CN101738923A

CN101738923A - 由可微机械加工材料制成的宝玑双层游丝

Info

Publication number: CN101738923A
Application number: CN200910220829A
Authority: CN
Inventors: A·佐格; C·毕弗拉勒
Original assignee: Montres Breguet SA
Current assignee: Montres Breguet SA
Priority date: 2008-11-06
Filing date: 2009-11-06
Publication date: 2010-06-16
Anticipated expiration: 2029-11-06
Also published as: EP2184653A1; TW201033767A; US8215828B2; JP5243389B2; ATE527583T1; JP2010112954A; TWI477932B; HK1145269A1; EP2184652A1; CN101738923B; EP2184652B1; US20110199866A1; US20100110840A1; CH699882A2; SG161187A1; US7950847B2

Abstract

本发明涉及一种宝玑双层游丝(1)，该宝玑双层游丝(1)包括与内桩(5)同轴地安装成由可微机械加工材料制成的单个部件的细弹簧(3)。根据本发明，所述游丝具有由可微机械加工材料制成的末端弯曲(7)以及由可微机械加工材料制成的位于所述细弹簧的外圈(15)和所述末端弯曲之间的提升装置(9)，以用于改善所述游丝的同心扩展。本发明还涉及制造所述游丝的方法。本发明涉及时计制造领域。

Description

由可微机械加工材料制成的宝玑双层游丝

技术领域

本发明涉及宝玑双层游丝/挑框游丝(Breguet overcoil balance spring)及其制造方法，并且更具体地涉及基于可微机械加工材料的这种类型的游丝。

背景技术

时计的调节部件通常包括称为摆轮的惯性飞轮和称为游丝的谐振器。这些部件决定了时计的工作品质。实际上，它们调节机芯的工作，即，它们控制机芯的频率。

使用基于硅的材料制造时计部件是已知的。由于尤其在电子领域内的当前方法的进步，可微机械加工材料例如硅的使用在制造精度方面具有优点。还可利用硅对磁力和温度变化具有非常低的敏感性的优点。但是，由于当前不能制造具有若干层级的硅部件，因此要被制造的部件必须是平的。

发明内容

本发明的目的是，通过提出一种易于制造并且使得变差(ratevariation)减小的由可微机械加工材料制成的宝玑双层游丝，以克服全部或一部分上述缺陷。

因此，本发明涉及一种由可微机械加工材料制成的宝玑双层游丝，该宝玑双层游丝包括与内桩同轴地安装成单个部件的细弹簧，其特征在于，该宝玑双层游丝包括末端弯曲以及在所述细弹簧的外圈和所述末端弯曲之间的提升装置(elevation device)，以便改善所述游丝的同心扩展。

