JP2012509197A - 微小機械構成部品の製造方法 - Google Patents
微小機械構成部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012509197A JP2012509197A JP2011536816A JP2011536816A JP2012509197A JP 2012509197 A JP2012509197 A JP 2012509197A JP 2011536816 A JP2011536816 A JP 2011536816A JP 2011536816 A JP2011536816 A JP 2011536816A JP 2012509197 A JP2012509197 A JP 2012509197A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- plates
- manufacturing
- support member
- parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 72
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 claims description 12
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 10
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 210000004513 dentition Anatomy 0.000 claims description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 2
- 230000036346 tooth eruption Effects 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 210000003423 ankle Anatomy 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B13/00—Gearwork
- G04B13/02—Wheels; Pinions; Spindles; Pivots
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B15/00—Escapements
- G04B15/14—Component parts or constructional details, e.g. construction of the lever or the escape wheel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C3/00—Assembling of devices or systems from individually processed components
- B81C3/002—Aligning microparts
- B81C3/005—Passive alignment, i.e. without a detection of the position of the elements or using only structural arrangements or thermodynamic forces
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B13/00—Gearwork
- G04B13/02—Wheels; Pinions; Spindles; Pivots
- G04B13/027—Wheels; Pinions; Spindles; Pivots planar toothing: shape and design
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04D—APPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
- G04D3/00—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04D—APPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
- G04D3/00—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials
- G04D3/0002—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for mechanical working other than with a lathe
- G04D3/0028—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for mechanical working other than with a lathe for components of the escape mechanism
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2203/00—Forming microstructural systems
- B81C2203/03—Bonding two components
- B81C2203/038—Bonding techniques not provided for in B81C2203/031 - B81C2203/037
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2203/00—Forming microstructural systems
- B81C2203/05—Aligning components to be assembled
- B81C2203/052—Passive alignment, i.e. using only structural arrangements or thermodynamic forces without an internal or external apparatus
- B81C2203/054—Passive alignment, i.e. using only structural arrangements or thermodynamic forces without an internal or external apparatus using structural alignment aids, e.g. spacers, interposers, male/female parts, rods or balls
