JP2012523968A5 - 金属粒子転写物品、金属修飾基材、及びそれらの作製方法及び使用 - Google Patents
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- 239000002923 metal particle Substances 0.000 title claims description 84
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 61
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 60
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 24
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 14
- 238000005296 abrasive Methods 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 5
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 4
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N tin hydride Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims 1
- 125000004432 carbon atoms Chemical group C* 0.000 claims 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 claims 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 claims 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 18
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 9
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 8
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- KIQKWYUGPPFMBV-UHFFFAOYSA-N diisocyanatomethane Chemical compound O=C=NCN=C=O KIQKWYUGPPFMBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 238000011068 load Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethylpropane-1,3-diol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N AI2O3 Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N Cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940117969 NEOPENTYL GLYCOL Drugs 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N Silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N [N-]=C=O Chemical compound [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning Effects 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000002365 multiple layer Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 description 1
- 239000004632 polycaprolactone Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011345 viscous material Substances 0.000 description 1
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Description
フィルム形態の金属粒子を包装、保護及び保管し、最終的にはこれらの金属粒子の単層を、剛性であり得る基材、例えば正確な平面状の剛性のラップ表面、又は可撓性であり得る基材上に供給して金属修飾基材を形成するための物品を製造することが所望されている。剛性基材が使用される場合、ラップ基材又はラッププレートが製造され得る。本開示は、能率化されかつ経済的に効率的な溶液を提供して、そのような転写物品、及び金属修飾基材又はプレートを形成する。次いで、金属修飾基材は、研磨粒子、例えばスラリーと共に使用されて、研磨物品として機能することができる。
一態様において、本開示は、金属粒子転写物品に関し、該物品は、対向する第1の表面及び第2の表面を有する第1のライナーであって、第1の表面が、ASTM D3330/D3330M−04あたり約700グラム/インチ(275.6グラム/センチメートル)未満の剥離値(release value)を有する、第1のライナーと、第1のライナーの第1の表面上に配置された金属粒子の層と、を含む。
別の態様において、本開示は、金属修飾基材又は物品の作製方法に関し、該方法は、対向する第1の表面及び第2の表面を有する剛性基材を提供する工程と、第1のバインダーを剛性基材の前記第1の表面上に塗布する工程と、金属粒子転写物品を提供する工程であって、物品が、対向する第1の表面及び第2の表面を有する第1のライナーであって、第1の表面が、ASTM D3330/D3330M−04あたり約700グラム/インチ(275.6グラム/センチメートル)未満の剥離値を有する、第1のライナー、及び、第1のライナーの第1の表面上に配置された金属粒子の層を含む、工程と、金属粒子転写物品を剛性基材の前記第1の表面に適用する工程であって、金属粒子は前記第1のバインダーと接触する工程と、第1のライナーを剛性基材から除去する工程と、第1のバインダーを硬化させることにより、金属粒子を剛性基材の第1の表面に固着させる工程と、を含む、方法。
