JP6025201B2 - 回転部品、ムーブメント、時計、及び回転部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、回転部品、ムーブメント、時計、及び回転部品の製造方法に関するものである。

機械式時計等の時計には、歯車等に代表される数多くの回転部品が搭載されている。これら回転部品は、回転体と、回転体の貫通孔内に固定された回転軸と、を備えている。回転軸は、打ち込み等によって回転体の貫通孔の周囲が塑性変形することで、回転体に固定されている。

ところで、近時では、上述した回転体にシリコンが用いられるようなっている。シリコン製の回転体は、金属製のものに比べて軽いことから、慣性力を小さくした部品の材料に好適となり、エネルギーの伝達効率の向上が見込まれる。また、シリコンは、形状の自由度が高く、加工精度を向上できるという利点もある。

しかし、シリコンは脆性が高いといった欠点があることから、上述した打ち込みによって回転体を固定しようとすると、打ち込み時に回転体に割れが発生し易いという課題がある。
これに対して、下記特許文献１には、貫通孔内面に弾性部を形成し、この弾性部によって回転軸を貫通孔内で弾性支持する構成が開示されている。
一方、下記特許文献２には、回転軸に径方向外側に向けて突出するフレア部分を形成し、このフレア部分を弾性変形させて、貫通孔内に回転軸を弾性支持する構成が開示されている。
また、下記特許文献３には、回転体と回転軸とを弾性変形可能な中間部品を介して弾性支持する構成が開示されている。

特開２００９−２６５０９７号公報 特開２０１２−１３２９１５号公報 特開２０１２−１３２９１４号公報

ここで、上述した各特許文献のように、回転軸と回転体とを弾性支持する構成にあっては、回転軸（または中間部品）と回転体とが、弾性力によって決定される摩擦力のみで支持されている。
そのため、周方向への緩みトルクや軸方向への抜き力が小さく、回転体と回転軸とを確実に固定することができないという問題がある。

一方、回転軸と回転体とを弾性支持した後、両者を接着剤で固定する等の方法も考えられるが、製造工数の増加により製造効率の低下に繋がるという問題もある。
また、回転体の貫通孔内に回転軸を挿入した後、両者を接着剤のみで固定する方法も考えられる。
しかしながら、この場合には、回転軸と貫通孔との間に、接着剤を注入するための隙間を設ける必要があるため、回転軸と回転体とを同軸上に配置することが難しいという問題がある。

そこで本発明は、製造効率の低下を抑制した上で、回転体と回転軸とを確実、かつ高精度に固定できる回転部品、ムーブメント、時計、及び回転部品の製造方法の提供を目的とする。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係る回転部品は、結晶方位を有する材料からなる回転体と、前記回転体の貫通孔内に挿通されるとともに、連結体を介して前記回転体に固定された回転軸と、を備えた回転部品において、前記貫通孔の内面は、前記回転軸の軸方向に対して傾斜するとともに、前記材料の結晶面により形成された第１傾斜面が、前記回転軸の周方向に沿って複数連設されてなり、前記連結体の外周面には、前記第１傾斜面と同等の角度を有する複数の第２傾斜面が前記第１傾斜面に対応して形成され、前記連結体は、前記回転軸に固定されるとともに、前記第２傾斜面が前記第１傾斜面に当接した状態で前記貫通孔内に配置されていることを特徴としている。

この構成によれば、貫通孔を有する回転体を連結体を介して回転軸に固定することで、回転体に対して回転軸を圧入等により直接固定する場合に比べて、回転体の割れ等を抑制できるとともに、回転軸の軸方向への抜き力を確保した上で、回転体に回転軸を組み付けることができる。

特に、貫通孔の内面及び連結体の外周面がそれぞれ傾斜面とされているため、連結体と回転体との組付時に、第２傾斜面が第１傾斜面によって案内されることで、連結体を貫通孔内において軸方向及び径方向に位置決めすることができる。これにより、連結体に固定される回転軸と、回転体と、の同軸度を向上させることができる。
また、貫通孔及び連結体の複数の傾斜面同士を当接させることで、回転体に対する連結体の周方向の位置決めを確実に行うことができる。そのため、連結体に固定された回転軸の周方向への緩みトルクを確保できる。
しかも、第１傾斜面は、材料の結晶方位で規定される結晶面により形成されているため、第１傾斜面が所定の角度に高精度に形成されることになる。そのため、回転体と連結体とを高精度、かつ強固に位置決めすることができる。
また、連結体を介して回転軸を回転体に固定するのみなので、従来のように回転軸と回転体とを接着剤を用いて固定する等の別工程を行う必要がなく、製造効率の低下を抑制できる。

（２）本発明に係る回転部品では、前記材料はシリコンにより構成され、前記結晶面はシリコンの（１１１）面として形成されていてもよい。
この構成によれば、エネルギーの伝達効率が高く、また形状の自由度が高く、高精度な回転体を提供できる。

（３）本発明に係る回転部品では、前記回転軸のうち、前記回転体を挟んで前記連結体の反対側には、前記回転軸の径方向外側に向けて突出するとともに、前記連結体との間で前記回転体を挟持するフランジ部が形成されていてもよい。
この構成によれば、回転軸のうち、回転体を挟んで連結体の反対側に、連結体との間で回転体を挟持するフランジ部が形成されているため、軸方向への抜き力を確保して、回転軸に対して回転体を軸方向に確実に固定することができる。

（４）本発明に係る回転部品では、前記連結体は、凹部の内周面が前記結晶面で形成された成形型を用いて成形されていてもよい。
この構成によれば、凹部の内周面が回転体と同一の結晶面で形成された成形型を用いて連結体が成形されているため、第２傾斜面を第１傾斜面と同等の角度に高精度に形成することができる。これにより、第１傾斜面と第２傾斜面とを隙間なく当接させることができ、回転体と連結体とを高精度に位置決めすることができる。

（５）本発明に係る回転部品では、前記連結体の外周面のうち、隣接する前記第２傾斜面間に位置する角部には、面取りが施されていてもよい。
この構成によれば、回転体と連結体との組付工程において、貫通孔の隣接する第１傾斜面間に位置する角部と、連結体の角部と、の接触を抑え、連結体が貫通孔内に進入し易くなるので、製造効率の向上を図ることができる。

（６）本発明に係るムーブメントは、香箱車、番車、がんぎ車、アンクル及びてんぷを備えた時計のムーブメントであって、前記香箱車、前記番車、前記がんぎ車、前記アンクル、及び前記てんぷのうち、少なくとも何れかに上記本発明の回転部品が用いられていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明の回転部品が用いられているため、信頼性及び耐久性に優れた高品質なムーブメントを提供することができる。

