CN103999206A - 薄板部件移载装置 - Google Patents

Abstract

提供一种薄板部件移载装置，即使在薄板部件以狭小的间隔收纳于收纳部件内的情况下，也能够可靠地保持并移载。薄板部件移载装置(1)将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件(5)的多张薄板部件(3)移载到第二收纳部件(8)，所述薄板部件移载装置(1)具备：保持移动部件(10)、(20)，它们具有多个保持件(11)、(21)，将薄板部件(3)以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件(3)移动；第一突出部件(50)，其以每隔规定的张数的方式将被收纳于第一收纳部件的薄板部件(3)顶起，用以在第一收纳部件(5)和保持移动部件(10)、(20)之间进行薄板部件(3)的交接；以及第二突出部件(60)，其在保持移动部件(10)、(20)和第二收纳部件(8)之间进行薄板部件(3)的交接。

Description

薄板部件移载装置

技术领域

本发明涉及移载半导体用晶片等薄板部件的薄板部件移载装置，特别涉及同时移载多张薄板部件的薄板部件移载装置。

背景技术

以往提供有许多移载装置，所述移载装置将用于半导体制造的半导体晶片或用于液晶显示装置的玻璃薄板等薄板部件以多张集中起来的方式从规定的场所移载到规定的场所。

例如，在下述专利文献1、2中公开了将晶片或玻璃基板等薄板部件以多张集中起来的方式从规定的收纳部件保持并移载到其他收纳部件的移载装置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-114344号公报

专利文献2：日本特开2006-156667号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述专利文献1、2所公开的薄板部件移载装置中，是通过真空吸附来吸附保持各薄板部件，需要在收纳于收纳部件的各薄板部件之间插入用于吸附的板状吸附部件。

因此，在上述专利文献1、2的移载装置中，若没有将薄板部件以比板状吸附部件的厚度大的间隔收纳在收纳部件内，则无法吸附保持薄板部件，产生了由于薄板部件的收纳间距而无法进行移载这样的问题。

本发明正是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供一种薄板部件移载装置，即使在薄板部件以狭小的间隔收纳在收纳部件内的情况下，也能够可靠地保持并移载。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的薄板部件移载装置将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载装置的特征在于，其具备：保持移动部件，其具有以规定的间隔设置的多个保持件，用以一张一张地保持所述薄板部件，所述保持移动部件将所述薄板部件以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件移动；第一突出部件，其以每隔规定的张数的方式支承被收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件，并朝向所述保持移动部件突出，用以在所述第一收纳部件和所述保持移动部件之间进行所述薄板部件的交接；以及第二突出部件，其支承被所述保持移动部件移动到所述第二收纳部件的附近的多张所述薄板部件，并将该多张所述薄板部件收纳到所述第二收纳部件，用以在所述保持移动部件和所述第二收纳部件之间进行所述薄板部件的交接。

此外，本发明的薄板部件移载方法用于将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载方法的特征在于，其具备：第一顶起工序，在该第一顶起工序中，利用突出部件将收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件以每隔一张的方式向上方顶起；第一移动工序，在该第一移动工序中，将通过所述第一顶起工序被顶起的所述薄板部件保持于保持移动部件并使所述薄板部件朝向所述第二收纳部件移动；第二顶起工序，在该第二顶起工序中，利用所述突出部件将在所述第一收纳部件中每隔一张地剩余的所述薄板部件向上方顶起；以及第二移动工序，在该第二移动工序中，利用所述保持移动部件保持通过所述第二顶起工序被顶起的所述薄板部件并使所述薄板部件朝向所述第二收纳部件移动，以每隔一张的方式分两次移载被收纳于所述第一收纳部件的薄板部件。

