JP2003051522A - ウェーハハンドリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ハンドリング対象以外のウェーハに損傷を与
えることなく、ハンドリング対象のウェーハをカセット
から容易、かつ安全に掴み出すことができるウェーハハ
ンドリング装置を提供する。 【解決手段】 複数のウェーハ１２が起立した状態で並
べられて収容されたカセット１０の下に配置され、カセ
ット１０内のウェーハ１２を１枚おきに交互に突出させ
るウェーハハンドリング装置２０において、カセット１
０が載置されるケース３０内に、各ウェーハ１２に対応
するように並べられて配置され、それぞれウェーハ１２
の下縁部に当接可能な複数のウェーハ突出用片体４０を
上下動可能に設け、このウェーハ突出用片体４０を駆動
手段５０により１つおきに交互に上方に突出させるよう
に構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のウェーハを
起立してウェーハの厚さ方向に所定の間隔を置いて収容
したカセット内のウェーハを手作業でハンドリングする
のに好適なウェーハハンドリング装置に関し、さらに詳
しくは、ウェーハをピンセット等の工具を用いてハンド
リンする際、ハンドリンク対象のウェーハを他のウェー
ハに悪影響を及ぼすことなく容易にハンドリングするこ
とが可能なウェーハハンドリング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】カセット内に横方向に整列して収納され
たウェーハ（半導体ウェーハ）の手作業によるハンドリ
ングは量産現場では少ないにしても、個々のウェーハに
対する電気的評価や解析を行う場合には必要不可欠の作
業である。

【０００３】図２２〜図２４により従来の手作業による
ウェーハのハンドリングについて説明する。図２２は複
数のウェーハをカセットに収容した状態を示す斜視図、
図２３はウェーハの配列状態を示す説明図である。図２
２において、１０はウェーハ１２を収容するカセットで
あり、このカセット１０内には、複数のウェーハ１２が
起立した状態で、かつウェーハ１２の厚さ方向に所定の
間隔、例えば図２３に示すように、６ｍｍ程度の間隔を
置いて整列状態に収容されている。なお、カセット１０
のウェーハ径方向の相対向する内側面には、ウェーハ１
２の外周縁が係合するスロットが、例えば６ｍｍの間隔
で形成されており、この各スロットにウェーハ１２を差
し込むことにより、ウェーハ１２を６ｍｍの間隔でカセ
ット１０内に整列収納できるように構成されている。

【０００４】このようにカセット１０に収容されたウェ
ーハ１２のハンドリングを手作業で行う場合は、図２３
及び図２４に示すように、カセット１０内のウェーハ中
から抜き取りたいウェーハ１２をピンセット１４で掴
み、図２４に示すようにカセット１０から抜き取る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来のウェーハハンドリング方式では、図２４から明ら
かなように、収納ウェーハの間隔は６ｍｍ程度と狭いた
め、ウェーハ１２をピンセット１４で掴み出す時、この
抜き取り対象のウェーハに隣接する抜き取り対象外のウ
ェーハにピンセット１４が不用意に接触すると、このウ
ェーハを傷つけたり、破損したりするおそれがある。特
に、最近のウェーハは益々薄くなり、かつウェーハ径も
大きくなっていることから、手作業によるハンドリング
が益々困難になってきている。

【０００６】本発明は前記事情に鑑み案出されたもので
あって、本発明の目的は、従来と同様なカセットに収容
されたウェーハの手作業によるハンドリング時に、ハン
ドリング対象以外のウェーハに損傷を与えることなく、
ハンドリング対象のウェーハをカセットから容易、かつ
安全に掴み出すことができるウェーハハンドリング装置
を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明は、 複数のウェーハが起立した状態で並べられ
て収容されたカセットの下に配置され、前記カセット内
のウェーハを１枚ずつ突出させるウェーハハンドリング
装置であって、ケースと、前記ケース内に、前記各ウェ
ーハに対応するように並べられて配設され、それぞれウ
ェーハの下縁部に当接可能な複数のウェーハ突出用片体
と、前記ウェーハ突出用片体を１枚ずつ上方に突出させ
る駆動手段とを備えることを特徴とする。

【０００８】また、本発明は、複数のウェーハが起立し
た状態で並べられて収容されたカセットの下に配置さ
れ、前記カセット内のウェーハを１枚おきに、あるいは
複数枚おきに交互に突出させるウェーハハンドリング装
置であって、ケースと、前記ケース内に、前記各ウェー
ハに対応するように並べられて配設され、それぞれウェ
ーハの下縁部に当接可能な複数のウェーハ突出用片体
と、前記ウェーハ突出用片体を１つおきに、あるいは複
数個おきに交互に上方に突出させる駆動手段とを備える
ことを特徴とする。