（７）本発明に係る時計は、上記本発明のムーブメントを備えたことを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明のムーブメントを備えているため、信頼性及び耐久性に優れた高品質な時計を提供することができる。

（８）本発明に係る回転部品の製造方法は、貫通孔を有する回転体が連結体を介して回転軸に固定されてなる回転部品の製造方法であって、結晶方位を有する基材に対して異方性エッチングを施すことで、前記回転軸の軸方向に対して傾斜するとともに、前記基材の結晶面により形成された複数の第１傾斜面が、前記回転軸の周方向に沿って連設されてなる前記貫通孔を形成する回転体作成工程と、外周面が前記第１傾斜面と同等の角度を有する複数の第２傾斜面により形成された角錐台形状の前記連結体を作成する連結体作成工程と、前記連結体を介して前記回転軸を前記回転体に組み付ける組付工程と、を有し、前記組付工程では、前記回転軸を前記貫通孔内に挿通するとともに、前記第２傾斜面を前記第１傾斜面に当接させた状態で、前記連結体と前記回転軸とを固定することを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明の回転部品と同様の作用効果を奏することができる。

（９）前記連結体形成工程は、前記基材と同じ結晶方位を有する成形基板に対して異方性エッチングを施し、凹部を有する成形型を形成する成形型形成工程と、前記成形型に対して電鋳を行うことで、前記凹部内に前記連結体を成形する電鋳工程と、を有していてもよい。
この構成によれば、基材と同じ結晶方位を有する成形基板に対して異方性エッチングを施すことで、内周面が基材と同一の結晶面で形成されるため、第１傾斜面と同等の角度を有する複数の傾斜面からなる凹部を形成することができる。そして、この凹部を有する成形型に対して電鋳を行うことで、第１傾斜面と同等の角度に形成された第２傾斜面を有する連結体（電鋳体）を成形することができる。
すなわち、凹部の内周面が基材と同一の結晶面で形成された凹部を有する成形型を用いて連結体が成形されているため、第２傾斜面を第１傾斜面と同等の角度に高精度に形成することができる。これにより、第１傾斜面と第２傾斜面とを隙間なく当接させることができ、回転体と連結体とを高精度に位置決めすることができる。

本発明の回転部品及び回転部品の製造方法によれば、製造効率の低下を抑制した上で、回転体と回転軸とを確実、かつ高精度に固定できる。
また、本発明のムーブメント及び時計によれば、信頼性及び耐久性に優れた高品質な製品を提供することができる。

ムーブメント表側の平面図である。 脱進機構の平面図である。 脱進機構の斜視図である。 図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。 がんぎ歯車部の平面図である。 図４のＢ部拡大図である。 第１実施形態の連結体を軸方向一端側から見た斜視図である。 歯車部作成工程を説明するための工程図であって、図４に相当する断面図である。 歯車部作成工程を説明するための工程図であって、図４に相当する断面図である。 歯車部作成工程を説明するための工程図であって、図４に相当する断面図である。 連結体作成工程を説明するための工程図であって、図６に相当する断面を示している。 連結体作成工程を説明するための工程図であって、図６に相当する断面を示している。 組付工程を説明するための説明図であって、図６に相当する断面図である。 連結体の変形例を示す斜視図である。 第２実施形態の連結体を示す図であって、図６に相当する断面図である。 第２実施形態の連結体を示す斜視図である。 第２実施形態における連結体作成工程を説明するための工程図であって、図１５に相当する断面を示している。 成形型（成形基板）の斜視図である。 がんぎ車の変形例を示す断面図である。 てんぷの概略断面図である。

次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態では、本発明の回転部品の一例として、機械式時計の時計部品を構成する歯車の１つであるがんぎ車を例に挙げて説明する。
（第１実施形態）
［機械式時計］
はじめに、機械式時計１について説明する。図１は、ムーブメント表側の平面図である。
図１に示すように、本実施形態の機械式時計１は、ムーブメント１０と、このムーブメント１０を収納する図示しないケーシングと、により構成されている。

ムーブメント１０は、基板を構成する地板１１を有している。この地板１１の裏側には図示しない文字板が配されている。なお、ムーブメント１０の表側に組み込まれる輪列を表輪列と称し、ムーブメント１０の裏側に組み込まれる輪列を裏輪列と称する。
地板１１には、巻真案内穴１１ａが形成されており、ここに巻真１２が回転自在に組み込まれている。この巻真１２は、おしどり１３、かんぬき１４、かんぬきばね１５及び裏押さえ１６を有する切換装置により、軸方向の位置が決められている。また、巻真１２の案内軸部には、きち車１７が回転自在に設けられている。

このような構成のもと、巻真１２が、回転軸方向に沿ってムーブメント１０の内側に一番近い方の第１の巻真位置（０段目）にある状態で巻真１２を回転させると、図示しないつづみ車の回転を介してきち車１７が回転する。そして、このきち車１７が回転することにより、これと噛合う丸穴車２０が回転する。そして、この丸穴車２０が回転することにより、これと噛合う角穴車２１が回転する。さらに、この角穴車２１が回転することにより、香箱車２２に収容された図示しないぜんまい（動力源）を巻き上げる。

ムーブメント１０の表輪列は、上述した香箱車（回転部品）２２の他に、二番車（回転部品）２５、三番車（回転部品）２６及び四番車（回転部品）２７により構成されており、香箱車２２の回転力を伝達する機能を果している。また、ムーブメント１０の表側には、表輪列の回転を制御するための脱進機構３０及び調速機構３１が配置されている。

二番車２５は、香箱車２２に噛合う歯車とされている。三番車２６は、二番車２５に噛合う歯車とされている。四番車２７は、三番車２６に噛合う歯車とされている。
脱進機構３０は、上述した表輪列の回転を制御する機構であって、四番車２７と噛み合うがんぎ車（回転部品）３５と、このがんぎ車３５を脱進させて規則正しく回転させるアンクル（回転部品）３６と、を備えている。
調速機構３１は、上述した脱進機構３０を調速する機構であって、てんぷ（回転部品）４０を具備している。

＜脱進機構＞
次に、上述した脱進機構３０について、より詳細に説明する。図２は脱進機構３０の平面図であり、図３は脱進機構３０の斜視図、図４は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図２〜図４に示すように、脱進機構３０のがんぎ車３５は、がんぎ歯車部（回転体）１０１と、がんぎ歯車部１０１に連結体１１０を介して同軸（軸線Ｏ１）上に固定された軸部材（回転軸）１０２と、を備えている。以下の説明では、がんぎ歯車部１０１及び軸部材１０２の軸線Ｏ１に沿う方向を単に軸方向、軸線Ｏ１に直交する方向を径方向といい、軸線Ｏ１回りに周回する方向を周方向という。