詳細には、本開示の発明者は、剥離ライナー中に存在する、金属粒子をライナーに一時的に結合させる静電気力を認識し、そのようなライナーが紙、不織フィルム又は織物を含む高分子フィルムに基づくものであっても、その利点を利用した。しかしながら、転写ライナーと金属粒子との間の静電引力は、粒子がライナーから解放されない程強くはない。更に、本開示の金属粒子は、剥離ライナー中に埋め込まれているのではなく、剥離ライナーの剥離コーティング側に貼り付いている。
1つの用途では、例えば本明細書に開示される転写物品から調製された金属修飾基材は、物品(工業界にて時には「加工物」と称される)を艶出し、研磨又は仕上げするのに使用され得る。いくつかの用途では、加工物の艶出し、研磨又は仕上げに使用される物品は、実質的に平坦であり、かつ艶出し中に実質的に平坦な状態に留まることが非常に望ましい。物品中に不均一、凹凸又は起伏が存在すると、該物品の艶出し中での使用により加工物のクラウニング又は「だれ(roll off)」が生じ得る。クラウニングは、加工物の縁が丸くなることであり、これは望ましくない。本開示の1つの利点は、実質的に平坦な、かつ好ましくは剛性の基材から出発することにより、物品の艶出し、研磨又は仕上げの準備に、効率的な、かつ費用効率が高い方法を提供することである。更に、転写物品を使用することにより、金属粒子が様々な形状の基材に適用できるため、多大な柔軟性がもたらされる。転写物品が可撓性である限り、転写物品は、基材、特に剛性基材の形状に一致することができる。
以下の図面を参照して本発明を更に記載する。
本開示の一態様による転写物品の概略断面図。
本開示の一態様による研磨物品の例示的な作製方法の概略断面図。
本開示の一態様による転写物品の巻回体の斜視図。
様々な金属粒子密度の同心領域を有する転写物品の斜視図。
一領域が不連続である、様々な金属粒子密度の同心領域を有する転写物品の斜視図。
工具圧盤に取り付けられた、基材の両側上に金属粒子を有する金属修飾基材の概略断面図。
剥離ライナーに静電的に取り付けられた100マイクロメートルのスズ/ビスマス球体の写真。
サファイア加工物を数時間艶出し後の、実施例1の転写物品から作製された圧盤Aの写真。
実施例セクションで製造及び使用される物品に関する、グラムでの除去対艶出し時間を示すチャート。
様々な金属粒子密度の同心領域を有する圧盤の写真。
様々な金属粒子密度を、より近接して示す図9と同一の圧盤の写真。
転写物品
転写物品は、少なくとも第1のライナーと金属粒子の層とを備える。転写物品は、巻回体(続いてシート及びディスクに変換される)の形態であってもよく、又はシート若しくはディスクの形態であってもよい。転写物品は、正確に成形され、かつ正確に配置された金属粒子の独特の表面分布により、剛性及び可撓性の両方の基材を修飾するよう使用され得る。例示的な剛性基材としては、環状の剛性圧盤が挙げられる。
転写物品は、少なくとも第1のライナーと金属粒子の層とを備える。転写物品は、巻回体(続いてシート及びディスクに変換される)の形態であってもよく、又はシート若しくはディスクの形態であってもよい。転写物品は、正確に成形され、かつ正確に配置された金属粒子の独特の表面分布により、剛性及び可撓性の両方の基材を修飾するよう使用され得る。例示的な剛性基材としては、環状の剛性圧盤が挙げられる。
本開示の転写物品は、延性金属圧盤等の物品の表面修飾及び表面再仕上げ(resurfacing)のための新しい技術を提供する。液体分散物のダイコーティング又はナイフコーティング等の伝統的な方法は、環状の圧盤のような不連続な剛性表面を塗布するのに好適ではない場合がある。本明細書に記載する転写物品は、薄い可撓性フィルム上のトール・トゥ・ロールコーティングによる利益を利用し、金属ラップ/艶出し圧盤等の正確かつ剛性表面の表面を修飾するのに有用であり得る。
図を参照すると、図1は、第1のライナー12、第2のライナー14、及びこの2つのライナーの間に配置され又は挟まれた金属粒子16を有する例示的な二重ライナー転写物品10の概略断面図を示す。第1のライナー及び第2のライナーのそれぞれは、対応する第1の表面12a及び14aと、対応する対向する第2の表面12b及び14bとを有する。剥離コーティング(図示せず)は、第1のライナーの第1の表面12a上と、場合により第2のライナーの第1の表面14a上とに配置される。金属粒子は、静電気力によりライナーに接着する。
本開示の別の実施形態は、剥離ライナー及び金属粒子の複数の層を含む。例えば、転写物品は、第1の表面及び第2の表面を有する第1のライナーと、第1のライナーの第1の表面上に配置された第1の金属粒子の層と、第1の表面及び第2の表面を有し、金属粒子の層上に配置された第2のライナーであって、第2のライナーの第1の表面は金属粒子と接触する第2のライナーと、第2のライナーの第2の表面上に配置された第2の金属粒子の層と、場合により、第1の表面及び第2の表面を有する第3のライナーであって、第3のライナーの第1の表面が第2の金属粒子と層と接触している第3のライナーと、を含むことができる。ライナーの層の数と、金属粒子の層の数とは、所望の最終用途に基づいて選択され得る。
図3は、テープの巻回体と類似した、本開示の一態様による転写物品50の巻回体の斜視図を示す。転写物品50の巻回体は、対向する第1の表面52a及び第2の表面52bを有する単一のライナー52を含み、第1の表面52a上に剥離コーティング(図示せず)が配置されている。金属粒子56及び任意のガラス化可能なバインダー材料(図示せず)が、第1の表面52a上に配置されている。場合により、ライナーの第2の表面52bに第2の剥離コーティング(図示せず)を配置してもよく、第2の剥離コーティングは、第1の剥離コーティングよりも小さい剥離値を有するため、巻回体の解きを容易にし、また、研磨粒子(及び使用される場合、任意のガラス化可能なバインダー材料)がライナーの第2の表面52b上に残留する可能性を、排除しないまでも最小限とする。
好適な粒径は、製造される物品の最終的な用途に依存する。転写物品は、異なるサイズの金属粒子を含んでもよい。金属粒子の例示的な平均粒径は、200マイクロメートル未満、好ましくは約70〜150マイクロメートルであってもよい。金属粒子のサイズは、典型的には、その最長寸法で特定される。多くの場合、結果として得られる物品が、ばらつきのない表面仕上げを研磨される加工物上にもたらすように、粒径分布が管理されることが好ましい。