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49579—Watch or clock making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49799—Providing transitory integral holding or handling portion
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
- Y10T29/49895—Associating parts by use of aligning means [e.g., use of a drift pin or a "fixture"]
- Y10T29/49901—Sequentially associating parts on stationary aligning means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
- Y10T29/49947—Assembling or joining by applying separate fastener
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【課題】微小機械構成部品(31,41,51)の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微小機械構成部品(31,41,51)の製造方法は、(a)プレート(11,13)を形成するステップと、前記プレート(11,13)は、フレーム(15,17)を有し、前記フレーム(15,17)は、ブリッジ(12,14)で、前記微小機械構成部品のパーツ(19,21)に接続され、前記パーツ(19,21)は、貫通孔(16,18)を有し、(b)前記プレート(11,13)を、支持部材(23)上に重ねるステップと、(c)ピン(29)を、前記積層されたプレート(11,13)の貫通孔(16,18)内に把持手段を用いて固定し、微小機械構成部品(31,41,51)を形成するステップと、(d)前記プレート(11,13)から、前記微小機械構成部品(31,41,51)を切り離すステップと、を有する。
【選択図】 図8
Description
(a)プレートを形成するステップと、
前記プレートは、フレームを有し、
前記フレームは、ブリッジで、前記微小機械構成部品のパーツに接続され、
前記パーツは、貫通孔を有し、
(b)前記プレートを、支持部材上に重ねるステップと、
(c)ピンを、前記積層されたプレートの貫通孔内に把持手段を用いて固定し、微小機械構成部品を形成するステップと、
(d)前記プレートから、前記微小機械構成部品を切り離すステップと、
を有する。
(a)複数枚のプレートを形成するステップと、
前記複数枚のプレートは、フレームを有し、
前記複数枚のフレームは、ブリッジで、前記微小機械構成部品のパーツに接続され、
前記各パーツは、貫通孔を有し、
(b)前記複数枚のプレートを、支持部材上に重ねるステップと、
これにより、複数のパーツを重ね、
(c)ピンを、前記積層された複数枚のプレートの貫通孔内に固定し、微小機械構成部品を形成するステップと、
(d)前記各プレートから、前記微小機械構成部品を切り離すステップと、
を有する。
*前記ステップ(a)−(d)は、複数枚のプレートを使用し、複数の階層で構成部品を形成する。
*各プレートに対し、前記ステップ(b)は、前記各プレートに対し、(b1)整合手段を用いて、前記プレートをガイドし、前記プレートを前記支持部材に対し信頼性高く方向付けるステップと、(b2)前記プレートを、前記支持部材に固定された見当孔軸に当てながら、前記プレートが前記見当孔軸の肩部に当たるまで、スライドさせ、前記プレートを前記支持部材に対し正確に配置するステップとを有する。
*前記整合手段は、面取されたリングを有し、前記リングは、前記支持部材の見当軸の延長部に搭載され、前記リングは、前記ステップ(a)で形成された前記プレートに形成された見当孔に嵌る。
*前記ステップ(b1)は、複数の整合手段を用いて行われ、これにより、前記ステップ(b1)のガイドの精度を上げる。
*見当孔が、前記プレートのフレームに形成される。或いは、前記見当孔は、前記フレームとパーツの間に形成される。
*前記ブリッジは、前記構成要素の前記部分に連結される端部に、狭小断面部を有し、前記狭小断面部は、、前記ステップ(d)を実行容易にする弱領域を形成する。
*複数の前記パーツが各プレートに形成され、これによりステップ(c)で複数の微小機械構成部品を形成する。
*前記ピン、がその各端部でピボット・シャンクにより伸び、前記ピボット・シャンクは、回転する軸真を形成するピボットを含む。
*前記ピンは、同軸リングを有し、前記同軸リングは、前記ホール内のピンの貫通を制限する停止部材として機能する。
*前記同軸リングは、ピニオンを形成する歯列を有する。
*前記複数のプレートの少なくとも一方は、電気メッキ・プロセス、微小機械加工プロセスを用いて、前記ステップ(a)で形成される。
*サブパーツが、前記ステップ(b)の前中後を通して、前記プレートに対し前記複数のパーツの一つのパーツ上に側面方向から搭載される。
2,4 成形フェーズ
3 第1ステップ
5 第2ステップ
6 第1フェーズ
7 第3ステップ
8 第2フェーズ
9 ステップ
10 フェーズ
13 第1プレート
31,41,51 微小機械構成部品
19,21 パーツ
11,13 プレート
15,17 フレーム
12,14 ブリッジ
16,18 貫通孔
20,26 見当孔
22 見当軸
23 支持部材
24 肩部
25 整合手段
27 ポスト
28 パーツ
29 ピン
30 リング
31 時計の歯車セット
33 軸真
35 ピニオン
37 歯車
33,43 軸真
35,45 ピニオン
47,49 歯車
51 時計のアンクル組立体
53 回転軸真
53’
55 上部アーム
57 本体
55’
Claims (15)
- 微小機械構成部品(31,41,51)の製造方法において、
(a)プレート(11,13)を形成するステップと、
前記プレート(11,13)は、フレーム(15,17)を有し、
前記フレーム(15,17)は、ブリッジ(12,14)で、前記微小機械構成部品となるパーツ(19,21)に接続され、
前記パーツ(19,21)は、貫通孔(16,18)を有し、
(b)前記プレート(11,13)を、支持部材(23)上に重ねるステップと、
(c)ピン(29)を、前記積層されたプレート(11,13)の貫通孔(16,18)内に、把持手段を用いて固定し、微小機械構成部品(31,41,51)を形成するステップと、
(d)前記プレート(11,13)から、前記微小機械構成部品(31,41,51)を切り離すステップと、
を有する
ことを特徴とする微小機械構成部品の製造方法。 - 前記ステップ(a)は、複数のプレート(11,13)を形成し、
前記ステップ(b)は、前記複数のプレート(11,13)を前記支持部材(23)の上に積層し、
前記ステップ(c)は、前記ピン(29)を、前記積層された複数のパーツ(19,21)のそれぞれの貫通孔(16,18)内に固定し、前記微小機械構成部品(31,41,51)を形成し、
