JP2013126025A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電荷変換素子から転送手段により転送されてきた信号電荷を電圧変換する電荷電圧変換端子及び電荷電圧変換端子の電圧をリセットする第1のリセット手段を備え行列方向に配列された画素2と、各列の画素2が接続された第1の信号配線8と、行を択一的に選択する第1の走査手段と、第1の信号配線8に定電流を供給する定電流回路素子11とを備え、第1の走査手段により選択された行において、第1のリセット手段による電荷電圧変換端子のリセット電圧を定電流回路素子11により定電流が供給されている第1の信号配線8に読み出して保存してから出力する動作と、転送手段により光電荷変換手段から信号電荷が転送された電荷電圧変換端子の電圧を定電流回路素子11により定電流が供給されている第1の信号配線8に読み出して保存してから出力する動作とを行う固体撮像装置1を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、入射光を光電変換して信号電荷を蓄積する光電荷変換素子と、該光電荷変換素子に蓄積された信号電荷を電圧変換する電荷電圧変換端子と、該電荷電圧変換端子で電圧変換された信号を増幅する電圧信号出力手段と、前記光電荷変換素子に蓄積された信号電荷を前記電荷電圧変換端子へ転送する転送手段と、前記電荷電圧変換端子の第1のリセット電圧を有する電源への導通と切断とをオンオフにより切り替える第1のリセット手段とを備え行列方向に配列された複数の画素と、各列に属する複数の前記画素が共通に接続され浮遊電位状態に維持可能な複数の第1の信号配線と、該第1の信号配線の各々において、前記電圧信号出力手段から前記第1の信号配線に信号を出力する前記画素を選択する第1の走査手段と、前記第1の信号配線への定電流の供給をオンオフする定電流回路素子とを備え、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する複数の前記画素の前記電荷電圧変換端子を前記第1のリセット手段をオンして前記第1のリセット電圧にリセットした後に前記第1のリセット手段をオフすることにより浮遊電位状態にし、前記定電流回路素子をオンして前記第1の信号配線へ定電流を供給しながら前記電荷電圧変換端子の電圧を前記第1の信号配線に前記電圧信号出力手段を介して所定の時間読み出すことにより前記第1の信号配線に保存した後に前記定電流回路素子をオフし、各前記第1の信号配線に保存された電圧を読み出すことにより1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する複数の前記画素の前記転送手段により前記光電荷変換手段に蓄積された信号電荷を前記電荷電圧変換端子に転送し、前記定電流回路素子をオンして前記第1の信号配線へ定電流を供給しながら前記電荷電圧変換端子にて電圧変換された信号を前記第1の信号配線に前記電圧信号出力手段を介して前記所定の時間読み出すことにより前記第1の信号配線に保存した後に前記定電流回路素子をオフし、各前記第1の信号配線に保存された電圧を読み出すことにより1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを行う固体撮像装置を提供する。
このように複数の光電荷変換端子によって一部の構成を共有することにより、画素が占める面積を縮小することができる。
本実施形態に係る固体撮像装置1は、図1に示されるように、複数の画素2を備える画素アレイ3と、垂直シフトレジスタ4と、水平シフトレジスタ5と、最終出力増幅回路6と、制御回路7とを基本構成として備えている。また、これらの周辺には、図示しないアナログ−デジタル(AD)変換回路や信号処理回路等が備えられている。
水平シフトレジスタ5は、水平信号線9に沿って並ぶ列選択トランジスタ10のゲートに1列目から順番に列選択パルスφH〔φH1,φH2,…,φHn〕を入力することにより、1列目の垂直信号線8から順番に水平信号線9へ信号を出力させる。
制御回路7は、予め設定されたパルスシーケンスに従い、上述した各パルスを出力させる制御信号を各シフトレジスタ4,5およびパルス回路に出力することにより、画素アレイ3からの信号の読み出し動作を制御する。
具体的には、転送トランジスタ22は、ゲートに転送パルスφTjが入力されることにより、ソース側のPD21からドレイン側のFD23へ、PD21が蓄積した信号電荷を転送する。この転送動作によりPD21が蓄積していた信号電荷量はゼロにリセットされる。FD23は、転送トランジスタ22を介してPD21から転送されてきた信号電荷を蓄積し、蓄積した信号電荷量に応じた信号電圧を生成する。
本実施形態に係る固体撮像装置1の駆動方法は、画素2が受光した光信号を読み出す光信号読み出し動作と、該光信号読み出し動作に先立って実行されるノイズ信号読み出し動作とからなる。
光信号読み出し動作は、PD21に蓄積された信号電荷をFD23に転送する第4の工程S4と、信号電荷転送後のFD23の電圧を垂直信号線8に読み出して該垂直信号線8に保存する第5の工程S5と、各垂直信号線8に保存された信号を順番に水平信号線9に読み出して最終出力増幅回路6から出力する第6の工程S6とを含む。
このようにすることで、各領域3aの画素2からの信号の読み出しを並行して実行し、全画素2の信号の読み出しに要する時間を短縮することができる。