金属粒子自体が修飾され、例えば、形状又は組成を変更してもよい。例えば、2つのライナーを用いて金属粒子を含む転写物品を調製した後、転写物品を高圧ニップローラーの中に通して金属粒子を平坦化してもよい。また、転写物品から金属修飾基材へ金属粒子が転写された後、金属修飾基材は、例えばドレッシングリング又は犠牲加工物を使用することにより直接圧力に付されて、基材が所望の加工物上で使用される前に金属粒子が平坦化され得る。別の実施形態では、金属修飾基材上の金属粒子の表面は、例えば研磨スラリーを負荷して、金属粒子の表面内に研磨粒子を埋め込むことにより修飾されてもよい。好適な研磨スラリーとしては、ダイヤモンド、シリカ、アルミナ、炭化ケイ素を含むスラリー、及び国際公開第2009/046296号に記載されているものが挙げられる。
金属修飾基材
好適な金属修飾基材は、例えば本明細書に記載したような転写物品から金属粒子の層がその上部に適用された、剛性又は可撓性基材と、第1のバインダーと、任意に第2のバインダーとを含むことができる。剛性基材は、例えば、ラッププレートの製造に使用されてもよい。本明細書に記載するように、金属粒子の層は、基材上に存在するバインダー、例えば、第1のバインダー、又は存在する場合、第2のバインダーに適用され得る。好適なバインダー及び金属修飾基材の構成は、以降、記載される。
好適な金属修飾基材は、例えば本明細書に記載したような転写物品から金属粒子の層がその上部に適用された、剛性又は可撓性基材と、第1のバインダーと、任意に第2のバインダーとを含むことができる。剛性基材は、例えば、ラッププレートの製造に使用されてもよい。本明細書に記載するように、金属粒子の層は、基材上に存在するバインダー、例えば、第1のバインダー、又は存在する場合、第2のバインダーに適用され得る。好適なバインダー及び金属修飾基材の構成は、以降、記載される。
修飾金属基材は、対向する第1の表面及び第2の表面を有する剛性基材を提供する工程と、第1のバインダーを前記剛性基材の前記第1の表面上に塗布する工程と、本明細書に記載した金属粒子転写物品を提供する工程と、金属粒子転写物品を剛性基材の第1の表面に適用する工程であって、金属粒子は第1のバインダーと接触する工程と、第1のライナーを剛性基材から除去する工程と、第1のバインダーを硬化させることにより、金属粒子を剛性基材の第1の表面に固着させる工程と、を含んで調製されてもよい。転写物品上に第2のライナーが存在する場合、金属転写物品を剛性基材に適用する前に該ライナーを除去することにより、第1のライナーの第1の表面に接着した金属粒子を残留させる。第1のバインダーは、金属転写物品を剛性基材に適用する前に、少なくとも部分的に硬化されてもよい。第2のバインダーは、金属粒子を適用する前に、第1のバインダーの硬化後に第1のバインダー上に塗布されてもよい。第1のライナーを剛性基材から除去する前に、第1のライナーが剛性基材上に配置されている間、第1のライナーの第2の表面に圧力を適用してもよい。剛性基材の第2の表面に第1のバインダーを塗布してもよく、金属粒子の層は、第2の表面の第1のバインダーと接触させることにより、第2の金属粒子転写物品から適用されてもよい。次いで、剛性基材から第2の転写物品の第1のライナーを除去し、次いで、第2の表面の第1のバインダーを硬化させることにより、金属粒子を剛性基材の第2の表面に固着させてもよい。場合により、基材の第1の表面に関連して記載したように、第2の表面上に第2のバインダーが存在してもよい。
詳細には、図を参照すると、図2は本開示の金属修飾基材40の作製に使用し得る例示的な転写方法の一部の概略断面図を示す。金属粒子を転写する前に、対向する第1の表面20a及び第2の表面20bを有する剛性基材20は、第1の表面20a上に塗布された第1のバインダー22(時には「メークコート」と称される)を有する。転写物品、例えば図1の転写物品は、転写方法にて使用することができ、その場合、図1の転写物品10の第2のライナー14が除去されて、第1のライナー12上に残留する金属粒子16が露出される。第1のライナー12は、金属粒子16が第1のバインダー22と直接接触するように、即ち、金属粒子16が第1のバインダー22に適用されるように、剛性基材上に配置されている。図2は、積層装置(lamination device)30を用いて圧力が手動で第1のライナー12の第2の表面12bに適用されて、金属粒子16の第1のバインダー22への転写が促されている所を示す。当業者に既知の他の積層技術も使用することができる。金属粒子16は、樹脂性バインダー22を貫通して剛性基材の第1の表面20aと直接接触し得る。その後、第1のライナーを除去する。
金属粒子を第1のバインダーに接触させるプロセス中、樹脂性バインダー材料は粘着状態にある必要がある。即ち、第1のバインダーは少なくとも20%、より好ましくは少なくとも50%、最も好ましくは少なくとも70%の金属粒子を第1のバインダーに転写できるのに十分な粘着性を有する必要がある。使用する第1のバインダーの種類に応じて、この粘着状態は多様な方法により達成することができる。場合による微粒子バインダー(「サイズコート」として機能し、かつ「サイズコート」と称され得る)及び/又は任意の研磨粒子は、プロセスのこの時点で第1のバインダー上に配置され得る。
第1のバインダーの厚さは、多数の粒径が使用される場合、金属粒子のサイズに基づいて選択され得る。多数の粒径が使用される場合、なるべく多数の粒子が確実に第1のバインダーに転写できることが望ましい。この転写を達成するために、より厚いバインダー層が使用され得る。多数の転写物品が第1のバインダーに多数回適用されて、より多数の金属粒子が所定の範囲に転写され得る。各適用により、同様のサイズの粒子の転写がもたらされる。最小の粒子は、既にバインダー層中に存在しているより大きい粒子により、バインダー層から離される。バインダーが最大の粒子より厚い場合、一般に、全部の粒子が転写する傾向を有するであろう。