前記ステップ(d)は、形成された微小機械構成部品(31,41,51)を、前記プレート(11,13)から切り離す
ことを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記ステップ(b)は、前記各プレート(11,13)に対し、以下のステップを実行する
(b1)整合手段(25)を用いて、前記プレートをガイドし、前記プレートを前記支持部材(23)に対し正確に方向付けるステップ、
(b2)前記プレートを、前記支持部材(23)に固定された見当軸(22)に当てながら、前記プレートが前記見当軸(22)の肩部(24)に当たるまで、スライドさせ、前記プレートを前記支持部材(23)に対し正確に配置するステップ
ことを特徴とする請求項1又は2記載の製造方法。 - 前記整合手段は、面取されたリングを有し、
前記リングは、前記支持部材(23)の見当孔軸の延長部に搭載され、
前記リングは、前記ステップ(a)で形成された前記複数のプレートに形成された見当孔(20,26)と共働する
ことを特徴とする請求項3記載の製造方法。 - 前記ステップ(b1)は、複数の整合手段(25)を用いて行われる
ことを特徴とする請求項3又は4記載の製造方法。 - 見当孔(20,26)が、前記フレーム(15,17)に形成される
ことを特徴とする請求項4又は5記載の製造方法。 - 前記見当孔(20,26)は、前記フレーム(15,17)と前記パーツ(19,21)との間に形成される
ことを特徴とする請求項4又は5記載の製造方法。 - 前記ブリッジ(12,14)は、前記パーツ(19,21)側に、狭小断面部を有し、
前記狭小断面部は、、前記ステップ(d)の実行を容易にする弱領域を形成する
ことを特徴とする請求項1−7のいずれかに記載の製造方法。 - 複数の前記パーツ(19,21)が、各プレート(11,13)に形成され、これによりステップ(c)の複数の微小機械構成部品(31,41,51)を形成する
ことを特徴とする請求項1−8のいずれかに記載の製造方法。 - 前記ピン(29)、がその各端部でピボット・シャンクにより伸び、
前記ピボット・シャンクは、回転する軸真を形成するピボットを含む
ことを特徴とする請求項1−9のいずれかに記載の製造方法。 - 前記ピン(29)は、同軸リング(30)を有し、
前記同軸リング(30)は、前記貫通孔内のピンの貫通を制限する停止部材として機能する
ことを特徴とする請求項1−10のいずれかに記載の製造方法。 - 前記同軸リング(30)は、ピニオンを形成する歯列を有する
ことを特徴とする請求項11記載の製造方法。 - 前記プレートの少なくとも一方は、電気メッキ・プロセスを用いて、前記ステップ(a)で形成される
ことを特徴とする請求項2−12のいずれかに記載の製造方法。 - 前記プレートの少なくとも一方は、微小機械加工プロセスを用いて、前記ステップ(a)で形成される
ことを特徴とする請求項2−13のいずれかに記載の製造方法。 - サブパーツが、前記ステップ(b)の前中後を通して、前記プレートに対し前記パーツ上に側面方向から搭載される
ことを特徴とする請求項1−14のいずれかに記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP08169687.4 | 2008-11-21 | ||
EP08169687A EP2189854A1 (fr) | 2008-11-21 | 2008-11-21 | Procédé de fabrication d'une pièce de micromécanique |
PCT/EP2009/064639 WO2010057777A1 (fr) | 2008-11-21 | 2009-11-04 | Procédé de fabrication d'une pièce de micromécanique |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012509197A true JP2012509197A (ja) | 2012-04-19 |
JP5548692B2 JP5548692B2 (ja) | 2014-07-16 |
Family
ID=40627233
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011536816A Active JP5548692B2 (ja) | 2008-11-21 | 2009-11-04 | 微小機械構成部品の製造方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8661681B2 (ja) |
EP (2) | EP2189854A1 (ja) |
JP (1) | JP5548692B2 (ja) |
KR (1) | KR20110086579A (ja) |
CN (1) | CN102224464B (ja) |
HK (1) | HK1163266A1 (ja) |
RU (1) | RU2498382C2 (ja) |
TW (1) | TWI520900B (ja) |
WO (1) | WO2010057777A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016522322A (ja) * | 2013-04-30 | 2016-07-28 | ウニベルソ・エス アー | マイクロメカニカル部品を処理するための支持体 |
JP2018048935A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 機械部品の製造方法、及び時計の製造方法 |
JP2021518548A (ja) * | 2018-03-20 | 2021-08-02 | パテック フィリップ ソシエテ アノニム ジュネーブ | シリコン時計製造用構成要素の製造方法 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2400352A1 (fr) | 2010-06-22 | 2011-12-28 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Système d'échappement pour pièce d'horlogerie |
US9201398B2 (en) * | 2010-07-19 | 2015-12-01 | Nivarox-Far S.A. | Oscillating mechanism with an elastic pivot and mobile element for transmitting energy |
WO2013093108A1 (fr) * | 2011-12-22 | 2013-06-27 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Methode de liberation d'une piece micromecanique et piece micromecanique comprenant des attaches sacrificielles |
