JP2013033901A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】構成の大型化を招くことなく、半導体モジュールとバスバ電極との接合品質を向上した半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】パワー半導体素子とこのパワー半導体素子に電気的に接続された電力端子5とを備えた半導体モジュール1、ならびにバスバ電極2を有し、電力端子5とバスバ電極2とが電気的に接合される半導体装置において、第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11とが対向する接合面で、第1の電力端子5−1の端部7が第1のバスバ電極2−1の端部11に向かって凸状に湾曲していることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】パワー半導体素子とこのパワー半導体素子に電気的に接続された電力端子5とを備えた半導体モジュール1、ならびにバスバ電極2を有し、電力端子5とバスバ電極2とが電気的に接合される半導体装置において、第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11とが対向する接合面で、第1の電力端子5−1の端部7が第1のバスバ電極2−1の端部11に向かって凸状に湾曲していることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体モジュールとバスバ電極とが接合された構造を有する半導体装置に関する。
従来、この種の技術としては、例えば以下に示す文献に記載されたものが知られている(特許文献1,2参照)。文献1に記載された技術では、半導体モジュールの端子をそれぞれの半導体モジュールの近傍で直角に曲げて接合する。また、導通バスバーの先端部を半導体モジュールの端子と同様に直角に曲げて接合する。さらに、半導体モジュールの端子の先端部と導通バスバーの先端部をナゲットにより一括して溶融接合する。
これにより、ラインタクトを伸ばすことなく、良好な溶接結果が得られ、安定して量産できる電気部品の接続工法及び接続構造、並びにその接続構造を用いた電力変換装置を提供している。
しかし、上記文献1に記載された従来の技術では、接合する端子と導通バスバーの接合面が平行なため、接合面が離れるような位置ずれが生じた場合には、接合領域が確保できなくなり接合品質が低下するおそれがあった。
一方、文献2に記載された技術では、バスバーの一部に半導体モジュールのパワー端子が挿通される開口部が設けられている。この開口部は、半導体モジュールの端子の位置ずれを考慮した大きさとすることで、位置ずれが生じた場合においても接続信頼性を確保できるように構成されている。
これにより、半導体モジュールとバスバーとの接続信頼性に優れた製造容易な電力変換装置を提供している。
しかし、上記文献2に記載された従来の技術では、開口部に半導体モジュールの端子を挿通することで接続信頼性を確保する構成となっていたため、位置ずれ発生の向きの種類が増えるにしたがって開口部が大きくなり接続部が大型化する。したがって、接続部の大型化を招くことなく接続信頼性を確保することは困難となり、接合品質の低下を招くおそれがあった。
以上説明したように、上記従来の技術において、半導体モジュールとバスバーとの接合面に位置ずれが生じた場合には、良好な接合を得ることが困難となり、接合品質が低下するといった不具合を招くおそれがあった。
そこで、本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、構成の大型化を招くことなく、半導体モジュールとバスバ電極との接合品質を向上した半導体装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、半導体モジュールの半導体素子と電気的に接続される電極端子とバスバ電極とが対向する接合面の一方が、接合面に向かって凸状に湾曲していることを特徴とする。
本発明によれば、電極端子とバスバ電極とが対向する接合面の一方が、接合面に向かって凸状に湾曲して形成されているので、従来に比べて接合可能面積を広げることが可能となる。これにより、構成の大型化を招くことなく、半導体モジュールとバスバ電極との接合品質を向上することができる。
以下、図面を用いて本発明を実施するための実施形態を説明する。
(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1に係る半導体装置の構成を示す断面図である。図1に示す実施形態1の半導体装置は、例えば電気自動車やハイブッリド電気自動車などの電動車両に用いられる電力変換装置を構成している。この電力変換装置は、例えば車載バッテリから供給された直流電力を交流モータを駆動する交流電力に変換するインバータなどとして好適に用いることができる。このような交流モータの駆動などに用いられるインバータなどの電力変換装置は、一般的にIPMと呼ばれる半導体モジュールやコンデンサ、冷却器といった構成要素を備えて構成されている。