本発明の一実施形態では、金属粒子が第1のバインダーに転写された後、該バインダーが少なくとも(a least)部分的に硬化され及び/又は部分的にガラス化され、固体又は実質的に固体(部分的な硬化又は部分的なガラス化の場合)の第1のバインダーが形成され得る。用語「ガラス化された」は、一般に、バインダーが、場合により可視光又は紫外線源等の光源を使用することにより、ガラス状材料に変換されていることを意味する。固体の第1のバインダーにより、金属粒子はバインダー中に堅く保持され、実質的に定位置に定着されて金属修飾基材を形成する。第1のバインダーが熱可塑性樹脂である場合、バインダーはその融点及び/又はガラス転移温度(Tg)未満に冷却されることによってガラス化され得る。第1のバインダーが、ポリマー、オリゴマー、モノマー、又はそれらの組み合わせを含有する溶媒ベース混合物である場合、大部分の溶媒を除去することにより、及び/又は当業者に既知の様々な硬化方法により、固体状態に変換され得る。第1のバインダーが、液体ポリマー、オリゴマー、モノマー、又はそれらの組み合わせを含有する、実質的に溶媒を含まない混合物である場合、当業者に既知の様々な硬化方法により固体状態に変換され得る。
本開示の別の実施形態では、金属粒子と、使用された場合の任意の微粒子状のガラス化可能なバインダー材料とが第1のバインダーに転写された後、第1のバインダーは液体状態のままで留まって、定着していない金属修飾基材を形成する。液体状態の第1のバインダーの粘度は、例えば加熱、冷却、部分的な硬化及び溶媒の除去(存在する場合)を含む多様な方法により所望のレベルに調整され得る。これらの実施形態では、金属粒子は第1のバインダー中を実質的に自由に転写できる。好ましくは、金属修飾基材が液体状態の樹脂性バインダーを含んで非定着物品を形成する場合、追加のサイズコート又はスーパーサイズコートは必要としない。
異なる同心領域は、例えば、少なくとも2つの転写物品を剛性基材に適用することにより創り出すことができ、第1の転写物品は、第2の転写物品とは異なる支持面積若しくは面密度、又は異なる耐摩耗性を有し、それぞれ剛性基材の異なる領域に適用される。また、等しく塗布された2つの転写フィルムを1つの領域に適用することにより、金属粒子の濃度を増大させることができる。これは、金属粒子が異なるサイズを有する場合、最も便利である。多くの場合、非常に小さい金属粒子は第1のバインダー層に転写せず、より大きい金属粒子のみが第1のバインダーに触れて接着する一方、より小さい粒子はライナー上に残留する。したがって、第1の適用では、転写される金属粒子の数は少ない場合がある。同一のライナーのシートの第2の適用では、より多数が転写し、1つの領域内で金属粒子の濃度が蓄積されるであろう。
代替的に、物品自体が少なくとも2つの領域を有し、第1の領域が第2の領域とは異なる支持面積若しくは面密度、又は異なる耐摩耗性を有する、本明細書に記載した転写物品を製造した後、この転写物品を剛性基材に適用してもよい。
別の実施形態では、剛性基材の少なくとも第1の表面はテクスチャード加工されている。場合により第2の表面がテクスチャード加工されてもよく、第1の表面(及び場合により第2の表面)の少なくとも1つの面は他の面よりも高い。テクスチャード加工された表面は、模様が付けられ又は無作為であってもよい。テクスチャード加工表面の最も高い面(1つ又は複数)は、その最も高い面(1つ又は複数)が転写物品から金属粒子を受容するため、「受容面」と称されてもよい。最も低い面(1つ又は複数)は、「凹面」と称されてもよい。
他の金属修飾物品
本明細書に開示した転写物品は、非定着物品の調製にも有用である。上述した定着システムとは対照的に、非定着システムは、金属粒子が、典型的には硬化されていないマトリクス中に配置されているものである。マトリクスは金属粒子を保持する。したがって、非定着システムでは、金属粒子は、使用中、即ち粉砕プロセス中に転写することができる。例示的な非定着研磨システムは、ピッチによる光学的艶出しであり、ピッチはタール等の有機材料の蒸留中の残留物として得られる粘性の物質であり得る。本明細書に開示した転写物品を使用して金属粒子をピッチに適用することができる。ピッチによる光学的艶出しを論じた刊行物としては、以下が挙げられる:(i)R.Varshneya,J.E.DeGroote,L.L.Gregg,and S.D.Jacobs,「Characterizing Optical Polishing Pitch,」Optifab 2003(SPIE,Bellingham,WA,2003),Vol.TD02,pp.87〜89;(ii)Optical Fabrication and Testing Digest(Optical Society of America,Washington,DC,2002),pp.55〜59におけるJ.E.DeGroote,S.D.Jacobs,L.L.Gregg,A.E.Marino,J.C.Hayes,and R.Varshneya,「A Data Base for Physical Properties of Optical Polishing Pitch,」;(iii)Optical Fabrication and Testing Digest(Optical Society of America,Washington,DC,2002),pp.6〜9におけるJ.E.DeGroote,S.D.Jacobs,and J.M.Schoen,「Experiments on Magnetorheological Finishing of Optical Polymers,」;及び(iv)Optical Manufacturing and Testing IV,edited by H.P.Stahl(SPIE,Bellingham,WA,2001),Vol.4451,pp.209〜221におけるJ.E.DeGroote,S.D.Jacobs,L.L.Gregg,A.E.Marino,and J.C.Hayes,「Quantitative Characterization of Optical Polishing Pitch」。
