CN102951445A - 基板反转装置及基板操作方法以及基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明的基板反转装置具有：多个第一下引导件，通过第一下倾斜部和基板的周缘部的接触，将基板支撑为水平姿势；多个第一上引导件，通过第一上倾斜部和基板的周缘部的接触，来与多个第一下引导件协同动作地夹持基板；引导件移动机构，使多个第一上引导件以及第一下引导件水平移动；引导件旋转单元，通过使多个第一上引导件以及第一下引导件围绕水平延伸的反转轴线旋转，来使基板进行反转。

Description

基板反转装置及基板操作方法以及基板处理装置

技术领域

本发明涉及使基板反转的基板反转装置、基板操作方法以及处理基板的基板处理装置。基板例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示器用基板、FED（Field Emission Display：场发射型显示器）用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。

背景技术

在半导体装置、液晶显示装置等的制造工序中，使用处理半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板等基板的基板处理装置。例如美国专利申请公开号US2008/0156357A1记载的基板处理装置具有反转单元，该反转单元通过使基板围绕水平轴线进行旋转，来使基板反转。反转单元包括：被支撑为水平的固定板；与固定板相向的可动板；使可动板沿着上下方向平行移动的缸体；使固定板以及可动板围绕水平轴线旋转的旋转驱动装置。

在使基板进行反转时，搬入至固定板和可动板之间的基板通过安装在固定板上的多个支撑销被固定板支撑。然后，通过缸体使可动板下降，可动板接近固定板。由此，通过安装在固定板上的多个支撑销和安装在可动板上的多个支撑销，上下夹着被固定板支撑的基板。然后，通过旋转驱动装置使固定板以及可动板围绕水平轴线旋转，被固定板以及可动板夹持的基板进行反转。

US2008/0156357A1记载的反转单元，由于可动板上下移动，因此需要在可动板的上下确保可动板移动用的空间。因此，反转单元的高度增加，反转单元会大型化。

发明内容

本发明的一个实施方式提供能够抑制或者防止大型化的基板反转装置及基板操作方法。

而且，本发明的一个实施方式提供具有能够抑制或者防止大型化的基板反转装置的基板处理装置。

本发明的一实施方式的基板反转装置，具有：多个第一下引导件，分别具有朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜的第一下倾斜部，通过使多个上述第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，来将上述基板支撑为水平的姿势；多个第一上引导件，各自具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第一上倾斜部，通过在多个上述第一下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第一上倾斜部与上述基板的周缘部相接触，来使多个上述第一上引导件借助与上述多个第一下引导件的协同动作来夹持上述基板；引导件移动机构，使多个上述第一上引导件水平移动，并使多个上述第一下引导件水平移动；引导件旋转单元，通过使多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件围绕水平延伸的反转轴线进行旋转，来使被多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件夹持的基板反转。

根据该结构，多个第一下引导件的第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，并且在第一下倾斜部和基板的周缘部相接触的位置的上方，多个第一上引导件的第一上倾斜部与基板的周缘部相接触。由此，通过多个第一上引导件以及多个第一下引导件将基板夹持为水平的姿势。在多个第一上引导件以及多个第一下引导件夹持有基板的状态下，引导件旋转单元使多个第一上引导件以及多个第一下引导件围绕反转轴线旋转180度。由此，基板的表面的位置和基板的背面的位置被调换，基板被反转。

第一下引导件的第一下倾斜部朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜。因此，多个第一下引导件能够通过使多个第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，来将基板支撑为水平的姿势。而且，引导件移动机构能够通过使多个第一上引导件水平移动，来使多个第一上引导件退避。在多个第一上引导件退避的状态下，用于搬运基板的基板搬运机械手能够将基板载置于多个第一下引导件上，或者接收被多个第一下引导件支撑的基板。

另外，由于第一上引导件的第一上倾斜部朝向基准线向斜上方倾斜，因此当引导件旋转单元使多个第一上引导件以及第一下引导件围绕反转轴线旋转180度时，第一上倾斜部从朝下的状态变为朝上的状态。在第一上倾斜部朝上的状态下，多个第一上引导件能够通过使多个第一上倾斜部与基板的周缘部相接触，来将基板支撑为水平的姿势。因此，在第一下倾斜部朝下的状态下，基板搬运机械手能够将基板搬入多个第一上引导件，或者从多个第一上引导件搬出基板。

这样，由于在各引导件上设置有相对于水平面倾斜的倾斜部，因此在第一上倾斜部以及第一下倾斜部中的某个朝下的状态，基板搬运机械手能够搬入基板以及搬出基板。而且，在通过第一上引导件或者第一下引导件将基板支撑为水平的姿势的状态下，引导件移动机构通过使被退避的多个引导件水平移动，来通过多个第一上引导件以及多个第一下引导件将基板夹持为水平的姿势。而且，由于引导件移动机构使第一上引导件以及第一下引导件水平移动，因此可以不在引导件的上下设置引导件移动用的空间。因此，与使引导件上下移动来进行夹持的结构相比，能够降低基板反转装置的高度。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

优选本发明的上述实施方式的基板反转装置还具有多个保持构件，多个上述保持构件分别保持上述第一上引导件以及上述第一下引导件，并且多个上述保持构件借助上述引导件旋转单元围绕上述反转轴线进行旋转。

根据该结构，引导件旋转单元使多个保持构件围绕反转轴线进行旋转。由于多个保持构件保持多个第一上引导件以及多个第一下引导件，因此当引导件旋转单元使多个保持构件围绕反转轴线进行旋转时，多个第一上引导件以及多个第一下引导件也围绕反转轴线进行旋转。因此，可以不用设置将多个第一上引导件以及多个第一下引导件与引导件旋转单元分别单独连接的多个构件。因此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

本发明的上述实施方式的基板反转装置，可以具有多个旋转轴，多个上述旋转轴分别与多个上述保持构件相连接，并且多个上述旋转轴能够围绕上述反转轴线进行旋转。在该情况下，上述引导件旋转单元可以与多个上述旋转轴中的某一个相连接。

根据该结构，引导件旋转单元的动力（围绕反转轴线的动力）输入至某一个旋转轴（驱动侧的旋转轴）。并且，输入至驱动侧的旋转轴的动力，通过与驱动侧的旋转轴相连接的保持构件（驱动侧的保持构件），传送至被驱动侧的保持构件保持的引导件。因此，在通过多个引导件夹持基板的状态下，引导件旋转单元的动力，从被驱动侧的保持构件保持的引导件经由基板传递至被其他保持构件（从动侧的保持构件）保持的引导件。由此，引导件旋转单元的动力从驱动侧的保持构件传递至从动侧的保持构件，多个保持构件和多个旋转轴围绕反转轴线进行旋转。这样，由于引导件旋转单元仅与某一个旋转轴相连接，因此与引导件旋转单元与各旋转轴相连接的结构相比，能够减小基板反转装置的大小。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

另外，在本发明的上述实施方式的基板反转装置中，可以使多个上述第一上引导件分别配置于多个上述第一下引导件的上方。根据该结构，由于多个第一上引导件分别配置于多个第一下引导件的上方，因此俯视时第一上引导件与第一下引导件重叠。因此，能够减小俯视时的第一上引导件以及第一下引导件的专有面积。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

本发明的上述实施方式的基板反转装置还可以具有：多个第二下引导件，分别具有朝向上述基准线向斜下方倾斜的第二下倾斜部，通过使多个上述第二下倾斜部，与配置在与被多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件夹持的基板不同的高度上的基板的周缘部相接触，来将上述基板支撑为水平的姿势，多个第二上引导件，分别具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第二上倾斜部，通过在多个上述第二下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第二上倾斜部与上述基板的周缘部相接触，来使多个上述第二上引导件借助与多个上述第二下引导件的协同动作来夹持上述基板；上述引导件移动机构使多个上述第二上引导件水平移动，并使多个上述第二下引导件水平移动，上述引导件旋转单元，通过使多个上述第二上引导件以及多个上述第二下引导件围绕上述反转轴线旋转，来使被多个上述第二上引导件以及多个上述第二下引导件夹持的基板反转。

根据该结构，多个第二下引导件的第二下倾斜部，与配置在与被多个第一上引导件以及多个第一下引导件夹持的基板的高度不同的高度上的基板的周缘部相接触。而且，在第二下倾斜部和基板的周缘部接触的位置的上方，多个第二上引导件的第二上倾斜部与基板的周缘部相接触。由此，将基板夹持为水平的姿势。因此，引导件旋转单元能够通过使多个第二上引导件以及多个第二下引导件围绕反转轴线旋转180度，使被多个第二上引导件以及多个第二下引导件夹持的基板反转。由此，能够使被多个第一上引导件以及多个第一下引导件夹持的基板和被多个第二上引导件以及多个第二下引导件夹持的基板，同时反转。即，能够使多张基板同时反转。