发明效果

根据本发明的薄板部件移载装置，即使在薄板部件以狭小的间隔收纳于收纳部件内的情况下，也能够可靠地保持并移载。

附图说明

图1是本发明的实施方式的晶片移载装置的立体图。

图2是本发明的实施方式的晶片移载装置的主视图。

图3是从本发明的实施方式的第一吸附移动部件的下方观察的立体图。

图4是本发明的实施方式的第一吸附移动部件的吸附板的立体图。

图5是示出利用本发明的实施方式的第一吸附移动部件的吸附板来吸附保持晶片的状态的图。

图6是示出本发明的实施方式的第一吸附移动部件的凸轮板驱动机构的立体图。

图7是示出利用本发明的实施方式的第一吸附移动部件来保持晶片的状态的主视图。

图8是本发明的实施方式的第二吸附移动部件的吸附板的立体图。

图9是示出利用本发明的实施方式的第二吸附移动部件来保持晶片的状态的主视图。

图10是本发明的实施方式的中间回转载物台的立体图。

图11是示出本发明的实施方式的晶片支承部件的结构的立体图。

图12是示出本发明的实施方式的晶片支承部件的滑动引导部件的结构的立体图。

图13是本发明的实施方式的第一突出单元的立体图。

图14是本发明的实施方式的第二突出单元的主视图。

图15是示出本发明的实施方式的晶片的移载处理的流程的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式的晶片移载装置进行说明。在本实施方式中，作为薄板部件移载装置，列举通过真空吸附来保持并移载半导体晶片的晶片移载装置为例进行说明。图1是示出本实施方式的晶片移载装置的结构的立体图。图2是本实施方式的晶片移载装置的主视图。

如该图所示，晶片移载装置1具备：盒5、船槽(boat)8、第一吸附移动部件10、第二吸附移动部件20、中间回转载物台40、第一突出单元50、第二突出单元60和第三突出单元70。

盒5是以规定的间隔(间距)收纳多张晶片3的收纳部件，在本实施方式中，以5mm间距收纳50张晶片3。船槽8也是以规定的间隔收纳多张晶片3的收纳部件，在本实施方式中，以4mm间隔收纳100张晶片3。另外，盒5构成为使晶片3以垂直地竖立的垂直状态进行收纳，而船槽8构成为使晶片3以从垂直状态倾斜10°的倾斜状态进行收纳。

在将收纳于该盒5内的晶片3移载到船槽8时，晶片移载装置1在能够改变晶片3的间隔的同时进行转移。并且，在本实施方式的晶片3的一个面上涂布有用于对晶片3实施规定的处理的处理液(以下，将涂布有处理液的一侧作为表面)，在移载处理的后续工序中，将船槽8放入扩散炉对晶片3的表面进行烧制。

并且，在本实施方式中，将两张晶片3以未涂布处理液的另一个面(以下，将其作为背面)对合的状态重合，并以两张重合的状态收纳在船槽8内。

即，晶片移载装置1具备下述功能：在移载时，将收纳于盒5内的晶片3每隔一张地翻转而使两张重合，并且移载到船槽8。因此，在本实施方式中，在盒5和船槽8之间设置有中间回转载物台40，在该中间回转载物台40上临时载置晶片3，利用中间回转载物台40进行晶片3的翻转。

第一吸附移动部件20使收纳于盒5的晶片3以5张为单位而移动到中间回转载物台40。图3是从第一吸附移动部件的下方观察的立体图。图4是第一吸附移动部件的吸附板的立体图。图5是示出利用第一吸附移动部件的吸附板来保持晶片的状态的图。图6是示出第一吸附移动部件的凸轮板驱动机构的立体图。图7是示出利用第一吸附移动部件来保持晶片的状态的主视图，图7(a)示出扩大吸附板的间距进行保持的状态，图7(b)示出缩小吸附板的间距进行保持的状态。

第一吸附移动部件10具备：一张一张地保持晶片3的作为保持件的吸附板11、板保持部件12、空气供给部件13、间距可变部件15、罩17和第一臂30。如图4所示，吸附板11为板状形状，下端部分形成为朝向末端而厚度变得更薄的尖尖的形状。另外，在图3和图6中，省略了吸附板11的厚度而进行表示。

在吸附板11的上表面形成有用于吸附的空气供给口112。并且，在吸附板11的侧面形成有用于将晶片3吸附于吸附板11的吸附口113和吹出口114。在图4中，在近前侧的侧面的4个部位形成的是利用正压吹出空气的吹出口114，在背侧的侧面的4个部位形成并用虚线表示的是利用负压进行抽吸的吸附口113。