図1は本発明の実施形態1に係る半導体装置の構成を示す断面図である。図1に示す実施形態1の半導体装置は、例えば電気自動車やハイブッリド電気自動車などの電動車両に用いられる電力変換装置を構成している。この電力変換装置は、例えば車載バッテリから供給された直流電力を交流モータを駆動する交流電力に変換するインバータなどとして好適に用いることができる。このような交流モータの駆動などに用いられるインバータなどの電力変換装置は、一般的にIPMと呼ばれる半導体モジュールやコンデンサ、冷却器といった構成要素を備えて構成されている。
半導体モジュールは、パワー半導体素子をバスバ電極、ワイヤボンドなどの組み合わせで電気的に接続するとともに、素子からの発熱を冷却器へと熱的に接続するための熱回路を作りこんだモジュールである。パワー半導体素子は、例えばトランジスタ、IGBT、サイリスタなどで構成される。パワー半導体素子の各電力端子には入力、出力用のバスバ電極が接続され、出力用のバスバ電極を介してモータに交流電力が供給される。
図1において、この実施形態1の半導体装置は、上述した半導体モジュール1ならびに2つのバスバ電極2を備えている。半導体モジュール1は、例えば2つのパワー半導体素子3が実装されている。各パワー半導体素子3は、導電性の接合材4を介して双方の主面(図1では上下面)にそれぞれ電力端子5が電気的に接合されている。電力端子5は、パワー半導体素子3とこのパワー半導体素子3に接続される電気機器(図示せず)の例えばモータ(図示せず)との間で電力の入出力を行う端子として機能する。
各パワー半導体素子3は、封止樹脂6で封止されてモジュール化され、各電力端子5の一方の端部は封止樹脂6外に露出して引き出されている。すなわち、各パワー半導体素子3の一方の主面(図1では下面)に接続された電力端子5(図1では下側の電力端子で、以下第1の電力端子5−1と呼ぶ)は、その一方の端部7が封止樹脂6外に露出して引き出されている。各パワー半導体素子3の他方の主面(図1では上面)に接続された電力端子5(図1では上側の電力端子で、以下第2の電力端子5−2と呼ぶ)は、その一方の端部が封止樹脂6外に露出して引き出されている。
半導体モジュール1の一方の主面(図1では下面)には、絶縁材8を介して冷却器9が接合されている。冷却器9は、半導体モジュール1で発生した熱を放熱して半導体モジュール1を冷却する機能を有している。
半導体モジュール1の他方の主面(図1では上面)には、2つのバスバ電極2が配置されている。バスバ電極2は、例えば細長い棒状の導体や長尺の薄い導体片で構成され、半導体モジュール1とこの半導体モジュール1に電気的に接続されるモータなどの電気機器との通電配線路として機能する。バスバ電極2を構成する導体としては、例えば銅やアルミ、もしくはそれらの合金などの金属が用いられる。
2つのバスバ電極2の内、一方のバスバ電極2(以下、第1のバスバ電極2−1と呼ぶ)は、絶縁材10を介して半導体モジュール1の他方の主面(図1では上面)に接合されている。第1のバスバ電極2−1の一方の端部11は、第1の電力端子5−1の端部7に対向して配置形成されている。2つのバスバ電極2の内、他方のバスバ電極2(以下、第2のバスバ電極2−2と呼ぶ)は、絶縁材12を介して第1のバスバ電極2−1上に接合されている。第1のバスバ電極2−1と第2のバスバ電極2−2とは、互いに絶縁されて配置されている。
このような構成において、この実施形態1の特徴として、第1の電力端子5−1の一方の端部7は、対向する第1のバスバ電極2−1の一方の端部11側が凸状に湾曲して形成されている。すなわち、第1の電力端子5−1の一方の端部7において、第1のバスバ電極2−1の一方の端部11に対向する接合面は、凸状の湾曲面を構成している。一方、第1のバスバ電極2−1の一方の端部11は、対向する第1の電力端子5−1の一方の端部7の湾曲面に対して平面状(図1では半導体モジュール1の主面方向に対して垂直面)に形成されている。
したがって、第1のバスバ電極2−1の端部11と第1の電力端子5−1の端部7とは、平面と湾曲面とが対向した状態で配置されている。対向する第1のバスバ電極2−1の端部11と第1の電力端子5−1の端部7の厚さは、双方概ね同等に形成されている。第1のバスバ電極2−1の端部11と第1の電力端子5−1の端部7は、このような配置状態で例えばレーザ溶接などで電気的に接合されている。
次に、図2を参照して、第1のバスバ電極2−1の端部11と第1の電力端子5−1の端部7との接合状態について説明する。図2は対向する電極と電力端子との接合の様子を示す図であり、同図(a1〜a4)は接合面がともに平面の場合(従来例とする)であり、同図(b1〜b4)はこの実施形態1で採用した技術であり、平面と湾曲面が対向している場合を示している。
ここで、例えば以下に示す要件において、レーザ溶接によって第1のバスバ電極2−1と第1の電力端子5−1とを接合した場合について対比する。接合部となる第1のバスバ電極2−1の端部11と第1の電力端子5−1の端部7の寸法は、例えば厚さが10mm程度、幅が8mm程度とする。レーザ溶接による溶融可能なギャップ(隙間)は、0.2mm程度(文献、「薄鋼板のレーザ溶接における耐ギャップ性の向上」 溶接学会全国大会講演概要 第81集 2007−9)とする。また、溶接に必要な接合領域21の寸法は、例えばφ3(直径3mm)程度とする。