有利地，具有若干平面的简单组件由可微机械加工材料制成的平的部件生产而成，该组件几乎对磁力和温度变化不敏感，并且不再需要由金属条制造这种游丝所执行的复杂调整步骤。

根据本发明的有利特征：

-提升装置包括将所述外圈的一端连接到所述末端弯曲的一端的机械紧固件或连接件；

-根据第一实施例，所述机械紧固件具有在每一侧通过夹持装置延伸的主体；

-每个夹持装置具有大致U形的轮廓，用于通过重叠来接纳所述端部之一；

-根据第二实施例，所述机械紧固件具有主体，夹持装置弹性地安装在所述主体上以将所述外圈和所述末端弯曲的端部分别锁靠在所述主体上；

-所述夹持装置具有分别连接到所述主体的第一端和第二端的第一臂和第二臂；

-所述端部中的每一个沿其厚度通过所述臂中的其中一个的接触部向所述主体的止动部的推压而被锁定；

-所述端部中的每一个沿其高度通过所述臂中的其中一个的第二接触部向所述主体的第二止动部的推压而被锁定；

-所述臂大致平行于所述主体；

-根据这两个实施例，所述机械紧固件关于所述主体的中心中心对称；

-在所述端部中的至少一个上，所述提升装置具有凸起，用于限定所述紧固件相对于所述端部中的所述至少一个的长度的位置；

-所述提升装置还包括在所述机械紧固件和所述端部之间的连接装置，以提高所述提升装置的固定力；

-所述连接装置包括一层，该层包括粘结材料、金属材料、所使用的材料的氧化物或熔融合金、或甚至硬钎料(braze)或软钎料(solder)；

-所述可微机械加工材料是基于硅、结晶二氧化硅(crystallised silica)或结晶氧化铝(crystallised alumina)的；

-所述末端弯曲是菲利普斯(Philips)弯曲，以改善所述游丝的同心扩展；

-所述细弹簧的至少一个内圈包括格罗斯曼(Grossmann)弯曲，以改善所述游丝的同心扩展。

此外，本发明涉及一种时计，其特征在于，该时计包括根据前述变型中的任一个的宝玑双层游丝。

最后，本发明涉及制造宝玑双层游丝的方法，该方法包括以下步骤：

a)在可微机械加工材料的层中选择性地蚀刻至少一个凹腔，以限定与内桩同轴地安装的细弹簧；

其特征在于，所述方法还包括以下步骤：

b)在可微机械加工材料层中选择性地蚀刻至少一个凹腔，以限定机械紧固件；

c)在可微机械加工材料层中选择性地蚀刻至少一个凹腔，以限定末端弯曲；

d)将机械紧固件组装在所述细弹簧和所述末端弯曲之间，以形成宝玑双层游丝。

有利地，与当前使用的用于由金属条制造这种游丝的复杂调整步骤相比，较少的步骤就能制造由可微机械加工材料制成的游丝。

根据本发明的其它有利特征：

-在步骤d)之后或之前，该方法包括氧化步骤，以提高所述机械紧固件的固定力，或者使所述宝玑双层游丝具有更高的机械强度/更大的机械抗性以及调整所述宝玑双层游丝的热弹性系数；

-在步骤d)之前或之后，该方法包括在所述机械紧固件与所述细弹簧和末端弯曲之间沉积粘结材料的步骤；

-在步骤d)之前或之后，该方法包括在所述细弹簧和末端弯曲与所述机械紧固件的将用于接纳它们的表面之间沉积材料，以便将所述细弹簧和末端弯曲紧压到(drive)或焊接到所述紧固件上，以提高所述机械紧固件的固定力；

-步骤a)、b)和c)在同一可微机械加工材料层中同时执行；

-该方法包括加热所述宝玑双层游丝的最终步骤，以提高所述机械紧固件的固定力或者使所述粘结材料活化。

附图说明

从以下参照附图通过非限制性示例给出的描述可以更清楚地看出本发明的其它特征和优点，其中：

图1是根据本发明的宝玑双层游丝的立体图；

图2是图1的俯视图；

图3是图2的A-A截面图；

图4是制造方法的步骤的流程图；

图5是根据本发明的第二实施例的宝玑双层游丝的立体图；

图6是图5的局部放大图；

图7是根据本发明的机械紧固件的立体图；

图8是图5的一个部件的截面图。

具体实施方式

图1至图3所示的示例示出总体上由附图标记1指示的宝玑双层游丝。游丝1用于安装在时计中与摆轮配合工作。该游丝包括细弹簧3、内桩5、末端弯曲7和提升装置9。细弹簧3和内桩5优选形成单个部件，以防止在它们之间的接口处不精确，这种不精确对游丝1的扩展对称性是有害的。

如图1和图2所示，可以看到，细弹簧3优选具有包含格罗斯曼弯曲的内圈11。格罗斯曼弯曲通过相对于理想阿基米德游丝的理想弯曲矫正内圈11来补偿内桩5的使用。图1和图2还示出，内桩5总体上为三角形，并且能够接纳摆轮轴13。当然，摆轮轴13的总体形状可以改变，而不会脱离本发明的范围。

优选地，在图1和图2所示的示例中，末端弯曲7是菲利普斯弯曲，即，在游丝1扩展期间保持其重心位于摆轮轴13上的弯曲。优选地，如图2所示，末端弯曲7和细弹簧3的高度相同。