空气供给口112a经由吸附板11内的空气流路与吸附口113连接，并且空气供给口112a利用由管等构成的空气供给部件13与气泵连接。在保持晶片3时，吸附口113内成为负压，从而晶片3被真空吸附于吸附板11。

空气供给口112b经由吸附板11内的空气流路与吹出口114连接，并且空气供给口112b利用由管等构成的空气供给部件13与气泵连接。在保持晶片3时，能够利用从吹出口114吹出的空气流而朝向相邻的吸附板11按压晶片3，从而使该晶片3可靠地吸附于相邻的吸附板11的吸附口113。

如图5所示，在由吸附板11对晶片3的保持中，利用吸附板11保持晶片3的上部。并且，在吸附板11的上部两端侧形成有缺口115，通过在该缺口115插入板保持部件12的保持件而将吸附板11固定保持于板保持部件12。

这里，第一吸附移动部件10具备并列地配置的6个吸附板11和板保持部件12，从而能够在相邻的吸附板11之间的5个部位的间隙中保持5张晶片3并一次进行移载。另外，位于两端的吸附板11的外侧的吸附口113和吹出口114未有助于晶片3的保持，因此不对它们供给负压和正压。

并且，第一吸附移动部件10具备间距可变部件15，并构成为能够通过变更吸附板11的间隔来变更所保持的晶片3的间隔。如图6所示，间距可变部件15具备：凸轮板151、在板保持部件12的上部形成的凸轮从动件155、以及用于驱动凸轮板151滑动的凸轮板驱动部件156。

在凸轮板151的6个部位形成有用于引导凸轮从动件155的引导孔152，插入于各引导孔152的各凸轮从动件155与凸轮板151的滑动相应地沿着各引导孔152的形状移动，由此能够变更凸轮从动件152的间隔、即板保持部件12(吸附板11)的间隔。

图7(a)示出将吸附板11的间隔缩小的状态，图7(b)示出将吸附板11的间隔扩大的状态，在图7(a)所示的状态中，以4mm间距保持晶片3，在图7(b)所示的状态中，以5mm间距保持晶片3。由此，关于第一吸附移动部件10，从以5mm间距收纳有晶片3的盒5中取出晶片3的作业在图7(b)所示的状态下进行，并且，以4mm间隔将晶片3载置到中间回转载物台40的作业在图7(a)所示的状态下进行。

第一臂30是能够移动地保持第一吸附移动部件10的臂。第一臂30具备臂驱动部件31，并构成为能够沿臂移动轨道38在水平方向上滑动移动，并且能够使第一吸附移动部件10在垂直方向上移动。

具体来说，第一臂30从图2中位于左侧的盒5在与正中央附近的中间回转载物台40之间沿臂移动轨道38往复移动，并且使第一吸附移动部件10在垂直方向上移动，由此能够在盒5和中间回转载物台40之间一边变更间距一边移动晶片3。

接着，对第二吸附移动部件20的结构进行说明。第二吸附移动部件20具有与上述的第一吸附移动部件10大致相同的结构和功能，因此，对于相同的结构省略说明。

两者主要的不同点在于以下方面：第二吸附移动部件20不具有间距可变部件；第二吸附移动部件20从两侧保持两张重合的状态的晶片3，因而在吸附板21上仅设置有吸附口213；以及第二吸附移动部件20具有用于使吸附板21成为倾斜状态的倾斜机构24。

第二吸附移动部件20具备：吸附板21、板保持部件22、空气供给部件23、倾斜机构24、罩27和第二臂35。图8是第二吸附移动部件的吸附板的立体图。图9是示出利用第二吸附移动部件来保持晶片3的状态的主视图。

在吸附板21的上表面形成有与空气供给部件连接的空气供给口212。并且，在吸附板21的两侧面的各4个部位设置有用于将晶片3吸附于吸附板21的吸附口113。

如后述那样，由于在中间回转载物台40上，晶片3被两张重合，所以当保持在中间回转载物台40上载置的晶片3时，第二吸附移动部件20以两张重合的状态进行保持。在图9中，被第二吸附移动部件20保持的晶片3为两张重合的晶片3。