而且，由于与第一上引导件以及第一下引导件同样，在第二上引导件与第二下引导件上设置有相对于水平面倾斜的倾斜部（第二上倾斜部或者第二下倾斜部），因此在第二上倾斜部以及第二下倾斜部中的某一个朝下的状态下，基板搬运机械手都能够进行基板的搬入与搬出。而且，引导件移动机构不仅使第一上引导件以及第一下引导件水平移动，而且也使第二上引导件以及第二下引导件水平移动，所以可以不用在第二上引导件与第二下引导件的上下设置引导件移动用的空间。因此，能够减小第一上引导件以及第一下引导件与第二上引导件以及第二下引导件的间隔（铅垂方向上的间隔）。因此，能够大幅降低基板反转装置的高度。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

另外，优选本发明的上述实施方式的基板反转装置优选还具有多个保持构件，多个上述保持构件分别保持上述第一上引导件、上述第一下引导件、上述第二上引导件以及上述第二下引导件，并且多个上述保持构件借助上述引导件旋转单元围绕上述反转轴线进行旋转。

根据该结构，引导件旋转单元使多个保持构件围绕反转轴线进行旋转。由于多个保持构件分别保持第一上引导件、第一下引导件、第二上引导件以及第二下引导件，因此当引导件旋转单元使多个保持构件围绕反转轴线进行旋转时，第一上引导件、第一下引导件、第二上引导件以及第二下引导件也围绕反转轴线进行旋转。因此，可以不用设置将第一上引导件、第一下引导件、第二上引导件以及第二下引导件与引导件旋转单元分别单独连接的多个构件。因此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

另外，本发明的上述实施方式的基板反转装置还可以还具有多个旋转轴，多个上述旋转轴分别与多个上述保持构件相连接，并且多个上述旋转轴能够围绕上述反转轴线进行旋转。在该情况下，上述引导件旋转单元可以与多个上述旋转轴中的某一个相连接。

根据该结构，引导件旋转单元的动力（围绕反转轴线的动力）输入至某一个旋转轴（驱动侧的旋转轴）。并且，输入至驱动侧的旋转轴的动力，经由与驱动侧的旋转轴相连接的保持构件（驱动侧的保持构件）传递至被驱动侧的保持构件保持的引导件。因此，在通过多个引导件夹持基板的状态下，引导件旋转单元的动力从被驱动侧的保持构件保持的引导件经由基板传递至被其他保持构件（从动侧的保持构件）保持的引导件。由此，引导件旋转单元的动力从驱动侧的保持构件传递至从动侧的保持构件，多个保持构件和多个旋转轴围绕反转轴线旋转。这样，由于引导件旋转单元仅与某一个旋转轴相连接，因此与引导件旋转单元与各旋转轴相连接的结构相比，能够减小基板反转装置的大小。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

上述引导件移动机构可以具有：第一上引导件移动单元，使上述第一上引导件水平移动；第二上引导件移动单元，使上述第二上引导件水平移动；第一下引导件移动单元，使上述第一下引导件水平移动；第二下引导件移动单元，使上述第二下引导件水平移动。

根据该结构，设置有分别与4种引导件（第一上引导件、第一下引导件、第二上引导件以及第一下引导件）对应的4种引导件移动机构（第一上引导件移动单元、第一下引导件移动单元、第二上引导件移动单元以及第一下引导件移动单元）。因此，能够使4种引导件独立于其他种类的引导件地水平移动。

上述引导件移动机构还可以具有：上引导件移动模块，使上述第一上引导件以及上述第二上引导件水平移动；下引导件移动模块，使上述第一下引导件以及上述第二下引导件水平移动。

根据该结构，设置有与两种上引导件（第一上引导件以及第二上引导件）对应的上引导件移动模块和与两种下引导件（第一下引导件以及第二下引导件）对应的下引导件移动模块。因此，与针对每种引导件设置引导件移动机构的结构相比，能够减少引导件移动机构的数量。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

上述第一上引导件、上述第一下引导件、上述第二上引导件以及上述第二下引导件能够围绕上述反转轴线相对于上述引导件移动机构旋转。

根据该结构，由于第一上引导件、第一下引导件、第二上引导件以及第二下引导件，能够围绕反转轴线相对于引导件移动机构旋转，因此在引导件旋转单元使基板进行反转时，可以不使引导件移动机构围绕反转轴线行旋转。因此，能够减小通过引导件旋转单元旋转的旋转体的质量。因此，能够采用输出小的小型单元作为引导件旋转单元。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。

另外，本发明的上述实施方式的基板反转装置还可以具有引导件升降单元，该引导件升降单元使上述第一上引导件及上述第一下引导件与上述第二上引导件及上述第二下引导件，在铅垂方向上向彼此相反的方向移动。

根据该结构，引导件升降单元使第一上引导件及第一下引导件升降。而且，引导件升降单元使第二上引导件及第二下引导件进行升降。引导件升降单元使第一上引导件及第一下引导件与第二上引导件及第二下引导件在铅垂方向上向彼此相反的方向移动。由此，增减第一上引导件及第一下引导件与第二上引导件及第二下引导件间的间隔（铅垂方向上的间隔）。

如后述那样，引导件升降单元通过使各引导件进行升降，在不使基板搬运机械手的两个手部移动的情况下，能够将基板从基板反转装置移动至基板搬运机械手，将基板从基板搬运机械手交给至基板反转装置。由此，能够缩短交接基板所需要的时间。尤其，引导件升降单元在使第一上引导件以及第一下引导件升降的同时使第二上引导件以及第二下引导件升降的情况下，从基板反转装置向基板搬运机械手移动基板的动作和从基板搬运机械手向基板反转装置交接基板的动作同时进行，所以能够进一步缩短交接基板所需要的时间。

本发明的一实施方式的基板处理装置优选具有：具有上述的特征的基板反转装置；基板搬入上述基板反转装置以及从上述基板反转装置搬出基板的基板搬运机械手。

根据该结构，基板搬运机械手将基板搬入基板反转装置。并且，基板搬运机械手将通过基板反转装置反转了的基板从基板反转装置搬出。也就是说，在基板的表面朝上或者朝下的状态，基板搬运机械手都能够搬出基板。

另外，本发明的一个实施方式提供一种基板操作方法，包括：第一夹持工序（A），利用多个第一上引导件以及多个第一下引导件夹持基板；第一反转工序（B），通过使多个上述第一上引导件与多个上述第一下引导件围绕水平延伸的反转轴线进行旋转，来使被上述第一上引导件以及上述第一下引导件夹持的上述基板反转。上述第一夹持工序包括：第一工序（A1），通过使具有朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜的第一下倾斜部的多个第一下引导件水平移动，来使多个上述第一下倾斜部与上述基板的周缘部相接触，第二工序（A2），通过使具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第一上倾斜部的多个第一上引导件水平移动，来在多个上述第一下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第一上倾斜部与上述基板的周缘部相接触。根据该基板操作方法，可以不用在第一上引导件、第一下引导件的上下设置第一上引导件、第一下引导件移动用的空间。

对本发明的上述或者其他目的、特征以及效果，参照附图通过后面的实施方式的说明来明确。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式的基板处理装置的布局的示意性的侧视图。

图2是用于说明本发明的第一实施方式的反转器的内部结构的示意性的主视图。

图3是本发明的第一实施方式的反转器的示意性的俯视图。

图4是从图2所示的箭头IV的方向观察反转器的示意图。

图5是示出第一上引导件以及第一下引导件的一例的主视图。

图6A至图6K是示出反转器使基板反转时的动作的一例的示意图。

图7是用于说明本发明的第二实施方式的反转器的内部结构的示意性的主视图。

图8是从图7所示的箭头VIII的方向观察反转器的示意图。

图9是用于说明本发明的第三实施方式的反转器的内部结构的示意性的主视图。

图10是从图9所示的箭头X的方向观察反转器的示意图。

图11是用于说明本发明的第四实施方式的反转器的结构的示意性的主视图。

图12是从图11所示的箭头XII的方向观察反转器的示意图。

图13A至图13J是示出反转器使基板反转时的动作的一例的示意图。

图14是用于说明本发明的第五实施方式的反转器的结构的示意性的主视图。

图15是用于说明本发明的第五实施方式的反转器的结构的示意性的俯视图。

图16是扩大了图14的局部的图。

具体实施方式

图1是示出本发明的第一实施方式的基板处理装置1的布局的示意性的侧视图。

基板处理装置1是逐张地处理半导体晶片等圆板状的基板W的单张式的基板处理装置。基板处理装置1具有：搬运器保持单元2，保持用于容置基板W的多个搬运器C；处理单元3，用于处理基板W；控制装置4，用于控制基板处理装置1所具有的装置的动作、阀的开闭。而且，基板处理装置1具有：反转器（基板反转装置）5，配置于搬运器保持单元2与处理单元3之间；分度器机械手IR（基板搬运机械手），在搬运器保持单元2与反转器5之间搬运基板W；中央机械手CR（基板搬运机械手），在处理单元3与反转器5之间搬运基板W。反转器5是用于使基板W反转的基板反转装置。