本明細書に開示した転写物品は、非定着物品の調製にも有用である。上述した定着システムとは対照的に、非定着システムは、金属粒子が、典型的には硬化されていないマトリクス中に配置されているものである。マトリクスは金属粒子を保持する。したがって、非定着システムでは、金属粒子は、使用中、即ち粉砕プロセス中に転写することができる。例示的な非定着研磨システムは、ピッチによる光学的艶出しであり、ピッチはタール等の有機材料の蒸留中の残留物として得られる粘性の物質であり得る。本明細書に開示した転写物品を使用して金属粒子をピッチに適用することができる。ピッチによる光学的艶出しを論じた刊行物としては、以下が挙げられる:(i)R.Varshneya,J.E.DeGroote,L.L.Gregg,and S.D.Jacobs,「Characterizing Optical Polishing Pitch,」Optifab 2003(SPIE,Bellingham,WA,2003),Vol.TD02,pp.87〜89;(ii)Optical Fabrication and Testing Digest(Optical Society of America,Washington,DC,2002),pp.55〜59におけるJ.E.DeGroote,S.D.Jacobs,L.L.Gregg,A.E.Marino,J.C.Hayes,and R.Varshneya,「A Data Base for Physical Properties of Optical Polishing Pitch,」;(iii)Optical Fabrication and Testing Digest(Optical Society of America,Washington,DC,2002),pp.6〜9におけるJ.E.DeGroote,S.D.Jacobs,and J.M.Schoen,「Experiments on Magnetorheological Finishing of Optical Polymers,」;及び(iv)Optical Manufacturing and Testing IV,edited by H.P.Stahl(SPIE,Bellingham,WA,2001),Vol.4451,pp.209〜221におけるJ.E.DeGroote,S.D.Jacobs,L.L.Gregg,A.E.Marino,and J.C.Hayes,「Quantitative Characterization of Optical Polishing Pitch」。
(実施例1)
金属転写物品は、以下のように作製した。粉末形態のスズ/ビスマス金属ビーズ(100〜200メッシュ)をIndium Corp of Utica NYから得た。およそ2gの粉末をスプーンですくって、3M,St.Paul,MNから商品名「Scotchpak(商標)4935」で市販されている剛性アルミニウムシートに付着されたフルオロケミカル剥離ライナーの25”×25”(63.5cm×63.5cm)のシート上に載せた。シートを一定の角度に保持し、軽く叩いて、粉末がフィルム上にて転がり、図6の写真に示すように単層構造にて表面に付着するようにした。覆われていない地点内に追加の粉末を配置し、シートがビーズで覆われるまで、プロセスを繰り返し、過剰の粉末は手で扇動して落とした。Scotchpak(商標)4935の第2のシートをコーティング上に適用し、ゴムローラーにかけた。コーティングの重量は、およそ0.25g/in2であった。第2のScotchpak(商標)4935シートを過剰の付着金属ビーズと共に除去した。
金属転写物品は、以下のように作製した。粉末形態のスズ/ビスマス金属ビーズ(100〜200メッシュ)をIndium Corp of Utica NYから得た。およそ2gの粉末をスプーンですくって、3M,St.Paul,MNから商品名「Scotchpak(商標)4935」で市販されている剛性アルミニウムシートに付着されたフルオロケミカル剥離ライナーの25”×25”(63.5cm×63.5cm)のシート上に載せた。シートを一定の角度に保持し、軽く叩いて、粉末がフィルム上にて転がり、図6の写真に示すように単層構造にて表面に付着するようにした。覆われていない地点内に追加の粉末を配置し、シートがビーズで覆われるまで、プロセスを繰り返し、過剰の粉末は手で扇動して落とした。Scotchpak(商標)4935の第2のシートをコーティング上に適用し、ゴムローラーにかけた。コーティングの重量は、およそ0.25g/in2であった。第2のScotchpak(商標)4935シートを過剰の付着金属ビーズと共に除去した。
(実施例2)
銅粒子を使用した以外は、実施例1と同様にして金属転写物品を作製した。銅粒子は、Sigma−Aldrichから市販されているカタログ番号20778を有する99% 200メッシュ粒子であった。
銅粒子を使用した以外は、実施例1と同様にして金属転写物品を作製した。銅粒子は、Sigma−Aldrichから市販されているカタログ番号20778を有する99% 200メッシュ粒子であった。
圧盤塗布
8”(20.3cm)の穴を有する直径16”(40.6cm)の陽極酸化アルミニウム圧盤に、3M,St.Paul,MNから商品名「Scotchweld(商標)1838」で市販されている2部エポキシの薄層を塗布した。このエポキシの層は、3gのエポキシを圧盤上に適用し、該エポキシをシリコーンローラーにかけてエポキシ層の厚さを最小にし、更に、圧盤表面に完全に適用して粒子の圧盤及びエポキシに対する接着を確実にすることにより形成した。次いで、上記で調製した転写ライナーシートを粒子側を下向きにしてエポキシに優しく適用した。フィルムを樹脂を横切って滑らせないように、適用が一回の動作となるよう注意を払った。フィルムを2つの手で、ライナーを保持する圧盤まで降下させ、中心部を下垂させて圧盤に最初に触れさせた。次いで、フィルムの残りをゆっくりと降下させて、樹脂及び圧盤上に平坦で横たわるようにした。適用したフィルムを優しくゴムローラーにかけ、該ローラーの重量のみを圧力として付与した。エポキシは12時間以内に硬化し、表面から剥離ライナーを剥がした。剥離ライナーを除去した後、表面をサイズ塗布した。サイズ塗布溶液は、Tohto Kasei Co.Lt.Inabata America Corp,New York,NYから得た商品名「YP−50S」を有するフェノキシ樹脂(2−ブタノン中30%固体)4g、ポリエステルポリウレタン樹脂(メチルエチルケトン(MEK)中35%溶液、ネオペンチルグリコール21%及びポリカプロラクトン29%及びメチレンジイソシアネート(MDI)50%から内部で合成)2.3g、Bayer Chemical,Pittsburgh,PAから商品名「Mondur MRS」で市販されている高分子イソシアネート1.1g、及びシクロヘキサノン50gからなっていた。よく換気されたフード内でエアゾル容器を使用して、表面が湿潤されたように見えるまで、圧盤表面に約60秒間噴霧した。圧盤を乾燥させた後、70℃で8時間焼いた。次いで、圧盤を冷却させ、工具上に装着した。