在吸附板21的两侧面设置有吸附口213，从两张重合的晶片3的两侧各吸附保持一张晶片3。另外，在图9中，第二吸附移动部件20以8mm间距保持两张重合状态的晶片3。第二吸附移动部件20不具备间距可变机构，被保持的晶片3在8mm间距的状态下以每隔一段的方式移载到船槽8。

并且，第二吸附移动部件具备未图示的倾斜机构24，能够对吸附板21在垂直状态和从垂直状态倾斜10°的倾斜状态之间进行转换。

第二臂35是能够移动地保持第二吸附移动部件20的臂。第二臂35具备臂驱动部件36，并构成为能够沿臂移动轨道38在水平方向上滑动移动，并且能够使第二吸附移动部件20在垂直方向上移动。

具体来说，第二臂35从图2正中央附近的中间回转载物台40在与船槽8之间往复移动，并且使第二吸附移动部件20在垂直方向上移动，由此能够使晶片3在中间回转载物台40和船槽8之间移动。

接着，对中间回转载物台40的结构进行详细说明。图10是中间回转载物台的立体图。图11是放大地示出晶片支承部件的立体图。图12是放大地示出晶片支承部件的滑动引导部件的立体图。

中间回转载物台40设置在盒5与船槽8的中间，并作为临时载置在两者间进行移载的晶片3的中转点发挥功能。并且，中间回转载物台40具有下述功能：在连续地收纳于盒5的10张晶片3中，在使先取出的每隔一张的5张晶片3翻转之后，使背面侧分别与剩余的5张晶片3紧贴而整理成5组10张的两张重合的晶片3。

中间回转载物台40具备：旋转工作台41、在旋转工作台41上设置的一对晶片支承部件42、以及下端支承件43，晶片3以下端与下端支承件43接触的垂直状态被载置在旋转工作台41上。旋转工作台41构成为借助驱动部件而以圆中心为旋转轴线转动自如。在旋转工作台41的中心形成有孔411，后述的第三突出单元70的收集器(catcher)从该孔411中跃出。

一对晶片支承部件42在旋转工作台41上的孔411的周围以180°间隔相对地设置，在两者之间引导并支承有晶片3。晶片支承部件42具备固定引导部件421和滑动引导部件422。固定引导部件421固定于各晶片支承部件42的与晶片3对置的内侧面的最上部(第一层)和最下部(第四层)，并具备并行地形成的6个引导件用以排列晶片3。

滑动引导部件422在第一层和第四层具备进退引导部423，在第二层和第三层具备横向滑动引导部424(参照图11、图12)。进退引导部423具有并列地形成的5个引导件423a，进退引导部423利用气缸驱动机构，在引导件423a跃出至与固定引导件421的引导件421a相同的位置的前进位置、和拉入的后退位置之间进行进退滑动。

在前进位置，进退引导部423的5个引导件423a位于6个引导件421a之间的5个间隙。由此，当进退引导部423位于跃出的位置时，在6个引导件421a和5个引导件423a之间形成10个间隙。使晶片3通过该间隙，由此晶片支承部件42能够进行引导而使得10张晶片3以等间距(4mm)地排列。

另一方面，当进退引导部423位于后退位置时，晶片支承部件42的第一层和第四层利用固定引导部件421的6个引导件421a之间的5个间隙来引导晶片3。这时，6个引导件421a的设置间隔为8mm间距。

横向滑动引导部424具有与进退引导部423的引导件423a相同间距的5个引导件424a，横向滑动引导部424借助气缸驱动机构在引导件424a的排列方向上水平地进行横向滑动。横向滑动引导部424以下述方式进行横向移动：在固定位置处，各引导件424a位于固定引导部件421的各引导件421a的正下方和正上方，而在像后述那样使晶片3两张重合的移动位置处，各引导件424a横向滑动至位于进退引导部423的各引导件423a的正下方和正上方。

接着，对第一突出单元50的结构进行详细说明。图13是第一突出单元的立体图。第一突出单元50设置在盒5的下方，用于辅助盒5和第一吸附移动部件10之间的晶片3的交接。

第一突出单元50具备收集器51、收集器支承部件52、收集器滑动部件53和突出单元移动轨道58。收集器51为大致板状的部件，在其上端，在两端的两个部位形成有用于嵌入一张晶片3并对其进行支承的嵌合槽51a