【０００９】また、本発明は、複数のウェーハが起立し
た状態で並べられて収容されたカセットの下に配置さ
れ、前記カセット内のウェーハを少なくとも１枚突出さ
せるウェーハハンドリング装置であって、ケースと、前
記ケース内に、前記１枚のウェーハに対応させて配設さ
れ、前記１枚のウェーハの下縁部に当接可能なウェーハ
突出用片体と、前記ウェーハ突出用片体を上方に突出さ
せる駆動手段とを備えることを特徴とする。

【００１０】本発明では、ウェーハ突出用片体が駆動手
段により１枚ずつケースの上方へ突出されるから、この
ウェーハ突出用片体に対応するカセット内のウェーハを
１枚ずつ上方へ突出させることができる。これにより、
手作業によるハンドリング時に、ハンドリング対象以外
のウェーハに損傷を与えることなく、ハンドリング対象
のウェーハをカセットから容易、かつ安全に掴み出すこ
とができる。

【００１１】また、本発明では、ウェーハ突出用片体が
駆動手段により１つおきに、あるいは複数個おきにケー
スの上方に突出されるから、このウェーハ突出用片体に
対応するカセット内のウェーハを１枚おきに、あるいは
複数枚おきに上方へ突出させることができる。これによ
り、手作業によるハンドリング時に、ハンドリング対象
以外のウェーハに損傷を与えることなく、ハンドリング
対象のウェーハをカセットから容易、かつ安全に掴み出
すことができる。

【００１２】また、本発明においては、少なくとも１枚
のウェーハ突出用片体が駆動手段によりケースの上方へ
突出されるから、このウェーハ突出用片体に対応するカ
セット内の特定のウェーハを１枚上方へ突出させること
ができる。これにより、手作業によるハンドリング時
に、ハンドリング対象以外のウェーハに損傷を与えるこ
となく、ハンドリング対象のウェーハをカセットから容
易、かつ安全に掴み出すことができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかるウェーハハ
ンドリング装置の第１の実施の形態について図１乃至図
１５を参照して説明する。図１（Ａ）はカセット内のウ
ェーハを１枚おきに交互に突出させる場合のウェーハハ
ンドリング装置の斜視図、同図（Ｂ）はカセットの奇数
スロットに収納されたウェーハを突出させた時のウェー
ハとウェーハ突出用片体との関係を示す説明図、図２は
ウェーハ突出用片体及びその駆動手段を内蔵するウェー
ハハンドリング用ケースの斜視図、図３はウェーハ突出
用片体の一部が上方に突出された状態を示すウェーハハ
ンドリング用ケースの斜視図、図４はウェーハハンドリ
ング用ケースに装着されたウェーハ突出用片体及びその
駆動手段の正面図、図５はウェーハ突出用片体及びその
駆動手段の斜視図、図６はウェーハ突出用片体の支持機
構の正面図、図７はウェーハ突出用片体の支持機構の平
面図、図８（Ａ）はウェーハ突出用片体の駆動手段及び
その制御手段の構成を示す説明図、同図（Ｂ）は図８
（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う側面図、図９（Ａ）はカセット
の偶数スロットのウェーハを突出動作させた時のウェー
ハハンドリング装置の斜視図、同図（Ｂ）はカセットの
偶数スロットに収納されたウェーハを突出させた時のウ
ェーハとウェーハ突出用片体との関係を示す説明図、図
１０乃至図１３はカセットの偶数及び奇数スロットのウ
ェーハを突出動作させる場合のウェーハ突出用片体と駆
動手段との関係を示す動作説明図、図１４及び図１５は
駆動手段によりウェーハを上方へ突出させる時の位置決
め制御手段の動作説明図である。

【００１４】図１において、カセット１０に収容された
ウェーハ１２を１枚おきに交互に突出させる場合のウェ
ーハハンドリング装置２０は、ウェーハハンドリング用
ケース（以下、単にケースという）３０と、ウェーハ突
出用片体４０と、このウェーハ突出用片体４０を１つお
きに交互に上方に突出させる駆動手段５０を備えてい
る。前記カセット１０は、図２２に示した場合と同様
に、複数のウェーハ１２が起立した状態で、かつウェー
ハ１２の厚さ方向に所定の間隔（例えば、６ｍｍ程度の
間隔）を置いて整列状態に収容されている。この場合の
ウェーハ１２の整列間隔は、カセット１０のない壁面に
６ｍｍの間隔で形成されたスロット（図示省略）によっ
て保持できるようになっている。