このような要件でレーザ溶接を行った場合に、第1のバスバ電極2−1と第1の電力端子5−1との接合面の間にギャップがない場合には、図2(a2)、同図(b2)に示すような接合状態となる。すなわち、従来例ならびに本実施形態1の双方ともに溶接に必要な接合領域21の全領域がレーザにより溶融して両者が接合され、良好な接合状態が得られる。
これに対して、組み立て時に双方の接合面が離れるような位置ずれが発生して、図2(a3)、同図(b3)に示すように、接合面の間に例えば0.4mm程度のギャップ22が生じたとする。このような場合には、溶接後の状態は同図(a4)、同図(b4)に示すような状態となる。図2(a4)に示す従来例では、接合面にギャップ22が生じているため、溶接時に治具23により第1のバスバ電極2−1と第1の電力端子5−1の両端部をクリップする。これにより、第1のバスバ電極2−1と第1の電力端子5−1の両端部は接触するが両端部から離れるにしたがってギャップが拡がる。これにより、接合領域21の中心となる溶接点の中心において、接合面のギャップは0.22mm程度となる。このような状態で溶接を行うと、上述した溶融可能なギャップの値から実際に溶接される溶接領域24は、接合領域21の面積に対して半分程度の面積となる。
これに対して、図2(b4)に示す本実施形態1では、従来例と同様に接合面にギャップ22が生じているため、溶接時に治具23により第1のバスバ電極2−1と第1の電力端子5−1の両端部をクリップする。このときに、第1の電力端子5−1の接合面は湾曲しているので、図2(b4)に示すように接合領域21の全領域における接合面のギャップは、0.2mm程度以下となる。このような状態で溶接を行うと、上述した溶融可能なギャップの値から実際に溶接される溶接領域は、接合領域21の全領域となる。すなわち、接合領域21の全領域で溶接が行われる。これにより、ギャップが生じていない場合と同等の良好な接合が得られ、図2(a4)に示す従来に比べて接合面積は2倍となり、電気抵抗は半分に低減される。
このように、上記実施形態1においては、接合面にギャップが生じた場合であっても、第1の電力端子5−1の端部7が凸形状で湾曲しているので、端部をクランプすることで従来に比べて溶接が可能となる領域を広げることができる。これにより、接合部が拡大して大型化を招くことなく従来に比べて良好な接合が得られて接合強度が増し、接合品質を向上することができる。この結果、従来に比べて接合部における電気的抵抗を低減することが可能となる。
なお、上記実施形態1において、双方の接合面において、第1の電力端子5−1の端部7が平板形状で、第1のバスバ電極2−1の端部11が第1の電力端子5−1の端部7側に向かって凸形状に湾曲して形成されていても、同様の効果を得ることができる。
(実施形態2)
図3は本発明の実施形態2に係る半導体装置の構成を示す断面図である。図3に示す実施形態2の半導体装置において、先の実施形態1の半導体装置と異なる点は、実施形態1の半導体装置の構成に加えて屈曲部31ならびに溶融池32を形成したことである。また、第1のバスバ電極2−1の端部11の厚さが、この端部11に対向する第1の電力端子5−1の端部7の厚さに比べて薄く形成したことである。他は先の実施形態1と同様なので、その説明は省略する。
図3は本発明の実施形態2に係る半導体装置の構成を示す断面図である。図3に示す実施形態2の半導体装置において、先の実施形態1の半導体装置と異なる点は、実施形態1の半導体装置の構成に加えて屈曲部31ならびに溶融池32を形成したことである。また、第1のバスバ電極2−1の端部11の厚さが、この端部11に対向する第1の電力端子5−1の端部7の厚さに比べて薄く形成したことである。他は先の実施形態1と同様なので、その説明は省略する。
屈曲部31は、第1の電力端子5−1における封止樹脂6で封止された部分と封止樹脂6から露出した端部7との間に両者に接合されて形成されている。屈曲部31は、コの字状で、その凹部が第1のバスバ電極2−1と第1の電力端子5−1との接合領域の下方となる位置に形成されている。すなわち、屈曲部31は、第1のバスバ電極2−1と第1の電力端子5−1との接合面を溶融接合した際に発生する溶融物(溶融金属)の流路に設けられている。屈曲部31は、溶接する際に第1のバスバ電極2−1と第1の電力端子5−1との両端部をクリップしたときに、もしくは溶接時に、発生する外力を吸収して緩和する機能を有する。
なお、このように機能する屈曲部31は、1箇所に限らず複数箇所に設けることも可能である。
溶融池32は、屈曲部31の凹部として形成され、溶接時に接合領域から流れ出た溶融金属を受ける受け皿として機能する。