CH706220B1 (fr) * | 2012-03-06 | 2022-05-31 | Sigatec Sa | Procédé d'assemblage d'un composant fragile sur une pièce métallique et pièce de micromécanique assemblée selon ce procédé. |
US9151259B2 (en) * | 2012-06-11 | 2015-10-06 | Continental Automotive Systems, Inc. | Stepped orifice hole |
CN205157985U (zh) * | 2013-03-22 | 2016-04-13 | 奥米加股份有限公司 | 整体式共轴擒纵机构擒纵叉 |
JP6595483B2 (ja) | 2013-12-20 | 2019-10-23 | ロレックス・ソシエテ・アノニム | 時計部品の製造方法 |
EP2942147B1 (fr) * | 2014-05-08 | 2018-11-21 | Nivarox-FAR S.A. | Mécanisme d'échappement d'horlogerie sans lubrification |
EP3035130B1 (fr) * | 2014-12-19 | 2022-03-02 | Omega SA | Procédé de réalisation d'un élément décoré d'une pièce d'horlogerie ou de bijouterie, et élément réalise par le procédé |
EP3109199B1 (fr) * | 2015-06-25 | 2022-05-11 | Nivarox-FAR S.A. | Piece a base de silicium avec au moins un chanfrein et son procede de fabrication |
WO2017200621A2 (en) | 2016-02-29 | 2017-11-23 | The Regents Of The University Of Michigan | Assembly processes for three-dimensional microstructures |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001349962A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-12-21 | Parmigiani Mesure & Art Du Temps Sa | 貯蔵動力表示器機構および該機構を備えた時計 |
JP2006207029A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Sony Corp | 材料及びその用途 |
JP2006234818A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 時計のための耐振軸受 |
JP2007517679A (ja) * | 2004-01-15 | 2007-07-05 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | オン・チップ移送機構を有するマイクロ電気機械サブアセンブリ |
JP2008198607A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | General Electric Co <Ge> | Mem装置用パワーオーバーレイ構造およびmem装置用パワーオーバーレイ構造を作製するための方法。 |
JP2010019844A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Swatch Group Research & Development Ltd | マイクロ機械パーツを製造する方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US640546A (en) * | 1898-11-01 | 1900-01-02 | Philo F Dresser | Hand-plane. |
CH276772A (fr) * | 1948-12-31 | 1951-07-31 | Bulova Watch Co Inc New York S | Procédé de fabrication de roues d'ancre pour échappements à ancre. |
US4400861A (en) * | 1981-11-27 | 1983-08-30 | Oyo Instruments, Inc. | Fabrication of seismic springs from sheets |
US5847537A (en) * | 1996-10-19 | 1998-12-08 | Parmley, Sr.; Daniel W. | Electric vehicle charging station system |
JPH1148342A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マイクロマシンの製造方法 |
DE69904937T2 (de) * | 1998-07-03 | 2003-08-28 | Citizen Watch Co Ltd | Verfahren zur herstellung von zeigern für elektronischeanaloguhren |
EP0994398B1 (fr) * | 1998-10-15 | 2009-01-21 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Procédé de fabrication d'un mobile d'horlogerie et mobile d'horlogerie fabriqué selon ce procédé |
DE69917744T2 (de) * | 1999-03-05 | 2005-07-07 | Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse | Zifferblatt für Uhren mit Brillanten, Auflegestücken oder anderen eingesetzen Elementen und Verfahren zur Befestigung dieser Elemente an einem solchen Zifferblatt |
US6396239B1 (en) * | 2001-04-06 | 2002-05-28 | William M. Benn | Portable solar generator |