【００１５】前記ケース３０は、図１乃至図３に示すよ
うに直方体形状を呈し、このケース３０の上面３０１に
はカセット載置部３０２が設けられ、このカセット載置
部３０２にはウェーハ突出用片体４０の突出開口３０３
が形成されている。また、ケース３０の上面３０１に
は、前記駆動手段５０を起動するランプ内臓式のスイッ
チ３０４及び駆動手段５０の動作状況を報知するアラー
ム３０５がそれぞれ設けられている。なお、図示省略し
たが、カセット１０の底面には前記突出開口３０３に対
応する大きさのウェーハ突出用片体導入開口が形成され
ている。

【００１６】前記ウェーハ突出用片体４０は、図２乃至
図５に示すように、ウェーハ１２の直径より小さい幅を
有する長方形の板材から成形され、このウェーハ突出用
片体４０は、カセット１０内の各ウェーハ１２に対応す
るようにウェーハ１２の間隔と同一の間隔でウェーハ１
２の配列方向に並べられて、ケース３０内に複数配設さ
れ、そして、それぞれウェーハ１２の下縁部に前記突出
開口３０３及びカセット１０に設けたウェーハ突出用片
体導入開口を通して当接できるように上下動可能に支持
されている。

【００１７】前記各ウェーハ突出用片体４０を上下動可
能に支持する支持機構６０は、図６及び図７に示すよう
に、ウェーハ突出用片体４０毎にその幅方向の両端縁部
に上下四箇所で係合するように設けられたガイドローラ
６０１と、この四箇所のガイドローラ６０１を別々に軸
支する支持軸６０２と、この支持軸６０２を支持すると
ともに各ガイドローラ６０１間の間隔をウェーハ突出用
片体４０間の間隔に対応して一定に保持する支持部材６
０３とから構成されている。

【００１８】前記駆動手段５０は、図４、図５及び図８
に示すように、ウェーハ突出用片体４０が並べられた方
向に延在してケース３０内に回転可能に支持された単一
の回転軸５０１と、ウェーハ突出用片体４０のそれぞれ
に対応して設けられ前記回転軸５０１に偏心して取着さ
れた卵型のカム５０２と、回転軸５０１に連結され回転
軸５０１を回転駆動する駆動源である電動機５０３とを
備えている。なお、ウェーハ突出用片体４０が１つおき
に、すなわち奇数番のウェーハ突出用片体４０と偶数番
のウェーハ突出用片体４０とが交互にカセット１０側へ
突出されるようにする場合は、図５に示すように、各カ
ム５０２を１つおきの奇数番のカム５０２Ａと偶数番の
カム５０２Ｂの２つのグループに分け、この奇数番のカ
ム５０２Ａと偶数番のカム５０２Ｂは回転方向に１８０
度位相をずらして回転軸５０１に取着されている。

【００１９】また、前記回転軸５０１には、図８に示す
ように、奇数番のウェーハ突出用片体４０及び偶数番の
ウェーハ突出用片体４０がカセット１０側へ突出された
位置と、ケース３０内に収容された位置とに前記電動機
５０３を制御するための位置決め制御手段７０が設けら
れている。前記位置決め制御手段７０は、回転軸５０１
に取着され回転方向に９０度の間隔を置いて開けた透過
孔７０１を有する回転位置検出用の円盤７０２と、この
円盤７０２を挟んで対向配置された発光素子７０３及び
発光素子７０３から透過孔７０１を通過する光を受光す
る受光素子７０４とからなる回転位置検出器７０５と、
この回転位置検出器７０５からのオン・オフ信号に基づ
いて前記電動機５０３を起動停止制御する制御回路７０
６とから構成されている。また、制御回路７０６には、
前記スイッチ３０４が接続されている。

【００２０】次に、上記のように構成された本実施の形
態におけるウェーハハンドリング装置の動作について説
明する。まず、カセット１０の偶数スロットに収納され
たウェーハ１０を手作業によりハンドリングする場合に
ついて、図１及び図１０、図１１を参照して述べる。こ
の場合は、まず、ウェーハ１０の収容されたカセット１
０をケース３０の載置部３０２上に載置する。この時、
奇数番のカム５０２Ａと偶数番のカム５０２Ｂは図１０
に示すように水平方向において互いに１８０度位相のず
れた状態に置かれ、かつ各ウェーハ突出用片体４０は図
２に示すようにケース３０内に埋没された状態にある。