并且，第一突出单元50具备5个收集器51，利用收集器支承部件52以将收集器51以规定的间隔并列地排列的方式支承收集器51的下端。在本实施方式中，第一突出单元50进行将以5mm间距排列收纳于盒5的晶片3每隔一张地嵌合保持并向上方顶起的处理，因此，收集器51被设置成嵌合槽51a以10mm间距布置。

收集器滑动部件53是将收集器支承部件52保持成能够在垂直方向上下滑动的驱动机构，利用收集器滑动部件53，能够将收集器51从盒5的下方的位置顶起到盒5内。

当5个收集器51被顶起到盒5内时，关于被收纳于盒5内的晶片3，以每隔一张的方式有5张嵌入到各嵌合槽51a中，并被向上方顶起。这样，从盒5内向上方突出的5张晶片3被上述第一吸附移动部件10吸附保持并移动。

并且，第一突出单元50构成为借助滑动机构的驱动而沿突出单元移动轨道58移动自如。突出单元移动轨道58沿着盒5所在的区域地设置，第一突出单元50沿突出单元移动轨道58移动，从而能够将收纳于盒5内的所有晶片3依次顶起。

接着，对第二突出单元60的结构进行详细说明。图14是第二突出单元的主视图。第二突出单元60被设置在船槽8的下方，并且辅助晶片3在第二吸附移动部件20和船槽8之间的交接。

第二突出单元60具备收集器61、收集器支承部件62、收集器滑动部件63和突出单元移动轨道68。第二突出单元60构成为与上述的第一突出单元50大致相同的结构。两者主要的不同点在于：第二突出单元自身以倾斜的状态设置于晶片移载装置1、以及5个收集器61的设置间隔与嵌合槽61a的大小不同。

船槽8构成为倾斜地收纳两张重合的晶片3，在第二突出单元60上，倾斜地设置有收集器61，用以支承倾斜的状态下的晶片3。

并且，如上述那样，以5mm间距排列于盒5的晶片3，借助中间回转载物台40被整理成以8mm间距排列的5组10张的两张重合的晶片3，并移动到船槽8。因此，利用收集器支承部件62以嵌合槽61a以8mm间距布置的方式排列支承第二突出单元60的收集器61，并且，嵌合槽61a具有使两张重合状态下的晶片3嵌合并对其进行支承的宽度。

并且，第二突出单元60构成为借助滑动机构的驱动而沿突出单元移动轨道68移动自如。突出单元移动轨道68沿着船槽8所在的区域地设置，第二突出单元60沿突出单元移动轨道68移动，从而能够将晶片3依次收纳到整个船槽8。

第三突出单元70被设置在中间回转载物台40的下方，并且辅助晶片3在第一吸附移动部件10和中间回转载物台40之间的交接、以及晶片3在中间回转载物台40和第二吸附移动部件20之间的交接。

第三突出单元70具备收集器71、收集器支承部件72、收集器滑动部件73和突出部件移动轨道78，并且是与第一突出单元50大致相同的结构。两者主要的不同点在于5个收集器71的设置间隔与嵌合槽71a的大小不同。

如上述那样，保持于第一吸附移动部件10的晶片3作为以8mm间距间隔的5张晶片3移动到中间回转载物台40。并且，在中间回转载物台40上被整理成8mm间隔的5组10张的两张重合的晶片3。由此，利用收集器支承部件72以将嵌合槽71a以8mm间距布置的方式排列支承第三突出单元70的收集器71，并且，嵌合槽71a具有使一张晶片3以及两张重合的晶片3双方嵌合并对它们进行支承的宽度。

以上，对晶片移载装置1的结构进行了详细说明，接着，对晶片3在晶片移载装置1中的移载处理进行说明。图15是示出本实施方式的晶片的移载处理的流程的流程图。在本实施方式中，进行如下的移载处理：在将以5mm间隔排列收纳于盒5的晶片3的背面面对而两张重合的状态下，以4mm间隔排列收纳到船槽8中。