このような変形例によれば、トランジスタの数をさらに減らして画素アレイ3をさらに縮小することができる。
このような変形例によれば、画素から信号を読み出す際に増幅トランジスタ24のゲート・ソース間容量による電圧帰還がより高まり、信号電圧がより上昇することになり、実効的に感度を高めることができる。
2,2−1〜2−7 画素
3 画素アレイ
4 垂直シフトレジスタ(第1の走査手段)
5 水平シフトレジスタ(第2の走査手段)
6 最終出力増幅回路
7 制御回路
8 垂直信号線(第1の信号配線)
9 水平信号線(第2の信号配線)
10 列選択トランジスタ
11 負荷トランジスタ(定電流回路素子)
12 水平信号線リセットトランジスタ(第2のリセットトランジスタ)
21 フォトダイオード(光電荷変換素子)
22 転送トランジスタ(転送手段)
23 フローティングディフュージョン(電荷電圧変換端子)
24 増幅トランジスタ(電圧信号出力手段)
25 画素選択トランジスタ
26 フローティングディフュージョンリセットトランジスタ(第1のリセット手段)
Claims (4)
- 入射光を光電変換して信号電荷を蓄積する光電荷変換素子と、該光電荷変換素子に蓄積された信号電荷を電圧変換する電荷電圧変換端子と、該電荷電圧変換端子で電圧変換された信号を増幅する電圧信号出力手段と、前記光電荷変換素子に蓄積された信号電荷を前記電荷電圧変換端子へ転送する転送手段と、前記電荷電圧変換端子の第1のリセット電圧を有する電源への導通と切断とをオンオフにより切り替える第1のリセット手段とを備え行列方向に配列された複数の画素と、
各列に属する複数の前記画素が共通に接続され浮遊電位状態に維持可能な複数の第1の信号配線と、
該第1の信号配線の各々において、前記電圧信号出力手段から前記第1の信号配線に信号を出力する前記画素を選択する第1の走査手段と、
前記第1の信号配線への定電流の供給をオンオフする定電流回路素子とを備え、
前記第1の走査手段により選択された一の行に属する複数の前記画素の前記電荷電圧変換端子を前記第1のリセット手段をオンして前記第1のリセット電圧にリセットした後に前記第1のリセット手段をオフすることにより浮遊電位状態にし、前記定電流回路素子をオンして前記第1の信号配線へ定電流を供給しながら前記電荷電圧変換端子の電圧を前記第1の信号配線に前記電圧信号出力手段を介して所定の時間読み出すことにより前記第1の信号配線に保存した後に前記定電流回路素子をオフし、各前記第1の信号配線に保存された電圧を読み出すことにより1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と、
前記第1の走査手段により選択された一の行に属する複数の前記画素の前記転送手段により前記光電荷変換手段に蓄積された信号電荷を前記電荷電圧変換端子に転送し、前記定電流回路素子をオンして前記第1の信号配線へ定電流を供給しながら前記電荷電圧変換端子にて電圧変換された信号を前記第1の信号配線に前記電圧信号出力手段を介して前記所定の時間読み出すことにより前記第1の信号配線に保存した後に前記定電流回路素子をオフし、各前記第1の信号配線に保存された電圧を読み出すことにより1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを行う固体撮像装置。 - 前記1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と、前記1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを、前記第1の走査手段により選択する画素を列方向に切り替えながら交互に繰り返す請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記第1の信号配線が複数ずつ接続された複数の第2の信号配線と、
各該第2の信号配線の電圧をリセットする複数の第2のリセット手段と、
各前記第2の信号配線から信号を出力させる複数の信号増幅手段と、
各前記第2の信号配線に接続される複数の前記第1の信号配線のうち一を選択して前記第2の信号配線に信号を出力させる第2の走査手段とを備え、
各前記第2の信号配線に接続する複数の前記第1の信号配線に属する画素について、前記1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と前記1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを、前記第2のリセット手段により前記第2の信号配線の電圧をリセットしながら交互に繰り返する請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記画素が、2つ以上の前記光電荷変換素子および該光電荷変換素子と同数の前記転送手段を単一の前記電荷電圧変換端子に並列に接続してなり、
前記光信号読み出し動作において、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する前記画素の1つの前記光電荷変換素子の光信号を読み出す請求項1から請求項3のいずれかに記載の固体撮像装置。
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