8”(20.3cm)の穴を有する直径16”(40.6cm)の陽極酸化アルミニウム圧盤に、3M,St.Paul,MNから商品名「Scotchweld(商標)1838」で市販されている2部エポキシの薄層を塗布した。このエポキシの層は、3gのエポキシを圧盤上に適用し、該エポキシをシリコーンローラーにかけてエポキシ層の厚さを最小にし、更に、圧盤表面に完全に適用して粒子の圧盤及びエポキシに対する接着を確実にすることにより形成した。次いで、上記で調製した転写ライナーシートを粒子側を下向きにしてエポキシに優しく適用した。フィルムを樹脂を横切って滑らせないように、適用が一回の動作となるよう注意を払った。フィルムを2つの手で、ライナーを保持する圧盤まで降下させ、中心部を下垂させて圧盤に最初に触れさせた。次いで、フィルムの残りをゆっくりと降下させて、樹脂及び圧盤上に平坦で横たわるようにした。適用したフィルムを優しくゴムローラーにかけ、該ローラーの重量のみを圧力として付与した。エポキシは12時間以内に硬化し、表面から剥離ライナーを剥がした。剥離ライナーを除去した後、表面をサイズ塗布した。サイズ塗布溶液は、Tohto Kasei Co.Lt.Inabata America Corp,New York,NYから得た商品名「YP−50S」を有するフェノキシ樹脂(2−ブタノン中30%固体)4g、ポリエステルポリウレタン樹脂(メチルエチルケトン(MEK)中35%溶液、ネオペンチルグリコール21%及びポリカプロラクトン29%及びメチレンジイソシアネート(MDI)50%から内部で合成)2.3g、Bayer Chemical,Pittsburgh,PAから商品名「Mondur MRS」で市販されている高分子イソシアネート1.1g、及びシクロヘキサノン50gからなっていた。よく換気されたフード内でエアゾル容器を使用して、表面が湿潤されたように見えるまで、圧盤表面に約60秒間噴霧した。圧盤を乾燥させた後、70℃で8時間焼いた。次いで、圧盤を冷却させ、工具上に装着した。
艶出し
粗くラッピングした2”(5.1cm)サファイアウエハ(表面Ra 0.2〜0.4マイクロメートルを有するC面サファイア)を直径4”(10.2cm)の重みを加えた円筒キャリア上に装着した。サファイアウエハを畝状の2.1”(5.3cm)非接触キャリアリングによりウエハが自由に回転するように定位置に保持し、実施例1の転写物品から作製した圧盤(「圧盤A」と称する)により、Lapmaster International,Mount Prospect,ILから商品名「Lapmaster 15」で市販されているラッピング工具のヨーク上に負荷した。有効圧力が1.8psi(12.4kPa)となるようウエハに荷重8kgを適用した。内径4.5”(11.4cm)及び外径5.5(13.9cm)のAlTiC調整リング(conditioning ring)を第2のヨーク内で総重量4kgで作動させて、ダイヤモンド/金属界面に追加の圧力を適用し、ダイヤモンドを埋め込んだ。Intersurface Dynamics,Bethel,CTから商品名「Challenge 543 HT」で市販されている3容積%の冷却添加剤及び96容積%の水中の、Tomei Corporation of America,Cedar Park,TXから市販されている4〜8マイクロメートルの多結晶ダイヤモンドの1重量%のスラリーを、Buehler,Lake Bluff,ILから商品名「PriMet Satellite dispenser」で市販されているディスペンサーから0.9又は約12.3ml/分の設定で分配した。
粗くラッピングした2”(5.1cm)サファイアウエハ(表面Ra 0.2〜0.4マイクロメートルを有するC面サファイア)を直径4”(10.2cm)の重みを加えた円筒キャリア上に装着した。サファイアウエハを畝状の2.1”(5.3cm)非接触キャリアリングによりウエハが自由に回転するように定位置に保持し、実施例1の転写物品から作製した圧盤(「圧盤A」と称する)により、Lapmaster International,Mount Prospect,ILから商品名「Lapmaster 15」で市販されているラッピング工具のヨーク上に負荷した。有効圧力が1.8psi(12.4kPa)となるようウエハに荷重8kgを適用した。内径4.5”(11.4cm)及び外径5.5(13.9cm)のAlTiC調整リング(conditioning ring)を第2のヨーク内で総重量4kgで作動させて、ダイヤモンド/金属界面に追加の圧力を適用し、ダイヤモンドを埋め込んだ。Intersurface Dynamics,Bethel,CTから商品名「Challenge 543 HT」で市販されている3容積%の冷却添加剤及び96容積%の水中の、Tomei Corporation of America,Cedar Park,TXから市販されている4〜8マイクロメートルの多結晶ダイヤモンドの1重量%のスラリーを、Buehler,Lake Bluff,ILから商品名「PriMet Satellite dispenser」で市販されているディスペンサーから0.9又は約12.3ml/分の設定で分配した。
このプロセスは上述したウエハと同一の第2のサファイアウエハを用いて繰り返され、実施例2の転写物品から作製された第2の圧盤(「圧盤B」と称する)を使用した。
Claims (8)
- 金属粒子の基材への転写に有用な転写物品であって、
対向する第1の表面及び第2の表面を有する第1のライナーであって、可撓性裏材と、前記第1のライナーの前記第1の表面に相当する前記可撓性裏材の表面上に配置された剥離コーティングとを含む前記第1のライナーと、
前記第1のライナーの前記第1の表面上に配置された金属粒子の層であって、前記金属粒子が静電気力によって前記第1のライナーに結合されている層と、を含む、転写物品。 - 対向する第1の表面及び第2の表面を有する第2のライナーを更に含み、
前記第2のライナーが、前記第2のライナーの第1の表面が前記金属粒子と接触するように、前記金属粒子の層上に配置されている、請求項1に記載の転写物品。 - 前記第2のライナーが、可撓性裏材と、前記第2のライナーの前記第1の表面に相当する前記可撓性裏材の表面上に配置された剥離コーティングとを含む、請求項2に記載の転写物品。
- 前記第1のライナーの剥離コーティング又は前記第2のライナーの剥離コーティングが、フッ素含有材料、ケイ素含有材料、フルオロポリマー、シリコーンポリマー、又は12〜30個の炭素原子を含むアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレートを含むモノマーから誘導されたポリ(メタ)アクリレートエステルを含む、請求項3に記載の転写物品。