【００２１】かかる状態において、スイッチ３０４がプ
ッシュされると、スイッチ３０４からオン信号Ｓ１が図
８に示す制御回路７０６に対して出力される。制御回路
７０６ではオン信号Ｓ１に基づいて電動機５０３を起動
する。電動機５０３が起動されると回転軸５０１の回転
に伴い奇数番のカム５０２Ａ及び偶数番のカム５０２Ｂ
が共に図１１の矢印Ｇ方向に回転される。そして、回転
軸５０１が９０度回転されると、奇数番の各カム５０２
Ａの突出側がこれに対応する奇数番の各ウェーハ突出用
片体４０Ａに係合するため、このウェーハ突出用片体４
０Ａは図１１に示す矢印Ｈ方向に上動され、ケース３０
の突出開口３０３からカセット１０内に突出されると共
に、カセット１０の奇数スロットに収納されている各ウ
ェーハ１２を図１１に示す矢印Ｉ方向に上動させて、カ
セット１０の上面から上方へ突出される状態に押し上げ
る。

【００２２】図１（Ａ），（Ｂ）は、カセット１０内の
奇数スロットのウェーハ１２が上方へ押し上げられた状
態を示したものであり、この状態では、 図１（Ｂ）か
ら明らかなように、ハンドリングの対象となるウェーハ
１２間の間隔は、カセット１０内でのウェーハ収納ピッ
チ（６ｍｍ）の２倍、すなわち１２ｍｍに拡大できる。
その結果、ハンドリング対象のウェーハ１０をピンセッ
ト１４により掴み易くなって、ハンドリング対象ウェー
ハ１０の抜き取りが容易になるほか、ハンドリング対象
以外のウェーハにピンセット１４が接触することがなく
なり、ハンドリング対象以外のウェーハに損傷を与える
のを防止できる。

【００２３】図８、図１４及び図１５は、上記回転軸５
０１の回転に伴う奇数番のカム５０２Ａにより、奇数番
のウェーハ突出用片体４０がケース３０内に収容された
位置からカセット１０側へ突出された位置へ移動される
時のカム５０２Ａ，５０２Ｂの回転位置に対する円盤７
０２と回転位置検出器７０５との動作過程を示したもの
であり、図８（Ｂ）に示すように、円盤７０２の透過孔
７０１が回転位置検出器７０５と一致している位置で
は、電動機５０３が停止され、かつカム５０２Ａ，５０
２Ｂは水平方向に位置されている。この状態で、スイッ
チ３０４がプッシュされると電動機５０３が起動され、
回転軸５０１を含むカム５０２Ａ，５０２Ｂ及び円盤７
０２は図１４（Ｂ）の矢印Ｊ方向に回転される。この
時、回転位置検出器７０５は隣接する透過孔７０１間の
円盤７０２の部分にあるため、電動機５０３の回転は継
続される。そして、回転軸５０１の回転に伴いカム５０
２Ａ，５０２Ｂ含む円盤７０２が図８（Ｂ）に示す位置
から９０度回転すると、図１５（Ｂ）に示すように、円
盤７０２の透過孔７０１が回転位置検出器７０５と一致
し、透過孔７０１を検出する。これにより、回転位置検
出器７０５の検出信号が制御回路７０５に出力され、こ
の検出信号に基づいて電動機５０３を停止制御させる。

【００２４】以下同様にして、図１５（Ｂ）に示す状態
において、スイッチ３０４がプッシュされると電動機５
０３が再起動され、そして、回転軸５０１を含むカム５
０２Ａ，５０２Ｂ及び円盤７０２が更に９０度回転され
ると、電動機５０３が再び停止する。また、この状態か
らスイッチ３０４が更にプッシュされると電動機５０３
が再び起動され、回転軸５０１を含むカム５０２Ａ，５
０２Ｂ及び円盤７０２が更に９０度回転されると、電動
機５０３が再び停止する。この状態では、偶数番のカム
５０２Ｂがこれに対応する各ウェーハ突出用片体４０を
押し上げ、このウェーハ突出用片体４０に対応するカセ
ット１０の偶数スロットに格納されているウェーハ１２
をカセット１０の上面へ突出させることになる。図４
は、電動機５０３が位置決め制御手段７０により９０度
ずつ矢印Ｇ方向に間歇回転制御された時の回転軸５０１
及びカム５０２の動作状態を示している。

