JP2013125919A - 薄板部材移載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄板部材移載装置1は、第一収容部材5に所定の間隔で整列して収容されている複数枚の薄板部材3を第二収容部材8に移載する薄板部材移載装置1において、複数の保持具11,21を有し、薄板部材3を所定の間隔で複数枚まとめて保持して移動させる保持移動部材10,20と、第一収容部材5と保持移動部材10,20との間で薄板部材3の受け渡しを行うために、第一収容部材に収容されている薄板部材3を所定の枚数置きに突き上げる第一突出部材50と、保持移動部材10,20と第二収容部材8との間で薄板部材3の受け渡しを行う第二突出部材60と、を備える。
【選択図】図2
Description
3 ウェハー
5 カセット
8 ボート
10 第一吸着移動部材
11 吸着プレート
12 プレート保持部材
13 エア供給部材
15 ピッチ可変部材
151 カム板
155 カムフォロワ
20 第二吸着移動部材
21 吸着プレート
22 プレート保持部材
23 エア供給部材
24 傾斜機構
30 第一アーム
35 第二アーム
38 アーム移動レール
40 中間旋回ステージ
41 回転テーブル
42 ウェハー支持部材
421 固定ガイド部材
422 スライドガイド部材
423 進退ガイド部
424 横スライドガイド部
43 下端受け
50 第一突出ユニット
51 キャッチャー
53 キャッチャースライド部材
58 突出ユニット移動レール
60 第二突出ユニット
61 キャッチャー
63 キャッチャースライド部材
68 突出ユニット移動レール
70 第三突出ユニット
71 キャッチャー
73 キャッチャースライド部材
78 突出ユニット移動レール
Claims (6)
- 第一収容部材に所定の間隔で整列して収容されている複数枚の薄板部材を第二収容部材に移載する薄板部材移載装置において、
前記薄板部材を一枚ずつ保持するために所定の間隔で設置された複数の保持具を有し、前記薄板部材を所定の間隔で複数枚まとめて保持して移動させる保持移動部材と、
前記第一収容部材と前記保持移動部材との間で前記薄板部材の受け渡しを行うために、前記第一収容部材に収容されている前記薄板部材を所定の枚数置きに支持して前記保持移動部材へ向けて突き出す第一突出部材と、
前記保持移動部材と前記第二収容部材との間で前記薄板部材の受け渡しを行うために、前記保持移動部材により前記第二収容部材の近傍に移動させられた複数枚の前記薄板部材を支持して前記第二収容部材に収容する第二突出部材と、
を備えることを特徴とする薄板部材移載装置。 - 前記保持移動部材により移動させられる前記薄板部材が一時的に載置されると共に載置された前記薄板部材の表裏を反転させるために回転自在な回転テーブルを有する、前記第一収容部材と前記第二収容部材との間に設置された中間旋回ステージと、
前記保持移動部材と前記中間旋回ステージとの間で前記薄板部材の受渡を行うために、前記保持移動部材により前記中間旋回ステージの近傍に移動させられた複数枚の前記薄板部材を支持して前記回転テーブル上に載置すると共に、前記回転テーブル上に載置されている前記薄板部材を支持して前記保持移動部材に向けて突き出す第三突出部材と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の薄板部材移載装置。 - 前記保持移動部材は、前記第一収容部材と前記中間旋回ステージとの間で前記薄板部材を移動させるための第一保持移動部材と、前記中間旋回ステージと前記第二収容部材との間で前記薄板部材を移動させるための第二保持移動部材と、を備えることを特徴とする請求項2記載の薄板部材移載装置。
- 前記中間旋回ステージは、前記回転テーブル上に設置されて、当該回転テーブル上に載置された前記薄板部材を両側から支持する薄板支持部材であって、前記第三突出部材によって支持された複数枚の前記薄板部材が所定の間隔で前記回転テーブル上に載置されるように案内するガイド部材を有する薄板支持部材を一対備え、
当該ガイド部材は、前記回転テーブル上に載置されている複数枚の前記薄板部材間に一箇所置きに介在するガイドを有すると共に水平方向にスライド自在な横スライドガイド部を備え、前記横スライドガイド部を水平方向にスライド移動させることで、前記薄板部材を二枚ずつ重ね合わせることを特徴とする請求項2又は3記載の薄板部材移載装置。 - 前記保持移動部材は、
前記保持具として真空吸着プレートを備え、
前記保持具の間隔を変更するための間隔可変部材であって、前記保持具側に設置されたカムフォロワの間隔を変更するためのカム板と、カム板をスライド移動させるカム駆動部材と、を有する間隔可変部材をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至4何れか1項に記載の薄板部材移載装置。 - 第一収容部材に所定の間隔で整列して収容されている複数枚の薄板部材を第二収容部材に移載する薄板部材移載方法において、
前記第一収容部材に収容されている前記薄板部材を、一枚置きに突出部材により上方に突き上げる第一突上工程と、
前記第一突上工程により突き上げられた前記薄板部材を保持移動部材に保持して前記第二収容部材に向けて移動させる第一移動工程と、
前記第一収容部材に一枚置きに残された前記薄板部材を前記突出部材により上方に突き上げる第二突上工程と、
前記第二突上工程により突き上げられた前記薄板部材を前記保持移動部材により保持して前記第二収容部材に向けて移動させる第二移動工程と、
を備え、前記第一収容部材に収容されている薄板部材を一枚置きに二回に分けて移載させることを特徴とする薄板部材移載方法。
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- 2011-12-16 JP JP2011275248A patent/JP5909354B2/ja active Active
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