図５は、がんぎ歯車部１０１の平面図である。
図２〜図５に示すように、がんぎ歯車部１０１は、単結晶シリコン等、結晶方位を有する材料からなり、表面１０１ａ及び裏面１０１ｂが平坦面とされるとともに、全面に亘って均一な厚みとされた板状のものである。具体的に、がんぎ歯車部１０１は、周囲のリム部１１１と、中央のハブ部１１２と、これらリム部１１１及びハブ部１１２を連結する複数のスポーク部１１３と、を有している。
リム部１１１の外周面には、特殊な鉤型状に形成された複数の歯部１１４が径方向の外側に向けて突設されている。これら複数の歯部１１４の先端に、後述するアンクル３６の爪石１４４ａ，１４４ｂが接触するようになっている。

図６は、図４のＢ部拡大図である。
図５、図６に示すように、ハブ部１１２は、リム部１１１の内側に配置された円板形状のものであり、その中央部分には軸方向に貫通する貫通孔１１５が形成されている。この貫通孔１１５は、平面視で正方形状とされ、軸方向に沿う一端開口部１１５ａから他端開口部１１５ｂに向かうに従い漸次拡径された角錐台形状（図示の例では、四角錐台）とされている。具体的に、貫通孔１１５の内面は、軸方向に対して傾斜する複数（図示の例では、４つ）の第１傾斜面１１６が周方向に沿って連設されて構成されている。これら第１傾斜面１１６は、単結晶シリコンの結晶面である（１１１）面により形成されており、それぞれ同等の角度になっている。

各スポーク部１１３は、ハブ部１１２の外周縁からリム部１１１の内周縁に向かって放射状に延在しており、リム部１１１及びハブ部１１２を連結している。

軸部材１０２は、軸方向両端部に位置するほぞ部１２１ａ，１２１ｂと、上述した四番車２７の歯車部に噛合されるがんぎかな部１２２と、上述した連結体１１０に圧入される圧入軸部１２３と、を有している。
ほぞ部１２１ａ，１２１ｂのうち、軸方向一端側に位置する一端ほぞ部１２１ａは、図示しない輪列受に回転可能に支持され、軸方向他端側に位置する他端ほぞ部１２１ｂは、上述した地板１１に回転可能に支持されている。

がんぎかな部１２２は、軸部材１０２において、一端ほぞ部１２１ａ寄りに形成されている。そして、がんぎかな部１２２が四番車２７に噛合されることで、四番車２７の回転力が軸部材１０２に伝達されがんぎ車３５が回転するようになっている。

圧入軸部１２３は、上述した各ほぞ部１２１ａ，１２１ｂよりも大径に形成されるとともに、がんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５内に、一端開口部１１５ａ側から挿通されている。この場合、圧入軸部１２３は、その一部ががんぎ歯車部１０１から軸方向他端側に向けて突出した状態で、貫通孔１１５内に配置されている。

また、軸部材１０２のうち、がんぎかな部１２２と圧入軸部１２３との間には、径方向の外側に向けて突出するフランジ部１２４が形成されている。フランジ部１２４は、貫通孔１１５の一端開口部１１５ａよりも大径とされ、その軸方向他端側に位置する端面がハブ部１１２の裏面１０１ｂに当接している。

図７は、連結体１１０を軸方向一端側から見た斜視図である。
図６、図７に示すように、連結体１１０は、上述した軸部材１０２に圧入されるとともに、がんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５内に配置されることで、がんぎ歯車部１０１と軸部材１０２とを連結するものである。具体的に、連結体１１０は、金属等からなる角錐台形状（図示の例では、四角錐台）とされ、軸方向一端側から他端側に向かうに従い漸次拡径されている。

連結体１１０は、軸方向一端側に位置する小径面１３１、及び軸方向他端側に位置する大径面１３２と、小径面１３１及び大径面１３２の対応する各辺同士を連結する複数の第２傾斜面１３３と、により外観構成されている。
小径面１３１及び大径面１３２は、ともに平面視正方形状とされるとともに、小径面１３１の幅Ｗ１（径方向に沿う第２傾斜面１３３間の距離）は大径面１３２の幅Ｗ２よりも小さくなっている。また、連結体１１０の中心部には、軸方向に沿って連結体１１０を貫通する圧入孔１３０が形成されている。この圧入孔１３０内には、上述した軸部材１０２の圧入軸部１２３が他端ほぞ部１２１ｂ側から圧入されている。

ここで、各第２傾斜面１３３は、軸方向に対する角度が上述した第１傾斜面１１６と同等とされるとともに、各第１傾斜面１１６に対応して周方向に沿って４つ連設されている。これら第２傾斜面１３３は、貫通孔１１５内において軸方向で対向する各第１傾斜面１１６にそれぞれ面接触している。これにより、上述したがんぎ歯車部１０１は、軸部材１０２のフランジ部１２４と、連結体１１０との間に挟持された状態で固定されている。

なお、図示の例では、連結体１１０の軸方向に沿う厚さＴ１は、がんぎ歯車部１０１の厚さＴ２よりも厚くなっている。また、連結体１１０のうち、小径面１３１の幅Ｗ１は、上述したがんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５のうち、一端開口部１１５ａの幅Ｄ（径方向に沿う第１傾斜面１１６間の距離）よりも大きくなっている。したがって、連結体１１０の小径面１３１は、貫通孔１１５の一端開口部１１５ａよりも内側に位置しており、上述した軸部材１０２のフランジ部１２４との間に隙間が設けられている。これにより、フランジ部１２４と連結体１１０との間に、がんぎ歯車部１０１をがたつきなく挟持できるようになっている。

このように構成されたがんぎ車３５は、複数の歯部１１４がアンクル３６に噛合するようになっている。アンクル３６は、３つのアンクルビーム１４３によってＴ字状に形成されたアンクル体１４２ｄと、アンクル真１４２ｆと、を備えたもので、軸であるアンクル真１４２ｆによってアンクル体１４２ｄが回動可能に構成されている。なお、アンクル真１４２ｆは、その両端が上述した地板１１及び図示しないアンクル受に対してそれぞれ回動可能に支持されている。

３つのアンクルビーム１４３のうち２つのアンクルビーム１４３の先端には、爪石１４４ａ，１４４ｂが設けられ、残り１つのアンクルビーム１４３の先端には、アンクルハコ１４５が取り付けられている。爪石１４４ａ，１４４ｂは、四角柱状に形成されたルビーであり、接着剤等によりアンクルビーム１４３に接着固定されている。