首先，在S10中，第一突出单元50将排列收纳于盒5的晶片3中的每隔一张共5张的晶片3向上方顶起并使其突出。接着，在S11中，第一吸附移动部件10保持这5张晶片3并使其移动到中间回转载物台40。

具体来说，使第一吸附移动部件10下降，使吸附板11介于突出的5张晶片3之间。之后，使吸附口113成为负压并且使吹出口114成为正压，从而使5张晶片3分别吸附保持于吸附板11。在这样地吸附保持晶片3的状态下，利用第一臂30使第一吸附移动部件10移动到中间回转载物台40。

在本实施方式中，并没有使收纳于盒5内的晶片3以那样的间隔(5mm间距)直接保持于第一吸附移动部件10，而是构成为利用第一突出单元50使晶片3以每隔一张的方式突出，并且第一吸附移动部件10以每隔一张的方式保持晶片3，由此，即使是以狭小的间距排列于盒5内的晶片3，也能够进行移载处理。

以每隔一张的方式的话，由第一吸附移动部件10保持的晶片3的间隔为10mm间距。本实施方式的吸附板11的厚度为7mm左右。因此，无法将吸附板11插入到以5mm间距排列的晶片3之间，但通过以每隔一张的方式突出，能够将吸附板11插入到变为10mm间距地排列的晶片3间之间进行吸附。

而且，在S11中，利用间距可变部件15对晶片3的间隔进行变更。在中间回转载物台40上，在进行两张重合之前，使10张晶片3以4mm间距排列，因此，在S11中，为了应对从5mm间距到4mm间距，而进行晶片3的排列间隔的变换。但是，由于第一吸附移动部件10是以每隔一张的方式保持晶片3，因此，间距可变部件15进行从10mm间距到8mm间距的变换。

接着，在S12中，将晶片3载置于中间回转载物台40。具体来说，第三突出单元70的收集器71上升，从第一吸附移动部件10接收以8mm间距排列的5张晶片3，然后使收集器71下降，利用晶片支承部件42一边引导5张晶片3一边将所述5张晶片3载置在旋转工作台41上。

这时，关于晶片支承部件42的滑动引导部件422，进退引导部423位于前进位置，并且横向滑动引导部424位于固定位置。由此，晶片支承部件42由于固定引导部件421和进退引导部423的存在而成为能够以4mm间距保持10张晶片3的状态。

在该状态下，下降到旋转工作台41上的5张晶片3在一张跃起的状态(8mm间距)下被晶片支承部件42支承，从而被载置到旋转工作台41上。接着，在S13中，进行先载置的这5张晶片3的翻转。具体来说，使旋转工作台41旋转180°。

在进行S12～S13期间，同时进行剩余的5张晶片3的移动处理(S14和S15)。在S14中，与S10同样地，剩余的5张晶片3被第一突出单元50顶起。在S15中，与S11同地，在进行间距变换的同时，使剩余的5张晶片3朝向中间回转载物台40移动。

接着，在S16中，与S12同样地，将剩余的5张晶片3载置在旋转工作台41上。这时，与上述S12同样地，晶片支承部件42成为能够以4mm间距保持10张晶片3的状态，以一张跃起的方式在5个间隙中已经载置有先前的5张晶片3。剩余5张晶片3以每隔一张的方式收纳于剩余的5个间隙。

这里，由于通过上述S13翻转了先前的5张晶片3，因此，先前的5张晶片3和剩余的5张晶片以表面或背面彼此面对的状态载置在旋转工作台41上。

接着，在S17中，进行使相邻的晶片3两张两张地紧贴的两张重合处理。具体来说，使进退引导部423滑动到后退位置，并且，使横向滑动引导件424在水平方向上滑动，由此成为两张重合状态。在本实施方式中，构成为使晶片3的背面彼此面对并紧贴。

接着，在S18中，利用第三突出单元70对两张重合了的5组10张晶片3进行向上方顶起的处理。然后，在S19中，利用第二吸附移动部件20保持两张重合了的10张晶片3并使其朝向船槽8移动。如上述那样，第二吸附移动部件20以两张重合的状态吸附保持并移动10张晶片3。另外，在S19中，利用倾斜机构24使吸附板21变换成倾斜状态。