先の実施形態1に対して上記新たな構成を加えることで、この実施形態2では、先の実施形態1で得られる効果に加えて、屈曲部31によりクランプ時もしくは溶接時に発生する外力を吸収して緩和することができる。これにより、第1の電力端子5−1上に接合されて実装されたパワー半導体素子3や、第1のバスバ電極2−1と接続されるコンデンサ(図示せず)などの周辺部品の損傷を抑制して、接合の信頼性を高めることができる。
また、屈曲部31を接合領域の下方に配置形成することで、この屈曲部31が溶接時の溶融金属が下方に流れるのをせき止めるように機能する。これにより、溶接時に溶融金属の流出拡散を抑制することが可能となる。さらに、屈曲部31に溶融池32を形成することで、溶融金属が溶融池32に案内されて貯留されるので、溶融金属の流出拡散をより一層抑制することが可能となる。この結果、溶融金属による周辺部品の損傷を抑制して、接合の信頼性を高めることができる。
さらに、先の実施形態1に比べて第1のバスバ電極2−1の端部11の厚さを薄くしたことで、溶接時に溶融に必要な熱容量を低減して、先の実施形態1と同等の接合品質を得ることが可能となる。なお、第1の電力端子5−1の端部7の厚さを第1のバスバ電極2−1の端部11の厚さよりも薄く形成しても、上記と同様の効果を得ることができる。
(実施形態3)
図4は本発明の実施形態3に係る半導体装置の構成を示す断面図である。図4に示す実施形態3の半導体装置において、先の実施形態1の半導体装置と異なる点は、第1のバスバ電極2−1の端部11の形状を、平板形状に代えて湾曲形状としたことである。
図4は本発明の実施形態3に係る半導体装置の構成を示す断面図である。図4に示す実施形態3の半導体装置において、先の実施形態1の半導体装置と異なる点は、第1のバスバ電極2−1の端部11の形状を、平板形状に代えて湾曲形状としたことである。
第1のバスバ電極2−1の端部11は、先の実施形態1で採用した第1の電力端子5−1の端部7と同等の形状ならびに寸法で、かつ凸部の向きも同方向に配置形成されている。すなわち、第1のバスバ電極2−1の端部11は、対向する第1の電力端子5−1の端部7に対して逆側が凸状に湾曲して形成されている。
このように、上記実施形態3では、第1のバスバ電極2−1ならびに第1の電力端子5−1の対向面がともに湾曲面に形成されている。このような技術を採用することで、対向面に先の図2で説明した以上のギャップが生じた場合であっても、溶接が可能となる接合領域を広げることが可能となる。これにより、接合部が拡大して大型化を招くことなく従来に比べて良好な接合が得られて接合強度が増し、接合品質を向上することができる。この結果、従来に比べて接合部における電気的抵抗を低減することが可能となる。
なお、上記実施形態3は、先の実施形態2で採用した特徴的な技術を採用することができる。すなわち、屈曲部や溶融池を設けたり、第1のバスバ電極2−1の端部11、第1の電力端子5−1の端部7の厚さを薄く形成するようにしてよい。
(実施形態4)
図5は本発明の実施形態4に係る半導体装置の構成を示す正面図ある。図5に示す実施形態4の特徴とするところは、先の実施形態1で説明した技術を採用した複数の半導体モジュールが共通接合されるバスバ電極を一体化して形成したことにある。
図5は本発明の実施形態4に係る半導体装置の構成を示す正面図ある。図5に示す実施形態4の特徴とするところは、先の実施形態1で説明した技術を採用した複数の半導体モジュールが共通接合されるバスバ電極を一体化して形成したことにある。
半導体モジュール1は、先の図1に示す実施形態1の半導体モジュール1に対して、第3の電力端子5−3を加え、その端部51が第1の電力端子5−1の端部7と同等に構成されている。
先の図1に示す実施形態1の第1のバスバ電極2−1は、円環状に一体形成され、第1の電力端子5−1と接合される接合部52が設けられている。先の図1に示す実施形態1の第2のバスバ電極2−2は、第1のバスバ電極2−1の外側に第1のバスバ電極2−1と同心円に円環状に一体形成され、第3の電力端子5−3と接合される接合部53が設けられている。
各半導体モジュール1の第1の電力端子5−1は、その端部7が接合部52と接合されて円環状の第1のバスバ電極2−1と電気的に接合されている。各半導体モジュール1の第3の電力端子5−3は、その端部51が接合部53と接合されて円環状の第2のバスバ電極2−2と電気的に接合されている。このような接合構造により、円環状の第1のバスバ電極2−1ならびに第2のバスバ電極2−2の円周に沿って複数の半導体モジュール1が配置構成されている。
このように、上記実施形態4では、複数の半導体モジュールが共通接合されるバスバ電極を一体化して形成し、一体化したバスバ電極に複数の半導体モジュールを共通接合する実装構造を採用している。このような技術を採用することで、簡単な構成で半導体装置の大容量化を図ることができる。また、このような大容量化を図った実装構造においては、複数の半導体装置において上述したような位置ずれが発生した場合であっても、先の実施形態1で得られる効果と同様の効果を得ることができる。
なお、上記実施形態4において、バスバ電極2は円環状に限ることはなく、例えば円弧状や直線状でもよく、あるいは分散配置しても同様の効果を得ることが可能である。また、実施形態1で説明した半導体モジュール1に代えて実施形態2、3で説明した半導体モジュール1を用いても同様の効果を得ることができる。
(実施形態5)
図6は本発明の実施形態5に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は接触部の模式的な断面図であり、同図(c)は模式的な正面図である。図6に示す実施形態5の半導体装置において、先の実施形態1の半導体装置と異なる点は、第1のバスバ電極2−1の一方の端部11に開口部61を形成したことである。他は先の実施形態1と同様なので、その説明は省略する。
図6は本発明の実施形態5に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は接触部の模式的な断面図であり、同図(c)は模式的な正面図である。図6に示す実施形態5の半導体装置において、先の実施形態1の半導体装置と異なる点は、第1のバスバ電極2−1の一方の端部11に開口部61を形成したことである。他は先の実施形態1と同様なので、その説明は省略する。
開口部61は、第1のバスバ電極2−1の端部11であって第1の電力端子5−1の一方の端部7が接合される位置に、円形状もしくは楕円形状に形成されている。円弧形状に湾曲した第1の電力端子5−1の端部7は、湾曲した接合面の凸部が開口部61の周縁部で接触して例えばレーザ溶接などで電気的に接合される。
このように、上記実施形態5では、開口部61を第1のバスバ電極2−1の端部11に設けることで、容易に接合作業を行うことができる。開口部61が設けられていない場合には、接合箇所の位置が把握しづらいおそれがあった。すなわち、接合箇所は、第1の電力端子5-1の端部7側もしくは第1のバスバ電極2−1の端部11側のいずれの方向から見ても、端部7もしくは端部11が障壁となっていた。
これに対して、開口部61を設けることで、開口部61の周縁部に第1の電力端子5-1の端部7が接触して周縁部が接合部となるので、接合箇所が認識しやすくなる。これにより、レーザ溶接の場合には、レーザを的確に照射することが可能となり、容易に接合作業を行うことができる。また、接合にレーザ溶接を用いた場合には、高強度で低電気抵抗の接合が可能となる。
さらに、開口部61を円形状もしくは楕円形状とし、第1の電力端子5−1の端部7の湾曲した凸部を円弧形状とする。これにより、第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11との位置ずれの方向の種類(次元)が増えた場合であっても、開口部61や第1の電力端子5−1の端部7を大きくすることなく接触領域を確保することできる。
(実施形態6)
図7は本発明の実施形態6に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は接触部の模式的な断面図であり、同図(c)は模式的な正面図である。図7に示す実施形態6の半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、第1の電力端子5−1の端部7を円弧形状に湾曲した形状に代えて、凸状に湾曲している凸部71をテーパー状に形成したことである。また、第1のバスバ電極2−1の端部11の開口部61を矩形状に形成し、開口部61の開口面積を凸部71の面積よりも大きく形成したことである。他は先の実施形態5と同様なので、その説明は省略する。
図7は本発明の実施形態6に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は接触部の模式的な断面図であり、同図(c)は模式的な正面図である。図7に示す実施形態6の半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、第1の電力端子5−1の端部7を円弧形状に湾曲した形状に代えて、凸状に湾曲している凸部71をテーパー状に形成したことである。また、第1のバスバ電極2−1の端部11の開口部61を矩形状に形成し、開口部61の開口面積を凸部71の面積よりも大きく形成したことである。他は先の実施形態5と同様なので、その説明は省略する。
このような構成においては、開口部61の周縁部と凸部71におけるテーパー状の周縁部とが接触してレーザ溶接等で電気的に接合され、第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11とが電気的に接続される。
このように、上記実施形態6では、上述した構成を採用することで、第1の電力端子5−1と第1のバスバ電極2−1との接触面積、ならびに溶接が可能なギャップ以下の両者の溶接領域を増やすことができる。
(実施形態7)
図8は本発明の実施形態7に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は接触部の模式的な断面図であり、同図(c)は模式的な正面図である。図8に示す実施形態7の半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、第1の電力端子5−1の端部7の剛性を第1のバスバ電極2−1の端部11よりも低く形成したことである。他は先の実施形態5と同様なので、その説明は省略する。