このように構成されたアンクル３６は、アンクル真１４２ｆを中心に回動した際に、爪石１４４ａ或いは爪石１４４ｂが、がんぎ車３５の歯部１１４の先端に接触するようになっている。また、この際、アンクルハコ１４５が取り付けられたアンクルビーム１４３が、図示しないドテピンに接触するようになっており、これによってアンクル３６は、同方向にそれ以上回動しないようになっている。その結果、がんぎ車３５の回転も一時的に停止するようになっている。

［がんぎ車の製造方法］
次に、上述したがんぎ車３５の製造方法について説明する。
本実施形態のがんぎ車３５の製造工程は、がんぎ歯車部１０１を作成する歯車部作成工程（回転体作成工程）と、連結体１１０を作成する連結体作成工程と、これらがんぎ歯車部１０１及び連結体１１０を組み付ける組付工程と、を主に有している。

＜歯車部作成工程＞
図８〜図１０は、歯車部作成工程を説明するための工程図であって、図４に相当する断面図である。
歯車部作成工程では、まず図８（ａ）に示すように、表面２００ａが（１００）面により形成された単結晶シリコンからなる基材２００に対して熱酸化を施し、基材２００の表裏面２００ａ，２００ｂに二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）からなる第１熱酸化膜２０１を形成する（第１熱酸化工程）。

次に、図８（ｂ）に示すように、基材２００の表面２００ａに形成された第１熱酸化膜２０１をパターニングすることで、がんぎ歯車部１０１（図４参照）の貫通孔１１５を形成するための第１マスクパターン２０２を形成する（第１マスクパターン形成工程）。具体的には、まず基材２００の表面２００ａにフォトレジスト膜（不図示）を形成した後、このフォトレジスト膜に対してフォトリソグラフィ技術により露光・現像を行うことで、図示しない第１レジストパターンを形成する。
その後、第１レジストパターンに対してエッチングを行うことで、第１レジストパターンで保護された領域以外の第１熱酸化膜２０１が選択的に除去され、上述した第１マスクパターン２０２が形成される。最後に、第１レジストパターンを除去することで、第１マスクパターン形成工程が終了する。なお、第１マスクパターン２０２の開口２０２ａは、貫通孔１１５における他端開口部１１５ｂの幅Ｗ２よりも直径の小さい円形状に形成する。

次に、図８（ｃ）に示すように、第１マスクパターン２０２をマスクとして異方性エッチングを行い、基材２００に貫通孔１１５を形成する（第１エッチング工程）。具体的には、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液や、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液等のアルカリ水溶液を用いて異方性エッチングを行うと、単結晶シリコンの面方位によってエッチングレートが異なる、いわゆるエッチング異方性が現れる。この場合、基材２００には、（１００）面（表面２００ａ）に比べてエッチングされ難い（１１１）面が現れることで、表面２００ａ側から裏面２００ｂ側に向かうに従い漸次縮径された角錐形状の貫通孔１１５が形成される。

続いて、図８（ｄ）に示すように、緩衝フッ酸水溶液（ＢＨＦ）等を用いたウェットエッチングにより第１熱酸化膜２０１（第１マスクパターン２０２）を除去し、その後、基材２００に対して再度熱酸化を施す（第２熱酸化工程）。これにより、基材２００の表裏面２００ａ，２００ｂに加えて、貫通孔１１５の内面にも第２熱酸化膜２０３が形成される。

次に、図９（ａ）に示すように、樹脂等の接着層２０５を介して支持基板２０６上に基材２００を固定する（接着工程）。これにより、基材２００の貫通孔１１５が裏面２００ｂ側から閉塞されるため、後工程への搬送時における真空チャックや、フォトレジスト膜の塗布等を行い易くなり、生産効率を向上させることができる。

次に、第２熱酸化膜２０３をパターニングすることで、がんぎ歯車部１０１の外形領域が開口した第２マスクパターン２１０（図９（ｄ）参照）を形成する。（第２マスクパターン形成工程）。具体的には、まず、図９（ｂ）に示すように、スピンコート法やスプレーコート法等により、基材２００上にフォトレジスト膜２１１（例えば、膜厚が５００ｎｍ〜数μｍ程度）を形成する。なお、フォトレジスト膜２１１は、ネガ型、及びポジ型の何れの材料も採用することができる。

次に、図９（ｃ）に示すように、フォトレジスト膜２１１に対してフォトリソグラフィ技術により露光・現像を行うことで、第２レジストパターン２１２を形成する。
その後、図９（ｄ）に示すように、第２レジストパターン２１２をマスクとして第２熱酸化膜２０３をエッチングすることで、第２レジストパターン２１２で保護された第２熱酸化膜２０３が選択的に除去される。これにより、がんぎ歯車部１０１の平面視外形を有する第２レジストパターン２１２が形成される。なお、第２マスクパターン形成工程のエッチングでは、緩衝フッ酸水溶液（ＢＨＦ）をはじめとするウェットエッチングや、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）をはじめとするドライエッチング等を採用することができる。

最後に、図１０（ａ）に示すように、第２レジストパターン２１２を除去することで、第２マスクパターン形成工程が終了する。なお、第２レジストパターン２１２は、発煙硝酸や、有機溶剤等でのウェットエッチング、あるいは酸素プラズマアッシング等により除去することができる。

次に、図１０（ｂ）に示すように、第２マスクパターン２１０をマスクとして、基材２００にエッチングを施すことで、がんぎ歯車部１０１の外形を形成する（外形形成工程）。具体的には、ディープリアクティブイオンエッチング（ＤＲＩＥ）を行い、基材２００を厚さ方向に貫通するようにエッチングすることで、がんぎ歯車部１０１の外形形状を得ることができる。なお、貫通孔１１５の内面は、第２熱酸化膜２０３で保護されているため、外形形成工程で貫通孔１１５の内面形状が変化することはない。

その後、図１０（ｃ）に示すように、接着層２０５を除去して、基材２００を支持基板２０６から剥離するとともに、緩衝フッ酸水溶液（ＢＨＦ）等を用いたウェットエッチングにより第２熱酸化膜２０３を除去することで、上述したがんぎ歯車部１０１を得ることができる（取出し工程）。なお、取出し工程の後、さらにがんぎ歯車部１０１に対して熱酸化を施し、がんぎ歯車部１０１を熱酸化膜によりコーティングしても構わない。

＜連結体作成工程＞
図１１、図１２は、連結体作成工程を説明するための工程図であって、図６に相当する断面を示している。
連結体作成工程では、連結体１１０（図６参照）の外形形状に対応した凹部２３０ａを有する成形型２３０（図１１（ｄ）参照）を作成し、作成した成形型２３０を用いて電鋳を行うことで、連結体１１０を成形する。
具体的には、まず図１１（ａ）に示すように、表面２２０ａが上述した基材２００と同じ面方位（（１００）面）を有する単結晶シリコンからなる成形基板２２０を用意する。そして、この成形基板２２０に対して熱酸化を施し、成形基板２２０の表裏面２２０ａ，２２０ｂに二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）からなる熱酸化膜２２１を形成する（熱酸化工程）。