US6755225B1 (en) * | 2003-01-24 | 2004-06-29 | Quantum Fuel Systems Technologies Worldwide, Inc. | Transportable hydrogen refueling station |
DE10317889B4 (de) * | 2003-04-17 | 2008-10-30 | GFD-Gesellschaft für Diamantprodukte mbH | Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung |
CH699813B1 (fr) * | 2004-03-25 | 2010-05-14 | Pierre Kunz S A | Roue destinée à venir en contact avec un élément mobile ou fixe et son procédé de fabrication. |
US7093626B2 (en) * | 2004-12-06 | 2006-08-22 | Ovonic Hydrogen Systems, Llc | Mobile hydrogen delivery system |
EP1722281A1 (fr) * | 2005-05-12 | 2006-11-15 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Organe d'affichage analogique en matériau cristallin, pièce d'horlogerie pourvue d'un tel organe d'affichage, et procédé pour sa fabrication |
EP1826634A1 (fr) * | 2006-02-28 | 2007-08-29 | Nivarox-FAR S.A. | Pièce de micro-mécanique avec ouverture de forme pour assemblage sur un axe |
US7721751B1 (en) * | 2006-05-09 | 2010-05-25 | Timothy Perrien | Fuel dispensing system |
EP1921042A1 (fr) * | 2006-11-10 | 2008-05-14 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Procédé de fabrication de pièces de micromécanique multiniveaux en silicium et pièces ainsi obtenues |
DE602006005058D1 (de) * | 2006-11-13 | 2009-03-19 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Einen MEMS-Mikromotor umfassendes Antriebsmodul, Verfahren zur Herstellung dieses Moduls und mit diesem Modul ausgerüstete Uhr |
WO2009017686A2 (en) * | 2007-07-27 | 2009-02-05 | Skybuilt Power | Renewable energy trailer |
WO2009092001A2 (en) * | 2008-01-17 | 2009-07-23 | Clean Emission Fluids Inc. | Fuel station apparatus and method for utilizing the same |
JP5300275B2 (ja) * | 2008-01-25 | 2013-09-25 | キヤノン株式会社 | 複数の突部を備えた金属部材の製造方法 |
US8294286B2 (en) * | 2008-07-15 | 2012-10-23 | F3 & I2, Llc | Network of energy generating modules for transfer of energy outputs |
US8295033B2 (en) * | 2010-01-21 | 2012-10-23 | George Van Straten | Mobile electricity generator using solar, wind, and fuel-generated power |
US8899627B2 (en) * | 2011-01-13 | 2014-12-02 | Wacker Neuson Production Americas Llc | Multiple fuel tank system |
-
2008
- 2008-11-21 EP EP08169687A patent/EP2189854A1/fr not_active Withdrawn
-
2009
- 2009-11-04 US US13/130,698 patent/US8661681B2/en active Active
- 2009-11-04 JP JP2011536816A patent/JP5548692B2/ja active Active
- 2009-11-04 WO PCT/EP2009/064639 patent/WO2010057777A1/fr active Application Filing
- 2009-11-04 EP EP09751882.3A patent/EP2359197B1/fr active Active
- 2009-11-04 KR KR1020117012439A patent/KR20110086579A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-11-04 CN CN2009801463741A patent/CN102224464B/zh active Active
- 2009-11-04 RU RU2011125301/28A patent/RU2498382C2/ru active
- 2009-11-16 TW TW098138859A patent/TWI520900B/zh active
-
2012
- 2012-04-13 HK HK12103667.2A patent/HK1163266A1/xx unknown
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001349962A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-12-21 | Parmigiani Mesure & Art Du Temps Sa | 貯蔵動力表示器機構および該機構を備えた時計 |