図8は本発明の実施形態7に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は接触部の模式的な断面図であり、同図(c)は模式的な正面図である。図8に示す実施形態7の半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、第1の電力端子5−1の端部7の剛性を第1のバスバ電極2−1の端部11よりも低く形成したことである。他は先の実施形態5と同様なので、その説明は省略する。
このような構成では、第1の電力端子5−1の端部7を第1のバスバ電極2−1の端部11に形成された開口部61に押圧した際に、開口部61に接触する第1の電力端子5−1の端部7が塑性変形する。
このように、上記実施形態7では、第1の電力端子5−1の端部7の押圧時に塑性変形する程度に、第1の電力端子5−1の端部7の剛性を低く形成したことで、接触領域を増やすことができる。
(実施形態8)
次いで、本発明の実施形態8に係る半導体装置について説明する。実施形態8に係る半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、第1のバスバ電極2−1の端部11の剛性を第1の電力端子5−1の端部7よりも高く形成したことである。他は先の実施形態5と同様なので、その説明は省略する。
次いで、本発明の実施形態8に係る半導体装置について説明する。実施形態8に係る半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、第1のバスバ電極2−1の端部11の剛性を第1の電力端子5−1の端部7よりも高く形成したことである。他は先の実施形態5と同様なので、その説明は省略する。
このような構成では、開口部61の周縁部に第1の電力端子5−1の端部7を押し当てた際に、第1のバスバ電極2−1の端部11の反力により両者の接触が確保される。
このように、上記実施形態8では、上記構成を採用することで、図2に示すような治具23を用いることなく第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11との接触領域を増やすことができる。
(実施形態9)
次いで、本発明の実施形態9に係る半導体装置について説明する。この実施形態9に係る半導体装置は、先の実施形態4の半導体装置と異なる点は、先の実施形態5で採用した特徴的な技術である、第1のバスバ電極2−1の端部11に開口部61を形成したことである。他は先の実施形態4と同様なので、その説明は省略する。
次いで、本発明の実施形態9に係る半導体装置について説明する。この実施形態9に係る半導体装置は、先の実施形態4の半導体装置と異なる点は、先の実施形態5で採用した特徴的な技術である、第1のバスバ電極2−1の端部11に開口部61を形成したことである。他は先の実施形態4と同様なので、その説明は省略する。
このような構成においては、複数の半導体モジュールが共通接合されるバスバ電極を一体化して形成される。これにより、この実施形態9では、先の実施形態4ならびに実施形態5で得られる効果を併せて得ることができる。また、複数の半導体モジュール1に対して異なる方向(半径方向、回転方向、高さ(上下)方向)の位置ずれが生じた場合でも、接触領域を確保しやすくなる。
(実施形態10)
図9は本発明の実施形態10に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は模式的な正面図である。図9に示す実施形態10の半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11を水平方向に形成したことである。また、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、先の実施形態4ならびに実施形態9と同様に複数の半導体モジュール1を配置形成したことである。他は先の実施形態4,5,9と同様なので、その説明は省略する。
図9は本発明の実施形態10に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は模式的な正面図である。図9に示す実施形態10の半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11を水平方向に形成したことである。また、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、先の実施形態4ならびに実施形態9と同様に複数の半導体モジュール1を配置形成したことである。他は先の実施形態4,5,9と同様なので、その説明は省略する。