次に、図１１（ｂ）に示すように、熱酸化膜２２１をパターニングすることで、後述する凹部２３０ａを形成するためのマスクパターン２２２（図１１（ｃ）参照）を形成する（マスクパターン形成工程）。具体的には、まず成形基板２２０の表面２２０ａにフォトレジスト膜（不図示）を形成した後、このフォトレジスト膜に対してフォトリソグラフィ技術により露光・現像を行うことで、図示しないレジストパターンを形成する。

その後、レジストパターンに対してエッチングを行うことで、レジストパターンで保護された領域以外の熱酸化膜２２１が選択的に除去され、上述したマスクパターン２２２（図１１（ｃ）参照）が形成される。最後に、レジストパターンを除去することで、マスクパターン形成工程が終了する。なお、マスクパターン２２２の開口２２２ａは、連結体１１０の大径面１３２の幅Ｗ２よりも直径が小さい円形状に形成する。

続いて、図１１（ｃ）に示すように、マスクパターン２２２をマスクとして、成形基板２２０に対して異方性エッチングを行い、成形基板２２０に凹部２３０ａを形成する（成形型形成工程）。この凹部２３０ａは、底部２３１及び開口部２３２が平面視で正方形状とされるとともに、底部２３１から開口部２３２に向かうに従い漸次拡径された角錐台形状とされている。この場合、凹部２３０ａの底部２３１は、連結体１１０の小径面１３１を成形する。
また、凹部２３０ａの内周面は、（１００）面に比べてエッチングされ難い（１１１）面が現れることで、成形基板２２０の厚さ方向に対して傾斜する傾斜面２３３が底部２３１を取り囲むように複数連設される。すなわち、凹部２３０ａの傾斜面２３３は、連結体１１０の第２傾斜面１３３を成形するものであり、上述したがんぎ歯車部１０１の第１傾斜面１１６に対応して、第１傾斜面１１６と同数で、かつ第１傾斜面１１６とそれぞれ同じ角度に形成されている。

次に、図１１（ｄ）に示すように、緩衝フッ酸水溶液（ＢＨＦ）等を用いたウェットエッチングにより熱酸化膜２２１を除去する。これにより、連結体１１０を成形するための成形型２３０が完成する。

次に、図１１（ｅ）に示すように、成形型２３０の表面２２０ａ側（成形基板２２０の表面２２０ａ及び凹部２３０ａ内面）に対し電極層２３５を形成する（電極層形成工程）。具体的には、スパッタリングや真空蒸着、イオンプレーティング等の物理気相成長法（ＰＶＤ）、無電解めっき等を用いて成膜する。なお、ＰＶＤ法を採用する場合には、クロム（Ｃｒ）やチタン（Ｔｉ）をアンカーメタルとして用い、その上に金（Ａｕ）や銅（Ｃｕ）等を積層することが好ましい。また、無電解めっきを採用する場合には、金（Ａｕ）や銅（Ｃｕ）等を採用することが好ましい。

続いて、成形基板２２０の表面２２０ａに、連結体１１０を大径面１３２側から見た平面視外形を有するレジストパターン２４０（図１２（ｂ）参照）を形成する（レジストパターン形成工程）。具体的には、まず図１２（ａ）に示すように、スピンコート法やスプレーコート法、バーコーティング等により、電極層２３５上にフォトレジスト膜２３６を形成する。このとき、成形基板２２０（成形型２３０）の凹部２３０ａ内を埋め、かつ成形基板２２０の表面２２０ａを覆うようにフォトレジスト膜２３６を形成する。なお、本工程のフォトレジスト膜２３６の材料としては、高アスペクト比の構造を形成し易いＳＵ−８（日本化薬社製）等が好適に用いられる。

その後、図１２（ｂ）に示すように、フォトレジスト膜２３６に対して、フォトリソグラフィ技術により露光・ポストエクスポージャーベーク（ＰＥＢ）・現像を行うことで、レジストパターン２４０を得る。なお、レジストパターン２４０には、連結体１１０の圧入孔１３０を成形する柱部２４０ａが、凹部２３０ａの底部２３１の中心部から立設されている。

次に、図１２（ｃ）に示すように、成形型２３０に対して電鋳を行う（電鋳工程）。電鋳工程では、図示しない電鋳槽内に貯液された電鋳液に成形型２３０を浸漬させた後、成形型２３０の電極層２３５と、図示しない陽極と、の間に電圧を印加する。すると、成形型２３０上に形成された電極層２３５のうち、電鋳槽内に露出している部分（電極層２３５のうち、レジストパターン２４０により保護されていない部分）上に金属が析出する。そして、析出した金属が成長することで、電鋳体２４１が形成される。なお、本実施形態では、成形型２３０のうち、少なくとも凹部２３０ａ内が埋まるように電鋳体２４１が形成される。

次に、図１２（ｄ）に示すように、成形型２３０及び電鋳体２４１を研磨・研削して、電鋳体２４１を所望の厚みにする（研磨研削工程）。
最後に、図１２（ｅ）に示すように、成形型２３０から電鋳体２４１を取り出す（取出し工程）。具体的には、アルカリ水溶液等のエッチングにより成形型２３０を除去するとともに、ウェットエッチングにより電極層２３５を除去する。これにより、凹部２３０ａの内面形状（成形型２３０のうち（１１１）面により形成された傾斜面２３３の形状）が転写された電鋳体２４１を取り出すことができる。さらに、レジストパターン２４０の柱部２４０ａを除去することで、上述した連結体１１０が完成する。

なお、取出し工程後、酸化防止を図るために、連結体１１０に対してニッケル（Ｎｉ）や金（Ａｕ）によりめっきを施したり、接合強度の向上を図るために、スズ（Ｓｎ）やはんだ等によりめっきを施したりしても構わない。

＜組付工程＞
図１３は、組付工程を説明するための説明図であって、図６に相当する断面図である。
図１３に示すように、組付工程では、まず軸部材１０２の他端ほぞ部１２１ｂを、がんぎ歯車部１０１における貫通孔１１５の一端開口部１１５ａに向けた状態で、貫通孔１１５内に軸部材１０２を挿通する。このとき、軸部材１０２のフランジ部１２４が、がんぎ歯車部１０１の裏面１０１ｂに突き当たるまで軸部材１０２を挿通することで、圧入軸部１２３の一部が貫通孔１１５内に配置される。

