JP2013014518A - 無気泡及び減少した気泡成長壁を備えたシリカガラスるつぼ - Google Patents
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Abstract
CZ工程において用いられる時、るつぼ壁にはほとんど体積変化が観察されず、そして溶融レベルにおいてはほとんど影響せず、減少した結晶欠陥でゆっくり引き上げられるシリコンインゴットに特に好適なるつぼを提供する。
【解決手段】
本発明のシリカガラスるつぼは、安定している無気泡内層及び不透明な外層を有し、この両方の層は、チョクラルスキー工程の操業中、減少した気泡成長を示す。本発明の溶融工程は、成形された粒子が緻密な溶融シリカに溶融される溶融前線において動力学的なガスバランスを制御している。
【選択図】図1
Description
までもないことであるが、本発明は、前記空気路、穴、多岐管、バルブ、及びモールド面14とポンプとの間に配置された他の構造の伝達性能に応じて、前記性能の範囲外のポンプを用いて実施することもできる。モールド面14とポンプとの間に配置された全ての構造は、本明細書では流通路と呼ばれる。
量として定義される:
V1=A・∂G(t)/∂t ・・・(1)
数、そしてBは比例定数である
V2=B・(1-ert(t))3・・・(2)
V3=P・C ・・・(3)
約50mm(即ち、約19.6cm2の面積)以上の円直径を有することが必要である。
上記大きさは先行技術の構造とは大きく相違する。即ち、先行技術においては、配管は通常約12mmの直径(約1.13cm2の面積)を有する。
部22、24の様な10mmの界面開口直径、及び12mmの長さを有する、通路18の様な空気路を含む。
外層の見かけ密度の減少を含むVBT後には、かなりの量の気泡放出が生じる。
Claims (8)
- モールドの内部空間に放射状に開放された内面と前記モールドの内壁に放射状に隣接する外面とを有するるつぼ形状にシリカ粒子を配置するように回転するモールドの内面に沿って前記シリカ粒子を供給すること、
前記モールドの内部空間から前記シリカ粒子を加熱すること、
前記シリカ粒子を介して前記モールドの内壁内に分配された複数の通気孔内に空気を吸引すること、
前記加熱されたシリカ粒子からガスを放出させること、
放射状の内面に始まり放射状の外面に向かって進行する溶融前線を設定すること、
前記シリカ粒子が約2mmを超える大きさの透明ガラス層を形成するまでガスが導入される速度を超える速度で前記溶融前線からガスを吸引するように前記溶融前線と前記モールドの内壁との間の圧力差を維持すること、及び
その後、ガスが導入される速度に達しない速度で前記溶融前線からガスが吸引されるまで前記溶融前線と前記モールドの内壁との間の圧力差を減少させること、
を含む溶融シリカるつぼの製造方法。 - 前記導入したガスが、前記加熱されたシリカ粒子から放出されたガスと前記シリカ粒子から吸引された空気を含む請求項1記載の方法。
- 前記圧力差を減少させることが、溶融前線の放射状の外面方向の進行が実質的に停止するまで続く請求項1記載の方法。
- 前記モールドの内部空間から前記シリカ粒子を加熱することが、
前記モールドの内部空間に電極を配置すること、及び
前記電極に約500KVA〜約1200KVAを適用すること、
を含む請求項1記載の方法。 - 前記モールドが約620mmの内径を有する請求項1記載の方法。
- 前記モールドが約620mmの内径を有し、かつ前記モールドの内壁内に分配された複数の通気孔内に前記シリカ粒子を介して空気を吸引することが、約350m3/hrの速度で前記通気孔を介して空気をポンプで吸引することを含む請求項1記載の方法。
- 前記モールドが、約470mmの内径を有し、かつ前記モールドの内壁内に分配された複数の通気孔内に前記シリカ粒子を介して空気を吸引することが、約80m3/hrの速度で前記通気孔を介して空気をポンプで吸引することを含む請求項1記載の方法。
- 請求項1記載の方法によって製造されるるつぼ。
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