保持している複数枚の基板の上縁が処理液面から露出し始めた後に動作を開始することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3または4に記載の基板処理装置において、
前記垂直揺動機構は、前記基板支持機構の支持部材が処理液面から露出した後に動作を開始することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記揺動機構は、前記基板支持機構に支持された複数枚の基板を平面視した場合に、隣接する各基板のうちの一方の基板の端縁と、他方の基板の反対側の端縁とを結ぶ線が基板面となす角度の範囲で揺動することを特徴とする基板処理装置。 - 複数枚の基板を処理液により処理した後、複数枚の基板を処理液から引き上げつつ乾燥気体を供給して乾燥させる基板処理装置において、
処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽の上部にて、前記処理槽内に貯留している処理液面に沿って乾燥気体を供給する供給口と、前記処理槽を挟んで前記供給口に対向配置された排出口とを備えた供給・排出手段と、
複数枚の基板を起立姿勢で支持し、前記処理槽の内部にあたる処理位置と、前記処理槽の上方にあたる乾燥位置とにわたって昇降可能な基板支持機構と、
前記供給・排出手段の供給口に設けられ、乾燥気体の供給方向を各基板の整列方向に揺動可能な供給方向可変手段とを備え、
前記基板支持機構を乾燥位置に移動する際に、前記供給・排出手段による乾燥気体の供給方向が各基板面に対して斜めになるように前記供給方向可変手段を複数回揺動させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項7に記載の基板処理装置において、
前記供給方向可変手段は、前記供給口に設けられ、複数枚の基板の整列方向に所定間隔で配置された複数枚の方向板と、前記複数枚の方向板を複数枚の基板の整列方向に揺動する方向板揺動手段とを備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項7に記載の基板処理装置において、
前記供給方向可変手段は、前記供給口を複数枚の基板の整列方向に揺動する供給口揺動機構であることを特徴とする基板処理装置。 - 複数枚の基板を処理液により処理した後、複数枚の基板を処理液から引き上げつつ乾燥気体を供給して乾燥させる基板処理方法において、
起立姿勢の複数枚の基板を処理槽内の処理位置に位置させて、複数枚の基板を処理液に浸漬させる浸漬過程と、
各基板面に沿った方向に向けて乾燥気体を供給する供給過程と、
処理槽の上方にあたる乾燥位置にまで複数枚の基板を上昇させる上昇過程と、
前記上昇過程にて、乾燥気体が各基板に対して斜めに供給される状態を生じるように、水平方向に各基板を揺動させる揺動過程と、
を実施することを特徴とする基板処理方法。 - 複数枚の基板を処理液により処理した後、複数枚の基板を処理液から引き上げつつ乾燥気体を供給して乾燥させる基板処理方法において、
起立姿勢の複数枚の基板を処理槽内の処理位置に位置させて、複数枚の基板を処理液に浸漬させる浸漬過程と、
各基板面に沿った方向に向けて乾燥気体を供給する供給過程と、
処理槽の上方にあたる乾燥位置にまで複数枚の基板を上昇させる上昇過程と、
前記上昇過程にて、乾燥気体が各基板に対して斜めに供給される状態を生じるように、乾燥気体の供給方向を複数枚の基板の整列方向に揺動させる揺動過程と、
を実施することを特徴とする基板処理方法。
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