由于上文所述的末端弯曲7与细弹簧3-内桩5组件的几何形状的一致性，在结构上确保了游丝1的扩展对称性，但是所使用的制造类型和材料必须不能妨碍扩展。

为了确保这些弯曲的制造精度以及使得游丝1几乎对磁力和温度改变不敏感，可以使用基于硅的材料。实际上，这是可微机械加工材料，即，可以例如通过深反应离子蚀刻(DRIE)基于晶体硅的晶片来以小于1微米的精确度制造的材料。

当然，硅不是唯一具有这些特性的材料。可想到其它可微机械加工材料，例如结晶二氧化硅或结晶氧化铝。

优选地，基于硅的材料还可以包覆有其氧化物涂层，以便使其热膨胀系数以及热弹性系数适应于摆轮，以便精确地调整时计机芯的等时性，即，使其变差降至最小。

为了制造宝玑双层游丝1，使用提升装置9将细弹簧3的外圈15固定到位于所述细弹簧上方的末端弯曲7上。如图1至图3所示，提升装置9包括具有主体19的机械紧固件或连接件17，该主体19在两侧通过夹持装置23、25延伸。类似于末端弯曲7和细弹簧3-内桩5组件，机械紧固件17也优选由可微机械加工材料例如基于硅的材料制成。

如图3中的截面所示，机械紧固件17的主体19大致是平行六面体，并且具有大约等于末端弯曲7和细弹簧3的外圈15的高度的厚度。夹持装置23、25关于主体19大致对称，并且每个夹持装置均包括大致U形的轮廓，以用于通过至少部分重叠来分别连接到末端弯曲7的端部和细弹簧3的外圈15的端部。

在图1至图3中所示的示例中，所述U形轮廓形成于机械紧固件17的整个宽度，并且分别覆盖末端弯曲7和细弹簧3的外圈15的整个厚度，而仅未覆盖平行于该高度的其中一个表面。当然，夹持装置23、25的轮廓可以彼此不同，和/或在机械紧固件17的整个宽度上不一致，和/或仅在所述宽度的一部分上延伸。还可想到，该轮廓中的至少一个不是U形的，而是大致圆形的、椭圆形的、正方形的或矩形的，从而使得末端弯曲7的端部和/或细弹簧3的外圈15的端部能够被完全覆盖。

根据提升装置59的第二实施例，宝玑双层游丝51制成如图5至图8所示的。游丝51也是宝玑双层游丝，并且除了提升装置59外具有与第一实施例相同的特征。提升装置用于将细弹簧53的外圈65连接到位于所述细弹簧上方的末端弯曲57上。

如图5至图8所示，提升装置59具有包括主体69的机械紧固件或连接件67，夹持装置73、75弹性地安装在该主体69上，以将外圈65和末端弯曲57的端部61、63分别锁靠在主体69上。

类似于末端弯曲57和细弹簧53-内桩55组件，机械紧固件67也优选由可微机械加工材料例如基于硅的材料制成。

如图7和图8所示，机械紧固件67具有大致平行六面体形的主体69，并且，类似于第一实施例的机械紧固件17，优选地关于主体69的中心O中心对称。此外，夹持装置73、75具有分别连接到主体69的第一端部71和第二端部77的第一臂81和第二臂83，并且它们用于通过至少部分重叠来分别连接到末端弯曲57的端部61和细弹簧53的外圈65的端部63。

如图7和图8所示，臂81、83大致平行于主体69。此外，根据本发明，有利地，臂81和83通过形成空腔88、90而可弹性移动，该空腔允许该臂相对于主体69移动。

更具体地说，端部61、63中的每一个沿其厚度通过所述臂81、83之一的接触部82、86向主体69的止动部72、76的推压而被锁定。因此，如图8所示，第一臂81的接触部82将末端弯曲57的端部61推靠在主体69的端部77的止动部72上。并且，第二臂83的接触部86将细弹簧53的外圈65的端部63推靠在主体69的端部71的止动部76上。因此，类似于第一实施例，紧固件67沿其厚度夹紧端部61、63中的每一个。