【００２５】次に、カセット１０の偶数スロットに格納
されているウェーハ１２をカセット１０の上面へ突出さ
せる場合の動作について、図９及び図１２、図１３を参
照して説明する。この場合は、駆動手段５０が図１１に
示す奇数スロットのウェーハ１２を上方へ突出させた状
態において、スイッチ３０４がプッシュされると、スイ
ッチ３０４からのオン信号Ｓ１が図８に示す制御回路７
０６に出力され、この制御回路７０６により電動機５０
３を起動する。これにより、回転軸５０１を含む奇数番
のカム５０２Ａ及び偶数番のカム５０２Ｂが共に図１２
の矢印Ｋ方向に９０度回転されると、奇数番の各カム５
０２Ａで押し上げられていた奇数番の各ウェーハ突出用
片体４０Ａが矢印に示すように下降されるとともに、カ
セット１０の上面へ突出されていたウェーハ１０も矢印
に示すように下降され、カセット１０の奇数スロットに
収納される。

【００２６】この状態で、スイッチ３０４が再度プッシ
ュ操作されると、電動機５０３が再起動され、回転軸５
０１を含む奇数番のカム５０２Ａ及び偶数番のカム５０
２Ｂが共に図１３の矢印Ｌ方向に９０度回転される。す
ると、偶数番のカム５０２Ｂの突出側が偶数番のウェー
ハ突出用片体４０Ｂの下端縁に係合するため、このウェ
ーハ突出用片体４０Ｂは図１３に示す矢印Ｍ方向に上動
され、ケース３０の突出開口３０３からカセット１０内
に突出されると共に、カセット１０の偶数スロットに収
納されている各ウェーハ１２を図１３に示す矢印Ｎ方向
に上動させて、カセット１０の上面から上方へ突出され
る状態に押し上げる。

【００２７】図９（Ａ），（Ｂ）は、カセット１０内の
偶数スロットのウェーハ１２が上方へ押し上げられた状
態を示したものであり、この状態では、図９（Ｂ）から
明らかなように、ハンドリングの対象となるウェーハ１
２間の間隔は、カセット１０内でのウェーハ収納ピッチ
（６ｍｍ）の２倍、すなわち１２ｍｍに拡大できる。そ
の結果、ハンドリング対象のウェーハ１０をピンセット
１４により掴み易くなって、ハンドリング対象ウェーハ
１０の抜き取りが容易になるほか、ハンドリング対象以
外のウェーハにピンセット１４が接触することがなくな
り、ハンドリング対象以外のウェーハに損傷を与えるの
を防止できる。

【００２８】次に、図１６及び図１７により本発明にか
かるウェーハハンドリング装置の第２の実施の形態につ
いて説明する。図１６（Ａ）はウェーハ突出用片体の駆
動手段及びウェーハ突出用片体が駆動手段により押し上
げられている時の警告制御手段の構成を示す説明図、同
図（Ｂ）は図１６（Ａ）のＤ−Ｄ線に沿う側面図、図１
７（Ａ）は警告制御手段が動作した状態の説明図、同図
（Ｂ）は図１７（Ａ）のＥ−Ｅに沿う側面図である。

【００２９】図１６及び図１７において、図８と同一の
構成要素には同一符号を付してその構成説明を省略し、
図８と異なる部分を重点に述べる。この第２の実施の形
態において、図８と異なる点は、図から明らかなよう
に、ウェーハ突出用片体が駆動手段５０により押し上げ
られている時に警告を発する警告制御手段８０を付加し
たところにある。前記警告制御手段８０は、回転軸５０
１にカム５０２の長手方向に平行に延在して取着された
細幅の位置検出部材８０１と、この位置検出部材８０１
の一端と対向するように、該一端を介して対向配置され
た発光素子８０２及び発光素子８０２からの光を受光す
る受光素子８０３とからなる検出器８０４と、この検出
器８０４からのオン・オフ信号に基づいて前記スイッチ
３０４に内蔵されたランプ３０４Ａ及び前記アラーム３
０５を制御する制御回路８０５とから構成されている。
また、制御回路８０５には、前記内蔵ランプ３０４Ａ及
びアラーム３０５が接続されている。

【００３０】上記のように構成された警告制御手段８０
において、位置検出部材８０１が図１６（Ｂ）に示すよ
うに水平方向にある時は、検出器８０４の発光素子８０
２と受光素子８０３との間は位置検出部材８０１によっ
て遮光させることがない。このため、検出器８０４から
制御回路８０５に入力される信号は「Ｌ」レベルとな
り、制御回路８０５により内蔵ランプ３０４Ａ及びアラ
ーム３０５が駆動されない。この時、カム５０２の突出
側は水平方向を向いているため、このカム５０２に当接
されるウェーハ突出用片体はケース内に埋没された状態
に置かれる。

