JP2012512798A - 光ファイバ用の半製品としてのプリフォームを製造するマルチノズル型管状プラズマ堆積バーナ - Google Patents
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- 光ファイバ用の半製品としてのプリフォームを製造するマルチノズル型管状プラズマ堆積バーナであって、
ガラス出発物質及びキャリアガスを含有する媒質流がバーナに供給され、少なくとも1つのドーパントを供給する手段が少なくとも1つの前駆ガスを使用し、前記バーナの長手方向軸が基体の中心軸に対して実質的に垂直に向いており、
第1のガス又は混合ガス、特に前駆ガスの第1の部分流が、前記バーナの長手方向軸に走る少なくとも1つのノズルを通って前記プラズマ及び前記基体に供給され、前記第1のガス又は別のガス又は混合ガス、特に前駆ガスの第2の部分流が、別のノズルを通って前記プラズマ及び前記基体に供給され、前記各部分流が基体の近くで結合するような方法で供給されることを特徴とする、マルチノズル型管状プラズマ堆積バーナ。 - 前記別のノズルが、マルチノズル又はノズル対として提供され、前記バーナの長手方向軸に対してずれて配置されている2つ以上の個々のノズルを備えることを特徴とする、請求項1に記載のバーナ。
- 前記別のノズル又は前記ノズル対のノズルが、前記バーナの長手方向軸からある角度で離れて配置されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のバーナ。
- 前記ノズル対がノズルチェーンとして個々のノズルの群を備え、前記ノズル対の前記ノズルチェーンは、互いに反対側に特定の角度で配置されていることを特徴とする、請求項2又は3に記載のバーナ。
- 前記個々のノズル又は前記ノズル対の前記ノズルチェーンの角度位置が、調整可能であることを特徴とする、請求項2〜4の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記別のノズル又は前記ノズル対が、前記バーナの外側に、前記基体に対して最も近い前記バーナ管から間隔をおいて、基体面と前記バーナの間の空間に設けられていることを特徴とする、請求項1〜5の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記バーナの管構造に対して接線方向のガス流成分を発生させる、前記別のノズル又は前記ノズルチェーンの少なくとも1つが設けられていることを特徴とする、請求項1〜6の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記別のノズル、前記ノズル対、又はそれぞれのノズルチェーンが、可動性があり調整可能であることを特徴とする、請求項1〜7の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記バーナの長手方向軸に走る前記ノズルが、厚壁を有する2つの連動管を備えることを特徴とする、請求項1〜8の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記管が互いに同心状に配置されるか、又は同心配列から外れて配置されており、前記管の肉厚が2mm以上で、本質的に20mmまでの範囲内にあることを特徴とする、請求項9に記載のバーナ。
- 前記管アセンブリの内側は、前記プラズマの空間からの距離が前記管アセンブリの前記外側管よりも大きいことを特徴とする、請求項9又は10に記載のバーナ。
- 前記少なくとも1つの前駆ガスの供給部が、前記ガス流を混合し、且つ/又は静めるためのチャンバを備えることを特徴とする、請求項1〜11の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記ノズルチェーンは、板形であり、複数のノズル孔を備えることを特徴とする、請求項1〜12の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記バーナ管アセンブリが、保護ガス、特に窒素カーテンによって包囲されていることを特徴とする、請求項1〜13の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記バーナの長手方向軸に走る前記ノズルが、前記プラズマに収束する部分流のノズル群として設計されていることを特徴とする、請求項1〜14の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記ノズル群が、異なるか変更可能なノズルの断面又は断面領域を有する個々のノズルを備えることを特徴とする、請求項15に記載のバーナ。
- 前記別のノズル又は前記ノズルチェーンの前記個々のノズルが、スロット付きノズルとして設計されていることを特徴とする、請求項1〜16の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記別のノズル又は前記ノズルチェーンの前記個々のノズルが、噴流を成形する特性を備えた同心ノズルとして設計されていることを特徴とする、請求項1〜17の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記ノズルチェーンが、ノズルが互いの上に配置されるか、互いから反対側にずれて配置されている複数管路のノズルチェーンとして設計されていることを特徴とする、請求項4〜13の何れか1項に記載のバーナ。
- 前記接線方向のガス成分が、前記プラズマの螺旋の回転方向に流れることを特徴とする、請求項7に記載のバーナ。
- 前記別のノズル、前記ノズル対、又は前記それぞれのノズルチェーンが、基体の運動方向に向かって調整可能であることを特徴とする、請求項8に記載のバーナ。
- 前記チャンバが、前記基体から間隔をおいて前記バーナの端部に、前記バーナの長手方向に走り、側面に前記ガス供給部を配置したプレチャンバとして設計されていることを特徴とする、請求項12に記載のバーナ。
- 請求項1から22の何れか又はいくつかに記載の堆積バーナを用いて、光ファイバ用の半製品としてのプリフォームを製造する方法。
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