优选地，根据本发明，每个止动部/接触部72、76通过形成空腔68、92而弹性地安装在主体69的端部77、71上，该空腔允许该接触部相对于主体69的其余部分移动。

有利地，与第一实施例相比，提升装置59还允许端部61、63中的每一个沿其高度通过所述臂81、83之一的第二接触部80、84向主体69的第二止动部70、74的推压而被锁定。

因此，如图8所示，每个臂81、83具有形成钩件的凸出部85、87，该钩件支承大致垂直于第一接触部82、86定位的第二接触部80、84中的一个。有利地，根据本发明，凸出部85和87通过形成空腔66、94而可弹性移动，该空腔允许它们相对于它们的臂81、83移动。

因此，第一臂81的接触部80将末端弯曲57的端部61推靠在主体69的端部77的止动部70上。并且，第二臂83的接触部84将细弹簧53的外圈65的端部63推靠在主体69的端部71的止动部74上。因此，紧固件67也沿其高度夹紧端部61、63中的每一个。

当然，夹持装置73、75的轮廓可以彼此不同，和/或在机械紧固件67的整个宽度上不一致，和/或仅在所述宽度的一部分上延伸。还可想到，该轮廓中的至少一个是大致圆形的、椭圆形的、正方形的或矩形的，从而完全覆盖末端弯曲57的端部61和/或细弹簧53的外圈65的端部63。

优选地，根据本发明，对于这两个实施例，在所述端部的至少一个上，提升装置9、59包括凸起62、64，用于相对于所述端部中的所述至少一个的长度限定紧固件17、67的位置。凸起62、64虽然仅在图5至图8中示出，但是它们能很好地应用于第一实施例，凸起62、64形成具有四个立柱的框架，用于分别将主体69的第一臂81和端部77相对于末端弯曲57的长度锁定在特定位置以及将主体69的第二臂83和端部71相对于细弹簧53的长度锁定在特定位置。

因此，显然，尤其在第二实施例的情况下，机械紧固件67沿三个大致垂直的平面理想地锁靠在端部61和63上。

有利地，提升装置9、59还可以包括用于提高提升装置5、59的固定力的连接装置27。根据本发明，如下所述，根据所使用的方法，连接装置可以有若干变型。因此，连接装置包括位于机械紧固件17、67与末端弯曲7、57和细弹簧3、53的外圈15、65的端部之间的层29。层29包括粘结材料、金属材料、所使用的材料的氧化物或熔融合金、或甚至硬钎料或软钎料。

下面将参照图4说明制造根据本发明的宝玑双层游丝1、51的方法31。方法31主要包括制造部件的步骤33和组装部件的步骤37。优选地，该方法还包括机械增强所述部件的步骤35和增强该组件的步骤41。

如图4所示，第一步骤33用于在各个阶段30、32和34期间制造宝玑双层游丝1、51的部件，即，细弹簧3、53-内桩5、55组件、末端弯曲7、57和提升装置9、59。优选地，将使用干法或湿法微机械加工技术，以便非常精确地制造所述部件。在上述示例中，微机械加工可以是对基于晶体硅的晶片的深反应离子蚀刻类型的干法各向异性蚀刻。

因此，阶段30、32和34首先包括例如使用光敏树脂光刻方法为晶片覆上保护性掩膜。其次，对晶片进行各向异性蚀刻，仅有晶片的未受保护的部分被蚀刻。最后，在第三阶段，除去保护性掩膜。因此，显然，保护性掩膜直接确定了被蚀刻部件的最终形状。

有利地，易于为已有的机芯尺寸制造宝玑双层游丝1、51。因此，有利地，仍然可以通过用新的、由可微机械加工材料制成的、变差和品质改进的宝玑双层游丝来替换通常使用的金属宝玑双层游丝来简单地制造机芯。