【００３１】一方、カム５０２の突出側が垂直方向を向
いている時は、位置検出部材８０１も垂直方向に延在さ
れるため、この位置検出部材８０１の一端が検出器８０
４の発光素子８０２と受光素子８０３との間に位置し、
発光素子８０２と受光素子８０３間を遮光する。その結
果、検出器８０４から制御回路８０５に入力される信号
は「Ｈ」レベルとなり、この信号で制御回路８０５を動
作することにより内蔵ランプ３０４Ａを点灯し、アラー
ム３０５を鳴動させる。したがって、スイッチ内蔵のラ
ンプ３０４Ａが点灯され、アラーム３０５が鳴動される
ことにより、カム５０２に当接されるウェーハ突出用片
体４０がケース３０からカセット１０側へ突出している
ことを、ハンドリングを行う作業者等に警告することが
できる。

【００３２】次に、図１８及び図１９により本発明にか
かるウェーハハンドリング装置の第３の実施の形態につ
いて説明する。図１８はウェーハハンドリング装置の第
３の実施の形態におけるウェーハ突出用片体及びその駆
動手段の正面図、図１９は第３の実施の形態におけるウ
ェーハ突出用片体及びその駆動手段の斜視図である。上
記図１８及び図１９において、ウェーハ突出用片体４０
は、カセット１０内の各ウェーハ１２に対応するように
ウェーハ１２の間隔と同一の間隔でウェーハ１２の配列
方向に並べられて、ケース３０内に複数配設されてい
る。そして、この各ウェーハ突出用片体４０は支持機構
６０によりケース３０上下動可能に支持されている。

【００３３】また、ウェーハ突出用片体４０を１つおき
に交互に上方に突出させる駆動手段９０は、互いに平行
してウェーハ突出用片体４０が並べられた方向に延在す
る２本の回転軸９０１，９０２と、この各回転軸９０
１，９０２にそれぞれ取着されたＬ字状のレバー９０
３，９０４とを備える。前記回転軸９０１とこれに取着
されたレバー９０３は、配列方向のウェーハ突出用片体
４０のうち、奇数番に対応するウェーハ突出用片体４０
を上方に突出させるものであり、前記回転軸９０２とこ
れに取着されたレバー９０４は、配列方向のウェーハ突
出用片体４０のうち、偶数番に対応するウェーハ突出用
片体４０を上方に突出させるものである。なお、回転軸
９０１及び９０２を回転駆動する駆動源には、正逆回転
可能なトルクモータまたは手動式の操作ツマミが使用さ
れる。このような第３の実施の形態においても、前記第
１の実施の形態と同様な作用効果が得られる。

【００３４】図２０は、本発明にかかるウェーハハンド
リング装置の第４の実施の形態を示す斜視図である。こ
の図２０において、上記第１の実施の形態と異なる点
は、図１乃至図３に示したウェーハ突出用片体４０の駆
動手段５０を構成する回転軸５０１を電動機５０３によ
り回転駆動するのに代えて、ケース３０外に位置して設
けた手動式の操作ツマミ５０８を回転軸５０１に連結
し、このツマミ５０８を図２０の矢印方向に回転操作す
ることにより、ウェーハ突出用片体４０を１つおきに交
互に上方に突出させるようにしたところにある。なお、
図２０において、図１乃至図３と同一符号で示す部分は
同一部分を示している。このような第３の実施の形態に
おいては、ウェーハ突出用片体４０が操作ツマミ５０８
により手動式で突出操作されるものの、上記第１の実施
の形態と同様な作用効果が得られる。

【００３５】図２１は、本発明にかかるウェーハハンド
リング装置の第５の実施の形態を示す斜視図である。こ
の図２１において、上記第１の実施の形態と異なる点
は、ケース３０内に各ウェーハに対応するように並べら
れて配設されたウェーハ突出用片体４０うち、特定の１
枚のウェーハ突出用片体４０を上方に突出させるように
構成したところにある。この第４の実施の形態における
駆動手段は、図示省略したが、この駆動手段を構成する
回転軸に、特定の１枚のウェーハ突出用片体４０を上下
に動作させる１枚のカムを取着し、このカムを含む回転
軸を電動機により１８０度ずつ間歇回転できるように構
成されている。このような第４の実施の形態よれば、カ
セット内の特定のウェーハのみを、ハンドリング対象以
外のウェーハに損傷を与えることなく、カセットから容
易、かつ安全に掴み出すことができる。