- 前記金属粒子が、スズ、銅、インジウム、亜鉛、ビスマス、鉛、アンチモン及び銀、及びそれらの合金、並びにそれらの組み合わせのいずれかである、請求項1に記載の転写物品。
- 金属修飾基材であって、
第1の表面及び第2の表面を有する剛性基材であって、金属ラッププレートである前記剛性基材と、
前記基材の前記第1の表面上の第1のバインダーと、
前記第1のバインダー中に配置された金属粒子の層と、を含む、基材。 - 前記金属粒子中に埋め込まれた研磨粒子を更に含む、請求項6に記載の金属修飾基材。
- 前記研磨粒子がダイヤモンドである、請求項7に記載の金属修飾基材。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US17013109P | 2009-04-17 | 2009-04-17 | |
US61/170,131 | 2009-04-17 | ||
PCT/US2010/031238 WO2010121025A1 (en) | 2009-04-17 | 2010-04-15 | Metal particle transfer article, metal modified substrate, and method of making and using the same |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012523968A JP2012523968A (ja) | 2012-10-11 |
JP2012523968A5 true JP2012523968A5 (ja) | 2014-07-24 |
JP5836930B2 JP5836930B2 (ja) | 2015-12-24 |
Family
ID=42245641
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012506221A Expired - Fee Related JP5836930B2 (ja) | 2009-04-17 | 2010-04-15 | 金属粒子転写物品、金属修飾基材、及びそれらの作製方法及び使用 |
JP2012506211A Expired - Fee Related JP5680621B2 (ja) | 2009-04-17 | 2010-04-15 | 転写物品を使用して作製される平面状の研磨物品及びその作製方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012506211A Expired - Fee Related JP5680621B2 (ja) | 2009-04-17 | 2010-04-15 | 転写物品を使用して作製される平面状の研磨物品及びその作製方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20100266862A1 (ja) |
EP (2) | EP2419243A1 (ja) |
JP (2) | JP5836930B2 (ja) |
KR (2) | KR20120030048A (ja) |
CN (2) | CN102458770A (ja) |
SG (2) | SG175072A1 (ja) |
TW (2) | TW201102221A (ja) |
WO (2) | WO2010121025A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9221148B2 (en) | 2009-04-30 | 2015-12-29 | Rdc Holdings, Llc | Method and apparatus for processing sliders for disk drives, and to various processing media for the same |
US8801497B2 (en) | 2009-04-30 | 2014-08-12 | Rdc Holdings, Llc | Array of abrasive members with resilient support |
US8932115B2 (en) | 2010-10-15 | 2015-01-13 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles |
WO2012054283A1 (en) * | 2010-10-18 | 2012-04-26 | 3M Innovative Properties Company | Functional particle transfer liner |
EP2651651B1 (en) * | 2010-12-17 | 2019-01-23 | 3M Innovative Properties Company | Transfer article having multi-sized particles and methods |
EP2751173B1 (en) | 2011-09-02 | 2020-02-05 | BAE Systems PLC | A method of preparing a curable resin particles and a fiber reinforced polymer composite produced thereby |
US8846192B2 (en) * | 2012-01-19 | 2014-09-30 | Ralph Giammarco | Enhanced film carrier |
CN102719097B (zh) * | 2012-07-06 | 2014-10-08 | 苏州大学 | 氧化二硼化钛/热固性树脂复合材料及其制备方法 |
JP2014061553A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-10 | Olympus Corp | 砥石及びその製造方法 |
CN103056787B (zh) * | 2012-12-20 | 2015-06-17 | 郑州新安华砂轮有限公司 | 用于石材加工的水磨轮及其制备方法 |
CN104087405A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-10-08 | 上海致领半导体科技发展有限公司 | 用于手机触摸屏面板双面减薄加工的冷却液及其配制方法 |