优选地，还应理解，可以在同一晶片上同时执行步骤33的阶段30、32和34。因此，可得出如下结论，可在所述晶片上数次蚀刻所有必要的部件。

第二步骤37是组装在步骤33中蚀刻出的部件，即，细弹簧3、53-内桩5、55组件、末端弯曲7、57以及提升装置9、59。首先，例如通过破坏在每个必要部件与晶片之间遗留下来的材料桥状物来使每个必要部件与被蚀刻晶片分离。其次，将这三个平的部件组装在一起，以形成由三个部件组成的游丝1。在此第二阶段中，细弹簧3、53的外圈15、65的端部装配到机械紧固件17、67的夹持装置25、75中的一个中，然后末端弯曲7、57的端部装配到另一个夹持装置23、73中。

优选地，根据第一实施例，在步骤37结束时，游丝1的整体高度等于代表末端弯曲7和细弹簧3-内桩5组件的被蚀刻晶片的厚度的两倍和机械紧固件17的不与该厚度重叠的长度之和。机械紧固件17优选根据图3的图案在晶片中蚀刻出来。

优选地，根据第二实施例，在步骤37结束时，游丝51的整体高度等于机械紧固件67的高度。

如上所述，方法31还可以包括增强蚀刻部件的步骤35。关于基于硅的材料的示例，此步骤可以包括执行等离子氧化，以便产生表面二氧化硅。在图4中以虚线示出的示例中，增强步骤35在蚀刻步骤33和组装步骤37之间执行，这意味着整个被蚀刻晶片可以被氧化，即，所有部件同时被氧化。当然，步骤35也可以在阶段30和/或32和/或34之后执行。

如上所述，方法31还可以包括用于增强蚀刻部件的组件的步骤41。在图4所示的示例中，可分出三个不同实施例，分别使用双线、三线或四线示出其过程。

根据图4中的由双线示出的第一实施例，增强步骤41可以包括在阶段43期间在夹持装置23、73和/或25、75内侧沉积层29，以便允许机械紧固件17、67紧压到末端弯曲7、57和细弹簧3、53的外圈15、65的端部上。因此，在上述基于硅的材料的示例中，此层29可以由例如通过气相沉积获得的金属层构成。由于硅中缺少塑性域，需要使用可以变形的层29，以防止夹持装置23、73、25、75破坏，这是由于为使游丝1、51正常工作所必须的紧压力会产生大于所述硅的弹性区的极限的应力。

当然，可选择地，层29也可以不沉积在夹持装置23、73、25、75内侧，而是沉积在末端弯曲7、57和细弹簧3、53的外圈15、65的端部上。因此，在图4中的双线所示的示例中，可以清楚地看到，在该第一实施例中，层29必须在组装步骤37之前沉积。但是，阶段43的沉积物还可以由钎焊层29构成。钎焊可以在组装步骤37期间或者在其后执行。

根据图4中的四线所示的第二实施例，组件增强步骤41可以包括在过程45期间在夹持装置23、73和/或25、75与末端弯曲7、57和细弹簧3、53的外圈5、65之间沉积粘结层29，以提高提升装置9、59的固定力。因此，第一阶段40可以包括在组装好的部件的界面处沉积粘结材料，然后优选地在第二阶段42中加热该组件以使所述粘结材料活化。此层29从而可以由例如聚合物粘结层构成。

当然，可选择地，如果粘结材料在未活化状态下不足够粘，则沉积阶段40也可以在组装步骤37之前执行。从而，在组装步骤37之前，在夹持装置23、73、25、75内侧和/或在末端弯曲7、57和细弹簧3、53的外圈15、65的端部上进行沉积，并且优选地在组装步骤37之后在阶段42期间加热沉积物。因此，在该第二实施例的示例中，显然，由于它们的粘附力，层29将组件牢固地保持就位。

根据图4中的三线所示的第三实施例，组件增强步骤41可以包括在过程47期间在夹持装置23、73和/或25、75与末端弯曲7、57和细弹簧3、53之间形成连接层29，以提高提升装置9、59的固定力。