先の実施形態5の第1の電力端子5−1の端部7は、パワー半導体素子3の主面方向(図9(a)の左右方向)に対して垂直方向に形成されているのに対して、この実施形態10では、主面方向と同方向の水平方向に形成されている。同様に、第1のバスバ電極2−1の端部11は、第1の電力端子5−1の端部7の上部に対向して主面方向と同方向の水平方向に形成されている。第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11とは、水平方向に形成された状態で先の実施形態5と同様に開口部61の周縁部に接触した状態で電気的に接合されている。
また、複数の半導体モジュール1のそれぞれに対応した第1のバスバ電極2−1は、図9(b)に示すように先の実施形態4と同様に円環状に一体形成されている。
このような構成においては、第1のバスバ電極2−1の端部11に形成された開口部61は、上側が開放された状態ですべて同一平面上に形成される。これにより、第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11とを接合する溶接作業を容易に行うことが可能となり、作業時間を短縮して作業効率を向上することができる。
(実施形態11)
図10は本発明の実施形態11に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は模式的な正面図である。図10に示す実施形態11の半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、開口部61が形成された第1のバスバ電極2−1の端部11を、第1の電力端子5−1の端部7と対向する側の接合面が凸部となるように湾曲して形成したことである。また、先の実施形態4ならびに実施形態9と同様に複数の半導体モジュールを配置形成したことである。さらに、複数の半導体モジュール1に対応したそれぞれの第1のバスバ電極2−1の端部11を、同一の集点で一致するような角度で垂直方向に対して第1の電力端子5−1の端部7側に傾斜させて屈曲形成したことである。また、第1のバスバ電極2−1の端部11を屈曲して形成したのに対応して、第1の電力端子5−1の端部7を、第1のバスバ電極2−1の端部11と同様に傾斜させて屈曲形成したことである。他は先の実施形態4,5,9と同様なので、その説明は省略する。
図10は本発明の実施形態11に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は模式的な断面図であり、同図(b)は模式的な正面図である。図10に示す実施形態11の半導体装置において、先の実施形態5の半導体装置と異なる点は、開口部61が形成された第1のバスバ電極2−1の端部11を、第1の電力端子5−1の端部7と対向する側の接合面が凸部となるように湾曲して形成したことである。また、先の実施形態4ならびに実施形態9と同様に複数の半導体モジュールを配置形成したことである。さらに、複数の半導体モジュール1に対応したそれぞれの第1のバスバ電極2−1の端部11を、同一の集点で一致するような角度で垂直方向に対して第1の電力端子5−1の端部7側に傾斜させて屈曲形成したことである。また、第1のバスバ電極2−1の端部11を屈曲して形成したのに対応して、第1の電力端子5−1の端部7を、第1のバスバ電極2−1の端部11と同様に傾斜させて屈曲形成したことである。他は先の実施形態4,5,9と同様なので、その説明は省略する。
このような構成において、第1のバスバ電極2−1の端部11を第1の電力端子5−1の端部7側に押し当てることで、第1のバスバ電極2−1の端部11に形成された開口部61の周縁部と第1の電力端子5−1の端部7の凸部が接触する。このような状態において、レーザ溶接等により第1の電力端子5-1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11とを接合して両者を電気的に接合する。
このように、上記実施形態11においては、接合部が垂直方向に対して傾斜しているので、レーザ溶接を行う際に開口部61にレーザを照射する溶接ヘッドを移動させることなく溶接作業を行うことが可能となる。上記実施形態11においては、第1のバスバ電極2−1の端部11に形成された開口部61の周縁部に、第1の電力端子5−1の端部7における凸部側が押し当てられて両者が接触する。これにより、図2(d)に示すような治具23を用いることなく第1の電力端子5−1の端部7と第1のバスバ電極2−1の端部11との接触領域を増やすことができる。
上記実施形態5〜10において、双方の接合面において、第1の電力端子5−1の端部7が平板形状で、第1のバスバ電極2−1の端部11が第1の電力端子5−1の端部7側に向かって凸形状に湾曲して形成されていてもかまわない。、このような場合には、開口部61は、第1のバスバ電極2−1の端部11に形成されると同様に第1の電力端子5−1の端部7側に形成される。
上記実施形態1〜11では、半導体モジュール1として例えば電力変換装置を一例として説明してきたが、本発明は、上記電力変換装置に限定されることはない。すなわち、様々な機能を備えた半導体モジュールとバスバ電極とが電気的に接合される構造を有する装置であれば、どのような機能を備えた半導体装置であっても適用して、同様の効果を得ることは可能である。
1…半導体モジュール
2…バスバ電極