分度器机械手IR配置于搬运器保持单元2与反转器5之间。中央机械手CR配置于处理单元3与反转器5之间。分度器机械手IR及中央机械手CR在水平的搬运方向D1上与反转器5相向。分度器机械手IR进行将基板W搬入搬运器C以及反转器5的搬入动作、从搬运器C以及反转器5搬出基板W的搬出动作。中央机械手CR进行将基板W搬入处理单元3以及反转器5的搬入动作、从处理单元3以及反转器5搬出基板W的搬出动作。

分度器机械手IR具有两个手部H，该两个手部H在相互不同的高度上将基板W支撑为水平。分度器机械手IR使两个手部H相互独立地水平移动。而且，分度器机械手IR使两个手部H进行升降，并使两个手部H围绕铅垂轴线进行旋转。同样地，中央机械手CR具有两个手部H，该两个手部H在相互不同的高度上将基板W支撑为水平。中央机械手CR使两个手部H相互独立地水平移动。而且，中央机械手CR使两个手部H进行升降，并使两个手部H围绕铅垂轴线进行旋转。

在搬运器C上以器件形成面即基板W的表面朝上的状态容置有基板W。控制装置4通过分度器机械手IR将基板W以表面朝上的状态从搬运器C搬运至反转器5。然后，控制装置4通过反转器5使基板W反转。由此，基板W的背面朝上。然后，控制装置4通过中央机械手CR将基板W以背面朝上的状态从反转器5搬运至处理单元3。然后，控制装置4通过处理单元3来对基板W的背面进行处理。

在处理了基板W的背面之后，控制装置4通过中央机械手CR将基板W以背面朝上的状态从处理单元3搬运至反转器5。然后，控制装置4通过反转器5使基板W反转。由此，基板W的表面朝上。然后，控制装置4通过分度器机械手IR将基板W以表面朝上的状态从反转器5搬运至搬运器C。由此，已处理的基板W容置在搬运器C中。控制装置4通过使分度器机械手IR等反复执行上述的一系列动作，来逐张地处理多张基板W。

图2是用于说明反转器5的内部结构的示意性的主视图，即从搬运方向D1观察反转器5的图。图2示出卸下保持箱14的侧壁26的状态。另外，图3是反转器5的示意性的俯视图。图4是从图2所示的箭头IV的方向观察反转器5的示意图。图5是示出第一上引导件7与第一下引导件8的一例的主视图。

如图2所示，反转器5具有：第一装夹机构9，具有两个第一上引导件7以及两个第一下引导件8；第二装夹机构12，具有两个第二上引导件10以及两个第二下引导件11。第一装夹机构9以及第二装夹机构12在相互不同的高度上以水平的姿势夹持基板W。反转器5还具有：多个缸体（引导件移动机构）13，使引导件7、8、10、11水平移动；两个保持箱（保持构件）14，用于保持多个缸体13；两个旋转轴15，分别与两个保持箱14相连接；两个支撑板17，支撑两个旋转轴15，使两个旋转轴15能够围绕水平的反转轴线L1旋转；电动马达（引导件旋转单元）18，使引导件7、8、10、11围绕反转轴线L1进行旋转。

如图2所示，支撑板17被支撑为铅垂的姿势。两个支撑板17在沿着水平的相向方向D2（与搬运方向D1垂直的水平方向）上隔开间隔且相向。两个保持箱14配置于两个支撑板17的内侧（两个支撑板17之间）。第一装夹机构9以及第二装夹机构12配置于两个保持箱14之间。两个旋转轴15分别从两个保持箱14向外侧延伸。旋转轴15通过轴承19被支撑板17支撑。两个旋转轴15在第一装夹机构9和第二装夹机构12之间的高度上沿着相向方向D2延伸。两个旋转轴15配置于水平的同一轴线上。反转轴线L1是穿过两个旋转轴15的水平轴线。电动马达18配置于两个支撑板17的外侧。电动马达18通过安装托架20安装在一个支撑板17上。电动马达18的输出轴通过接头21与一个旋转轴15相连接。通过控制装置4来控制电动马达18。

如图2所示，第一装夹机构9通过从周围夹着基板W，来将基板W保持为水平姿势。同样地，第二装夹机构12通过从周围夹着基板W，来将基板W保持为水平姿势。如图3所示，在俯视时，第一装夹机构9保持基板W的保持位置与第二装夹机构12保持基板W的保持位置重叠。第二装夹机构12只是配置在与第一装夹机构9不同的高度上，具有与第一装夹机构9通用的结构。即，第一上引导件7以及第一下引导件8分别与第二上引导件10以及第二下引导件11相对应。因此，下面主要说明第一装夹机构9。

如图2所示，第一上引导件7以及第一下引导件8以沿着一张基板W的周缘部的方式配置。在相向方向D2上，两个第一上引导件7相向，在相向方向D2上，两个第一下引导件8在第一上引导件7的下方的高度上相向。两个第一上引导件7分别配置于两个第一下引导件8的上方。第一上引导件7以及第一下引导件8具有楔形的正面与背面，上下排列的第一上引导件7以及第一下引导件8形成有朝向基板W的中心打开的V字状的保持槽。基板W的周缘部配置于该保持槽内。这样，第一上引导件7以及第一下引导件8中的一方具有使另一方上下反转的形状。

如图2所示，第一上引导件7在铅垂的基准线L2一侧具有朝向基准线L2向斜上方倾斜的上倾斜部22（第一上倾斜部、第二上倾斜部），其中，基准线L2穿过基板W的中心。第一下引导件8在基准线L2一侧具有朝向基准线L2向斜下方倾斜的下倾斜部23（第一下倾斜部、第二下倾斜部）。如图4所示，当从基板W侧在相向方向D2上观察上倾斜部22与倾斜部23时，上倾斜部22为倒梯形，下倾斜部23为梯形。上倾斜部22朝向下方，下倾斜部23朝向上方。如图2所示，上倾斜部22以及下倾斜部23接触基板W的周缘部。通过各下倾斜部23与基板W的周缘部的点接触，基板W被支撑为水平的姿势。而且，基板W通过多个下倾斜部23的倾斜而被引导，使基板W的中心位于两个第一下引导件8的中间。另外，通过各下倾斜部23和基板W的周缘部的点接触以及各上倾斜部22和基板W的周缘部的点接触，限制基板W在水平方向与铅垂方向上的移动。由此，基板W被夹持。

如图5放大所示，第一上引导件7及第一下引导件8还可以各自具有相向部24，两个相向部24分别从上倾斜部22以及下倾斜部23的外端向上或者向下延伸，并与基板W的周端面相向。在该情况下，因为通过相向部24和基板W的周端面的接触限制基板W在水平方向上的移动，所以基板W的周缘部被夹在第一上引导件7与第一下引导件8之间，从而能够抑制或防止第一上引导件7以及第一下引导件8沿着上下打开的情况。同样地，能够抑制或者防止第二上引导件10以及第二下引导件11上下打开的情况。

如图2以及图4所示，引导件7、8、10、11通过支撑托架25与某一个缸体13相连接。缸体13设置在每个引导件7、8、10、11上。缸体13保持在某一个保持箱14上。因此，引导件7、8、10、11通过支撑托架25及缸体13保持在某一个保持箱14上。保持在通用的保持箱14上的引导件7、8、10、11、支撑托架25以及缸体13，与保持箱14一起围绕反转轴线L1一体地旋转。

当在第一装夹机构9与第二装夹机构12中的至少一方夹持基板W的状态下，电动马达18使一个旋转轴15旋转时，电动马达18的动力经由基板W从一个保持箱14传递至另一个保持箱14。由此，所有的引导件7、8、10、11、保持箱14以及旋转轴15围绕反转轴线L1旋转。因此，当在第一装夹机构9与第二装夹机构12中的至少一方夹持基板W的状态下，电动马达18使一个旋转轴15旋转180度时，被第一装夹机构9与第二装夹机构12中的至少一方夹持的基板W进行反转，表面位置和背面位置被调换。

