JP2013107137A - 片面研磨用保持材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発泡層と緻密な発泡による表面部分を有する樹脂シートを湿式成膜法により製造する工程と、表面に凸部を有する加熱可能なディンプルロールに樹脂シートを供給して樹脂シートの緻密な発泡による表面部分を圧接させることにより、樹脂シートを構成する材料の流動開始温度以上で熱成形加工する工程とを含むことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
<実施例1>
1.流動開始温度確認試験
市販の湿式成膜用ポリウレタン樹脂DMF溶液に、保持材の配合成分として通常使用される黒色顔料やその他の添加剤を配合し、ポリウレタン樹脂組成物を調製した。このポリウレタン樹脂組成物を1.4mmのクリアランスにてガラス板上に塗布し、130℃の乾燥機(タバイエスペック社製PH-201)に30分間入れて乾燥した。得られたフィルムの膜厚は140μmであった。
2.エンボス加工
前記のポリウレタン樹脂組成物を湿式成膜し、得られたポリウレタン樹脂シートに後述の表1の各温度(50℃、105℃、115℃、125℃、135℃、145℃、155℃)にて熱成形加工を施した。熱成形加工はロール面にディンプル(海島状の凹凸)を有するエンボスロールにより行い(ディンプル1個=平均直径98.4μm×平均深さ10.4μmのすり鉢形状、1mm×1mmに平均11.7個)、連続加工にて各温度×接圧(10kgf/cm2)×接圧時間約0.4秒にて処理した。
3.エンボス後水洗試験
熱成形加工の不可逆性を確認するために、熱成形加工の温度を変更し、研磨加工に見合う条件にて水洗処理を行った。
<実施例2>
熱ロール(ディンプル1個=平均直径75μm×平均高さ10.9μmの円筒形状、1mm×1mmに平均15.0個)にてポリウレタン樹脂シートに熱成形加工を施した。それ以外は実施例1と同様にして保持材を作製した。この保持材に用いたポリウレタン樹脂シートの熱成形加工後の表面形状を図2に示す。このように、ポリウレタン樹脂シートの緻密な発泡による表面部分は、発泡による凹凸がシート全体として平担化され、かつ、微視的には経時的に回復することなく熱ロールの表面形状が転写されていた。
<比較例1>
熱成形加工を施さなかった以外は実施例1と同様にして、裏面をバフィング加工した保持材を作製した。そのポリウレタン樹脂シートの表面形状を図2に示す。
<比較例2>
形状がフラット(プレーン)な状態である熱ロールにてポリウレタン樹脂シートに熱成形加工を施した。それ以外は実施例1と同様にして、裏面をバフィング加工した保持材を作製した。そのポリウレタン樹脂シートの表面形状を図2に示す。
1a 凹部
2 ディンプルロール
2a 凸部
3 加圧ロール
Claims (3)
- 発泡層と緻密な発泡による表面部分を有する樹脂シートを湿式成膜法により製造する工程と、表面に凸部を有する加熱可能なディンプルロールに前記樹脂シートを供給して前記樹脂シートの緻密な発泡による表面部分を圧接させることにより、前記樹脂シートを構成する材料の流動開始温度以上で熱成形加工する工程とを含むことを特徴とする片面研磨用保持材の製造方法。
- 前記樹脂シートの緻密な発泡による表面部分を熱成形加工することにより、被研磨物の保持面のシート全体としての表面平坦性を向上させ、かつ、前記ディンプルロールの凸部による凹部を前記被研磨物の保持面に形成することを特徴とする請求項1に記載の片面研磨用保持材の製造方法。
- 前記樹脂シートがポリウレタン樹脂シートであることを特徴とする請求項1または2に記載の片面研磨用保持材の製造方法。
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