2−1…第1のバスバ電極
2−2…第2のバスバ電極
3…パワー半導体素子
4…接合材
5…電力端子
5−1…第1の電力端子
5−2…第2の電力端子
5−3…第3の電力端子
6…封止樹脂
7,11、51…端部
8,10,12…絶縁材
9…冷却器
21…接合領域
22…ギャップ
23…治具
24…溶接領域
31…屈曲部
32…溶融池
52,53…接合部
61…開口部
71…凸部
2…バスバ電極
2−1…第1のバスバ電極
2−2…第2のバスバ電極
3…パワー半導体素子
4…接合材
5…電力端子
5−1…第1の電力端子
5−2…第2の電力端子
5−3…第3の電力端子
6…封止樹脂
7,11、51…端部
8,10,12…絶縁材
9…冷却器
21…接合領域
22…ギャップ
23…治具
24…溶接領域
31…屈曲部
32…溶融池
52,53…接合部
61…開口部
71…凸部
Claims (17)
- 半導体素子と該半導体素子に電気的に接続された電極端子とを備えた半導体モジュール、ならびにバスバ電極を有し、前記電極端子と前記バスバ電極とが電気的に接合される半導体装置において、
前記電極端子と前記バスバ電極とが対向する接合面の一方が、接合面に向かって凸状に湾曲している
ことを特徴とする半導体装置。 - 半導体素子と該半導体素子に電気的に接続された電極端子とを備えた半導体モジュール、ならびにバスバ電極を有し、前記電極端子と前記バスバ電極とが電気的に接合される半導体装置において、
前記電極端子と前記バスバ電極とが対向する接合面の双方が、同方向に凸状に湾曲している
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記電極端子と前記バスバ電極とが対向する接合面の一方は、他方の接合面の厚さよりも薄く形成されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記半導体モジュールの電極端子と前記バスバ電極のいずれか一方または双方に、外力を吸収する少なくとも1つ以上の屈曲部が設けられている
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記屈曲部は、前記電極端子と前記バスバ電極とが対向する接合面を溶融接合した際に発生する溶融物の流路に設けられている
ことを特徴する請求項4に記載の半導体装置。 - 前記電極端子と前記バスバ電極とが対向する接合面を溶融接合した際に発生する溶融物の流路に、前記溶融物を貯める溶融池が設けられている
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 - 前記半導体モジュールが複数配置され、前記それぞれの半導体モジュールの電極端子が共通接合する前記バスバ電極が、一体化されて形成されている
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記接合面の一方は、開口部を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記開口部の開口面積は、凸状に湾曲している一方の接合面の凸部の面積よりも大きい
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。 - 前記開口部は、円形状もしくは楕円形状であり、前記凸部は円弧形状もしくはテーパー形状である
ことを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置。 - 前記凸状に湾曲している一方の接合面の剛性は、前記他方の接合面の剛性よりも低く、前記双方の接合面を押圧した際に前記剛性の低い一方の接合面が塑性変形する
ことを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記開口部を有する一方の接合面の剛性は、前記他方の接合面の剛性よりも高く、前記双方の接合面を押圧した際に前記剛性の高い一方の接合面が前記他方の接触面に対して反力を生じる
ことを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記半導体モジュールが複数配置され、前記それぞれの半導体モジュールの電極端子が共通接合する前記バスバ電極が、一体化されて形成されている
ことを特徴とする請求項8〜12のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記複数の半導体モジュールは、円環状に配置されている
ことを特徴とする請求項7または13に記載の半導体装置。 - 前記開口部は、同一平面上に配置されている
ことを特徴とする請求項13または14に記載の半導体装置。 - 前記開口部を有する一方の接合面は、すべて同一の集点を持つような角度で傾斜して屈している
ことを特徴とする請求項13または14に記載の半導体装置。 - 前記双方の接合面は、溶接で接合される
ことを特徴とする請求項1〜16のいずれか1項に記載の半導体装置。
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