JP2007517679A (ja) * | 2004-01-15 | 2007-07-05 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | オン・チップ移送機構を有するマイクロ電気機械サブアセンブリ |
JP2006207029A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Sony Corp | 材料及びその用途 |
JP2006234818A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 時計のための耐振軸受 |
JP2008198607A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | General Electric Co <Ge> | Mem装置用パワーオーバーレイ構造およびmem装置用パワーオーバーレイ構造を作製するための方法。 |
JP2010019844A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Swatch Group Research & Development Ltd | マイクロ機械パーツを製造する方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016522322A (ja) * | 2013-04-30 | 2016-07-28 | ウニベルソ・エス アー | マイクロメカニカル部品を処理するための支持体 |
JP2018048935A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 機械部品の製造方法、及び時計の製造方法 |
JP2021518548A (ja) * | 2018-03-20 | 2021-08-02 | パテック フィリップ ソシエテ アノニム ジュネーブ | シリコン時計製造用構成要素の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110225801A1 (en) | 2011-09-22 |
EP2189854A1 (fr) | 2010-05-26 |
CN102224464B (zh) | 2013-04-24 |
RU2011125301A (ru) | 2012-12-27 |
EP2359197A1 (fr) | 2011-08-24 |
EP2359197B1 (fr) | 2015-01-07 |
TWI520900B (zh) | 2016-02-11 |
WO2010057777A1 (fr) | 2010-05-27 |
HK1163266A1 (en) | 2012-09-07 |
RU2498382C2 (ru) | 2013-11-10 |
KR20110086579A (ko) | 2011-07-28 |
TW201029913A (en) | 2010-08-16 |
JP5548692B2 (ja) | 2014-07-16 |
CN102224464A (zh) | 2011-10-19 |
US8661681B2 (en) | 2014-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5548692B2 (ja) | 微小機械構成部品の製造方法 | |
JP5802441B2 (ja) | シングル・ピースの時計用歯車セット | |
Lorenz et al. | Fabrication of photoplastic high-aspect ratio microparts and micromolds using SU-8 UV resist | |
JP4894052B2 (ja) | シャフトへ組立挿入する変形した開口を有する微細機械加工部品 | |
JP5243398B2 (ja) | シリコン系材料製のブレゲ・オーバーコイル・ヒゲゼンマイ | |
CN104769510B (zh) | 用于形成柔性多稳态元件的方法 | |
CN107505826A (zh) | 温度补偿型摆轮及其制造方法、钟表用机芯、机械式钟表 | |
TWI486729B (zh) | 時計的齒輪系統 | |
JP5671154B2 (ja) | 可塑性領域を有さない部品のアセンブリ | |
CN103299245B (zh) | 不具有塑性域的部件的组装 | |
US8739385B2 (en) | Assembly of a part that has no plastic domain | |
CN101738923A (zh) | 由可微机械加工材料制成的宝玑双层游丝 | |
JP6025201B2 (ja) | 回転部品、ムーブメント、時計、及び回転部品の製造方法 | |
RU2589665C2 (ru) | Сборочная система храпового замка | |
TWI648605B (zh) | 具有受應力的彈性裝置之複合組件 | |
CN105960612A (zh) | 制造钟表部件的方法 | |
JP7051980B2 (ja) | 計時部品を製造するための方法およびこの方法によって得られる部品 | |
JP5390496B2 (ja) | 微細加工可能な材料から作られる自由に搭載されるホイール・セットおよびそれを製作する方法 | |
TW202124969A (zh) | 可調型微機電系統(mems)探針卡及其裝配方法 | |
DE102008001663A1 (de) | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil | |
DE212012000207U1 (de) | Mobiles Monoblockelement für ein Zeitmessgerät | |
US20240069493A1 (en) | Balance spring of a sprung balance assembly of a mechanical horological movement | |
JP2017223646A (ja) | 時計部品の製造方法および時計部品 | |
CN102491261B (zh) | 一种基于引线键合的mems自组装过程的限位方法 | |
KR100813273B1 (ko) | Liga 공정에 사용되는 마스크, 상기 마스크의 제조방법및, liga 공정을 이용한 미세 구조물 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120919 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140430 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140519 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5548692 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |