JP2013108179A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013108179A5 JP2013108179A5 JP2012253248A JP2012253248A JP2013108179A5 JP 2013108179 A5 JP2013108179 A5 JP 2013108179A5 JP 2012253248 A JP2012253248 A JP 2012253248A JP 2012253248 A JP2012253248 A JP 2012253248A JP 2013108179 A5 JP2013108179 A5 JP 2013108179A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical
- cavity
- axis
- resonator
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2007809 | 2011-11-17 | ||
| NL2007809A NL2007809C2 (en) | 2011-11-17 | 2011-11-17 | An apparatus for performing a plasma chemical vapour deposition process. |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013108179A JP2013108179A (ja) | 2013-06-06 |
| JP2013108179A5 true JP2013108179A5 (enExample) | 2016-01-14 |
| JP6227240B2 JP6227240B2 (ja) | 2017-11-08 |
Family
ID=47191584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012253248A Active JP6227240B2 (ja) | 2011-11-17 | 2012-11-19 | プラズマ化学蒸着を行うための装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9376753B2 (enExample) |
| EP (1) | EP2594660B1 (enExample) |
| JP (1) | JP6227240B2 (enExample) |
| CN (1) | CN103122455B (enExample) |
| BR (1) | BR102012029201A2 (enExample) |
| DK (1) | DK2594660T3 (enExample) |
| NL (1) | NL2007809C2 (enExample) |
| PL (1) | PL2594660T3 (enExample) |
| RU (1) | RU2625664C2 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105244251B (zh) * | 2015-11-03 | 2017-11-17 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种大功率等离子体微波谐振腔 |
| NL2017575B1 (en) | 2016-10-04 | 2018-04-13 | Draka Comteq Bv | A method and an apparatus for performing a plasma chemical vapour deposition process and a method |
| CN106987827B (zh) * | 2017-04-14 | 2019-03-29 | 太原理工大学 | 等离子体化学气相沉积微波谐振腔及装置 |
| CN110459853A (zh) * | 2019-08-21 | 2019-11-15 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 | 一种适用于pcvd工艺的分体式易调谐微波谐振腔 |
| NL2028245B1 (en) * | 2021-05-19 | 2022-12-05 | Draka Comteq Bv | A plasma chemical vapor deposition apparatus |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4125389A (en) | 1977-02-10 | 1978-11-14 | Northern Telecom Limited | Method for manufacturing an optical fibre with plasma activated deposition in a tube |
| JPS62290054A (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波によるガスのイオン化方法およびイオン源装置 |
| JPH02107778A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-19 | Canon Inc | 偏波制御マイクロ波プラズマ処理装置 |
| JPH03193880A (ja) * | 1989-08-03 | 1991-08-23 | Mikakutou Seimitsu Kogaku Kenkyusho:Kk | 高圧力下でのマイクロ波プラズマcvdによる高速成膜方法及びその装置 |
| JPH06140186A (ja) * | 1992-10-22 | 1994-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラズマ製造方法 |
| DE19600223A1 (de) * | 1996-01-05 | 1997-07-17 | Ralf Dr Dipl Phys Spitzl | Vorrichtung zur Erzeugung von Plasmen mittels Mikrowellen |
| JP4326146B2 (ja) * | 1997-12-31 | 2009-09-02 | プラズマ オプティカル ファイバー ベスローテン フェンノートシャップ | Pcvd装置及び光ファイバ、プレフォームロッド及びジャケットチューブを製造する方法並びにこれにより製造される光ファイバ |
| US6715441B2 (en) | 1997-12-31 | 2004-04-06 | Plasma Optical Fibre B.V. | PCVD apparatus and a method of manufacturing an optical fiber, a preform rod and a jacket tube as well as the optical fiber manufactured therewith |
| DE19847848C1 (de) * | 1998-10-16 | 2000-05-11 | R3 T Gmbh Rapid Reactive Radic | Vorrichtung und Erzeugung angeregter/ionisierter Teilchen in einem Plasma |
| JP3625197B2 (ja) * | 2001-01-18 | 2005-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ装置およびプラズマ生成方法 |
| US6951798B2 (en) * | 2001-06-08 | 2005-10-04 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method of bonding a stack of layers by electromagnetic induction heating |
| JP4782984B2 (ja) * | 2001-12-04 | 2011-09-28 | ドゥラカ ファイバー テクノロジー ベー ヴェー | プラズマキャビティ内に電磁マイクロ波放射を適用する装置を用いたプラズマ処理装置及び方法 |
| US20030152700A1 (en) * | 2002-02-11 | 2003-08-14 | Board Of Trustees Operating Michigan State University | Process for synthesizing uniform nanocrystalline films |
| NL1025155C2 (nl) * | 2003-12-30 | 2005-07-04 | Draka Fibre Technology Bv | Inrichting voor het uitvoeren van PCVD, alsmede werkwijze voor het vervaardigen van een voorvorm. |
| JP4852997B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2012-01-11 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波導入装置及びプラズマ処理装置 |
| KR100861412B1 (ko) | 2006-06-13 | 2008-10-07 | 조영상 | 다결정 실리콘 잉곳 제조장치 |
| NL1032015C2 (nl) * | 2006-06-16 | 2008-01-08 | Draka Comteq Bv | Inrichting voor het uitvoeren van een plasma chemische dampdepositie (PCVD) en werkwijze ter vervaardiging van een optische vezel. |
| FR2903622B1 (fr) | 2006-07-17 | 2008-10-03 | Sidel Participations | Dispositif pour le depot d'un revetement sur une face interne d'un recipient |
| NL1033783C2 (nl) | 2007-05-01 | 2008-11-06 | Draka Comteq Bv | Inrichting voor het uitvoeren van een plasma chemische dampdepositie alsmede werkwijze ter vervaardiging van een optische voorvorm. |
| US20120186747A1 (en) * | 2011-01-26 | 2012-07-26 | Obama Shinji | Plasma processing apparatus |
-
2011
- 2011-11-17 NL NL2007809A patent/NL2007809C2/en not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-10-12 RU RU2012143706A patent/RU2625664C2/ru active
- 2012-11-09 US US13/672,706 patent/US9376753B2/en active Active
- 2012-11-14 DK DK12192493.0T patent/DK2594660T3/da active
- 2012-11-14 EP EP12192493.0A patent/EP2594660B1/en active Active
- 2012-11-14 PL PL12192493T patent/PL2594660T3/pl unknown
- 2012-11-14 BR BR102012029201-7A patent/BR102012029201A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2012-11-16 CN CN201210480714.8A patent/CN103122455B/zh active Active
- 2012-11-19 JP JP2012253248A patent/JP6227240B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Morgan et al. | The diameter of the commuting graph of a finite group with trivial centre | |
| JP2013108179A5 (enExample) | ||
| USD752339S1 (en) | Yarn tube holder | |
| CR20150413A (es) | Base para contenedor con desplazamiento variable | |
| GB2525556A (en) | Handle with retractable plunger | |
| EP2927988A3 (en) | Energy storage apparatus | |
| JP2015524646A5 (enExample) | ||
| IN2014DE02480A (enExample) | ||
| CL2015000566A1 (es) | Un envase que tiene un eje longitudinal y que incluye: un cuerpo que incluye una base con una superficie primaria de apoyo y una pared lateral, que se extiende desde la base y que incluye una faceta con una superficie secundaria de apoyo orientada en un angulo inclinado agudo con respecto al eje y obtuso con respecto a la superficie de apoyo primaria, teniendo la faceta también una cavidad en el interior de la superficie de apoyo secundaria. | |
| CR20150564A (es) | Punta de material reducido para catéter y método de formación de la misma | |
| CL2015001677A1 (es) | Un sistema de troquel, caracterizado porque comprende: (a) un contenedor metálico que tiene: una abertura; y una pared lateral del contenedor, en donde la pared lateral del contenedor tiene: un primer diámetro interior; y un segundo diámetro interior; en donde el primero diámetro interior de la pared lateral del contenedor es por lo menos 0,00254 cm (0,001 pulgada) mayor que el segundo diâmetro interior de la pared lateral del contenedor. | |
| PE20160355A1 (es) | Recipiente con indicaciones trazadas de manera nitida | |
| JP2015104665A5 (enExample) | ||
| RU2015107002A (ru) | Втулка главного вала конусной дробилки | |
| WO2015100169A8 (en) | Container closure, container assembly and method for utilizing the same | |
| MX2016000068A (es) | Ensamblaje de borde redondeado ajustable para usar con un ensamblaje de deflector de pozo. | |
| MX2018015555A (es) | Ensamblaje de cojinetes lisos. | |
| MX379216B (es) | Conjunto de patrón radial. | |
| PL398506A1 (pl) | Wskaznik obrotu nakretki w kole pojazdu | |
| MX2018010306A (es) | Dispositivos y metodos para generar ondas ultrasonicas de propagacion radial y su uso. | |
| RU2012143706A (ru) | Устройство для осуществления процесса плазмохимического осаждения из паровой фазы | |
| JP2014139064A5 (enExample) | ||
| RU2015135193A (ru) | Устройство поглощения энергии для бамперного узла и система поглощения энергии для транспортного средства | |
| JP2017005791A5 (enExample) | ||
| NZ738996A (en) | Container with a fitment |