KR100861412B1 - 다결정 실리콘 잉곳 제조장치 - Google Patents
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- 실리콘을 용융하기 위한 도가니;상기 도가니의 높낮이를 조절하기 위하여 도가니의 하부에 부착된 받침대의 각 모서리에 구비된 이송축;상기 도가니를 가열하기 위하여 도가니의 하부를 포함하면서 도가니의 외부를 둘러싸고, 도가니의 하부에 복수개로 형성되어 수평으로 개폐가 가능한 히터;상기 히터의 외부를 둘러싸고 있는 단열판; 및상기 단열판의 하부에 위치하여 도가니를 냉각하기 위한 냉각 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치.
- 실리콘을 용융하기 위한 도가니;상기 도가니의 높낮이를 조절하기 위하여 도가니의 하부에 부착된 받침대의 각 모서리에 구비된 이송축;상기 도가니를 가열하기 위하여 도가니의 하부를 포함하면서 도가니의 외부를 둘러싸고 있는 히터;상기 히터의 외부를 둘러싸고, 상기 히터의 하부에 복수개로 형성되어 수평으로 개폐가 가능한 단열판; 및상기 단열판의 하부에 위치하여 도가니를 냉각하기 위한 냉각 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치.
- 제 11항 또는 제 12항에 있어서,상기 도가니의 하부에 위치한 히터와 상기 히터의 하부에 위치한 단열판은 함께 수평으로 개폐가 가능한 다결정 실리콘 잉곳 제조장치.
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- 실리콘을 용융하기 위한 도가니;상기 도가니의 높낮이를 조절하기 위하여 도가니의 하부에 부착된 받침대의 각 모서리에 구비된 이송축;상기 도가니를 가열하기 위하여 도가니의 하부를 포함하면서 도가니의 외부를 둘러싸고 있는 히터;상기 히터의 외부를 둘러싸고 있는 단열판; 및상기 단열판의 하부에 위치하여 도가니를 냉각하기 위한 냉각 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치에 있어서,상기 다결정 실리콘 잉곳 제조장치는 진공이 형성 가능한 챔버 내에 구비된 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치.
- 제 17항에 있어서,상기 챔버의 벽면 내부에는 냉각수가 흐르기 위한 관이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치.
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