因此，在上述的基于硅的材料的示例中，第一阶段44可以包括例如通过等离子蚀刻来氧化基于硅的游丝1、51的表面以形成二氧化硅层，该二氧化硅层可以改善组装在一起的部件之间的连接，然后优选在第二阶段46加热该组件以使得所述连接更加改善。

当然，可选择地，氧化阶段44也可以在组装步骤37之前执行并且由可选的氧化步骤35代替。因此，已经被氧化的部件可以在步骤37期间组装起来，并且优选地在阶段46期间被加热，以在机械紧固件17、67与末端弯曲7、57和细弹簧3、53之间的界面处产生单个二氧化硅层29。应该指出，在加热阶段46之前的亲水化阶段改进了连接二氧化硅层的步骤。因此，可以清楚地看出，在该第三实施例的示例中，类似于另外两个实施例，层29使得机械紧固件17、67与末端弯曲7、57和细弹簧3、53之间的组装增强。

最后，作为第三实施例的替代，可以想到包括单个步骤46的过程47，在该步骤46中，加热在步骤37中组装好的硅部件，以焊接所述部件的受应力界面。

Claims

1.一种宝玑双层游丝(1，51)，包括细弹簧(3，53)，该细弹簧(3，53)与内桩(5，55)同轴地安装成由可微机械加工材料制成的单个部件，其特征在于，所述宝玑双层游丝(1，51)包括由可微机械加工材料制成的末端弯曲(7，57)以及由可微机械加工材料制成的位于所述细弹簧的外圈(15，65)和所述末端弯曲之间的提升装置(9，59)，以用于改善所述游丝的同心扩展。

2.根据权利要求1的游丝(1，51)，其特征在于，所述提升装置(9，59)包括将所述外圈的一端连接到所述末端弯曲的一端的机械紧固件(17，67)。

3.根据权利要求2的游丝(1)，其特征在于，所述机械紧固件(17)具有在每一侧通过夹持装置(23，25)延伸的主体(19)。

4.根据权利要求3的游丝(1)，其特征在于，每个夹持装置(23，25)具有大致U形的轮廓，用于通过重叠来接纳所述端部之一。

5.根据权利要求3的游丝(1)，其特征在于，所述主体的厚度大约等于所述端部的高度。

6.根据权利要求2的游丝(51)，其特征在于，所述机械紧固件(67)具有主体(69)，一些夹持装置(73，75)弹性地安装在所述主体(69)上以将所述外圈和所述末端弯曲的各自端部锁靠在所述主体(69)上。

7.根据权利要求6的游丝(51)，其特征在于，所述夹持装置(73，75)具有分别连接到所述主体(69)的第一端(71)和第二端(77)的第一臂(81)和第二臂(83)。

8.根据权利要求7的游丝(51)，其特征在于，所述端部(61，63)中的每一个沿其厚度通过所述臂(81，83)中的其中一个的接触部(82，86)向所述主体的止动部(72，76)的推压而被锁定。

9.根据权利要求8的游丝(51)，其特征在于，所述端部(61，63)中的每一个沿其高度通过所述臂(81，83)中的其中一个的第二接触部(80，84)向所述主体的第二止动部(70，74)的推压而被锁定。

10.根据权利要求7的游丝(51)，其特征在于，所述臂(81，83)大致平行于所述主体(69)。

11.根据权利要求1的游丝(1，51)，其特征在于，所述机械紧固件(17，67)关于所述主体(19，69)的中心中心对称。

12.根据权利要求1的游丝(1，51)，其特征在于，在所述端部中的至少一个上，所述提升装置(9，59)具有凸起(62，64)，所述凸起(62，64)用于限定所述机械紧固件(17，67)相对于所述端部中的所述至少一个的长度的位置。

13.根据权利要求2的游丝(1，51)，其特征在于，所述提升装置(9，59)还包括在所述机械紧固件和所述端部之间的连接装置(27)，用于提高所述提升装置的固定力。