如图4所示，保持箱14容置有4个缸体13。与第一上引导件7相连接的缸体13为第一上缸体（第一上引导件移动单元）13a，与第一下引导件8相连接的缸体13为第一下缸体（第一下引导件移动单元）13b。另外，与第二上引导件10相连接的缸体13为第二上缸体（第二上引导件移动单元）13c，与第二下引导件11相连接的缸体13为第二下缸体（第二下引导件移动单元）13d。

如图4所示，第一上缸体13a和第一下缸体13b配置于两个侧壁26之间。第一上缸13a和第一下缸13b在将保持箱14的内部隔开的间隔壁27的两侧安装在保持箱14的上壁28上。同样地，第二上缸体13c和第二下缸体13d配置于两个侧壁26之间。第二上缸体13c和第二下缸体13d在间隔壁27的两侧安装在保持箱14的下壁29上。第一上缸体13a以及第一下缸体13b分别配置于第二上缸体13c以及第二下缸体13d的上方。

缸体13使对应的引导件7、8、10、11沿着相向方向D2在引导件7、8、10、11与基板W的周缘部相接触的接触位置（图2与图3所示的位置）和引导件7、8、10、11离开基板W的周缘部的退避位置（例如参照图6A）之间移动。接触位置为引导件7、8、10、11的内端（基准线L2侧一端）配置于基板W的周端面的内侧（基准线L2一侧）的位置。退避位置为引导件7、8、10、11的内端配置于基板W的周端面的外侧的位置。如图2所示，在各支撑托架25上安装有与支撑托架25一起移动的定位块30。另外，在保持箱14上安装有在相向方向D2上与定位块30相向的挡块31。通过定位块30和挡块31的接触，将引导件7、8、10、11高精度地定位在接触位置。

控制装置4通过多个缸体13，使在相向方向D2上相向的两个引导件的间隔与其他引导件的间隔相独立地改变。在第一上引导件7配置在退避位置，且第一下引导件8配置在接触位置的状态（参照图6A）下，控制装置4通过某个手部H将基板W载置在两个第一下引导件8的下倾斜部23上。由此，基板W架在两个第一下引导件8上。另外，在第一上引导件7配置在退避位置，且第一下引导件8配置在接触位置的状态下，控制装置4通过某个手部H，将被两个第一下引导件8支撑的基板W提起（参照图6B）。由此，从两个第一下引导件8接收基板W。而且，在两个第一下引导件8支撑有基板W的状态下，控制装置4使两个第一上引导件7移动至接触位置，从而使各第一上引导件7与基板W的周缘部接触。由此，夹持基板W。在该状态下，控制装置4使电动马达18（电动马达18的输出轴）围绕反转轴线L1旋转180度，从而使基板W反转。

由于反转轴线L1设置在第一装夹机构9和第二装夹机构12之间的高度上，因此当控制装置4使电动马达18旋转180度时，第一装夹机构9和第二装夹机构12的上下关系更换（参照图6E）。而且，第一上引导件7和第一下引导件8的上下关系被调换，第二上引导件10和第二下引导件11的上下关系被调换。即，控制装置4通过电动马达18使引导件7、8、10、11在上倾斜部22以及下倾斜部23朝上的朝上位置与朝下位置之间移动。图2以及图3示出第一上引导件7以及第二上引导件10位于朝下位置，第一下引导件8与第二下引导件11位于朝上位置的状态。

在第一上引导件7移动至朝上位置时，由于上倾斜部22朝向上方，（参照图6E），两个第一上引导件7成为能够通过两个上倾斜部22支撑基板W的姿势。在两个第一上引导件7位于朝上位置的状态下，与在上述的两个第一下引导件8和手部H之间交接基板W同样地，控制装置4将基板W搬入两个第一上引导件7，或者从两个第一上引导件7搬出基板W。同样地，在两个第二上引导件10位于朝上位置的状态下，控制装置4通过分度器机械手IR或者中央机械手CR，将基板W搬入两个第二上引导件10，或者从两个第二上引导件10搬出基板W。

图6A至图6K是示出反转器5使基板W反转时的动作的一例的示意图。下面对如下时的动作的一例进行说明，即，在从第一装夹机构9搬出已处理的基板W，并将未处理的基板W搬入至第二装夹机构12之后，使被第二装夹机构12保持的基板W反转（图6A至6E）。而且，对如下时的动作进行说明，即，通过中央机械手CR搬出未处理的基板W，将其他已处理的基板W搬入至第一装夹机构9，并且该已处理的基板W反转（图6F至6K）。

图6A示出了第一上引导件7以及第二上引导件10配置于朝下位置，第一下引导件8以及第二下引导件11配置于朝上位置的状态。而且，图6A示出了第一上引导件7、第二上引导件10以及第二下引导件11配置于退避位置，第一下引导件8配置于接触位置的状态。已处理的基板W被两个第一下引导件8支撑。在该状态下，控制装置4使分度器机械手IR的上侧的手部H水平移动，使上侧的手部H进入到被两个第一下引导件8支撑的基板W的下方。而且，控制装置4使支撑有未处理的基板W的分度器机械手IR的下侧的手部H水平移动，使下侧的手部H进入到第二下引导件11的下方。

接着，如图6A所示，在上侧的手部H位于被两个第一下引导件8支撑的基板W的下方的状态下，控制装置4使两个手部H上升。由此，如图6B所示，上侧的手部H来接收被两个第一下引导件8支撑的基板W。另外，此时因为第二上引导件10以及第二下引导件11配置于退避位置，如图6A所示，被下侧的手部H保持的基板W在两个第二上引导件10之间以及两个第二下引导件11之间经过，移动至两个第二下引导件11的上方。

接着，如图6B所示，在被下侧的手部H保持的基板W位于第一下引导件8与第二下引导件11之间的高度的状态下，控制装置4使两个第一下引导件8移动至退避位置，使两个第二下引导件11移动至接触位置。由此，仅有第二下引导件11配置于接触位置。如图6C所示，在该状态下，控制装置4使两个手部H下降，直到下侧的手部H移动至第二下引导件11的下方为止。由此，如图6C所示，被下侧的手部H保持的基板W载置在两个第二下引导件11上，将未处理的基板W交至第二装夹机构12。另外，由于第一上引导件7以及第一下引导件8配置于退避位置，因此被上侧的手部H保持的基板W在两个第一上引导件7之间以及两个第一下引导件8之间经过。在未处理的基板W交至第二装夹机构12之后，控制装置4使分度器机械手IR的两个手部H水平移动，来从反转器5退出。这样，已处理的基板W从第一装夹机构9搬出，未处理的基板W搬入第二装夹机构12。

接着，如图6D所示，在基板W被两个第二下引导件11支撑的状态下，控制装置4使两个第二上引导件10移动至接触位置。由此，各第二上引导件10与基板W的周缘部相接触，基板W被第二装夹机构12保持。如图6E所示，在基板W被第二装夹机构12保持的状下，控制装置4使所有的引导件7、8、10、11围绕反转轴线L1旋转180度。由此，第一装夹机构9和第二装夹机构12的上下关系被调换，并且被第二装夹机构12保持着的基板W反转。而且，第一上引导件7以及第二上引导件10移动至朝上位置，并且第一下引导件8以及第二下引导件11移动至朝下位置。

在基板W反转了之后，如图6F所示，控制装置4使第二下引导件11移动至退避位置。然后，控制装置4使中央机械手CR的手部H进入到被位于朝上位置的第二上引导件10支撑着的基板W的下方。如图6G所示，控制装置4通过使上述的两个手部H上升，从两个第二上引导件10将基板W提起并搬出。然后，从两个第二上引导件10搬出的未处理的基板W，通过中央机械手CR搬入至处理单元3，并通过处理单元3处理。

通过处理单元3的处理结束了的已处理的基板W，通过中央机械手CR搬出。如图6H所示，控制装置4使第一下引导件8、第二上引导件10以及第二下引导件11配置于退避位置，使第一上引导件7配置于接触位置。在该状态下，控制装置4使保持有已处理的基板W的中央机械手CR的手部H进入到第一上引导件7的基板保持高度的上方。

接着，如图6I所示，控制装置4使中央机械手CR的手部H下降。在该过程中，将已处理的基板W从手部H交至第一上引导件7。然后，控制装置4使中央机械手CR的手部H从基板W的下方的空间退避。

接着，如图6J所示，控制装置4使第一下引导件8移动至接触位置。由此，成为由第一装夹机构9保持有已处理的基板W的状态。

然后，如图6K所示，在基板W被第一装夹机构9保持的状态下，控制装置4使所有的引导件7、8、10、11围绕反转轴线L1旋转180度。由此，第一装夹机构9和第二装夹机构12的上下关系被调换，并且被第一装夹机构9保持的基板W反转。而且，第一上引导件7以及第二上引导件10移动至朝下位置，并且第一下引导件8以及第二下引导件11移动至朝上位置。

然后，如图6A所示，控制装置4控制分度器机械手IR，从第一装夹机构9搬出已处理基板W，或者将未处理的基板W搬入至第二装夹机构12。

在上面那样的第一实施方式中，通过反转器5使引导件7、8、10、11水平地移动，来夹持基板W。因此，可以不在引导件7、8、10、11的上下设置用于使引导件7、8、10、11移动的空间。因此，与使引导件上下移动来夹持的结构相比，能够降低反转器5的高度。由此，能够抑制或者防止反转器5的大型化。因此，能够抑制或者防止基板处理装置1的大型化。

而且，由于可以不在引导件7、8、10、11的上下设置用于引导件7、8、10、11移动的空间，因此能够缩短第一装夹机构9和第二装夹机构12的间隔（铅垂方向上的间隔）。因此，能够使第一装夹机构9和第二装夹机构12的间隔与上下排列的两个手部H的间距（铅垂方向上的间隔）一致。因此，能够同时从两个手部H将两张基板W搬入两个装夹机构9、12，或者同时从两个装夹机构9、12搬出两张基板W。由此，能够缩短在基板搬运机械手IR、CR和反转器5之间交接基板W所需的时间。

此外，在上述的动作例中，示出按照顺序在中央机械手CR和反转器5之间交接未处理基板W以及已处理基板W的例子，但也可以通过与分度器机械手IR和反转器5之间交接基板W的动作同样的动作，同时交接未处理基板W以及已处理基板W。

“第二实施方式”

图7是用于说明本发明的第二实施方式的反转器205的内部结构的示意性的主视图。图8是从图7所示的箭头VIII的方向观察反转器205的示意图。在图7与图8中，对与上述的图1至图6所示的各部等同的结构部分，标注与图1等相同的附图标记并省略说明。

本第二实施方式和上述的第一实施方式的主要不同点在于，由共用的缸体驱动多个引导件。

具体地说，反转器（基板反转装置）205具有多个（例如为4个）支撑托架225，来代替第一实施方式的支撑托架25。支撑托架225具有沿着铅垂方向隔着间隔配置的两个引导件支撑部232和与两个引导件支撑部232相连接的连接部233。第一上引导件7以及第二上引导件10分别安装在共用的支撑托架225的两个引导件支撑部232上。同样地，第一下引导件8以及第二下引导件11分别安装在共用的支撑托架225的两个引导件支撑部232上。连接部233与缸体（引导件移动机构）213相连接。因此，第一上引导件7以及第二上引导件10通过共用的支撑托架225与缸体213相连接，第一下引导件8以及第二下引导件11通过共用的支撑托架225与缸体213相连接。与第一上引导件7以及第二上引导件10相连接的缸体213为上缸体（上引导件移动模块）213a，与第一下引导件8以及第二下引导件11相连接的缸体213为下缸体（下引导件移动模块）213b。

缸体213安装在保持箱14上。在保持箱14上安装有两个缸体213。缸体213通过使支撑托架225沿着相向方向D2移动，来使与该支撑托架225相连接的两个引导件（例如为第一上引导件7以及第二上引导件10）同时移动。由此，第一上引导件7以及第二上引导件10一起沿着相向方向D2移动，第一下引导件8屠户第二下引导件11一起沿着相向方向D2移动。

在上面那样的第二实施方式中，上缸体213a使第一上引导件7以及第二上引导件10沿着相向方向D2移动，下缸体213b使第一下引导件8以及第二下引导件11沿着相向方向D2移动。即，一个缸体213使多个引导件沿着相向方向D2移动。因此，与第一实施方式那样针对引导件7、8、10、11各自设置有缸体13的结构相比，能够减少缸体213的数量。由此，能够抑制或者防止反转器205的大型化。

“第三实施方式”

图9是用于说明本发明的第三实施方式的反转器305的内部结构的示意性的主视图。图10是从图9所示的箭头X的方向观察反转器305的示意图。在图9与图10中，对与上述的图1至图8所示的各部等同的结构部分，标注与图1等相同的附图标记并省略说明。

本第三实施方式与上述的第一实施方式的主要的不同点在于，缸体不是被保持箱保持，引导件及保持箱与缸体围绕反转轴线相对旋转。

具体地说，反转器（基板反转装置）305具有针对引导件7、8、10、11分别设置的多个缸体（引导件移动机构）313。缸体313配置于保持箱14的外部，固定在支撑板17上。缸体313具有固定在支撑板17上的主体334和相对于主体334沿着相向方向D2移动的臂部335。主体334配置于保持箱14围绕反转轴线L1旋转时经过的空间的周围。臂部335配置于保持箱14以及支撑托架25围绕反转轴线L1旋转时经过的空间的周围。臂部335的前端部335a在相向方向D2上与安装在支撑托架25上的动力传递块336相向。臂部335的前端部335a配置于动力传递块336的内侧（基准线L2一侧）。缸体313通过使臂部335向外侧移动，使臂部335的前端部335a与动力传递块336相接触。由此，缸体313的动力经由动力传递块336传送到支撑托架25上。

支撑托架25通过安装在支撑托架25上的滑块337和安装在保持箱14上的直线导轨338被保持箱14保持。直线导轨338沿着相向方向D2延伸。滑块337沿着直线导轨338滑动。因此，支撑托架25以能够沿着相向方向D2移动的方式被保持箱14保持。

如图9所示，反转器305还具有配置在保持箱14内的多个弹性构件（例如压缩弹簧）339。弹性构件339安装在支撑托架25以及保持箱14上，向内侧（朝向基准线L2的方向）对支撑托架25施力。定位块30借助弹性构件339的复原力按压挡块31。由此，引导件7、8、10、11被保持在接触位置。

当缸体313使臂部335向外侧移动来向外侧推支撑托架25时，弹性构件339进行弹性变形，引导件7、8、10、11移动至退避位置。另外，在引导件7、8、10、11位于退避位置的状态下，当缸体313使臂部335向内侧移动时，借助弹性构件339的复原力，支撑托架25向内侧移动，引导件7、8、10、11返回接触位置。这样，引导件7、8、10、11在接触位置和退避位置之间移动。

如图10所示，在保持箱14的上方配置有两个缸体313。另外，在保持箱14的下方配置有两个缸体313。上侧的两个缸体313分别配置于下侧的两个缸体313的上方。若将图10的右上的缸体313、右下的缸体313、左上的缸体313以及左下的缸体313分别定义为右上固定缸体313、右下固定缸体313、左上固定缸体313以及左下固定缸体313，则例如在第一上引导件7位于第二上引导件10的上方的状态（图10所示的状态）下，由右上固定缸体313驱动第一上引导件7，由右下固定缸体313驱动第二上引导件10。另外，由左上固定缸体313驱动第一下引导件8，由左下固定缸体313驱动第二下引导件11。

另一方面，当电动马达18使保持箱14围绕反转轴线L1旋转180度时，第二上引导件10移动至第一上引导件7的上方。并且，与第一上引导件7对应的动力传递块336从与右上固定缸体313的臂部335的前端部335a相向的位置移动至与左下固定缸体313的臂部335的前端部335a相向的位置。而且，与第二上引导件10对应的动力传递块336从与右下固定缸体313的臂部335的前端部335a相向的位置移动至与左上固定缸体313的臂部335的前端部335a相向的位置。因此，在保持箱14旋转了180度之后，由左上固定缸体313驱动第二上引导件10，由左下固定缸体313驱动第一上引导件7。而且，在保持箱14旋转了180度之后，由右上固定缸体313驱动第二下引导件11，由右下固定缸体313驱动第一下引导件8。

并且，当电动马达18使保持箱14再旋转180度时，第一上引导件7以及第二上引导件10的上下关系再次被调换，由右上固定缸体313驱动第一上引导件7，由右下固定缸体313驱动第二上引导件10。同样地，由左上固定缸体313驱动第一下引导件8，由左下固定缸体313驱动第二下引导件11。这样，由于缸体313和保持箱14围绕反转轴线L1相对旋转，因此当电动马达18使保持箱14围绕反转轴线L1旋转时，每旋转180度，用于驱动引导件7、8、10、11的缸313发生调换。

在上面那样的第三实施方式中，由于缸体313能够围绕反转轴线L1相对于引导件7、8、10、11旋转，因此在使基板W反转时，电动马达18可以不使缸体313围绕反转轴线L1进行旋转。因此，能够减轻通过电动马达18旋转的旋转体的质量。因此，能够采用输出小的小型马达作为电动马达18。由此，能够抑制或者防止反转器305的大型化。

“第四实施方式”

图11是用于说明本发明的第四实施方式的反转器405的结构的示意性的主视图。图12是从图11所示的箭头XII的方向观察反转器405的示意图。在下面的图11、图12以及图13A至图13D中，对与上述的图1至图10所示的各部等同的结构部分，标注与图1等相同的附图标记并省略说明。

本第四实施方式和上述的第一实施方式的主要的不同点在于，设置有引导件升降单元，该引导件升降单元使第一装夹机构及第二装夹机构升降来改变第一装夹机构与第二装夹机构的间隔。

具体地说，反转器（基板反转装置）405具有4个保持箱14。如图11所示，4个保持箱14配置于两个支撑板17之间。两个保持箱14配置于一个支撑板17一侧，剩下的两个保持箱14配置于另一个支撑板17一侧。配置于一个支撑板17一侧的两个保持箱14上下排列，配置于另一个支撑板17一侧的两个保持箱14上下排列。在相向方向D2上，配置在一个支撑板17一侧的两个保持箱14分别与配置在另一个支撑板17一侧的两个保持箱14相向。

上侧的两个保持箱14与第一装夹机构9相对应，通过支撑托架25保持第一上引导件7以及第一下引导件8。同样地，下侧的两个保持箱14与第二装夹机构12相对应，通过支撑托架25保持第二上引导件10以及第二下引导件11。因此，各保持箱14分别保持有两个引导件（引导件7、8或者引导件10、11）。虽然未图示，但是在各保持箱14中容置有分别与两个引导件相连接的两个缸体13（参照图2）。

如图11所示，反转器405还具有两个保持板440，该两个保持板440保持上下排列的两个保持箱14，并且两个保持箱14能够升降。两个保持板440在两个支撑板17之间在相向方向D2上相向。4个保持箱14配置于两个保持板440之间。保持箱14通过安装在保持箱14上的滑块441和安装在保持板440上的直线导轨442被保持板440保持。直线导轨442沿着铅垂方向延伸。因此，保持箱14以能够沿着铅垂方向移动的方式被保持板440保持。另外，两个旋转轴15分别与两个保持板440相连接。两个旋转轴15分别从两个保持板440向外侧延伸。

反转器405还具有两个引导件升降单元（引导件升降单元）443，该两个引导件升降单元443使保持在共用的保持板440上的两个保持箱14升降，来改变两个保持箱14的间隔。如图12所示，引导件升降单元443具有与上侧的保持箱14相连接的上齿条444、与下侧的保持箱14相连接的下齿条445、与上齿条444和下齿条445咬合的小齿轮446、与上齿条444和下齿条445中的一方相连接的升降驱动装置447。如图11所示，上齿条444以及下齿条445配置于保持箱14和保持板440之间。上齿条444以及下齿条445沿着铅垂方向延伸。因此，上齿条444以及下齿条445平行配置。如图12所示，上齿条444从上侧的保持箱14向下方延伸，下齿条445从下侧的保持箱14向上方延伸。上齿条444的齿部与下齿条445的齿部在水平方向（搬运方向D1）上隔开间隔且相向。小齿轮446配置于上齿条444的齿部与下齿条445的齿部之间。小齿轮446以能够围绕反转轴线L1旋转的方式被保持板440保持。

如图12所示，升降驱动装置447被保持板440保持。升降驱动装置447可以是气缸等被空气压力驱动的空压式驱动装置，也可以是由磁力驱动的电磁驱动装置。升降驱动装置447具有固定在保持板440上的主体448和相对于主体448升降的臂部449。臂部449例如与下齿条445的下端部相连接。当控制装置4通过升降驱动装置447使下齿条445上升时，升降驱动装置447的动力经由下齿条445以及小齿轮446传递至上齿条444，上齿条444下降。另一方面，当控制装置4通过升降驱动装置447使下齿条445下降时，上齿条444上升。因此，当控制装置4通过升降驱动装置447使下齿条445升降，上齿条444以及下齿条445向相互相反的方向移动，从而改变上下排列的两个保持箱14的间隔。因此，引导件升降单元443能够增减第一装夹机构9和第二装夹机构12的间隔（铅垂方向上的间隔）。

图13A至图13J是示出反转器405使基板W反转时的动作的一例的示意图。下面，对如下时的动作的一例进行说明，即，在从第一装夹机构9搬出将已处理的基板W并将未处理的基板W搬入第二装夹机构12之后，使被第二装夹机构12保持的基板W反转（图13A至13D）。进而，对如下时的动作的一例进行说明，即，通过中央机械手CR搬出未处理的基板W，其他的已处理的基板W搬入第一装夹机构9，然后使该已处理的基板W反转（图13E至图13J）。

图13A示出了第一上引导件7以及第二上引导件10配置于朝下位置，第一下引导件8以及第二下引导件11配置于朝上位置的状态。而且，图13A示出了第一上引导件7以及第二上引导件10配置于退避位置，第一下引导件8以及第二下引导件11配置于接触位置的状态。已处理的基板W被两个第一下引导件8支撑。在该状态下，控制装置4使分度器机械手IR的上侧的手部H水平移动，使上侧的手部H进入到被两个第一下引导件8支撑的基板W的下方。进而，控制装置4使支撑着未处理的基板W的分度器机械手IR的下侧的手部H水地移动，使下侧的手部H进入到反转器405来使基板W的周缘部位于第二下引导件11的上方。

接着，如图13A所示，控制装置4通过控制引导件升降单元443来使第一装夹机构9下降，并使第二装夹机构12上升。由此，缩小第一装夹机构9和第二装夹机构12的间隔。因此，如图13B所示，被两个第一下引导件8支撑的基板W被上侧的手部H接收。而且，如图13B所示，被下侧的手部H支撑的基板W被两个第二下引导件11接收。在未处理的基板W交至第二装夹机构12之后，控制装置4使分度器机械手IR的两个手部H水平移动，来从反转器405退避。这样，从第一装夹机构9搬出已处理的基板W，并将未处理的基板W搬入第二装夹机构12。

接着，如图13C所示，在基板W被两个第二下引导件11支撑的状态下，控制装置4使两个第二上引导件10移动至接触位置。由此，各第二上引导件10与基板W的周缘部接触，基板W被第二装夹机构12保持。如图13D所示，在基板W被第二装夹机构12保持的状态下，控制装置4使所有引导件7、8、10、11围绕反转轴线L1旋转180度。由此，第一装夹机构9和第二装夹机构12的上下关系被调换，并且被第二装夹机构12保持的基板W进行反转。而且，第一上引导件7以及第二上引导件10移动至朝上位置，并且第一下引导件8以及第二下引导件11移动至朝下位置。

如图13E所示，在基板W反转了之后，控制装置4使两个第二下引导件11移动至退避位置。然后，控制装置4使中央机械手CR的手部H进入到被位于朝上位置的第二上引导件10支撑的基板W的下方。如图13F所示，控制装置4通过使中央机械手CR的手部H上升，来将基板W从两个第二上引导件10提起并搬出。然后，从两个第二上引导件10搬出的未处理的基板W通过中央机械手CR搬入处理单元3，并通过处理单元3进行处理。

通过处理单元3的处理结束了的已处理的基板W，通过中央机械手CR搬出。如图13G所示，控制装置4使第一下引导件8、第二上引导件10以及第二下引导件11配置于退避位置，使第一上引导件7配置于接触位置。在该状态下，控制装置4使保持有已处理的基板W的中央机械手CR的手部H进入到第一上引导件7的基板保持高度的上方。

接着，如图13H所示，控制装置4使中央机械手CR的手部H下降。在该过程中，已处理的基板W从手部H交至第一上引导件7。然后，控制装置4使中央机械手CR的手部H从基板W的下方的空间退避。

接着，如图13I所示，控制装置4使第一下引导件8移动至接触位置。由此，成为由第一装夹机构9保持已处理的基板W的状态。

然后，如图13J所示，在基板W被第一装夹机构9保持着的状态下，控制装置4使所有的引导件7、8、10、11围绕反转轴线L1旋转180度。由此，第一装夹机构9和第二装夹机构12的上下关系被调换，并且被第一装夹机构9保持的基板W反转。而且，第一上引导件7以及第二上引导件10移动至朝下位置，并且第一下引导件8以及第二下引导件11移动至朝上位置。

然后，控制装置4通过控制引导件升降单元443，使第一装夹机构9上升，并使第二装夹机构12下降。由此，第一装夹机构9和第二装夹机构12间的间隔变大。然后，如图13A所示，控制装置4控制分度器机械手IR，从第一装夹机构9搬出已处理基板W，并将未处理基板W搬入至第二装夹机构12。

在上面那样的第四实施方式中，引导件升降单元443使第一上引导件7以及第一下引导件8升降。与此同时，引导件升降单元443使第二上引导件10以及第二下引导件11升降。引导件升降单元443使第一装夹机构9和第二装夹机构12在铅垂方向上向彼此相反的方向移动。由此，增减第一装夹机构9和第二装夹机构12的间隔（铅垂方向上的间隔）。因此，引导件升降单元443能够不使两个手部H移动，而从反转器405将基板W移动至一方的手部H，同时从另一方的手部H将基板W移动至反转器405。因此，能够缩短基板搬运机械手IR、CR和反转器405之间交接基板W所需要的时间。

此外，在上述的动作例中，示出按照顺序在中央机械手CR和反转器5之间交接未处理基板W以及已处理基板W的例子，但也可以通过与分度器机械手IR和反转器5之间交接基板W的动作同样的动作，来同时交接未处理基板W以及已处理基板W。

“第五实施方式”

图14是用于说明本发明的第五实施方式的反转器505的结构的示意性的主视图。图15是用于说明本发明的第五实施方式的反转器505的结构的示意性的俯视图。图16是图14的局部放大图。在图14至图16中，对与上述的图1至图13D所示的各部等同的结构部分，标注与图1等相同的附图标记并省略说明。

本第五实施方式和上述的第一实施方式的主要的不同点在于，第一装夹机构以及第二装夹机构的结构不同。即，在第一实施方式中，通过块状的引导件来构成第一装夹机构与第二装夹机构，而在第五实施方式中，由圆柱状的引导件构成第一装夹机构以及第二装夹机构。

具体地说，反转器（基板反转装置）505具有第一装夹机构509以及第二装夹机构512，来代替第一实施方式的第一装夹机构9以及第二装夹机构12。第一装夹机构509以及第二装夹机构512配置于两个保持箱14之间。如图14所示，第一装夹机构509配置于第二装夹机构512的上方。如图15所示，第一装夹机构509具有4个第一上引导件507和4个第一下引导件508。同样地，第二装夹机构512具有4个第二上引导件510和4个第二下引导件511。与第一实施方式同样，第二装夹机构512只是配置在与第一装夹机构509不同的高度上，与第一装夹机构509具有共用的结构。因此，在下面主要说明第一装夹机构509。

如图14所示，第一上引导件507及第一下引导件508以沿着一张基板W的周缘部的方式配置。4个第一上引导件507配置于相同高度。4个第一下引导件508在第一上引导件507的下方配置于相同高度。如图15所示，两个第一上引导件507配置于一个支撑板17一侧，剩下的两个第一上引导件507配置于另一个支撑板17一侧。同样地，两个第一下引导件508配置于一个支撑板17一侧，剩下的两个第一下引导件508配置于另一个支撑板17一侧。

如图15所示，配置在一个支撑板17一侧的第一上引导件507，与配置在另一个支撑板17一侧的第一上引导件507在经过基板W的中心的水平的方向上相向。同样地，配置在一个支撑板17一侧的第一下引导件508，与配置在另一个支撑板17一侧的第一下引导件508在经过基板W的中心的水平的方向上相向。第一上引导件507以及第一下引导件508沿着基板W的周向交替配置。

如图16所示，第一上引导件507以及第一下引导件508为圆柱状，以铅垂的姿势配置。第一上引导件507以及第一下引导件508中的一方具有使另一方上下反转的形状。第一上引导件507具有沿着铅垂方向延伸的上圆柱部550和从上圆柱部550的下端向下方延伸的上圆锥部551。第一下引导件508具有沿着铅垂方向延伸的下圆柱部552和从下圆柱部552的上端向上方延伸的下圆锥部553。上圆柱部550配置于下圆柱部552的上方。上圆锥部551以及下圆锥部553配置于上圆柱部550和下圆柱部552之间的高度上。若从水平的方向（搬运方向D1）观察，上圆锥部551与下圆锥部553局部重叠。通过上圆锥部551及下圆锥部553和基板W的点接触，来将基板W夹持为水平的姿势。

具体地说，如图16所示，上圆锥部551在基准线L2一侧具有朝向基准线L2向斜上方倾斜的上倾斜部（第一上倾斜部、第二上倾斜部）522。下圆锥部553在基准线L2一侧具有朝向基准线L2向斜下方倾斜的下倾斜部（第一下倾斜部、第二下倾斜部）523。上倾斜部522朝向下方，下倾斜部523朝向上方。上倾斜部522及下倾斜部523与基板W的周缘部相接触。通过各下倾斜部523和基板W的周缘部的点接触，来以水平的姿势支撑基板W。而且，通过多个下倾斜部523的倾斜引导基板W，使基板W的中心位于两个第一下引导件508的中间。而且，通过各下倾斜部523和基板W的周缘部的点接触、各上倾斜部522和基板W的周缘部的点接触，基板W在水平方向以及铅垂方向上的移动被限制。

如图15所示，两个第一上引导件507与共用的支撑托架525相连接。同样地，两个第一下引导件508与共用的支撑托架525相连接。支撑两个第一上引导件507的支撑托架525和支撑两个第一下引导件508的支撑托架525配置于不同高度。支撑托架525与容置在保持箱14内的缸体13相连接。缸体13通过使对应的支撑托架525移动，来使对应的引导件507、508、510、511沿着相向方向D2在接触位置和退避位置之间移动，其中接触位置为引导件507、508、510、511与基板W的周缘部相接触的位置，退避位置为引导件507、508、510、511从基板W的周缘部分离的位置。

在上面那样的第五实施方式中，与第一实施方式同样地，反转器505通过使引导件507、508、510、511水平移动来夹持基板W。因此，与使引导件上下移动来进行夹持的结构相比，能够降低反转器505的高度。由此，能够抑制或者防止反转器505的大型化。因此，能够抑制或者防止基板处理装置1的大型化。

上面说明了本发明的实施方式，但本发明并不限于上述的第一至第五实施方式的内容，能够在权利要求所述的范围内进行种种变更。例如，在上述的第一实施方式中，对由空气压驱动的缸体（气缸）13使引导件沿着相向方向D2移动的情况进行了说明。但是，使引导件沿着相向方向D2移动的线性驱动装置并不限于缸体13，也可以采用电磁驱动装置等其它形式的驱动装置。

另外，在上述的第一实施方式中，对由电力驱动的电动马达18使引导件围绕反转轴线L1旋转的情况进行了说明。但是，使引导件围绕反转轴线L1进行旋转的旋转驱动装置也可以采用空压驱动装置等其它形式的驱动装置。

另外，在上述的第一实施方式中，对电动马达18的输出轴通过接头21与旋转轴15相连接来使电动马达18的动力经由接头21传送至旋转轴15的情况进行了说明。但是，也可以通过带传递单元连接电动马达18的输出轴和旋转轴15，来将电动马达18的动力经由带传递单元传送至旋转轴15。在该情况下，带传递单元可以具有：与电动马达18的输出轴相连接的驱动带轮；与旋转轴15相连接的从动带轮；卷绕在驱动带轮和从动带轮上的环状带。

另外，在上述的第一实施方式中，对第一上引导件7配置于第一下引导件8的上方，俯视时第一上引导件7与第一下引导件8重叠的情况进行了说明。但是，第一上引导件7与第一下引导件8也可以配置成俯视时不重叠。第二上引导件10与第二下引导件11也同样。

另外，在上述的第一实施方式中，对第一上引导件7以及第一下引导件8中的一方具有使另一方上下反转的形状的情况进行了说明。但是，也可以使第一上引导件7的形状和使第一下引导件8上下反转的形状不同。第二上引导件10以及第二下引导件11也同样。

另外，在上述的第一实施方式中，对第二上引导件10具有与第一上引导件7共用的形状，第二下引导件11具有与第一下引导件8共用的形状的情况进行了说明。但是，第二上引导件10也可以是与第一上引导件7不同的形状。同样地，第二下引导件11也可以是与第一下引导件8不同的形状。

另外，在上述的第一实施方式中，对分度器机械手IR搬出被反转器5保持的一张基板W并且将一张基板W搬入反转器5时的动作例进行了说明。但是，分度器机械手IR可以将两张基板W分别搬入第一装夹机构9以及第二装夹机构12，可以搬出分别被第一装夹机构9与第二装夹机构12保持的两张基板W。在该情况下，搬入两张基板W可以同时进行，也可以在不同时机进行。同样地，搬出两张基板W可以同时进行，也可以在不同时机进行。中央机械手CR和反转器5之间基板W的交接也同样。在向反转器5搬入两张基板W的情况下，分别被第一装夹机构9以及第二装夹机构12保持的两张基板W同时反转。

另外，在上述的第一实施方式中，对反转轴线L1设置在第一装夹机构9和第二装夹机构12之间的高度上的情况进行了说明。但是，可以将反转轴线L1设置在第一装夹机构9以及第二装夹机构12的上方或者下方的高度上，也可以设置在与第一装夹机构9或者第二装夹机构12相同的高度上。

另外，在上述的第一实施方式中，对基板处理装置1为处理圆板状的基板的装置的情况进行了说明。但是，基板处理装置1也可以是处理液晶显示装置用基板等多角形的基板的装置。

对本发明的实施方式进行了详细的说明，这些仅是为了明确本发明的技术内容而采用的具体例，不应该认为本发明限于并解释为上述的具体例，本发明的范围仅由权利要求书来限定。

本申请与2011年8月26日向日本特许厅提出的专利申请2011-184881号相对应，该申请的全部公开内容通过引用编入到此。

Claims (19)

1.一种基板反转装置，其特征在于，具有：

多个第一下引导件，分别具有朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜的第一下倾斜部，通过使多个上述第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，来将上述基板支撑为水平的姿势，

多个第一上引导件，分别具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第一上倾斜部，通过在多个上述第一下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第一上倾斜部与上述基板的周缘部相接触，来使多个上述第一上引导件借助与多个上述第一下引导件的协同动作来夹持上述基板，

引导件移动机构，使多个上述第一上引导件水平移动，并使多个上述第一下引导件水平移动，

引导件旋转单元，通过使多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件围绕水平延伸的反转轴线进行旋转，来使被多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件夹持的基板反转。

2.根据权利要求1所述的基板反转装置，其特征在于，还具有多个保持构件，多个上述保持构件分别保持上述第一上引导件以及上述第一下引导件，并且多个上述保持构件借助上述引导件旋转单元围绕上述反转轴线进行旋转。

3.根据权利要求2所述的基板反转装置，其特征在于，

还具有多个旋转轴，多个上述旋转轴分别与多个上述保持构件相连接，并且多个上述旋转轴能够围绕上述反转轴线进行旋转，

上述引导件旋转单元与多个上述旋转轴中的某一个相连接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板反转装置，其特征在于，多个上述第一上引导件分别配置于多个上述第一下引导件的上方。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板反转装置，其特征在于，

还具有：

多个第二下引导件，分别具有朝向上述基准线向斜下方倾斜的第二下倾斜部，通过使多个上述第二下倾斜部，与配置在与被多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件夹持的基板不同的高度上的基板的周缘部相接触，来将上述基板支撑为水平的姿势，

多个第二上引导件，分别具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第二上倾斜部，通过在多个上述第二下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第二上倾斜部与上述基板的周缘部相接触，来使多个上述第二上引导件借助与多个上述第二下引导件的协同动作来夹持上述基板；

上述引导件移动机构使多个上述第二上引导件水平移动，并使多个上述第二下引导件水平移动，

上述引导件旋转单元，通过使多个上述第二上引导件以及多个上述第二下引导件围绕上述反转轴线旋转，来使被多个上述第二上引导件以及多个上述第二下引导件夹持的基板反转。

6.根据权利要求5所述的基板反转装置，其特征在于，还具有多个保持构件，多个上述保持构件分别保持上述第一上引导件、上述第一下引导件、上述第二上引导件以及上述第二下引导件，并且多个上述保持构件借助上述引导件旋转单元围绕上述反转轴线进行旋转。

7.根据权利要求6所述的基板反转装置，其特征在于，

还具有多个旋转轴，多个上述旋转轴分别与多个上述保持构件相连接，并且多个上述旋转轴能够围绕上述反转轴线进行旋转，

上述引导件旋转单元与多个上述旋转轴中的某一个相连接。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的基板反转装置，其特征在于，上述引导件移动机构具有：

第一上引导件移动单元，使上述第一上引导件水平移动，

第二上引导件移动单元，使上述第二上引导件水平移动，

第一下引导件移动单元，使上述第一下引导件水平移动，

第二下引导件移动单元，使上述第二下引导件水平移动。

9.根据权利要求5至7中任一项所述的基板反转装置，其特征在于，上述引导件移动机构具有：

上引导件移动模块，使上述第一上引导件以及上述第二上引导件水平移动，

下引导件移动模块，使上述第一下引导件以及上述第二下引导件水平移动。

10.根据权利要求5至7中任一项所述的基板反转装置，其特征在于，上述第一上引导件、上述第一下引导件、上述第二上引导件以及上述第二下引导件能够围绕上述反转轴线相对于上述引导件移动机构进行旋转。

11.根据权利要求5至8中任一项所述的基板反转装置，其特征在于，

还具有引导件升降单元，该引导件升降单元使上述第一上引导件及上述第一下引导件与上述第二上引导件及上述第二下引导件，在铅垂方向上向彼此相反的方向移动。

12.一种基板处理装置，其特征在于，具有：

权利要求1至11中任一项所述的基板反转装置；

将基板搬入上述基板反转装置以及从上述基板反转装置搬出基板的基板搬运机械手。

13.一种基板操作方法，其特征在于，

包括：

第一夹持工序（A），利用多个第一上引导件以及多个第一下引导件夹持基板，上述第一上引导件具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第一上倾斜部，上述第一下引导件具有朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜的第一下倾斜部，

第一反转工序（B），通过使多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件围绕水平延伸的反转轴线进行旋转，来使被上述第一上引导件以及上述第一下引导件夹持的上述基板反转；

其中，上述第一夹持工序（A）包括：

第一工序（A1），通过使多个上述第一下引导件水平移动，来使多个上述第一下倾斜部与上述基板的周缘部相接触，

第二工序（A2），通过使多个上述第一上引导件水平移动，来在多个上述第一下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第一上倾斜部与上述基板的周缘部相接触。

14.根据权利要求13所述的基板操作方法，其特征在于，

还包括第一交接工序，在该第一交接工序中，通过使保持并搬运基板的手部相对于上述第一上引导件及上述第一下引导件进行上下运动，来在上述手部与上述第一上引导件及上述第一下引导件之间交接基板。

15.根据权利要求14所述的基板操作方法，其特征在于，

上述第一交接工序包括如下工序：

使上述第一上引导件从接触位置移动至退避位置的工序，该接触位置是上述第一上倾斜部与基板相接触的位置，该退避位置是上述第一上倾斜部向离开上述基准线的方向退避后的位置，

通过使上述第一下引导件相对于上述手部下降，来从上述第一下引导件将基板交至上述手部的工序。

16.根据权利要求14所述的基板操作方法，其特征在于，

上述第一交接工序包括如下工序：

使上述第一上引导件从接触位置移动至退避位置的工序，该接触位置是上述第一上倾斜部与基板相接触的位置，该退避位置是上述第一上倾斜部向离开上述基准线的方向退避后的位置，

通过使上述第一下引导件相对于上述手部上升，来从上述手部将基板交至上述第一下引导件的工序。

17.根据权利要求13至16中任一项所述的基板操作方法，其特征在于，

还包括：

第二夹持工序（C），在与被多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件夹持的基板的高度不同的高度上，利用多个第二上引导件以及多个第二下引导件来夹持上述基板，上述第二上引导件具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第二上倾斜部，上述第二下引导件具有朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜的第二下倾斜部，

第二反转工序（D），通过使多个上述第二上引导件以及多个上述第二下引导件围绕水平延伸的反转轴线进行旋转，来使被上述第二上引导件以及上述第二下引导件夹持的上述基板反转；

其中，上述第二夹持工序（C）包括：

第三工序（C1），通过使多个上述第二下引导件水平移动，来使多个上述第二下倾斜部与基板的周缘部相接触，

第四工序（C2），通过使多个上述第二上引导件水平移动，来在多个上述第二下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第二上倾斜部与上述基板的周缘部相接触。

18.根据权利要求17所述的基板操作方法，其特征在于，

还包括第二交接工序，在该第二交接工序中，通过使保持并搬运基板的手部相对于上述第二上引导件及上述第二下引导件进行上下运动，来在上述手部与上述第二上引导件及上述第二下引导件之间交接基板。

19.根据权利要求17所述的基板操作方法，其特征在于，

还包括使上述第一上引导件及上述第一下引导件与上述第二上引导件及上述第二下引导件在铅垂方向上向彼此相反的方向移动的工序。

Images