然后，在S20中，将晶片3载置到船槽8上。具体来说，倾斜地设置的第二突出单元60的收集器61上升，从第二吸附移动部件20接收到5组10张的两张重合的晶片3，然后使收集器61下降，由此，将5组两张重合的晶片3以8mm间距每隔一段地收纳于船槽8内。

通过重复上述的S10～S20，能够依次使盒5内的晶片3两张重合并每5组10张地移载到船槽8。另外，如上述那样，船槽8构成为能够以4mm间距收纳晶片3。

由此，在本实施方式中，构成为在利用第二吸附移动部件20移动接下来的5组10张的晶片3的情况下，在已经每隔一段地收纳于船槽8的收纳部位的两张重合的晶片3之间收纳接下来的两张重合的晶片3。由此，最终，两张重合的晶片3以4mm间距收纳在船槽8内。

这样，通过作为两张重合的晶片3收纳于船槽8内，能够一次将大量的晶片3收纳在船槽8内，能够高效率地进行后述的烧制工序。这是因为在本实施方式的烧制工序中只对涂布有处理液的表面进行烧制即可。另外，在本实施方式中，能够在可以4mm间距收纳100张的船槽8内一次收纳100组200张的晶片3。

收纳有晶片3的船槽8在后续工序中被搬至扩散炉，对晶片3进行烧制。当该烧制工序结束时，将船槽8从扩散炉取出，这次，进行晶片3的从船槽8到盒5的转移。该从船槽8返回到盒5的作业通过相反地进行上述的移载处理作业来实现。由此，晶片3从船槽8到中间回转载物台40是在两张重合状态下进行移载，从中间回转载物台40到盒5是以一张一张地分离的方式进行移载。

以上，对本实施方式进行了详细说明，但根据本实施方式，构成为将晶片3每隔一张地取出并利用吸附移动部件10、20进行移动，因此，即使是以狭小的间距间隔被收纳于收纳部件的晶片3，也能够良好地进行移载。

并且，根据本实施方式，在中间回转载物台40上，使晶片3两张重合之后移载到船槽8，由此与一张一张地收纳的情况相比，能够在船槽8内收纳更多的晶片3，能够高效率地进行后续工序即烧制工序。

并且，在本实施方式中，设置了用于使晶片3从盒5移动到中间回转载物台40的第一吸附移动部件10、和用于使晶片3从中间回转载物台40移动到船槽8的第二吸附移动部件20，通过同时进行两种移动，能够高速地进行移载处理。

并且，在本实施方式中，第一吸附部件10具备间距可变机构，对于收纳间距不同的收纳部件也能够容易地进行移载处理。

以上，对本实施方式进行了详细说明，但本发明的实施方式不限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变形。例如，构成上述实施方式的晶片移载装置的部件的形状和尺寸等能够适当变更是不言而喻的。

此外，盒和船槽的收纳张数、中间回转载物台上的载置张数、吸附移动部件的晶片保持张数等也能够适当变更。并且，在上述实施方式中，当利用吸附移动部件保持晶片时，将收纳于盒的晶片每隔一张地进行保持，并分两次进行移动，但也可以是每隔三张、每隔四张等，并分三次以上进行移动。

此外，在上述实施方式中，作为薄板部件，列举移载半导体晶片的情况为例进行了说明，但对于液晶面板用的玻璃薄板等、适当的其他薄板部件，也能够适用本发明。

此外，在上述实施方式中，晶片的保持移动部件通过真空吸附来保持晶片，但只要是能够一张一张地保持晶片并能够改变间隔的保持部件，则例如也可以使用伯努利吸盘等或以其他适当的方法保持晶片的保持移动部件。

标号说明

1：晶片移载装置；

3：晶片；

5：盒；

8：船槽；

10：第一吸附移动部件；

11：吸附板；

12：板保持部件；

13：空气供给部件；

15：间距可变部件；

151：凸轮板；

155：凸轮从动件；

20：第二吸附移动部件；

21：吸附板；

22：板保持部件；

23：空气供给部件；

24：倾斜机构；

30：第一臂；

35：第二臂；

38：臂移动轨道；

40：中间回转载物台；

41：旋转工作台；

42：晶片支承部件；

421：固定引导部件；

422：滑动引导部件；

423：进退引导部；

424：横向滑动引导部；

43：下端支承件；

50：第一突出单元；

51：收集器；

53：收集器滑动部件；

58：突出单元移动轨道；

60：第二突出单元；

61：收集器；

63：收集器滑动部件；

68：突出单元移动轨道；

70：第三突出单元；

71：收集器；

73：收集器滑动部件；

78：突出单元移动轨道。

Claims (6)