14.根据权利要求13的游丝(1，51)，其特征在于，所述连接装置(27)包括粘结材料。

15.根据权利要求1的游丝(1，51)，其特征在于，所述可微机械加工材料是基于硅的。

16.依赖于权利要求13的根据权利要求15的游丝(1，51)，其特征在于，所述连接装置(27)包括所述可微机械加工材料的氧化层。

17.根据权利要求15的游丝(1，51)，其特征在于，所述游丝包括至少一个氧化硅部件，以使所述游丝具有更高的机械强度，并调整所述游丝的热弹性系数。

18.根据权利要求1的游丝(1，51)，其特征在于，所述末端弯曲(7)是菲利普斯弯曲，以改善所述游丝的同心扩展。

19.根据权利要求1的游丝(1，51)，其特征在于，所述细弹簧(3，53)的至少一个内圈(11)包括格罗斯曼弯曲，以改善所述游丝的同心扩展。

20.一种时计，其特征在于，所述时计包括根据权利要求1的宝玑双层游丝(1，51)。

21.一种宝玑双层游丝(1，51)的制造方法(31)，包括以下步骤：

a)在可微机械加工材料层中选择性地蚀刻(30)至少一个凹腔，以限定与内桩(5，55)同轴地安装的细弹簧(3，53)；

其特征在于，所述方法还包括以下步骤：

b)在可微机械加工材料层中选择性地蚀刻(32)至少一个凹腔，以限定机械紧固件(17，67)；

c)在可微机械加工材料层中选择性地蚀刻(34)至少一个凹腔，以限定末端弯曲(7，57)；

d)将机械紧固件(17，67)组装(37)在所述细弹簧和所述末端弯曲之间，以形成弯曲上挑游丝(1，51)。

22.根据权利要求21的方法(31)，其特征在于，所述可微机械加工材料是晶体硅，并且所述方法在步骤d)之后还包括以下步骤：

e)氧化(44)所述上挑游丝，以提高所述机械紧固件的固定力。

23.根据权利要求21的方法(31)，其特征在于，所述方法在所述步骤d)之后或之前还包括以下步骤：

g)在所述机械紧固件与所述细弹簧和末端弯曲之间沉积(40)粘结材料；

并且所述方法还包括以下最终步骤：

h)加热(42)所述游丝以使所述粘结材料活化，以便提高所述机械紧固件的固定力。

24.根据权利要求21的方法(31)，其特征在于，所述可微机械加工材料是晶体硅，并且所述方法在步骤d)之前还包括以下步骤：

i)在所述细弹簧和末端弯曲与所述机械紧固件的用于接纳所述细弹簧和末端弯曲的表面之间沉积(43)金属材料，以便在步骤d)中所述细弹簧和末端弯曲紧压在所述机械紧固件上，以提高所述机械紧固件的固定力。

25.根据权利要求21的方法(31)，其特征在于，所述可微机械加工材料是晶体硅，并且所述方法在步骤d)期间或之后还包括以下步骤：

i)在所述细弹簧和末端弯曲与所述机械紧固件的用于接纳所述细弹簧和末端弯曲的表面之间沉积钎焊材料(42)，以便将所述细弹簧和末端弯曲钎焊到所述机械紧固件上，以提高所述机械紧固件的固定力。

26.根据权利要求21的方法(31)，其特征在于，步骤a)、b)和c)在同一可微机械加工材料层中同时执行(33)。

27.根据权利要求21的方法(31)，其特征在于，所述可微机械加工材料是晶体硅，并且所述方法在所述步骤a)、b)和c)之后还包括以下步骤：

j)氧化(35，44)所述硅，以使所述宝玑双层游丝具有更高的机械强度，并且改善所述宝玑双层游丝的热弹性系数。

28.根据权利要求21、22或27的方法(31)，其特征在于，所述可微机械加工材料是晶体硅，并且所述方法还包括以下步骤：

f)加热(46)所述宝玑双层游丝，以提高所述机械紧固件的固定力。