【００３６】なお、上記第１の実施の形態では、ウェー
ハ突出用片体４０を駆動手段５０により１枚おきにケー
ス３０の上方に突出させる方式について説明したが、本
発明はこれに限定されず、ウェーハ突出用片体４０を複
数枚おきにケース３０の上方に突出させる構成にしても
よい。また、本発明における駆動手段は、上記実施の形
態に示したカム方式またはレバー方式のものに限定され
ない。また、上記図１８及び図１９に示す実施の形態で
は、各回転軸９０１，９０２にそれぞれレバー９０３，
９０４を取着し、この回転軸９０１，９０２を別々に回
転操作することにより、ウェーハ突出用片体４０を１枚
おきに上方に突出させる場合について説明したが、本発
明はこれに限定されない。例えば、レバー９０３，９０
４のうちの少なくとも１つを、それぞれの回転軸９０
１，９０２に対して揺動可能に軸支し、このレバーの軸
支基部から図１８の仮想線に示すようにケース３０外へ
突出する操作片９０５を設け、この操作片９０５を操作
することにより、カセット内の特定のウェーハを上方へ
突出できるようにしてもよい。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、カセットに収容されたウェーハの手作業による
ハンドリング時に、ハンドリング対象以外のウェーハに
損傷を与えることなく、ハンドリング対象のウェーハを
カセットから容易、かつ安全に掴み出すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は本発明の第１の実施の形態におけるカ
セット内のウェーハを１枚おきに交互に突出させる場合
のウェーハハンドリング装置の斜視図、（Ｂ）はカセッ
トの奇数スロットに収納されたウェーハを突出させた時
のウェーハとウェーハ突出用片体との関係を示す説明図
である。

【図２】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ突
出用片体及びその駆動手段を内蔵するウェーハハンドリ
ング用ケースの斜視図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ突
出用片体の一部が上方に突出された状態を示すウェーハ
ハンドリング用ケースの斜視図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハハ
ンドリング用ケースに装着されたウェーハ突出用片体及
びその駆動手段の正面図である。

【図５】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ突
出用片体及びその駆動手段の斜視図である。

【図６】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ突
出用片体の支持機構の正面図である。

【図７】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ突
出用片体の支持機構の平面図である。

【図８】（Ａ）は本発明の第１の実施の形態におけるウ
ェーハ突出用片体の駆動手段及びその制御手段の構成を
示す説明図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う側面図で
ある。

【図９】（Ａ）は本発明の第１の実施の形態におけるカ
セットの偶数スロットのウェーハを突出動作させた時の
ウェーハハンドリング装置の斜視図、（Ｂ）はカセット
の偶数スロットに収納されたウェーハを突出させた時の
ウェーハとウェーハ突出用片体との関係を示す説明図で
ある。

【図１０】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ
ハンドリング時のウェーハとウェーハ突出用片体とカム
との関係を示す動作説明図である。

【図１１】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ
ハンドリング時のウェーハとウェーハ突出用片体とカム
との関係を示す動作説明図である。

【図１２】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ
ハンドリング時のウェーハとウェーハ突出用片体とカム
との関係を示す動作説明図である。

【図１３】本発明の第１の実施の形態におけるウェーハ
ハンドリング時のウェーハとウェーハ突出用片体とカム
との関係を示す動作説明図である。

【図１４】（Ａ）は本発明の第１の実施の形態において
駆動手段によりウェーハを上方へ突出させる時の位置決
め制御手段の動作説明図、Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿
う側面図である。

【図１５】（Ａ）は本発明の第１の実施の形態において
駆動手段によりウェーハを上方へ突出させる時の位置決
め制御手段の動作説明図、Ｂ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線に沿
う側面図である。

【図１６】（Ａ）は本発明の第２の実施の形態における
ウェーハ突出用片体の駆動手段及びウェーハ突出用片体
が駆動手段により押し上げられている時の警告制御手段
の構成を示す説明図、（Ｂ）は（Ａ）のＤ−Ｄ線に沿う
側面図である。

【図１７】（Ａ）は本発明の第２の実施の形態における
警告制御手段が動作した状態の説明図、（Ｂ）は（Ａ）
のＥ−Ｅに沿う側面図である。

【図１８】本発明の第３の実施の形態におけるウェーハ
突出用片体及びその駆動手段の正面図である。

【図１９】本発明の第３の実施の形態におけるウェーハ
突出用片体及びその駆動手段の斜視図である。

【図２０】本発明にかかるウェーハハンドリング装置の
第４の実施の形態を示す斜視図である。

【図２１】本発明にかかるウェーハハンドリング装置の
第５の実施の形態を示す斜視図である。

【図２２】複数のウェーハをカセットに収容した状態を
示す斜視図である。

【図２３】従来におけるウェーハの配列状態を示す説明
図である。

【図２４】カセット内のウェーハをピンセットにより掴
み出した状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１０……カセット、１２……ウェーハ、２０……ウェー
ハハンドリング装置、３０……ケース、４０……ウェー
ハ突出用片体、５０，９０……駆動手段、５０１……回
転軸、５０２……カム、５０３……電動機、９０１，９
０２……回転軸、９０３，９０４……レバー、７０……
位置決め制御手段、８０……警告制御手段。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のウェーハが起立した状態で並べら
   れて収容されたカセットの下に配置され、前記カセット
   内のウェーハを１枚ずつ突出させるウェーハハンドリン
   グ装置であって、 ケースと、 前記ケース内に、前記各ウェーハに対応するように並べ
   られて配設され、それぞれウェーハの下縁部に当接可能
   な複数のウェーハ突出用片体と、 前記ウェーハ突出用片体を１枚ずつ上方に突出させる駆
   動手段と、 を備えることを特徴とするウェーハハンドリング装置。
2. 【請求項２】 複数のウェーハが起立した状態で並べら
   れて収容されたカセットの下に配置され、前記カセット
   内のウェーハを１枚おきに、あるいは複数枚おきに交互
   に突出させるウェーハハンドリング装置であって、 ケースと、 前記ケース内に、前記各ウェーハに対応するように並べ
   られて配設され、それぞれウェーハの下縁部に当接可能
   な複数のウェーハ突出用片体と、 前記ウェーハ突出用片体を１つおきに、あるいは複数個
   おきに交互に上方に突出させる駆動手段と、 を備えることを特徴とするウェーハハンドリング装置。
3. 【請求項３】 前記駆動手段は、前記ウェーハ突出用片
   体が並べられた方向に延在する単一の回転軸と、前記ウ
   ェーハ突出用片体に対応して設けられ前記回転軸に取着
   されたカムとを備えることを特徴とする請求項１または
   ２記載のウェーハハンドリング装置。
4. 【請求項４】 前記回転軸には該回転軸を回転駆動する
   駆動源が連結されていることを特徴とする請求項３記載
   のウェーハハンドリング装置。
5. 【請求項５】 前記回転軸には、前記ケース外に位置し
   該回転軸を回転駆動するための操作ツマミが連結されて
   いることを特徴とする請求項３記載のウェーハハンドリ
   ング装置。
6. 【請求項６】 前記ウェーハ突出用片体を上下に移動可
   能に案内する案内機構が設けられていることを特徴とす
   る請求項１または２記載のウェーハハンドリング装置。
7. 【請求項７】 前記駆動手段は、互いに平行して前記ウ
   ェーハ突出用片体が並べられた方向に延在する２本の回
   転軸を備え、前記ウェーハ突出用片体は前記各回転軸に
   取着されたカムにより構成されていることを特徴とする
   請求項１記載のウェーハハンドリング装置。
8. 【請求項８】 前記駆動手段は、前記ウェーハ突出用片
   体を１つおきに交互に上方に突出させるように構成さ
   れ、前記駆動手段は、互いに平行して前記ウェーハ突出
   用片体が並べられた方向に延在する２本の回転軸と、前
   記各回転軸にそれぞれ取着されたレバーとを備え、前記
   ウェーハ突出用片体は前記レバーにより突出されるよう
   に構成されていることを特徴とする請求項２記載のウェ
   ーハハンドリング装置。
9. 【請求項９】 前記各回転軸にはこれら回転軸を回転駆
   動する駆動源が連結されていることを特徴とする請求項
   ８記載のウェーハハンドリング装置。
10. 【請求項１０】 前記各回転軸には、前記ケース外に位
    置しこれら回転軸を回転駆動するための操作ツマミが連
    結されていることを特徴とする請求項８記載のウェーハ
    ハンドリング装置。
11. 【請求項１１】 前記ウェーハ突出用片体が上方へ突出
    された位置と前記ケース内に収容された位置とに前記駆
    動手段を制御するための位置決め制御手段を備えること
    を特徴とする請求項１または２記載のウェーハハンドリ
    ング装置。
12. 【請求項１２】 前記ウェーハ突出用片体が前記駆動手
    段により上方へ突出されている時に警告を発する警告制
    御手段を備えることを特徴とする請求項１または２記載
    のウェーハハンドリング装置。
13. 【請求項１３】 複数のウェーハが起立した状態で並べ
    られて収容されたカセットの下に配置され、前記カセッ
    ト内のウェーハを少なくとも１枚突出させるウェーハハ
    ンドリング装置であって、 ケースと、 前記ケース内に、前記１枚のウェーハに対応させて配設
    され、前記１枚のウェーハの下縁部に当接可能なウェー
    ハ突出用片体と、 前記ウェーハ突出用片体を上方に突出させる駆動手段
    と、 を備えることを特徴とするウェーハハンドリング装置。