GB2545026A (en) * | 2015-12-04 | 2017-06-07 | Jean Boulle Luxury Paint Ltd | Reflective coating |
US11431100B2 (en) * | 2016-03-25 | 2022-08-30 | Commscope Technologies Llc | Antennas having lenses formed of lightweight dielectric materials and related dielectric materials |
WO2017165342A1 (en) | 2016-03-25 | 2017-09-28 | Commscope Technologies Llc | Antennas having lenses formed of lightweight dielectric materials and related dielectric materials |
JP6859035B2 (ja) * | 2016-07-08 | 2021-04-14 | スピードファム株式会社 | 研磨材 |
KR102619228B1 (ko) | 2017-07-31 | 2024-01-02 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 | 가변 연마제 분포를 갖는 바닥 패드 |
US11527835B2 (en) | 2017-09-15 | 2022-12-13 | Commscope Technologies Llc | Methods of preparing a composite dielectric material |
US10954803B2 (en) * | 2019-01-17 | 2021-03-23 | Rolls-Royce Corporation | Abrasive coating for high temperature mechanical systems |
CN111775072B (zh) * | 2020-06-09 | 2022-03-22 | 苏州耐锐宝超硬工具有限公司 | 一种异形磨削面的金刚石滚轮加工工艺 |
CN113205902A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-08-03 | 浙江大学杭州国际科创中心 | 银纳米线导电墨水及其透明导电薄膜的制备方法 |
Family Cites Families (102)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2330505A (en) * | 1941-03-10 | 1943-09-28 | Allen Bradley Co | Electric control circuit |
US2332505A (en) * | 1941-11-19 | 1943-10-26 | Norton Co | Method of making diamond disks |
US2567186A (en) * | 1943-11-12 | 1951-09-11 | Minnesota Mining & Mfg | Inverse method of forming particulate coated sheets |
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- 2010-04-15 SG SG2011072550A patent/SG175072A1/en unknown
- 2010-04-15 KR KR1020117027211A patent/KR20120030048A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-04-15 KR KR1020117027216A patent/KR20120012469A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-04-15 EP EP10715423A patent/EP2419243A1/en not_active Withdrawn
- 2010-04-15 CN CN2010800253772A patent/CN102458770A/zh active Pending
- 2010-04-15 SG SG2011072543A patent/SG175071A1/en unknown
- 2010-04-15 EP EP10714794A patent/EP2419242A1/en not_active Withdrawn
- 2010-04-15 JP JP2012506221A patent/JP5836930B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-15 US US12/760,992 patent/US20100266862A1/en not_active Abandoned
- 2010-04-15 JP JP2012506211A patent/JP5680621B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-15 WO PCT/US2010/031238 patent/WO2010121025A1/en active Application Filing
- 2010-04-15 CN CN2010800253787A patent/CN102458771A/zh active Pending
- 2010-04-15 US US12/760,854 patent/US20100266812A1/en not_active Abandoned
- 2010-04-15 WO PCT/US2010/031198 patent/WO2010121001A1/en active Application Filing
- 2010-04-16 TW TW099112023A patent/TW201102221A/zh unknown
- 2010-04-16 TW TW099112025A patent/TW201043397A/zh unknown
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