次に、連結体１１０の圧入孔１３０内に軸部材１０２を圧入する。具体的には、連結体１１０の小径面１３１をがんぎ歯車部１０１に向け、かつ連結体１１０の第２傾斜面１３３と、貫通孔１１５の第１傾斜面１１６と、の周方向の位置を合わせながら、軸部材１０２の圧入軸部１２３を圧入孔１３０内に圧入する。すると、連結体１１０の小径面１３１側が貫通孔１１５内に進入して、連結体１１０の第２傾斜面１３３と、貫通孔１１５の第１傾斜面１１６と、が突き当たる。これにより、がんぎ歯車部１０１が、軸部材１０２のフランジ部１２４と、連結体１１０との間に挟持された状態で固定される。
以上により、がんぎ歯車部１０１と軸部材１０２とが連結体１１０を介して連結され、本実施形態のがんぎ車３５が完成する。

なお、がんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５内にアンカーメタルとして金（Ａｕ）を形成し、連結体１１０の外周面にスズ（Ｓｎ）を形成し、組付工程後にがんぎ車３５に対して熱処理を行うことにより、Ａｕ−Ｓｎの共晶結合を行っても構わない。これにより、がんぎ歯車部１０１と連結体１１０との固定強度を向上させることができる。

このように、本実施形態では、貫通孔１１５の内面が（１１１）面からなる複数の第１傾斜面１１６により形成され、連結体１１０が、軸部材１０２に固定されるとともに、複数の第２傾斜面１３３が対応する第１傾斜面１１６に当接した状態で貫通孔１１５内に配置されている構成とした。
この構成によれば、がんぎ歯車部１０１に対して軸部材１０２を圧入等により直接固定する場合に比べて、がんぎ歯車部１０１の割れ等を抑制できるとともに、軸部材１０２の軸方向への抜き力を確保した上で、がんぎ歯車部１０１に軸部材１０２を組み付けることができる。

特に、貫通孔１１５の内面及び連結体１１０の外周面がそれぞれ傾斜面１１６，１３３とされているため、第２傾斜面１３３が第１傾斜面１１６によって案内されることで、連結体１１０を貫通孔１１５内において軸方向及び径方向に位置決めすることができる。これにより、連結体１１０に固定される軸部材１０２と、がんぎ歯車部１０１と、の同軸度を向上させることができる。
また、貫通孔１１５及び連結体１１０の複数の傾斜面１１６，１３３同士を当接させることで、がんぎ歯車部１０１に対する連結体１１０の周方向の位置決めを確実に行うことができる。そのため、連結体１１０に固定された軸部材１０２の周方向への緩みトルクを確保できる。
しかも、本実施形態の第１傾斜面１１６は、材料の結晶方位で規定される（１１１）面により形成されているため、第１傾斜面１１６が所定の角度に高精度に形成されることになる。そのため、がんぎ歯車部１０１と連結体１１０とを高精度、かつ強固に位置決めすることができる。
また、本実施形態では、連結体１１０を介して軸部材１０２をがんぎ歯車部１０１に固定するのみなので、従来のように回転軸と回転体とを接着剤を用いて固定する等の別工程を行う必要がなく、製造効率の低下を抑制できる。
したがって、製造効率の低下を抑制した上で、がんぎ歯車部１０１と軸部材１０２とを確実、かつ高精度に固定できる。

さらに、本実施形態のがんぎ歯車部１０１はシリコンにより構成されているため、エネルギーの伝達効率が高く、また形状の自由度が高く、高精度ながんぎ歯車部１０１を提供できる。
また、軸部材１０２のうち、がんぎ歯車部１０１を挟んで連結体１１０の反対側に、連結体１１０との間でがんぎ歯車部１０１を挟持するフランジ部１２４が形成されているため、軸方向への抜き力を確保して、軸部材１０２に対してがんぎ歯車部１０１を軸方向に確実に固定することができる。

さらに、本実施形態の連結体１１０は、凹部２３０ａの内周面が（１１１）面で形成された成形型２３０を用いて成形されているため、第２傾斜面１３３を第１傾斜面１１６と同等の角度に高精度に形成することができる。これにより、第１傾斜面１１６と第２傾斜面１３３とを隙間なく当接させることができ、がんぎ歯車部１０１と連結体１１０とを高精度に位置決めすることができる。

そして、本実施形態の機械式時計１及びムーブメント１０によれば、上述したがんぎ車３５を備えているため、信頼性及び耐久性に優れた高品質な製品を提供することができる。

（変形例）
図１４は、連結体１５０の変形例を示す斜視図である。
図１４に示すように、連結体１５０のうち、隣接する第２傾斜面１３３間に位置する角部に面取り（図１４中面取り部１５１）を施しても構わない。
この構成によれば、上述した組付工程において、貫通孔１１５の隣接する第１傾斜面１１６間に位置する角部と、連結体１５０の角部と、の接触を抑え、連結体１５０が貫通孔１１５内に進入し易くなるので、製造効率の向上を図ることができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図１５は第２実施形態の連結体３１０を示す図であって、図６に相当する断面図である。また、図１６は第２実施形態の連結体３１０を示す斜視図である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
図１５、図１６に示すように、本実施形態の連結体３１０は、断面視でＷ字状とされており、軸方向一端側に位置する枠状の底部３１１と、底部３１１の内周縁から軸方向他端側に向けて立設された内筒部３１２と、底部３１１の外周縁から軸方向他端側に向けて立設された外筒部３１３と、を有している。

底部３１１は、平面視正方形状とされ、その中央部には底部３１１を軸方向に貫通する開口３１１ａが形成されている。
内筒部３１２は、軸方向一端側から他端側に向かうに従い漸次縮径する角錐台形状とされている。具体的に、内筒部３１２は、軸方向に対して傾斜する傾斜壁３１４が、底部３１１の内周縁のうち、各辺に対応して複数形成されている。また、内筒部３１２のうち、軸方向他端側に位置する開口部は、上述した圧入軸部１２３が圧入される圧入孔３１２ａを構成している。

外筒部３１３は、軸方向一端側から他端側に向かうに従い漸次拡径する角錐台形状とされている。具体的に、外筒部３１３は、軸方向に対して傾斜する傾斜壁（第２傾斜面）３１５が、底部３１１の外周縁のうち、各辺に対応して複数形成されている。各傾斜壁３１５は、軸方向に対する角度が上述した第１傾斜面１１６と同等とされている。

このように形成された連結体３１０は、上述した第１実施形態と同様に、軸部材１０２に固定されるとともに、連結体３１０を介して軸部材１０２ががんぎ歯車部１０１に組み付けられている。具体的に、連結体３１０は、圧入孔３１２ａ内に軸部材１０２の圧入軸部１２３が圧入されるとともに、外筒部３１３の傾斜壁３１５が貫通孔１１５の対応する第１傾斜面１１６に当接した状態で、貫通孔１１５内に配置されている。