1.一种薄板部件移载装置，其将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载装置的特征在于，其具备：

保持移动部件，其具有以规定的间隔设置的多个保持件，用以一张一张地保持所述薄板部件，所述保持移动部件将所述薄板部件以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件移动；

第一突出部件，其以每隔规定的张数的方式支承被收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件，并朝向所述保持移动部件突出，用以在所述第一收纳部件和所述保持移动部件之间进行所述薄板部件的交接；以及

第二突出部件，其支承被所述保持移动部件移动到所述第二收纳部件的附近的多张所述薄板部件，并将该多张所述薄板部件收纳到所述第二收纳部件，用以在所述保持移动部件和所述第二收纳部件之间进行所述薄板部件的交接。

2.根据权利要求1所述的薄板部件移载装置，其特征在于，

所述薄板部件移载装置还具备：

中间回转载物台，其具有旋转自如的旋转工作台，用以临时载置被所述保持移动部件移动的所述薄板部件并且使所载置的所述薄板部件的表背翻转，所述中间回转载物台被设置在所述第一收纳部件和所述第二收纳部件之间；以及

第三突出部件，其支承被所述保持移动部件移动到所述中间回转载物台的附近的多张所述薄板部件并载置到所述旋转工作台上，用以在所述保持移动部件和所述中间回转载物台之间进行所述薄板部件的交接，并且，所述第三突出部件支承被载置在所述旋转工作台上的所述薄板部件并朝向所述保持移动部件突出。

3.根据权利要求2所述的薄板部件移载装置，其特征在于，

所述保持移动部件具备用于使所述薄板部件在所述第一收纳部件和所述中间回转载物台之间移动的第一保持移动部件、和用于使所述薄板部件在所述中间回转载物台和所述第二收纳部件之间移动的第二保持移动部件。

4.根据权利要求2或3所述的薄板部件移载装置，其特征在于，

所述中间回转载物台具备一对薄板支承部件，所述薄板支承部件被设置在所述旋转工作台上，从两侧支承被载置在该旋转工作台上的所述薄板部件，所述薄板支承部件具有引导部件，所述引导部件引导由所述第三突出部件支承的多张所述薄板部件以按照规定的间隔将其载置到所述旋转工作台上，

该引导部件具备横向滑动引导部，所述横向滑动引导部具有引导件并且在水平方向上滑动自如，所述引导件以每隔一个部位的方式介于被载置在所述旋转工作台上的多张所述薄板部件之间，通过使所述横向滑动引导部在水平方向上滑动移动，由此使所述薄板部件两张两张地重合。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的薄板部件移载装置，其特征在于，

所述保持移动部件具备真空吸附板作为所述保持件，

所述保持移动部件还具备用于变更所述保持件的间隔的间隔可变部件，所述间隔可变部件具有用于变更被设置在所述保持件侧的凸轮从动件的间隔的凸轮板、和使凸轮板滑动移动的凸轮驱动部件。

6.一种薄板部件移载方法，用于将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载方法的特征在于，其具备：

第一顶起工序，在该第一顶起工序中，利用突出部件将收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件以每隔一张的方式向上方顶起；

第一移动工序，在该第一移动工序中，将通过所述第一顶起工序被顶起的所述薄板部件保持于保持移动部件并使所述薄板部件朝向所述第二收纳部件移动；

第二顶起工序，在该第二顶起工序中，利用所述突出部件将在所述第一收纳部件中每隔一张地剩余的所述薄板部件向上方顶起；以及

第二移动工序，在该第二移动工序中，利用所述保持移动部件保持通过所述第二顶起工序被顶起的所述薄板部件并使所述薄板部件朝向所述第二收纳部件移动，

以每隔一张的方式分两次移载被收纳于所述第一收纳部件的薄板部件。