次に、上述した連結体３１０の製造方法について説明する。図１７は、第２実施形態における連結体作成工程を説明するための工程図であって、図１５に相当する断面を示している。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態の連結体作成工程と同様の工程については、適宜説明を省略する。
本実施形態の連結体作成工程では、連結体３１０の外形形状に対応した凹部３３０ａを有する成形型３３０（図１７（ｄ）参照）を作成し、作成した成形型３３０を用いて連結体３１０を成形する。
具体的には、まず図１７（ａ）に示すように、表面３２０ａが（１００）面により形成された単結晶シリコンからなる成形基板３２０を用意する。そして、この成形基板３２０に対して熱酸化を施し、成形基板３２０の表裏面３２０ａ，３２０ｂに熱酸化膜３２１を形成する（熱酸化工程）。

次に、図１７（ｂ）に示すように、熱酸化膜３２１をパターニングすることで、凹部３３０ａ（図１７（ｃ）参照）を形成するためのマスクパターン３２２を形成する（マスクパターン形成工程）。具体的には、連結体３１０の形成領域が開口した図示しないレジストパターンに対してエッチングを行うことで、レジストパターンで保護された領域以外の熱酸化膜３２１が選択的に除去され、上述したマスクパターン３２２が形成される。最後に、レジストパターンを除去することで、マスクパターン形成工程が終了する。

図１８は成形型３３０（成形基板３２０）の斜視図である。
続いて、図１７（ｃ）、図１８に示すように、マスクパターン３２２をマスクとして、成形基板３２０に対して異方性エッチングを行い、成形基板３２０に凹部３３０ａを形成する。この凹部３３０ａは、底部３３１及び開口部３３２が平面視で正方形状とされるとともに、底部３３１の外周縁から開口部に向かうに従い漸次拡径された角錐台形状とされている。また、底部３３１の中央部には、開口部３３２に向かうに従い漸次縮径する角錐台形状の柱部３３３が形成されている。この場合、凹部３３０ａの底部３３１は、連結体３１０の底部３１１を成形する。

また、凹部３３０ａの内周面は、（１１１）面により形成された傾斜面３３４が底部３３１を取り囲むように複数連設される。凹部３３０ａの傾斜面３３４は、連結体３１０の外筒部３１３（傾斜壁３１５）を成形するものであり、上述したがんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５における第１傾斜面１１６に対応して、第１傾斜面１１６と同数で、かつ第１傾斜面１１６とそれぞれ同じ角度に形成されている。
さらに、柱部３３３の外周面にも、（１１１）面により形成された傾斜面３３５が柱部３３３を取り囲むように複数連設される。傾斜面３３５は、連結体３１０の内筒部３１２（傾斜壁３１４）を成形するものである。

次に、熱酸化膜３２１を除去することで、連結体３１０を成形するための成形型３３０（図１８参照）が完成する。

次に、図１７（ｄ）に示すように、成形型３３０の表面３２０ａ側に対し金属層３３６を形成する（金属層形成工程）。具体的には、図示しない電極層を介して成形型３３０に対して電鋳等を行うことで、金属層３３６を成膜することができる。

次に、図１７（ｅ）に示すように、金属層３３６及び成形型３３０を研磨・研削する（研磨研削工程）。具体的には、金属層３３６のうち、成形型３３０の表面３２０ａに成膜された金属層３３６が除去されるまで（凹部３３０ａ内のみに金属層３３６が残存するように）、金属層３３６及び成形型３３０を研磨・研削する。
最後に、成形型３３０から金属層３３６を取り出すことで、上述した連結体３１０を作成することができる（取出し工程）。この場合、連結体３１０の傾斜壁３１４，３１５は、成形型３３０のうち（１１１）面により形成された傾斜面３３４，３３５の形状が転写される。

このように、本実施形態によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、成形型３３０に内筒部３１２を成形する柱部３３３を形成することで、圧入孔３１２ａを成形するためにレジストパターン（例えば、第１実施形態におけるレジストパターン２４０の柱部２４０ａ）等のマスクを用いる必要がない。すなわち、連結体３１０となる金属層３３６を成形型３３０の凹部３３０ａ内に直接成形することで、圧入孔３１２ａを有する連結体３１０を作成することができるので、連結体３１０の外形に対する圧入孔３１２ａの位置精度を向上させることができる。

なお、上述した連結体３１０のうち、底部３１１、内筒部３１２及び外筒部３１３により画成された空間に、樹脂等の充填材を充填しても構わない。また、内筒部３１２と圧入軸部１２３との間にスペーサを介在させたり、軸部材１０２（圧入軸部１２３）自体を内筒部３１２の内面形状に倣って形成したりしても構わない。

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、上述した実施形態では、軸部材１０２をがんぎ歯車部１０１に挿通した後、連結体１１０を軸部材１０２に圧入する構成について説明したが、これに限らず、がんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５内に連結体１１０を配置した後、軸部材１０２を、がんぎ歯車部１０１に挿入しつつ連結体１１０に圧入しても構わない。
さらに、上述した実施形態では、がんぎ歯車部１０１を単結晶シリコンにより形成した場合について説明したが、これに限らず、シリコンカーバイトや水晶、アルミナ等、結晶方位を有する種々の材料を採用することができる。例えば、水晶を採用した場合には、傾斜面が、シリコンにおける結晶面の（１１１）面となる代わりに、水晶の自然結晶面であるｍ面、ｍ’面となる。

また、貫通孔１１５及び連結体１１０を四角錐台形状に形成したが、これに限らず、種々の錐台形状に形成することが可能である。例えば、上述した実施形態では、（１００）面を表面とする単結晶シリコンに対して（１１１）面が現れるように四角錐台形状としたが、（１１０）面を表面とする単結晶シリコンに対しては、（１１１）面が現れるように三角錐台形状に形成しても構わない。
さらに、上述した実施形態では、連結体１１０を金属により形成した場合について説明したが、これに限らず、種々の材料により形成しても構わない。例えば、上述した成形型２３０を用いて樹脂材料を成形しても構わない。

上述した実施形態では、がんぎ歯車部１０１の表面１０１ａ側に設けられた連結体１１０と、裏面１０１ｂ側に位置する軸部材１０２のフランジ部１２４と、の間にがんぎ歯車部１０１を挟持する構成について説明したが、これに限られない。
例えば、図１９に示すように、がんぎ歯車部１０１の両面１０１ａ，１０１ｂ側に連結体１１０を設け、これら連結体１１０を介して軸部材１０２をがんぎ歯車部１０１に組み付けても構わない。具体的に、図１９に示すがんぎ歯車部１０１の貫通孔４１５は、軸方向両側から中央部に向かうに従い漸次縮径する一対のテーパ部４１５ａ，４１５ｂを有している。これらテーパ部４１５ａ，４１５ｂは、それぞれ（１１１）面により形成されるとともに、軸方向に対して傾斜する複数の第１傾斜面４１６が周方向に沿って連設されて構成されている。

そして、軸部材１０２に対して、がんぎ歯車部１０１の両面１０１ａ，１０１ｂ側から連結体１１０を圧入することで、各連結体１１０によりがんぎ歯車部１０１を挟持した状態で、各連結体１１０を介して軸部材１０２をがんぎ歯車部１０１に組み付けることができる。

また、上述した実施形態では、がんぎ歯車部１０１に本発明の回転部品を採用する場合について説明したが、これに限らず、回転可能とされた回転軸と、この回転軸に固定された回転体と、を有する種々の回転部品に本発明を採用することが可能である。例えば、機械式時計１においては、てんぷ４０やアンクル３６、各種歯車等に本発明を適用することができる。

図２０は、てんぷ４０の概略断面図である。
図１，図２０に示すように、てんぷ４０は、軸線Ｏ２回りに回転可能に支持されたてん真（回転軸）５０１と、アーム部５０２を介しててん真５０１に取付けられたてん輪（回転体）５０３（図１参照）と、ひげぜんまい５０４と、を備え、ひげぜんまい５０４から伝えられた動力によって、てん真５０１回りに一定の振動周期で正逆回転させられる部材とされている。

ひげぜんまい５０４は、例えば一平面内で渦巻状に巻かれた平ひげであって、ひげ玉５０５を介してその内端部がてん真５０１に固定されている。そして、このひげぜんまい５０４は、四番車２７からがんぎ車３５に伝えられた動力を蓄え、この動力をてん輪５０３に伝える役割を果している。

アーム部５０２の中央部分には、軸線Ｏ２の軸方向に貫通する貫通孔５１５が形成されている。この貫通孔５１５は、上述した第１実施形態と同様に、（１１１）面により形成された複数の第１傾斜面５１６を有している。

ひげ玉５０５は、上述したひげぜんまい５０４の内端部が固定された固定部５０６と、固定部から軸方向の一端側に向けて突出する連結体５１０と、を有している。ひげ玉５０５の中心部には、軸方向に沿って貫通する圧入孔５３０が形成されている。
連結体５１０は、上述した第１実施形態の連結体１１０と同様に、軸方向に対する角度が上述した第１傾斜面５１６と同等とされるとともに、各第１傾斜面５１６に対応して周方向に沿って連設された複数の第２傾斜面５３３を有している。
そして、ひげ玉５０５は、圧入孔５３０内に上述したてん真５０１が圧入され、かつ第２傾斜面５３３が第１傾斜面５１６に面接触した状態で貫通孔５１５内に配置されている。これにより、ひげ玉５０５を介して、てん真５０１とてん輪５０３のアーム部５０２とが組み付られる。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

２２…香箱車（回転部品） ２５…二番車（回転部品） ２６…三番車（回転部品） ２７…四番車（回転部品） ３５…がんぎ車（回転部品） ３６…アンクル（回転部品） ４０…てんぷ（回転部品） １０１…がんぎ歯車部（回転体） １０２…軸部材（回転軸） １１０，１５０，３１０，５１０…連結体 １１５，４１５，５１５…貫通孔 １１６，４１６，５１６…第１傾斜面 １３３，５３３…第２傾斜面 １５１…面取り部 ２００…基材 ２２０，３２０…成形基板 ２３０，３３０…成形型 ３１５…傾斜壁（第２傾斜面） ５０１…てん真（回転軸） ５０３…てん輪（回転体）

Claims (9)

1. 結晶方位を有する材料からなる回転体と、
   前記回転体の貫通孔内に挿通されるとともに、連結体を介して前記回転体に固定された回転軸と、を備えた回転部品において、
   前記貫通孔の内面は、前記回転軸の軸方向に対して傾斜するとともに、前記材料の結晶面により形成された第１傾斜面が、前記回転軸の周方向に沿って複数連設されてなり、
   前記連結体の外周面には、前記第１傾斜面と同等の角度を有する複数の第２傾斜面が前記第１傾斜面に対応して形成され、
   前記連結体は、前記回転軸に固定されるとともに、前記第２傾斜面が前記第１傾斜面に当接した状態で前記貫通孔内に配置されていることを特徴とする回転部品。
2. 前記材料はシリコンにより構成され、前記結晶面はシリコンの（１１１）面として形成されていることを特徴とする請求項１に記載の回転部品。
3. 前記回転軸のうち、前記回転体を挟んで前記連結体の反対側には、前記回転軸の径方向外側に向けて突出するとともに、前記連結体との間で前記回転体を挟持するフランジ部が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の回転部品。
4. 前記連結体は、凹部の内周面が前記結晶面で形成された成形型を用いて成形されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の回転部品。
5. 前記連結体の外周面のうち、隣接する前記第２傾斜面間に位置する角部には、面取りが施されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の回転部品。
6. 香箱車、番車、がんぎ車、アンクル及びてんぷを備えた時計のムーブメントであって、
   前記香箱車、前記番車、前記がんぎ車、前記アンクル、及び前記てんぷのうち、少なくとも何れかに請求項１記載の回転部品が用いられていることを特徴とするムーブメント。
7. 請求項６に記載のムーブメントを備えたことを特徴とする時計。
8. 貫通孔を有する回転体が連結体を介して回転軸に固定されてなる回転部品の製造方法であって、
   結晶方位を有する基材に対して異方性エッチングを施すことで、前記回転軸の軸方向に対して傾斜するとともに、前記基材の結晶面により形成された複数の第１傾斜面が、前記回転軸の周方向に沿って連設されてなる前記貫通孔を形成する回転体作成工程と、
   外周面が前記第１傾斜面と同等の角度を有する複数の第２傾斜面により形成された角錐台形状の前記連結体を作成する連結体作成工程と、
   前記連結体を介して前記回転軸を前記回転体に組み付ける組付工程と、を有し、
   前記組付工程では、
   前記回転軸を前記貫通孔内に挿通するとともに、前記第２傾斜面を前記第１傾斜面に当接させた状態で、前記連結体と前記回転軸とを固定することを特徴とする回転部品の製造方法。
9. 前記連結体形成工程は、
   前記基材と同じ結晶方位を有する成形基板に対して異方性エッチングを施し、凹部を有する成形型を形成する成形型形成工程と、
   前記成形型に対して電鋳を行うことで、前記凹部内に前記連結体を成形する電鋳工程と、を有していることを特徴とする請求項８記載の回転部品の製造方法。

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